KR101686080B1 - 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 알킬락테이트를 포함하는 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트를 분해시키는 알칼리처리단계를 포함하는 전처리단계와 상기 전처리단계 이후 신너 폐액을 증류시키는 증류단계를 포함하여, 신너 폐액에서 신너 성분을 효과적으로 회수할 수 있는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 대한 것이다.

Description

포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법{Purification method of thinner for rinsing photoresist}

본 발명은 포토레지스트 린스용 신너의 폐액을 정제하는 방법에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 알킬락테이트를 포함하는 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트를 분해시키는 알칼리처리단계를 포함하는 전처리단계와 상기 전처리단계 이후 신너 폐액을 증류시키는 증류단계를 포함하여, 신너 폐액에서 신너 성분을 효과적으로 회수할 수 있는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 대한 것이다.

포토레지스트 린스용 신너는 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 노광 및 식각 공정을 진행한 이후 남아있는 포토레지스트(Photoresist)를 세정하기 위한 린스공정에서 사용하는 화학재료로, 상기 신너는 특정 화학물질이 특정 조성비로 혼합되어 다양하게 제조되나, 대표적으로 PMA(Propyleneglycol monomethylether acetate)를 기본 물질로 하고 PM(Propyleneglycol monomethylether) 등의 용제가 혼합되어 제조된다. 상기 린스 공정에서 포토레지스트를 세정하고 난 신너 폐액에는 신너 성분 이외의 포토레지스트에서 용출된 BA(Butyl acetate) 등의 불순물을 포함하게 된다. 상기 신너 폐액을 폐기하는 경우 환경을 오염시키고 비경제적인 문제가 있어, 하기의 특허문헌처럼 공비 증류 등을 이용하는 방법에 의해 상기 신너 폐액에 포함되어 있는 신너 성분을 회수하여 재활용하고 있다.

(특허문헌)

특허 제10-1384810호(2014. 04. 15. 공고) "포토레지스트 린스용 씬너 조성물 및 그 정제방법"

하지만, 포토레지스트가 EL(Ethyl lactate)을 포함하여 신너 폐액에 EL이 불순물로 존재하는 경우, 종래의 저비전환 중합방지제, 고비전환 아민화합물을 첨가하여 공비증류 등의 방법을 이용하여 신너 폐액에서 신너 성분(PMA)을 효과적으로 회수할 수 없는 문제가 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,

본 발명은 포토레지스트 린스용 신너 폐액에서 신너 성분을 효과적으로 회수할 수 있는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 EL을 분해시켜 PMA를 효과적으로 회수할 수 있는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 EL을 분해시킨 후 중화처리과정을 거쳐 증류과정에서 슬러지염 등이 생기는 것을 방지하여, 신너 성분의 회수율을 높일 수 있는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위해서 다음과 같은 구성을 가진 실시예에 의해서 구현된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법은 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 알킬락테이트를 포함하는 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트를 분해시키는 알칼리처리단계를 포함하는 전처리단계와; 상기 전처리단계 이후 신너 폐액을 증류시키는 증류단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 알킬락테이트는 메틸락테이트, 에틸락테이트 및 메틸 2-메틸 락테이트(HBM) 중에서 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 알칼리 화합물은 하이드록시기를 포함하는 알칼리 화합물이 사용되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 알칼리 화합물은 수산화나트륨, 수산화칼륨, 메톡사이트나트륨 중에서 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 알칼리처리단계에서 알킬락테이트 대비 1.7 내지 10당량의 알칼리 화합물이 첨가되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 알칼리처리단계에서는 15분 내지 3시간 동안 반응이 진행되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 알칼리처리단계에서 알킬락테이트 대비 1.7 내지 10당량의 알칼리 화합물이 첨가되고, 15분 내지 3시간의 반응이 진행되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 전처리단계는 상기 알칼리처리단계에서 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트가 분해된 신너 폐액을 중화처리하는 중화처리단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 중화처리단계는 상기 알킬락테이트가 분해된 신너 폐액에 산성화합물을 첨가한 후, 에탄올아민류 화합물을 첨가하여 행하여지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 산성화합물은 희황산이 사용되고, 상기 에탄올아민류 화합물은 모노에탄올아민, 디에탄올아민 및 트리에탄올아민 중에서 선택되는 어느 하나 이상이 사용되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 증류단계는 118 내지 120도의 증류온도에서는 프로필렌글리콜모노메틸에테르가 회수되고, 142 내지 147도의 증류온도에서는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트가 회수되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법은 상기 전처리단계 전에 신너 폐액에 포함되어 있는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 알킬락테이트 이외의 물질을 제거하는 분리단계:를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법에 있어서 상기 신너는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트와 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 포함하여 제조되고, 상기 신너 폐액에는 신너 성분인 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트와 프로필렌글리콜모노메틸에테르 이외에 포토레지스트에서 용출되는 알킬락테이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위해서 다음과 같은 구성을 가진 실시예에 의해서 구현된다.

본 발명은 포토레지스트 린스용 신너 폐액에서 신너 성분을 효과적으로 회수할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 EL을 분해시켜 PMA를 효과적으로 회수할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 EL을 분해시킨 후 중화처리과정을 거쳐 증류과정에서 슬러지염 등이 생기는 것을 방지하여, 신너 성분의 회수율을 높일 수 있는 효과가 있다.

도 1은 실시예 1에 따른 G/C 분석 결과를 나타내는 그래프.
도 2는 실시예 2에 따른 G/C 분석 결과를 나타내는 그래프.
도 3은 실시예 3에 따른 NaOH 3당량에서 반응시간에 따라 EL의 분해도를 나타내는 그래프.
도 4는 실시예 3에 따른 반응시간 30분에서 첨가되는 NaOH 양에 따라 EL의 분해도를 나타내는 그래프.
도 5는 실시예 4에 따른 G/C 분석 결과를 나타내는 그래프.

이하에서는 본 발명에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 특별한 정의가 없는 한 본 명세서의 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 기술자가 이해하는 당해 용어의 일반적 의미와 동일하고 만약 본 명세서에 사용된 용어의 의미와 충돌하는 경우에는 본 명세서에 사용된 정의에 따른다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

도 1은 실시예 1에 따른 G/C 분석 결과를 나타내는 그래프이며, 도 2는 실시예 2에 따른 G/C 분석 결과를 나타내는 그래프이고, 도 3은 실시예 3에 따른 NaOH 3당량에서 반응시간에 따라 EL의 분해도를 나타내는 그래프이며, 도 4는 실시예 3에 따른 반응시간 30분에서 첨가되는 NaOH 양에 따라 EL의 분해도를 나타내는 그래프이고, 도 5는 실시예 4에 따른 G/C 분석 결과를 나타내는 그래프이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법을 도 1 내지 5를 참조하여 설명하면, 상기 신너 폐액의 정제방법은 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(Propyleneglycol monomethylether acetate, PMA, PGMEA) 및 알킬락테이트(Alkyl lactate)를 포함하는 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트를 분해시키는 전처리단계와; 상기 전처리단계 이후 신너 폐액을 증류시키는 증류단계;를 포함하여, 회수되는 PMA의 순도를 높일 수 있는 특징이 있다. 상기 신너는 기본물질로 사용되는 PMA와 용제로 사용되는 프로필렌글리콜모노메틸에테르(Propyleneglycol monomethylether, PM, PGME) 등이 특정 조성비로 혼합되어 제조되고, 상기 신너를 사용하여 포토레지스트를 세정하는 린스 공정에서 포토레지스트의 성분이 용출되므로, 반도체 및 디스플레이 제조 공정 후 바로 배출되는 신너 폐액에는 PMA, PM, Alkyl lactate 및 이외의 불순물을 포함할 수 있는데, 본원발명은 상기 반도체 및 디스플레이 제조공정에 후에 배출되는 신너 폐액을 바로 이용하거나, 증류 등의 방법을 통해 상기 신너 폐액에서 일부의 불순물이 제거된 신너 폐액을 이용하게 된다.

상기 전처리단계는 PMA 및 알킬락테이트를 포함하는 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트를 분해시키는 단계로, 알칼리처리단계, 중화처리단계 등을 포함한다. 상기 알킬락테이트는 포토레지스트에서 용출되는 성분으로 메틸락테이트(Methyl lactate, ML), 에틸락테이트(Ethyl lactate, EL) 및 메틸 2-메틸 락테이트(Methyl 2-methyl lactate, HBM) 중에서 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 알칼리처리단계는 PMA 및 알킬락테이트를 포함하는 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트를 분해시키는 단계이다. 상기 알칼리 화합물은 하이드록시기(-OH)를 포함하는 알칼리 화합물이 사용되는 것이 바람직하며, 수산화나트륨(NaOH), 수산화칼륨(KOH), 메톡사이트나트륨(CH₃ONa) 중에서 선택되는 하나 이상으로 이루어지는 것이 더욱 바람직하다. 상기 알칼리처리단계에서는 알킬락테이트 대비 1.7 내지 10당량의 알칼리 화합물이 첨가되고, 15분 내지 3시간의 반응이 진행되는 것이 바람직하다. 상기 알칼리처리단계에서 신너의 불순물로 작용하는 알킬락테이트가 분해되어 제거되므로, 하기의 증류단계를 거쳐 회수되는 PMA는 그 순도가 높아지게 된다. 상기 알칼리처리단계에서는 알킬락테이트의 분해뿐만 아니라 PMA가 분해되어 PM이 생성되는데, 상기 PMA가 분해되는 양은 상대적으로 미량이고, 하기에서 설명할 증류단계에서는 PMA뿐만 아니라 신너의 일 구성성분인 PM도 회수되므로 PMA가 일부 분해되는 것은 전체적인 효율성 측면에서 문제되지 않게 된다.

상기 중화처리단계는 상기 알칼리처리단계에서 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트가 분해된 신너 폐액을 중화처리하는 단계로, 상기 알킬락테이트가 분해된 신너 폐액에 산성화합물을 첨가한 후 에탄올아민류 화합물을 첨가하여 상기 신너 폐액의 pH를 7 근방에 이르게 한다. 상기 산성화합물은 희황산(90% 이하의 묽은 황산)이 사용되고, 상기 에탄올아민류 화합물은 모노에탄올아민, 디에탄올아민 및 트리에탄올아민 중에서 선택되는 어느 하나 이상이 사용되는 것이 바람직하다. 상기 알칼리처리단계 후의 신너 폐액을 바로 증류하면 슬러지염이 생성되어 회수되는 신너 성분(PMA, PM 등)의 순도가 낮아지고 회수되는 양이 줄어드는데, 상기 중화처리단계에서 상기 신너 폐액을 중화처리하므로 슬러지염이 생기는 것을 방지하여 위와 같은 문제를 해결할 수 있게 된다. 상기 희황산, 모노에탄올아민, 디에탄올아민 및 트리에탄올아민은 신너의 구성성분(PMA, PM 등)과 비점이 현저히 차이나 전처리단계 후의 증류단계에서 전혀 영향이 미치지 않으며, 상기 알칼리처리단계 후의 상기 신너 폐액에 상기 희황산을 첨가하여 pH를 7미만으로 떨어뜨리고 약 알칼리성의 에탄올아민류 화합물을 첨가하여 용이하고 정밀하게 상기 신너 폐액을 중성으로 조절할 수 있게 된다. 또한, 희황산은 진한 황산에 비해 산염기 반응에서 발생되는 열 발생을 최소화할 수 있고, 신너 성분의 순도를 높일 수 있게 된다.

상기 증류단계는 상기 전처리단계 후의 신너 폐액을 증류시켜 신너의 구성 성분을 회수하는 단계이다. 118 내지 120도의 증류온도에서는 PM이 회수되고, 142 내지 147도의 증류온도에서는 PMA가 회수되게 된다. 단순증류, 공비증류 등의 종래의 방법으로는 PMA와 EL을 효과적으로 분리, 즉 회수되는 PMA의 순도를 높일 수 없는 문제가 있는데, 상기 신너 폐액의 정제방법은 증류하기 전에 EL의 분해시키고 증류에 적합한 상태를 가지도록 전처리단계를 진행하여, 회수되는 신너의 성분의 순도 및 회수율을 높일 수 있게 된다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법은 상기 전처리단계 전에 신너 폐액에 포함되어 있는 PMA, EL 이외의 일부 물질을 제거하는 분리단계를 추가로 포함할 수 있다. 상기 반도체 및 디스플레이 제조공정 후의 신너 폐액에 대해 전처리단계 및 증류단계를 진행하여 신너의 성분을 회수할 수도 있으나, 상기 반도체 및 디스플레이 제조공정 후의 신너 폐액에는 신너 성분 외에 다양한 불순물이 포함될 수 있고 신너 성분 및 불순물의 일부는 증류 등의 종래의 방법에 의해 용이하게 분리하는 것이 가능하므로 상기 전처리단계 전에 상기 신너 성분 및 불순물을 일부를 제거하여 최종적으로 신너 성분의 회수를 용이하게 할 수 있다. 예컨대, 상기 신너 폐액에 PMA, PM 등의 신너 성분 및 EL, 부틸아세테이트(Butyl acetate, BA) 등의 불순물이 혼합되어 있을 때, 증류의 방법(증류온도 115 내지 130도)으로 분리단계를 거치면 저비점 물질로 혼합된 PM, BA 등이 회수되고, 고비점 물질로 혼합된 PM의 일부, PMA, EL 등이 회수되어, 회수된 저비점 물질은 종래의 공비증류 등을 통해 신너 성분인 PM을 회수할 수 있고, 고비점 물질은 상기 전처리단계 및 증류단계를 거쳐 신너 성분인 PMA, PM을 각각 회수할 수 있게 된다.

이하, 실시예를 통해서 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다. 하지만, 이들은 본 발명을 보다 상세하게 설명하기 위한 것일 뿐, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니다.

<실시예 1> 신너 폐액에서 저비점, 고비점 물질의 분리(분리단계 진행)

하기의 표 1과 같은 조성, 조성비를 가지는 디스플레이 제조공정 후의 신너 폐액을 일반적인 분별 증류 방법(증류온도 125도)을 이용하여, PM 및 BA가 혼합된 저비점 물질을 얻었고, PM의 일부, PMA 및 EL이 혼합된 고비점 물질을 얻었다. 고비점 물질의 G/C 분석결과, 상기 고비점 물질의 PM, PMA 및 EL의 조성비는 도 1에 도시되고 표 2에 기재되 바와 같은데, 상기 고비점 물질에는 대략 2.7%의 EL을 포함되게 된다.

성분(조성)	함량(조성비, area %)
PM	62.3
PMA	36.5
EL	0.7
BA	0.5

성분	함량(area %)
PM	4.6
PMA	92.3
EL	2.7

<실시예 2> 분리단계에서 분리된 신너 폐액(고비점 물질)에서 EL의 제거(전처리단계 진행)

1) 상기 표 2와 같은 조성 및 조성비를 가지는 신너 폐액 250㎖에 20%의 NaOH 수용액(가성수) 24㎖를 가해 3시간 교반하였다(알칼리처리단계 진행). 알칼리처리단계 진행 후 신너 폐액의 G/C 분석결과, 상기 신너 폐액의 조성 및 조성비는 표 3의 구분 1에 기재된 것과 같은데, EL이 분해되어 0.004%까지 감소하였다.

2) 상기 1)의 과정을 거친 신너 페액에 희황산 0.10429g을 첨가하고 pH를 측정하니 3.5이고, 이후 트리에탄올아민을 0.0696g을 참가하고 pH를 측정하니 7.1이 되었다(중화처리단계 진행). pH가 7.1로 된 상기 신너 폐액의 G/C 분석결과, 상기 신너 폐액의 조성 및 조성비는 도 2에 도시되고 표 3의 구분 2에 기재되 바와 같게 된다.

구분	G/C area %
	PM	EL	PMA
1(알칼리처리단계 후)	7.282	0.004	91.11
2(중화처리단계 후)	7.102	0.004	91.39

<실시예 3> EL 대비 첨가되는 NaOH의 양과 반응시간에 따른 EL의 분해도 평가

1) 상기 표 2와 같은 조성 및 조성비를 가지는 신너 폐액(EL 2.74wt% 함유)에 EL 대비 1 내지 3당량에 해당하는 20% 가성수(NaOH의 1당량은 0.93wt%에 해당)를 첨가하였고, 교반시간(반응시간)을 0 내지 3시간으로 한 후의 신너 폐액의 G/C 분석결과, EL 대비 NaOH의 양과 반응시간에 따른 잔존하는 EL의 함량비(단위 G/C area %)는 하기의 표 3 및 도 3, 4와 같다.

2) 하기 표 4 및 도 3, 4를 보면, EL 대비 최소 1.7당량 이상의 가성수가 첨가되고, 최소 15분 이상 반응이 진행되는 경우, 신너 폐액에 존재하는 EL을 분해시켜 EL의 함유량을 0.21% 이하로 줄일 수 있음을 알 수 있다.

	EL대비 첨가되는 NaOH의 양
반응시간(min)	1.0당량	1.2당량	1.5당량	1.7당량	1.9당량	2.0당량	3.0당량
0	2.74	2.74	2.74	2.74	2.74	2.74	2.74
15	1.60	1.40	1.10	0.80	0.34	0.27	0.21
30	0.60	0.57	0.29	0.05	0.05	0.03	0.03
60	0.49	0.47	0.27	0.04	0.03	0.00	0.00
120	0.49	0.44	0.17	0.04	0.03	0.00	0.00
180	0.49	0.44	0.17	0.04	0.03	0.00	0.00

<실시예 4> 회수되는 PMA의 순도 평가(증류단계 진행)

1) 실시예 2의 과정을 거쳐 생성된 신너 폐액을 분별 증류하여 PM과 PMA를 회수하였다. 증류 과정에서 회수되는 물질의 조성 및 조성비는 G/C의 분석결과, 도 5(증류조건 142도, 30분의 경우)에 도시되고 표 5에 기재된 바와 같게 된다.

2) 도 5와 표 5를 통해 본 발명이 신너 폐액의 정제방법을 이용하는 경우 회수되는 PMA의 순도를 99.9 이상으로 높일 수 있음을 알 수 있다.

증류조건		중류되는 물질의 함량(area %)
온도(℃)	시간(min)	PM	EL	PMA
142	75	0.016	0.000	99.948
142	105	0.015	0.000	99.955

이상에서, 출원인은 본 발명의 다양한 실시예들을 설명하였지만, 이와 같은 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 일 실시예일 뿐이며, 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 한 어떠한 변경예 또는 수정예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (13)

1. 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 알킬락테이트를 포함하는 신너 폐액에 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트를 분해시키는 알칼리처리단계를 포함하는 전처리단계와; 상기 전처리단계 이후 신너 폐액을 증류시키는 증류단계;를 포함하며,
   상기 전처리단계는 상기 알칼리처리단계에서 알칼리 화합물을 첨가하여 알킬락테이트가 분해된 신너 폐액을 중화처리하는 중화처리단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 알킬락테이트는
   메틸락테이트, 에틸락테이트 및 메틸 2-메틸 락테이트 중에서 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 알칼리 화합물은
   하이드록시기를 포함하는 알칼리 화합물이 사용되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 알칼리 화합물은
   수산화나트륨, 수산화칼륨, 메톡사이트나트륨 중에서 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
5. 제1항에 있어서,
   상기 알칼리처리단계에서 알킬락테이트 대비 1.7 내지 10당량의 알칼리 화합물이 첨가되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
6. 제1항에 있어서,
   상기 알칼리처리단계에서는 15분 내지 3시간 동안 반응이 진행되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
7. 제1항에 있어서,
   상기 알칼리처리단계에서 알킬락테이트 대비 1.7 내지 10당량의 알칼리 화합물이 첨가되고, 15분 내지 3시간의 반응이 진행되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
8. 삭제
9. 제1항에 있어서, 상기 중화처리단계는
   상기 알킬락테이트가 분해된 신너 폐액에 산성화합물을 첨가한 후, 에탄올아민류 화합물을 첨가하여 행하여지는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 산성화합물은 희황산이 사용되고, 상기 에탄올아민류 화합물은 모노에탄올아민, 디에탄올아민 및 트리에탄올아민 중에서 선택되는 어느 하나 이상이 사용되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 증류단계는
    118 내지 120도의 증류온도에서는 프로필렌글리콜모노메틸에테르가 회수되고, 142 내지 147도의 증류온도에서는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트가 회수되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
12. 제1항에 있어서, 상기 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법은
    상기 전처리단계 전에 신너 폐액에 포함되어 있는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 알킬락테이트 이외의 물질을 제거하는 분리단계:를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 린스용 신너 폐액의 정제방법.
13. 삭제

Images