CN116351151B - 一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺,该设备包括撬装式底座，撬装式底座上安装有散化结构、物理分离机构、以及蒸馏组件，物理分离机构对打散处理后的废液进行析滤处理；而且物理分离机构在其内部的压强增加到预设值时，可改变废液在其内部的流动方向，并冲击堵塞的微粒，以使堵塞的微粒连通同废液一起排出，达到反冲洗清理排污目的；本发明中通过物理分离机构内部的压强来表征其内部的堵塞情况，并在其内部压强增加到预设值时，自动排出微粒和部分废液；而在微粒连同废液排出的过程中，物理分离机构的内部压强减小；在内部压强恢复到初始值时，整个物理分离机构再恢复到正常析滤处理状态。

Description

一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺

技术领域

本发明涉及一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺。

背景技术

随着近几年国内面板行业的快速崛起，光刻胶剥离液的使用量与对应的废剥离液的产生量连年增加。剥离液属于湿电子化学品中光刻制程中配套试剂之一，不仅是面板生产行业中极为重要的化学品，同时也广泛应用于光伏太阳能以及半导体生产等领域。剥离液通常用在蚀刻工艺完成之后，用于去除光刻胶和残留物质，同时防止对下层的衬底层造成损坏。

剥离液的主要成分是有机胺和极性有机溶剂，其工作原理是将光刻胶的长链结构破坏,使光刻胶变为小分子结构,小分子结构的光刻胶易于溶解在极性有机溶剂中,从而可以将蚀刻完成的光刻胶从面板表面彻底剥离。光刻胶的剥离过程中需要使用大量的剥离液，剥离后产生的废液中，剥离液的含量最高，其次是被溶解的光刻胶，最后是未溶解的光刻胶颗粒以及极少量的蚀刻副产物，未溶解的光刻胶颗粒和蚀刻副产品在剥离液废液中大多以微粒的形式存在。由于剥离液的价格高昂，一般企业均会对废液进行提取回收，以实现资源再利用。

产业上对剥离液回收，大多通过先过滤再蒸馏提纯的方式进行；过滤的目的主要在于将微粒从废液中分离，蒸馏提纯可以将废液中的剥离液轻组分分离，最后得到剥离液组分；通过对轻组分的剥离液进行复配，可重新应用在对剥离液纯度要求相对较低的光伏面板以及部分半导体生产中。

然而目前在对废弃剥离液提纯的过程中，由于光刻胶微粒的存在和聚集，导致整个管线中的废液流通阻力不断增加；如欲排出管线中的微粒，则必须频繁停机清理，不仅耽误生产进度，还需重复拆装管线及机组；频繁拆装管线和机组一方面会对管线和机组的密封性能造成影响，另一方面也需要大量人工和时间配合，无论是在人力成本、时间成本、设备和管线的维保成本上来说，均会增加企业的负担。

发明内容

本发明的目的在于提供一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种剥离液散化离纯并复配的设备，包括：

撬装式底座；

散化结构，所述散化结构安装在所述撬装式底座上，用于将废液打散；

物理分离机构，所述物理分离机构也安装于撬装式底座上，并和散化结构相连通；所述物理分离机构用于对打散处理后的废液进行析滤处理；

蒸馏组件，所述蒸馏组件与所述物理分离机构及散化结构配合，对打散处理和析滤后的废液进行蒸馏，蒸馏组件设置在撬装式底座上；

所述物理分离机构在其内部的压强增加到预设值时，可改变废液在其内部的流动方向，并冲击堵塞的微粒，以使堵塞的微粒连通同废液一起排出；

当物理分离机构内部的压强恢复到初始值时，可恢复废液在其内部的流动方向，以重新对废液进行析滤处理。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述散化结构包括竖直安装在所述撬装式底座上的散化罐，所述散化罐的下方一侧设置有废液进口，散化罐中还转动设置有散化轴；

所述散化轴的下部穿出所述散化罐的底部并与之密封转动连接，所述散化轴上设置多组散化叶轮，多组散化叶轮沿着散化轴的高度方向等距设置；每组散化叶轮包括多个叶片，且多个叶片沿圆周均匀设置在散化轴上；

所述散化罐的上部通过流管与所述物理分离机构的内部导通，且所述散化轴与蒸馏组件配合。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述物理分离机构包括分离筒、密封滑动设置在所述分离筒内的滤芯、一端与所述滤芯固定且另一端穿出所述分离筒的推杆、以及用于弹性连接所述分离筒内壁与所述滤芯的泄压弹簧；

所述分离筒通过两组托架水平地安装在所述撬装式底座上，所述滤芯上均匀开设有多个微孔；在其中一个所述托架的两侧分别安装有第一阀组和第二阀组，所述流管通过第一阀组与分离筒的内部连通，分离筒通过第二阀组与净液头或污液头连通，净液头与蒸馏组件导通；

所述第一阀组与第二阀组相互配合，且第二阀组通过改向组件与所述推杆穿出所述分离筒的一端连接；

滤芯将分离筒内部分隔为两个腔室，靠近散化罐的腔室为前腔室，另一腔室为后腔室。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述第一阀组包括设置在其中一个托架一侧上的第一阀壳、密封转动设置在所述第一阀壳内的第一阀球、设置在所述第一阀球上部并穿出所述第一阀壳的第一阀杆、以及通过第一支架安装在托架上的第一阀帽；

第一阀帽与第一阀杆的顶部密封转动配合，所述第一阀球和第一阀杆内贯通有第一通道，第一阀帽的顶端中央开设有吸液口，且吸液口与第一通道的顶部连通；

所述第一阀壳通过一号进液管连通分离筒的前腔室，第一阀壳通过二号进液管连通分离筒的后腔室。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述第二阀组包括设置在托架另一侧上的第二阀壳、密封转动设置在所述第二阀壳内的第二阀球、设置在所述第二阀球上部并穿出所述第二阀壳的第二阀杆、以及通过第二支架安装在托架上的第二阀帽；

第二阀帽与第二阀杆的顶部密封转动配合，所述第二阀球和第二阀杆内贯通有第二通道；第二阀杆的上部一侧开设有排液口，且排液口与第二阀帽的底部连通，第二阀帽的外侧分别固定并导通污液头和净液头；

所述第二阀壳通过一号出液管连通分离筒的后腔室，第二阀壳通过二号出液管连通分离筒的前腔室，所述第一阀杆和第二阀杆之间通过齿形带连接。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述改向组件包括安装在所述推杆穿出所述分离筒的一端上的闭环轨道框、与所述闭环轨道框固定的平框、与所述平框及闭环轨道框相配合的双向弹动结构；

所述双向弹动结构连接所述第二阀杆，所述平框上设置有倾斜的斜导槽，闭环轨道框中设置有矩形轨道，且在平框远离所述闭环轨道框的一侧固定有滑套，所述滑套与导杆滑动配合，导杆通过侧架设置在撬装式底座上。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述双向弹动结构包括设置在所述撬装式底座上方的箍套、沿所述箍套的长度方向与箍套滑动配合的套壳、以及穿透所述套壳并与套壳滑动配合的换向杆；

所述换向杆的中央设置有与所述套壳内壁间隙配合的中央阶梯，所述中央阶梯的两侧分别设置有一号切换弹簧和二号切换弹簧，一号切换弹簧和二号切换弹簧均套设在所述换向杆；

所述一号切换弹簧的一端与中央阶梯抵触，另一端与套壳的其中一端的端口内壁抵触；二号切换弹簧的一端也与中央阶梯抵触，其另一端与套壳的另一端的端口内壁抵触；

所述换向杆的一端转动设置有一号滚柱，一号滚柱活动嵌合在所述矩形轨道内；套壳的外壁中央转动设置有二号滚柱，二号滚柱活动嵌合在所述斜导槽内；

所述第二阀杆上固定有伸缩杆，换向杆远离一号滚柱的一端转动连接有摆动杆，所述摆动杆与所述伸缩杆滑动配合。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述蒸馏组件包括安装在所述撬装式底座上的蒸馏塔，所述蒸馏塔的底部与蒸发盘连接，在蒸馏塔的下部设置有发热盘管；

所述净液头通过导液管与所述蒸馏塔连通，且蒸馏塔的顶部连通有蒸发管，所述蒸发管与冷却结构配合，散化轴连接所述冷却结构。

如上所述的剥离液散化离纯并复配的设备：所述冷却结构包括通过保持架设置在撬装式底座上的复配罐，以及安装在所述复配罐和蒸馏塔之间的冷却泵机，所述冷却泵机具有一个冷却介质头和一个冷媒出口；

其中，冷媒出口与冷凝管的一端导通，冷凝管的另一端连通安装在保持架上的排冷头，冷凝管的一段缠绕在蒸发管上；蒸发管内部通过回流管连通复配罐，冷却泵机的叶轮轴通过传动带连接所述散化轴。

一种利用上述设备对废弃的剥离液作散化离纯并复配处理的工艺，包括如下步骤：

步骤一，设备调整与检验，检查闭环轨道框和平框的初始位置，确保一号滚柱处于矩形轨道中最远离第一阀组的拐点处，二号滚柱处于斜导槽中远离第二阀组的端点处；检验滚柱于矩形轨道和斜导槽中活动的顺畅性；

步骤二，管线和机组密封性的试验，启动泵机和恒压泵，向整个管线和机组中预先通入洁净的液体，并运行一段时间，检验整个管线和机组是否存在泄露；

步骤三，运行预热，将蒸发盘通电，通过蒸馏塔顶部侧边的人孔监测蒸馏塔内部的温度；当蒸馏塔顶部的温度达到预设温度后，启动恒压泵和冷却泵机3向管线和机组中泵入待处理的废液，同时向冷凝管中泵入冷媒；

步骤四，管线机组清理，待废液全部处理完成后，先对蒸发盘和恒压泵断电后保持冷却泵机运行一段时间，然后再将冷却泵机关闭，使蒸馏塔和蒸发管冷却；通过人孔处的数显温度仪监测蒸馏塔顶部的温度，当温度接近100℃时，再次将恒压泵和蒸发盘接电，而不启动冷却泵机；通过废液进口向散化罐中泵入清水，对设备的管线进行清洗；

步骤五，停机复配，再次对蒸发盘、恒压泵断电，测定复配罐内混合溶液中剥离液的浓度，并向溶液中添加适量比例的纯水稀释，复配形成产业上所需浓度的剥离液溶液；

步骤六，彻底清洗，定期对导液管、蒸馏塔、以及分离筒拆卸清洗。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明中通过物理分离机构内部的压强来表征其内部的堵塞情况，并在其内部压强增加到预设值时，能够自动排出微粒和部分废液；而在微粒连同废液排出的过程中，物理分离机构的内部压强不断减小；在其内部压强恢复到初始值时，整个物理分离机构再恢复到正常析滤处理状态；整个过程中无需人工频繁地拆卸并清理管线和机组。

此外，本发明中的物理分离机构则可在不借助任何感应元器件对内部的压强或堵塞情况进行监控的情况下，自动清理管线堵塞物。

附图说明

图1为剥离液散化离纯并复配的设备的轴测图；

图2为剥离液散化离纯并复配的设备的结构示意图；

图3为剥离液散化离纯并复配的设备中将撬装式底座拆分后的结构示意图；

图4为剥离液散化离纯并复配的设备中散化结构的拆分示意图；

图5为剥离液散化离纯并复配的设备中物理分离机构的局部构造图；

图6为在图5的基础上将分离筒拆分后的结构示意图；

图7为物理分离机构中拆除分离筒后保留两组阀组的结构示意图；

图8为物理分离机构中推杆和双向弹动结构的配合示意图；

图9为将双向弹动结构完全拆分后的结构示意图；

图10为双向弹动结构与两组阀组配合时的结构示意图；

图11为双向弹动结构与第二阀组脱离后的结构示意图；

图12为两组阀组中的阀壳拆分后的结构示意图；

图13为图12另一视角的结构示意图；

图14为在图13的基础上进一步拆分阀帽后的结构示意图；

图15为图14另一视角的结构示意图；

图16为蒸馏组件于撬装式底座之上的结构示意图；

图17为剥离液散化离纯并复配的设备中排冷头和废气排放头的安装位置示意图；

图中：1-撬装式底座；2-蒸馏塔；3-冷却泵机；4-复配罐；5-散化罐；6-分离筒；7-废液进口；8-蒸发盘；9-传动带；10-散化轴；11-叶片；12-托架；13-第一支架；14-第一阀壳；15-一号进液管；16-滤芯；17-泄压弹簧；18-推杆；19-一号出液管；20-第二阀壳；21-第二支架；22-流管；23-闭环轨道框；24-矩形轨道；25-一号滚柱；26-换向杆；27-套壳；28-中央阶梯；29-平框；30-滑套；31-导杆；32-侧架；33-一号切换弹簧；34-二号滚柱；35-斜导槽；36-平键；37-箍套；38-键槽；39-二号切换弹簧；40-摆动杆；41-伸缩杆；42-第一连杆；43-保持架；44-第二连杆；45-第二阀球；46-第二阀杆；47-第一阀球；48-第一阀杆；49-齿形带；50-第二通道；51-第一通道；52-二号进液管；53-二号出液管；54-第一阀帽；55-第二阀帽；56-排液口；57-污液头；58-净液头；59-导液管；60-发热盘管；61-蒸发管；62-冷却介质头；63-冷凝管；64-回流管；65-排冷头；66-废气排放头。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1~图17，作为本发明的一种实施例，所述剥离液散化离纯并复配的设备，包括用于水平地安装在地面基础之上的撬装式底座1，所述撬装式底座1上安装有用于将废液打散的散化结构；由于溶解后的胶成分会和未溶解的微粒粘黏，聚少成多而形成较为松散的絮状物；如若不对絮状物进行打散处理，则絮状物会越积越多，从而将整个管线堵塞，最终在管线中聚集成胶状整体。

所述撬装式底座1上还安装有与所述散化结构相连通的物理分离机构，所述物理分离机构用于对打散处理后的废液进行析滤处理，进而使废液中的微粒从溶解后的胶成分和剥离液中滤出。如此一来，便可将废液中的微粒成分分离。

所述物理分离机构在其内部的压强增加到预设值时，可改变废液在其内部的流动方向，并冲击堵塞的微粒，以使堵塞的微粒连通同废液一起排出，达到反冲洗清理排污目的；而当物理分离机构内部的压强恢复到初始值时，可恢复废液在其内部的流动方向，以重新对废液进行析滤处理。

在对微粒作析滤处理的过程中，理论上不产生堵塞的情况下，物理分离机构内的压强恒定（废液的导入量恒定）；而一旦物理分离机构内部产生堵塞，则表明废液的排放流通截面减小；在导入量恒定的情况下，废液排放截面减小，则会导致物理分离机构内部的压强增加；随着堵塞情况的恶化，其内部的压强不断增加。

本发明中通过物理分离机构内部的压强来表征其内部的堵塞情况，并在其内部压强增加到预设值时，能够自动排出微粒和部分废液；而在微粒连同废液排出的过程中，物理分离机构的内部压强不断减小；在其内部压强恢复到初始值时，整个物理分离机构再恢复到正常析滤处理状态；整个过程中无需频繁人工拆卸并清理管线和机组。

当然了，如若采用感应元器件也可通过监控物理分离机构内部的压强来获得其内部的堵塞信息，但是对于极性较强的剥离液来说，极易使感应元器件腐蚀或损坏；而且感应元器件所测得的压强会存在部分误差，同时需要配合其他智能模块（例如PLC控制器、气动或液压部件）配合来执行排污动作。

而本发明中的物理分离机构则可在不借助任何感应元器件对内部的压强或堵塞情况进行监控的情况下，自动清理管线堵塞物。

所述撬装式底座1上还安装有蒸馏组件，所述蒸馏组件与所述物理分离机构及散化结构配合，对打散处理和析滤后的废液进行蒸馏，以将沸点更低的剥离液从胶成分中分离；最后可根据生产过程中对剥离液浓度的需求，向溶液中添加适量比例的纯水稀释，来复配形成产业上所需浓度的剥离液溶液。

需要注意的是，光刻胶主要是由成膜树脂、光引发剂、溶剂为主要成分的，还包含有抗氧化剂，均匀剂和增粘剂等辅助成分；以正胶为例，大部分正性光刻胶的树脂是酚醛树脂，一种苯酚和甲醛合成的树脂；几乎所有的正性光刻胶的溶剂均为PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)，光刻胶大约55-65%的原料就为此溶剂，具有很好的溶解性，适合将成膜树脂和光引发剂液化以便于旋转涂敷。混配而成的光刻胶的沸点普遍在145℃左右，常温下挥发性低。

而剥离液主要成分为单乙醇胺(MEA),二乙二醇单丁醚(BDG),其中，MEA的沸点为170.9℃，BDG的沸点为230.4℃；因此，通过蒸馏的方式保持冷却温度在150~165℃之间，便可使气态的剥离液成分液化，而胶成分依然为汽化状态，从而将胶成分与剥离液分离。

作为本发明进一步的方案，请参阅图2、图4、以及图6，所述散化结构包括竖直安装在所述撬装式底座1上的散化罐5，所述散化罐5的下方一侧设置有废液进口7，散化罐5中还转动设置有散化轴10；

所述散化轴10的下部穿出所述散化罐5的底部并与之密封转动连接，所述散化轴10上设置多组散化叶轮，多组散化叶轮沿着散化轴10的高度方向等距设置；每组散化叶轮包括多个叶片11，且多个叶片11沿圆周均匀固定在散化轴10上；

所述散化罐5的上部通过流管22与所述物理分离机构的内部导通，且所述散化轴10与蒸馏组件配合。

利用恒压泵通过废液进口7向散化罐5中泵入剥离液废液，当蒸馏组件工作时，与蒸馏组件配合的散化轴10转动，进而带动叶片11在散化罐5内转动；废液中的微粒、胶成分、以及剥离液在散化罐5中被打散；避免废液中的胶成分与未溶解的微粒粘黏，不断聚集形成絮状物堵塞管线；经打散处理后的废液通过流管22排入到物理分离机构中。

作为本发明更进一步的方案，请参阅图5~图15，所述物理分离机构包括分离筒6、密封滑动设置在所述分离筒6内的滤芯16、一端与所述滤芯16固定且另一端穿出所述分离筒6的推杆18、以及用于弹性连接所述分离筒6内壁与所述滤芯16的泄压弹簧17；

所述分离筒6通过两组托架12水平地安装在所述撬装式底座1上，所述滤芯16上均匀开设有多个微孔；在其中一个所述托架12的两侧分别安装有第一阀组和第二阀组，所述流管22通过第一阀组与分离筒6的内部连通，分离筒6通过第二阀组与净液头58或污液头57连通，净液头58与蒸馏组件导通；

所述第一阀组与第二阀组相互配合，且第二阀组通过改向组件与所述推杆18穿出所述分离筒6的一端连接。

为了便于表述，将分离筒6靠近散化罐5的一端称为首端，将分离筒6的另一端称为尾端；滤芯16将分离筒6内部分隔为两个腔室，包含首端的腔室称为前腔室，包含尾端的腔室称为后腔室。

初始状态下，流管22排入的废液经第一阀组从分离筒6的首端流入；从分离筒6的首端流入的废液由前腔室流向后腔室，在经过滤芯16时，借助滤芯16上的滤孔将微粒分离出来，使得后腔室排入到第二阀组中的废液中基本不含微粒；而第二阀组将析滤处理后的废液通过净液头58排入到蒸馏组件中提纯；

废液不断的流入到前腔室中，随着时间的推移，聚集在滤芯16一侧（前腔室一侧）的微粒越来越多，使得越来越多的滤孔被堵塞，导致分离筒6中包含首端的空腔中的压强不断增大；分离筒6内由滤芯16所分隔而成的两个腔室中的压差不断增加，致使泄压弹簧17不断被压缩，滤芯16不断向分离筒6的尾端滑动；滤芯16带动推杆18动作，而推杆18带动改向组件动作。

极限状态下，分离筒6内的两个腔室的压差达到预设值，也即前腔室中的压强增加至预设值时，改向组件触发，并带动第二阀组动作，第二阀组带动第一阀组动作，使得流管22排入的废液经第一阀组从后腔室流入到分离筒6中，并向前腔室流动；而流向前腔室的废液从首端排入第二阀组，此时流向第二阀组的废液中含有大量的微粒（由于微粒聚集在前腔室中），并通过污液头57排出，而不流向蒸馏组件中，达到反冲洗清理排污的效果。

随着前腔室中的废液和微粒的排出，前腔室中的压强逐渐恢复，直至达到初始值；当前腔室中的压强恢复到初始值时，改向组件再次被触发，并使第二阀组恢复到初始状态（连通净液头58和分离筒6的尾端）；第二阀组带动第一阀组同时恢复到初始状态（连通流管22和分离筒6的首端）。

注意的是，在此过程中由于前腔室中的压强较高，且在泄压弹簧17的辅助下，故前腔室中的废液连同聚集的微粒能够在较短时间内排出。

虽然在达到极限状态时，废液从后腔室流向前腔室，导致后腔室中会残余部分微粒，但是由于该过程的时间较短，因此，滞留在后腔室中的微粒极少；也即，恢复到初始状态后，后腔室中的微粒极少，通过净液头58流向蒸馏组件中的微粒极少。

说明的是，采用本发明的方案对微粒进行析滤，同样需要定期拆装清理管线和机组，但是拆装和清理的频率远低于直接过滤的方式。退一步来说，即使在反冲洗清理排污的过程中不存在微粒，但是由于滤孔的直径是固定的，对于粒径小于滤孔的微粒来说，依然也会穿过滤孔而进入到蒸馏组件中，故无论是正向析滤还是反冲洗清理排污，也是需要定期对蒸馏组件的内部及管线进行拆装清理。

作为本发明再进一步的方案，请参阅图5、图6、图10、以及图12~图15，所述第一阀组包括固定在其中一个托架12一侧上的第一阀壳14、密封转动设置在所述第一阀壳14内的第一阀球47、固定在所述第一阀球47上部并穿出所述第一阀壳14的第一阀杆48、以及通过第一支架13安装在托架12上的第一阀帽54；

第一阀帽54与第一阀杆48的顶部密封转动配合，所述第一阀球47和第一阀杆48内贯通有第一通道51，第一阀帽54的顶端中央开设有吸液口，且吸液口与第一通道51的顶部连通；

所述第一阀壳14通过一号进液管15连通分离筒6的前腔室，第一阀壳14通过二号进液管52连通分离筒6的后腔室。

初始状态下，第一通道51与一号进液管15对接，此时流管22流向第一阀组的废液经吸液口进入到第一阀帽54内，并通过第一通道51排入到一号进液管15中，进而流入到前腔室内；

当达到极限状态时，第二阀组带动第一阀组动作，使第一阀杆48和第一阀球47转动一定角度；将第一通道51与二号进液管52对接，流管22流向第一阀组的废液经吸液口进入到第一阀帽54内，而后通过第一通道51排入到二号进液管52中，进而流入到后腔室内。

作为本发明再进一步的方案，所述第二阀组包括固定在托架12另一侧上的第二阀壳20、密封转动设置在所述第二阀壳20内的第二阀球45、固定在所述第二阀球45上部并穿出所述第二阀壳20的第二阀杆46、以及通过第二支架21安装在托架12上的第二阀帽55；

第二阀帽55与第二阀杆46的顶部密封转动配合，所述第二阀球45和第二阀杆46内贯通有第二通道50；第二阀杆46的上部一侧开设有排液口56，且排液口56与第二阀帽55的底部连通，第二阀帽55的外侧分别固定并导通污液头57和净液头58；

所述第二阀壳20通过一号出液管19连通分离筒6的后腔室，第二阀壳20通过二号出液管53连通分离筒6的前腔室，所述第一阀杆48和第二阀杆46之间通过齿形带49连接。

初始状态下，第二通道50与一号出液管19对接，此时后腔室内经析滤后的废液经一号出液管19流入到第二通道50内，并通过排液口56排入到净液头58中，最终流向蒸馏组件中；

当达到极限状态时，改向组件带动第二阀组动作，使第二阀杆46和第二阀球45转动一定角度；将第二通道50与二号出液管53对接，前腔室内聚集的高压废液连同大量微粒从二号出液管53流入到第二通道50内，并通过排液口56排入到污液头58中，通过污液头58将含有大量微粒的废液排出管线和机组。

由于第一阀杆48和第二阀杆46通过齿形带49连接，故在第一阀杆48动作的同时，便可带动第二阀杆46同步动作，也即第一阀球47和第二阀球45同步动作；也即到一号进液管15连通前腔室时，一号出液管19连通后腔室，而当二号进液管52连通后腔室时，二号出液管53连通前腔室，达到反向导流冲洗清理并带走距离的微粒的效果。

作为本发明再进一步的方案，请参阅图5~图11，所述改向组件包括安装在所述推杆18穿出所述分离筒6的一端上的闭环轨道框23、与所述闭环轨道框23固定的平框29、与所述平框29及闭环轨道框23相配合的双向弹动结构；

所述双向弹动结构连接所述第二阀杆46，所述平框29上设置有倾斜的斜导槽35，闭环轨道框23中设置有矩形轨道24，且在平框29远离所述闭环轨道框23的一侧固定有滑套30，所述滑套30与导杆31滑动配合，导杆31通过侧架32固定在撬装式底座1上。

滤芯16在分离筒6中滑动时，带动推杆18伸缩，进而带动闭环轨道框23和平框29跟随动作；利用闭环轨道框23上的矩形轨道及平框29中的斜导槽同时作用于双向弹动结构，使得推杆18达到预定伸长长度时，通过双向弹动结构带动第二阀杆46转动一定角度，将第二通道50与二号出液管53对接；而第二阀杆46再通过齿形带49带动第一阀杆48同步转动，使第一阀杆48和第一阀球47转动一定角度；将第一通道51与二号进液管52对接。

而在推杆18收缩至初始状态时，双向弹动结构带动第二阀杆46反向复位转动相同角度，第二通道50与一号出液管19对接，同时，第一通道51与一号进液管15对接。

作为本发明再进一步的方案，请参阅图9，所述双向弹动结构包括设置在所述撬装式底座1上方的箍套37、沿所述箍套37的长度方向与箍套37滑动配合的套壳27、以及穿透所述套壳27并与套壳27滑动配合的换向杆26；

所述换向杆26的中央设置有与所述套壳27内壁间隙配合的中央阶梯28，所述中央阶梯28的两侧分别设置有一号切换弹簧33和二号切换弹簧39，一号切换弹簧33和二号切换弹簧39均套设在所述换向杆26；

所述一号切换弹簧33的一端与中央阶梯28抵触，另一端与套壳27的其中一端的端口内壁抵触；二号切换弹簧39的一端也与中央阶梯28抵触，其另一端与套壳27的另一端的端口内壁抵触；

所述换向杆26的一端转动设置有一号滚柱25，一号滚柱25活动嵌合在所述矩形轨道24内；套壳27的外壁中央转动设置有二号滚柱34，二号滚柱34活动嵌合在所述斜导槽35内；

所述第二阀杆46上固定有伸缩杆41，换向杆26远离一号滚柱25的一端转动连接有摆动杆40，所述摆动杆40与所述伸缩杆41滑动配合。

初始状态下，一号滚柱25处于矩形轨道24中最远离第一阀组的拐点处，二号滚柱34处于斜导槽35中远离第二阀组的端点处，此时，一号切换弹簧33和二号切换弹簧39均处于自然状态；随着推杆18的伸长而带动闭环轨道框23和平框29一起移动，由于一号滚柱25嵌合在矩形轨道24中，故在推杆18伸长的过程中，换向杆26保持不动；而二号滚柱34在斜导槽35作用下不断向闭环轨道框23靠近，以使一号切换弹簧33不断被压缩；

当二号滚柱34活动至斜导槽35中的另一端点时，一号滚柱25到达矩形轨道24中最靠近第二阀组的拐点处，此时利用一号切换弹簧33的弹力带动换向杆26快速动作，使一号滚柱25活动至矩形轨道24中最靠近第一阀组的拐点处。

通过换向杆26快速动作，而带动摆动杆40摆动，摆动杆40摆动的过程中带动伸缩杆41进一步伸入到摆动杆40中的同时，自身摆动，进而带动第二阀杆46转动一定角度。

本发明中通过设置的双向弹动结构能够在前期压力逐渐增加的过程中不断蓄力，存储弹性势能，以便在分离筒6中的压力达到预设值时快速动作，切换阀组的导通方向；同理，在泄压过程中，也不断蓄力，在分离筒6中的压力降低到初始值时快速动作复位。着重说明的是，本发明中的双向弹动结构并不是在分离筒6中的压力增加和减小的过程中不断触发阀门组件，而是通过前期蓄力的方式来存储势能，一旦压力值增加或减小到预定值后，快速动作切换阀门组件的导通方向。

作为本发明再进一步的方案，请参阅图1、图2、图3、图16、以及图17，所述蒸馏组件包括安装在所述撬装式底座1上的蒸馏塔2，所述蒸馏塔2的底部与蒸发盘8连接，在蒸馏塔2的下部设置有发热盘管60；

所述净液头58通过导液管59与所述蒸馏塔2连通，且蒸馏塔2的顶部连通有蒸发管61，所述蒸发管61与冷却结构配合，散化轴10连接所述冷却结构。

通过净液头58排入到导液管59中的废液流入到蒸馏塔2中，利用蒸发盘8通电工作使发热盘管60产生大量热量并对流入到蒸馏塔2中的废液加热，废液受热蒸发为气态，气态物经蒸发管61从蒸馏塔2中排出。

在冷却组件的作用下一方面可以对流经蒸发管61的气态物降温，使蒸发管61中的温度保持在150~165℃之间，进而保证气态物中的剥离液发生液化，而胶成分保持气态。

作为本发明再进一步的方案，请参阅图16和图17，所述冷却结构包括通过保持架43固定在撬装式底座1上的复配罐4，以及安装在所述复配罐4和蒸馏塔2之间的冷却泵机3，所述冷却泵机3具有一个冷却介质头62和一个冷媒出口；

其中，冷媒出口与冷凝管63的一端导通，冷凝管63的另一端连通安装在保持架43上的排冷头65，冷凝管63的一段缠绕在蒸发管61上；蒸发管61内部通过回流管64连通复配罐4，冷却泵机3的叶轮轴通过传动带9连接所述散化轴10。

冷却泵机3工作时带动叶轮轴转动，将冷却媒介质通过冷却介质头62泵入到冷却泵机3中，再从冷媒出口排入到冷凝管63内，在冷凝管63内流动的冷媒对蒸发管61中的气态物降温，使气态物中的剥离液发生液化，而胶成分保持气态；液化后的剥离液经回流管64流入到复配罐4中，吸热后的冷媒通过排冷头65排出；蒸发管61的远离蒸馏塔2的一端连通安装在撬装式底座1上的废气排放头66，以将未液化的胶成分气体排出，借助二次降温设备使胶成分液化集中。

冷却泵机3与散化轴10之间建立机械配合关系，使得泵机工作的同时还可带动叶片11转动，将散化罐5中的废液絮状物打散。

另外，箍套37的两侧各设置一个凸耳，其中一个凸耳与第一连杆42的一端固定，第一连杆42的另一端固定在保持架43上；另一凸耳与第二连杆44的一端固定，第二连杆44的另一端固定在临近的托架12上。通过两个连杆将箍套37设置在撬装式底座1的上方。

此外，本发明还提出一种利用上述设备对废弃的剥离液作散化离纯并复配处理的工艺，包括如下步骤：

步骤一，设备调整与检验，检查闭环轨道框和平框的初始位置，确保一号滚柱处于矩形轨道中最远离第一阀组的拐点处，二号滚柱处于斜导槽中远离第二阀组的端点处；检验滚柱于矩形轨道和斜导槽中活动的顺畅性，如存在卡顿，可在矩形轨道和斜导槽中添加适量的固态润滑油脂；

步骤二，管线和机组密封性的试验，启动泵机和恒压泵，向整个管线和机组中预先通入洁净的液体（尽量采用高纯度不含杂质的纯液），并运行一段时间，检验整个管线和机组是否存在泄露；若有渗漏，则需检查该部位的连接紧密度，如连接紧密后依然存在渗漏，则需将其拆下，并更换内部的O型密封圈后再进行试验；

步骤三，运行预热，将蒸发盘通电，通过蒸馏塔顶部侧边的人孔监测蒸馏塔内部的温度；当蒸馏塔顶部的温度达到预设温度后，启动恒压泵和冷却泵机3向管线和机组中泵入待处理的废液，同时向冷凝管中泵入冷媒；在此之前，需将排冷头与冷媒回收管道接通，或将排冷头与冷媒暂存桶接通；而废气排放头与二次降温设备连通，以即时性地将胶成分液化收集；此外，还需将污液头57接通废液处理舱，或者是废液罐中，以将含有大量光刻胶微粒的废液收集；

步骤四，管线机组清理，待废液全部处理完成后，先对蒸发盘和恒压泵断电后保持冷却泵机运行一段时间，然后再将冷却泵机关闭，使蒸馏塔和蒸发管冷却；通过人孔处的数显温度仪监测蒸馏塔顶部的温度，当温度接近100℃（略高于水的沸点）时，再次将恒压泵和蒸发盘接电，而不启动冷却泵机；通过废液进口向散化罐中泵入清水，对设备的管线进行清洗；

由于蒸发盘再次接电时蒸馏塔顶部的温度略高于水的沸点，因此，泵入到蒸馏塔内的清水能够快速蒸发，以使清水通过气态的形式对蒸发管进行清洁；又因为冷却泵机并未再次接电，因此，蒸发管中基本上只存在气态的水分子，气态水通过废气排放头排出；

步骤五，停机复配，在蒸馏和清理的过程中，会有极少量的气态水进入通过回流管进入到复配罐中，并在复配罐中冷却液化为液态；因此，复配罐中的液体为剥离液和水的混合溶液；再次对蒸发盘、恒压泵断电，测定复配罐内混合溶液中剥离液的浓度，并向溶液中添加适量比例的纯水稀释，复配形成产业上所需浓度的剥离液溶液；

步骤六，彻底清洗，在正向析滤处理过程中，存在少量粒径小于滤孔的微粒杂质通过滤芯而进入到导液管、蒸馏塔、以及分离筒中；且在反冲洗清理排污的过程中会向导液管、蒸馏塔、以及分离筒中排入少量的微粒，因此需要定期对其拆卸清洗；虽然采用该工艺也需要定期拆装清洗，但是拆装清洗的频率远低于目前的处理工艺，设备的维护成本更低。

上述实施例是示范性的，而非限制性的，故在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明的技术方案均囊括在本发明内。

Claims (5)

1.一种剥离液散化离纯并复配的设备，包括撬装式底座（1），其特征在于，还包括：

散化结构，所述散化结构安装在所述撬装式底座（1）上，用于将废液打散；

物理分离机构，所述物理分离机构也安装于撬装式底座（1）上，并和散化结构相连通；所述物理分离机构用于对打散处理后的废液进行析滤处理；

蒸馏组件，所述蒸馏组件与所述物理分离机构及散化结构配合，对打散处理和析滤后的废液进行蒸馏，蒸馏组件设置在撬装式底座（1）上；

所述物理分离机构在其内部的压强增加到预设值时，可改变废液在其内部的流动方向，并冲击堵塞的微粒，以使堵塞的微粒连通同废液一起排出；

当物理分离机构内部的压强恢复到初始值时，可恢复废液在其内部的流动方向，以重新对废液进行析滤处理；

所述散化结构包括竖直安装在所述撬装式底座（1）上的散化罐（5），所述散化罐（5）的下方一侧设置有废液进口（7），散化罐（5）中还转动设置有散化轴（10）；

所述散化轴（10）的下部穿出所述散化罐（5）的底部并与之密封转动连接，所述散化轴（10）上设置多组散化叶轮，多组散化叶轮沿着散化轴（10）的高度方向等距设置；每组散化叶轮包括多个叶片（11），且多个叶片（11）沿圆周均匀设置在散化轴（10）上；

所述散化罐（5）的上部通过流管（22）与所述物理分离机构的内部导通，且所述散化轴（10）与蒸馏组件配合；

所述物理分离机构包括分离筒（6）、密封滑动设置在所述分离筒（6）内的滤芯（16）、一端与所述滤芯（16）固定且另一端穿出所述分离筒（6）的推杆（18）、以及用于弹性连接所述分离筒（6）内壁与所述滤芯（16）的泄压弹簧（17）；

所述分离筒（6）通过两组托架（12）水平地安装在所述撬装式底座（1）上，所述滤芯（16）上均匀开设有多个微孔；在其中一个所述托架（12）的两侧分别安装有第一阀组和第二阀组，所述流管（22）通过第一阀组与分离筒（6）的内部连通，分离筒（6）通过第二阀组与净液头（58）或污液头（57）连通，净液头（58）与蒸馏组件导通；

所述第一阀组与第二阀组相互配合，且第二阀组通过改向组件与所述推杆（18）穿出所述分离筒（6）的一端连接；

滤芯（16）将分离筒（6）内部分隔为两个腔室，靠近散化罐（5）的腔室为前腔室，另一腔室为后腔室；

所述第一阀组包括设置在其中一个托架（12）一侧上的第一阀壳（14）、密封转动设置在所述第一阀壳（14）内的第一阀球（47）、设置在所述第一阀球（47）上部并穿出所述第一阀壳（14）的第一阀杆（48）、以及通过第一支架（13）安装在托架（12）上的第一阀帽（54）；

第一阀帽（54）与第一阀杆（48）的顶部密封转动配合，所述第一阀球（47）和第一阀杆（48）内贯通有第一通道（51），第一阀帽（54）的顶端中央开设有吸液口，且吸液口与第一通道（51）的顶部连通；

所述第一阀壳（14）通过一号进液管（15）连通分离筒（6）的前腔室，第一阀壳（14）通过二号进液管（52）连通分离筒（6）的后腔室；

所述第二阀组包括设置在托架（12）另一侧上的第二阀壳（20）、密封转动设置在所述第二阀壳（20）内的第二阀球（45）、设置在所述第二阀球（45）上部并穿出所述第二阀壳（20）的第二阀杆（46）、以及通过第二支架（21）安装在托架（12）上的第二阀帽（55）；

第二阀帽（55）与第二阀杆（46）的顶部密封转动配合，所述第二阀球（45）和第二阀杆（46）内贯通有第二通道（50）；第二阀杆（46）的上部一侧开设有排液口（56），且排液口（56）与第二阀帽（55）的底部连通，第二阀帽（55）的外侧分别固定并导通污液头（57）和净液头（58）；

所述第二阀壳（20）通过一号出液管（19）连通分离筒（6）的后腔室，第二阀壳（20）通过二号出液管（53）连通分离筒（6）的前腔室，所述第一阀杆（48）和第二阀杆（46）之间通过齿形带（49）连接；所述改向组件包括安装在所述推杆（18）穿出所述分离筒（6）的一端上的闭环轨道框（23）、与所述闭环轨道框（23）固定的平框（29）、与所述平框（29）及闭环轨道框（23）相配合的双向弹动结构；

所述双向弹动结构连接所述第二阀杆（46），所述平框（29）上设置有倾斜的斜导槽（35），闭环轨道框（23）中设置有矩形轨道（24），且在平框（29）远离所述闭环轨道框（23）的一侧固定有滑套（30），所述滑套（30）与导杆（31）滑动配合，导杆（31）通过侧架（32）设置在撬装式底座（1）上。

2.根据权利要求1所述的一种剥离液散化离纯并复配的设备，其特征在于，所述双向弹动结构包括设置在所述撬装式底座（1）上方的箍套（37）、沿所述箍套（37）的长度方向与箍套（37）滑动配合的套壳（27）、以及穿透所述套壳（27）并与套壳（27）滑动配合的换向杆（26）；

所述换向杆（26）的中央设置有与所述套壳（27）内壁间隙配合的中央阶梯（28），所述中央阶梯（28）的两侧分别设置有一号切换弹簧（33）和二号切换弹簧（39），一号切换弹簧（33）和二号切换弹簧（39）均套设在所述换向杆（26）；

所述一号切换弹簧（33）的一端与中央阶梯（28）抵触，另一端与套壳（27）的其中一端的端口内壁抵触；二号切换弹簧（39）的一端也与中央阶梯（28）抵触，其另一端与套壳（27）的另一端的端口内壁抵触；

所述换向杆（26）的一端转动设置有一号滚柱（25），一号滚柱（25）活动嵌合在所述矩形轨道（24）内；套壳（27）的外壁中央转动设置有二号滚柱（34），二号滚柱（34）活动嵌合在所述斜导槽（35）内；

所述第二阀杆（46）上固定有伸缩杆（41），换向杆（26）远离一号滚柱（25）的一端转动连接有摆动杆（40），所述摆动杆（40）与所述伸缩杆（41）滑动配合。

3.根据权利要求1所述的一种剥离液散化离纯并复配的设备，其特征在于，所述蒸馏组件包括安装在所述撬装式底座（1）上的蒸馏塔（2），所述蒸馏塔（2）的底部与蒸发盘（8）连接，在蒸馏塔（2）的下部设置有发热盘管（60）；

所述净液头（58）通过导液管（59）与所述蒸馏塔（2）连通，且蒸馏塔（2）的顶部连通有蒸发管（61），所述蒸发管（61）与冷却结构配合，散化轴（10）连接所述冷却结构。

4.根据权利要求3所述的一种剥离液散化离纯并复配的设备，其特征在于，所述冷却结构包括通过保持架（43）设置在撬装式底座（1）上的复配罐（4），以及安装在所述复配罐（4）和蒸馏塔（2）之间的冷却泵机（3），所述冷却泵机（3）具有一个冷却介质头（62）和一个冷媒出口；

冷媒出口与冷凝管（63）的一端导通，冷凝管（63）的另一端连通安装在保持架（43）上的排冷头（65），冷凝管（63）的一段缠绕在蒸发管（61）上；蒸发管（61）内部通过回流管（64）连通复配罐（4），冷却泵机（3）的叶轮轴通过传动带（9）连接所述散化轴（10）。

5.一种利用如权利要求1-4任一项所述的设备对废弃的剥离液作散化离纯并复配处理的工艺，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一，设备调整与检验，检查闭环轨道框和平框的初始位置，确保一号滚柱处于矩形轨道中最远离第一阀组的拐点处，二号滚柱处于斜导槽中远离第二阀组的端点处；检验滚柱于矩形轨道和斜导槽中活动的顺畅性；

步骤二，管线和机组密封性的试验，启动泵机和恒压泵，向整个管线和机组中预先通入洁净的液体，并运行一段时间，检验整个管线和机组是否存在泄露；

步骤三，运行预热，将蒸发盘通电，通过蒸馏塔顶部侧边的人孔监测蒸馏塔内部的温度；当蒸馏塔顶部的温度达到预设温度后，启动恒压泵和冷却泵机（3）向管线和机组中泵入待处理的废液，同时向冷凝管中泵入冷媒；

步骤四，管线机组清理，待废液全部处理完成后，先对蒸发盘和恒压泵断电后保持冷却泵机运行一段时间，然后再将冷却泵机关闭，使蒸馏塔和蒸发管冷却；通过人孔处的数显温度仪监测蒸馏塔顶部的温度，当温度接近100℃时，再次将恒压泵和蒸发盘接电，而不启动冷却泵机；通过废液进口向散化罐中泵入清水，对设备的管线进行清洗；

步骤五，停机复配，再次对蒸发盘、恒压泵断电，测定复配罐内混合溶液中剥离液的浓度，并向溶液中添加适量比例的纯水稀释，复配形成产业上所需浓度的剥离液溶液；

步骤六，彻底清洗，定期对导液管、蒸馏塔、以及分离筒拆卸清洗。