CN216039116U - 一种剥离液废液回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及剥离液废液处理技术领域，公开了一种剥离液废液回收装置。该剥离液废液回收装置包括预处理单元、蒸发单元和调制回用单元，预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，废液依次经过预处理单元的超滤膜过滤组件、纳滤膜过滤组件和深度过滤组件进入蒸发单元；蒸发单元用于去除废液中的水分，蒸发单元与深度过滤组件连通；调制回用单元与蒸发单元相连通，用于对经过蒸发单元蒸发后的废液进行成分检测。通过多级过滤，能够将废液中的光阻和金属离子去除，实现对剥离液废液较好的过滤效果；过滤后的废液通过蒸发单元去除水分，再经调制回用单元调制成可再次使用的剥离液，实现回收利用，降低对环境的污染。

Description

一种剥离液废液回收装置

技术领域

本实用新型涉及剥离液废液处理技术领域，尤其涉及一种剥离液废液回收装置。

背景技术

光阻剥离液主要用于将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光阻去除，它是硅基材料晶片进行光阻化学清洗过程所需的常用化学药品，主要由有机胺、极性有机溶剂和水组成。在使用过程中光阻、少量的金属离子等都积累在废剥离液中，由于废剥离液中含有大量有机分子若直接排放会对环境造成严重影响。

针对剥离液废液中的金属离子，目前比较有效的处理方式是采用电渗析装置，但是电渗析装置部件多，组装要求较高，安装较为复杂。也有采用超滤膜或纳滤膜对金属离子进行过滤的方案，但过滤效果不及电渗析装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种剥离液废液回收装置，设备安装简单，且能够实现对剥离液废液较好的过滤效果，提高对剥离液废液的回收利用效果，降低对环境的污染。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种剥离液废液回收装置，包括：预处理单元、蒸发单元和调制回用单元；

上述预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，包括依次连通的超滤膜过滤组件、纳滤膜过滤组件和深度过滤组件，废液依次经过上述超滤膜过滤组件、上述纳滤膜过滤组件和上述深度过滤组件进入上述蒸发单元；

上述蒸发单元用于去除废液中的水分，上述蒸发单元与上述深度过滤组件连通；

上述调制回用单元与上述蒸发单元相连通，上述调制回用单元用于对经过上述蒸发单元蒸发后的废液进行成分检测。

可选地，上述深度过滤组件包括深度过滤器，上述深度过滤器内装填有混合滤料，所述混合滤料包含活性炭和硅胶粉。

可选地，上述蒸发单元包括依次连通的精馏塔、脱水塔和精馏收集罐，上述精馏塔与上述深度过滤组件连通。

可选地，上述预处理单元还包括：

超滤滤液储液罐，设置于上述超滤膜过滤组件和上述纳滤膜过滤组件之间，上述超滤滤液储液罐分别与上述超滤膜过滤组件和上述纳滤膜过滤组件连通，上述超滤滤液储液罐中的液体能够进入上述超滤膜过滤组件中对上述超滤膜过滤组件的超滤膜进行冲洗。

可选地，上述预处理单元还包括：

纳滤滤液储液罐，设置于上述纳滤膜过滤组件和上述深度过滤组件之间，上述纳滤滤液储液罐分别与上述纳滤膜过滤组件和上述深度过滤组件连通，上述纳滤滤液储液罐中的液体能够进入上述纳滤膜过滤组件中对上述纳滤膜过滤组件的纳滤膜进行冲洗。

可选地，上述预处理单元还包括废液收集罐，上述废液收集罐与上述超滤膜过滤组件的进液口连通。

可选地，上述调制回用单元包括回用罐和原液罐，上述精馏收集罐和上述原液罐均与上述回用罐连通，上述回用罐中设置有第一成分检测装置，用于对上述回用罐中的液体进行检测并控制上述原液罐往上述回用罐中补充原液以使上述回用罐中的液体满足使用要求。

可选地，上述原液罐设置有多个，多个上述原液罐均与上述回用罐连通。

可选地，上述回用罐的出液口设置有第二成分检测装置。

可选地，上述剥离液废液回收装置还包括浓缩液收集罐，上述浓缩液收集罐与上述超滤膜过滤组件、上述纳滤膜过滤组件和上述精馏塔均连通，用于回收上述超滤膜过滤组件、上述纳滤膜过滤组件和上述精馏塔产生的浓缩液。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提出的剥离液废液回收装置，剥离液废液依次通过超滤膜过滤组件、纳滤膜过滤组件和深度过滤组件，通过多级过滤，避免采用电渗析装置，降低了装置的安装复杂程度，而且能够将废液中的光阻和金属离子去除，实现对剥离液废液较好的过滤效果；过滤后的废液通过蒸发单元去除水分，再经调制回用单元调制成可再次使用的剥离液，实现回收利用，降低对环境的污染。

附图说明

图1是本实用新型提供的剥离液废液回收装置的原理图。

图中：

1、废液收集罐；2、超滤膜过滤组件；3、超滤滤液储液罐；4、纳滤膜过滤组件；5、纳滤滤液储液罐；6、深度过滤组件；7、精馏塔釜；8、精馏塔体；9、脱水塔；10、冷却器；11、精馏收集罐；12、回用罐；13、原液罐；14、浓缩液收集罐。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

为了防止在对剥离液废液进行处理过程中，使用电渗析装置，降低装置的安装复杂程度，同时有效实现对剥离液废液较好的过滤效果，实现回收利用，控制企业的生产成本，如图1所示，本实施例提供一种剥离液废液回收装置，该剥离液废液回收装置包括：预处理单元、蒸发单元和调制回用单元。

其中，预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，包括依次连通的超滤膜过滤组件2、纳滤膜过滤组件4和深度过滤组件6，废液依次经过超滤膜过滤组件2、纳滤膜过滤组件4和深度过滤组件6过滤后进入蒸发单元。蒸发单元用于去除废液中的水分，包括依次连通的精馏塔、脱水塔9和精馏收集罐11，精馏塔与深度过滤组件6连通。调制回用单元包括回用罐12和原液罐13，原液罐13和精馏收集罐11均与回用罐12连通，回用罐12中设置有第一成分检测装置(图中未示出)，用于对回用罐12中的液体进行检测并控制原液罐13往回用罐12中补充原液以使回用罐12中的液体满足使用要求。

具体地，深度过滤组件6包括深度过滤器，深度过滤器内装填有混合滤料，混合滤料之间交互作用，可提高其对金属离子的吸附性。经超滤膜过滤组件2、纳滤膜过滤组件4过滤后的剥离液废液进入深度过滤组件6，深度过滤器对剥离液废液进行进一步的过滤，充分去除剥离液废液中的金属离子。本实施例中，混合滤料由活性炭和硅胶粉混合而成，其他实施例中，还可采用其他组分的滤料混合而成，不以为限。

通过超滤膜过滤组件2、纳滤膜过滤组件4和深度过滤组件6能够将废液中的金属离子和光阻去除，然后通过蒸发单元将水分去除，将有机胺和极性有机溶剂回收再次利用，能够对废液处理的同时，实现回收利用，从而有利于企业控制生产成本。

进一步地，如图1所示，预处理单元还包括废液收集罐1，废液收集罐1与超滤膜过滤组件2的进液口连通。通过设置废液收集罐1，能够首先将废液收集起来，防止由于纳滤膜过滤组件4处理废液的能力有限而导致废液溢流，造成环境污染。

具体地，废液收集罐1中的废液经泵进入超滤膜过滤组件2和纳滤膜过滤组件4中进行过滤，超滤膜或纳滤膜的挑选应根据光刻胶分子量来确定，可以为纳滤或超滤。过滤方式采用错流过滤，在泵的推动下，废液平行于超滤膜面流动，能够把超滤膜面上滞留的颗粒带走，维持超滤膜较好的过滤效果，从而保证经过超滤膜过滤组件2后的废液中的光阻被有效拦截。

可选地，超滤膜过滤组件2和纳滤膜过滤组件4之间设置有超滤滤液储液罐3，超滤滤液储液罐3分别与超滤膜过滤组件2和纳滤膜过滤组件4连通。通过设置超滤滤液储液罐3能够先对进入纳滤膜过滤组件4的超滤滤液进行存储，从而防止由于纳滤膜过滤组件4的处理能力有限而导致无法有效去除金属离子。而且，超滤滤液储液罐3中的液体能够进入超滤膜过滤组件2中对超滤膜过滤组件2的超滤膜进行冲洗，通过过滤后的部分超滤滤液对超滤膜进行反冲，从而将附着在超滤膜上的光阻去除，能够有效提高超滤膜的使用寿命。

进一步地，纳滤膜过滤组件4与深度过滤组件6之间设置有纳滤滤液储液罐5，纳滤滤液储液罐5分别与纳滤膜过滤组件4和深度过滤组件6连通。通过设置纳滤滤液储液罐5能够对进入深度过滤组件6的纳滤滤液进行存储，从而防止由于深度过滤组件6的处理能力有限而导致无法有效去除金属离子。而且，纳滤滤液储液罐5中的液体能够进入纳滤膜过滤组件4中对纳滤膜过滤组件4的纳滤膜进行冲洗，通过过滤后的部分纳滤滤液对纳滤膜进行反冲，从而将附着在纳滤膜上的金属离子及其他附着物去除，能够有效提高纳滤膜的使用寿命。

进一步地，本剥离液废液回收装置还包括浓缩液收集罐14，浓缩液收集罐14与超滤膜过滤组件2和纳滤膜过滤组件4均连通，用于回收超滤膜过滤组件2和纳滤膜过滤组件4产生的浓缩液。通过设置浓缩液收集罐14能够将经过超滤膜过滤组件2和纳滤膜过滤组件4处理后剩余的浓缩液回收，然后交给其他污水处理单位进行处理。

进一步地，精馏塔包括精馏塔釜7和精馏塔体8，精馏塔体8设置在精馏塔釜7的上端，精馏塔釜7与深度过滤组件6连通，精馏塔体8与脱水塔9连通。通过对精馏塔釜7进行加热，使得水、有机胺和极性有机溶剂气化进入到精馏塔体8中，精馏塔体8可依据实际情况设一个或多个串联，并实行分段控温进行精馏，单个精馏塔体8包括多个用法兰盘进行衔接的塔节，有利于提高精馏纯度。

进一步地，精馏塔釜7与浓缩液收集罐14连通，浓缩液收集罐14用于回收精馏塔釜7排出的浓缩液。除去水、有机胺和极性有机溶剂后其余的液体排入到浓缩液收集罐14中。脱水塔9中填充分子筛或者其他具有吸附水分子作用的功能填料，能够达到水分回用要求，从而保证进入到精馏收集罐11中的液体的纯度。

进一步地，脱水塔9与精馏收集罐11之间设置有冷却器10，冷却器10分别与脱水塔9和精馏收集罐11连通。通过设置冷却器10，能够将经过脱水塔9的气体快速冷却变为液体，便于存储和使用。

由于剥离液由几种有效成分组成，进一步地，原液罐13设置有多个，每一个原液罐13对应一种成分，多个原液罐13均与回用罐12连通。在本实施例中，通过第一成分检测装置(如折光仪，市售的TY-100A，PRM-100a等均可)检测回用罐12中的液体的纯度，然后反馈给原液罐13，根据需要泵入对应原液罐13中的成分，使得回用罐12中的液体满足使用要求。

可选地，回用罐12的出液口设置有第二成分检测装置，第二成分检测装置也可选用折光仪。通过设置第二成分检测装置，便于对液体进行二次检测，保证待工作的液体满足使用要求。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种剥离液废液回收装置，其特征在于，包括：预处理单元、蒸发单元和调制回用单元；

所述预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，包括依次连通的超滤膜过滤组件(2)、纳滤膜过滤组件(4)和深度过滤组件(6)，废液依次经过所述超滤膜过滤组件(2)、所述纳滤膜过滤组件(4)和所述深度过滤组件(6)进入所述蒸发单元；

所述蒸发单元用于去除废液中的水分，所述蒸发单元与所述深度过滤组件(6)连通；

所述调制回用单元与所述蒸发单元相连通，所述调制回用单元用于对经过所述蒸发单元蒸发后的废液进行成分检测。

2.根据权利要求1所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述深度过滤组件(6)包括深度过滤器，所述深度过滤器内装填有混合滤料，所述混合滤料包含活性炭和硅胶粉。

3.根据权利要求1所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述蒸发单元包括依次连通的精馏塔、脱水塔(9)和精馏收集罐(11)，所述精馏塔与所述深度过滤组件(6)连通。

4.根据权利要求3所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述预处理单元还包括：

超滤滤液储液罐(3)，设置于所述超滤膜过滤组件(2)和所述纳滤膜过滤组件(4)之间，所述超滤滤液储液罐(3)分别与所述超滤膜过滤组件(2)和所述纳滤膜过滤组件(4)连通，所述超滤滤液储液罐(3)中的液体能够进入所述超滤膜过滤组件(2)中对所述超滤膜过滤组件(2)的超滤膜进行冲洗。

5.根据权利要求4所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述预处理单元还包括：

纳滤滤液储液罐(5)，设置于所述纳滤膜过滤组件(4)和所述深度过滤组件(6)之间，所述纳滤滤液储液罐(5)分别与所述纳滤膜过滤组件(4)和所述深度过滤组件(6)连通，所述纳滤滤液储液罐(5)中的液体能够进入所述纳滤膜过滤组件(4)中对所述纳滤膜过滤组件(4)的纳滤膜进行冲洗。

6.根据权利要求2所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述预处理单元还包括废液收集罐(1)，所述废液收集罐(1)与所述超滤膜过滤组件(2)的进液口连通。

7.根据权利要求3所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述调制回用单元包括回用罐(12)和原液罐(13)，所述精馏收集罐(11)和所述原液罐(13)均与所述回用罐(12)连通，所述回用罐(12)中设置有第一成分检测装置，用于对所述回用罐(12)中的液体进行检测并控制所述原液罐(13)往所述回用罐(12)中补充原液以使所述回用罐(12)中的液体满足使用要求。

8.根据权利要求7所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述原液罐(13)设置有多个，多个所述原液罐(13)均与所述回用罐(12)连通。

9.根据权利要求7所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述回用罐(12)的出液口设置有第二成分检测装置。

10.根据权利要求3所述的剥离液废液回收装置，其特征在于，所述剥离液废液回收装置还包括浓缩液收集罐(14)，所述浓缩液收集罐(14)与所述超滤膜过滤组件(2)、所述纳滤膜过滤组件(4)和所述精馏塔均连通，用于回收所述超滤膜过滤组件(2)、所述纳滤膜过滤组件(4)和所述精馏塔产生的浓缩液。

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