JPH06327901A - 蒸留再生装置 - Google Patents
蒸留再生装置Info
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- JPH06327901A JPH06327901A JP14550393A JP14550393A JPH06327901A JP H06327901 A JPH06327901 A JP H06327901A JP 14550393 A JP14550393 A JP 14550393A JP 14550393 A JP14550393 A JP 14550393A JP H06327901 A JPH06327901 A JP H06327901A
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- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】蒸留再生される不活性溶剤の純度及び効率の向
上を図ることのできる蒸留再生装置を提供する。 【構成】炭化水素系溶剤が混入する不活性溶剤を溶剤蒸
留室内の溶剤蒸留槽に一旦貯液し、同槽に貯液された不
活性溶剤を溶剤加熱管で加熱して蒸発気化する。溶剤蒸
留室内の上部蒸気領域に放出された不活性溶剤の蒸気を
溶剤蒸留塔に導入して、同塔に装填した各筒体の表面に
沿って不活性溶剤の蒸気を流動させながら整流すると共
に、各筒体の表面に不活性溶剤の蒸気を接触させて蒸留
分離する。つまり、不活性溶剤よりも炭化水素系溶剤の
沸点が高く、且つ、各溶剤の特性が異なるため、炭化水
素系溶剤を多く含んだ不活性溶剤の蒸気が凝縮液化さ
れ、蒸留分離された不活性溶剤の蒸気のみを洗浄工程に
返還供給する。
上を図ることのできる蒸留再生装置を提供する。 【構成】炭化水素系溶剤が混入する不活性溶剤を溶剤蒸
留室内の溶剤蒸留槽に一旦貯液し、同槽に貯液された不
活性溶剤を溶剤加熱管で加熱して蒸発気化する。溶剤蒸
留室内の上部蒸気領域に放出された不活性溶剤の蒸気を
溶剤蒸留塔に導入して、同塔に装填した各筒体の表面に
沿って不活性溶剤の蒸気を流動させながら整流すると共
に、各筒体の表面に不活性溶剤の蒸気を接触させて蒸留
分離する。つまり、不活性溶剤よりも炭化水素系溶剤の
沸点が高く、且つ、各溶剤の特性が異なるため、炭化水
素系溶剤を多く含んだ不活性溶剤の蒸気が凝縮液化さ
れ、蒸留分離された不活性溶剤の蒸気のみを洗浄工程に
返還供給する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、電子部品や
電気部品、或いは、切削部品、プレス部品等のワーク洗
浄に使用された不活性溶剤を蒸留再生するために用いら
れる蒸留再生装置に関する。
電気部品、或いは、切削部品、プレス部品等のワーク洗
浄に使用された不活性溶剤を蒸留再生するために用いら
れる蒸留再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上述例のようなワークを洗浄する
方法としては、例えば、未洗浄のワークを炭化水素系溶
剤で洗浄処理して、同ワーク表面に付着した研磨粉や切
削油等の異物を洗浄除去する前処理を行った後、ワーク
を不活性溶剤で洗浄処理して、同ワーク表面に残着した
炭化水素系溶剤を洗浄除去する後処理を行う洗浄方法が
ある。
方法としては、例えば、未洗浄のワークを炭化水素系溶
剤で洗浄処理して、同ワーク表面に付着した研磨粉や切
削油等の異物を洗浄除去する前処理を行った後、ワーク
を不活性溶剤で洗浄処理して、同ワーク表面に残着した
炭化水素系溶剤を洗浄除去する後処理を行う洗浄方法が
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のように
不活性溶剤と炭化水素系溶剤とを併用する洗浄方法の場
合、炭化水素系溶剤には、例えば、第４類の第２石油類
又は第４類の第３石油類等の溶剤が一般的に多く使用さ
れるが、切削油やプレス油等と比較して、炭化水素系溶
剤の沸点が低いという特性を有している。この為、不活
性溶剤中に炭化水素系溶剤が混入した溶剤を蒸留再生す
るとき、不活性溶剤及び炭化水素系溶剤の混合した蒸気
が発生するだけでなく、不活性溶剤中に炭化水素系溶剤
が微量（約５％）ながら溶解するため、純粋な不活性溶
剤を回収することが技術的に困難である。且つ、蒸留再
生された不活性溶剤でワーク全体を後処理しても、ワー
ク表面に炭化水素溶剤の付着した跡が残るため、不活性
溶剤による洗浄効果が損なわれてしまうという問題点を
有している。
不活性溶剤と炭化水素系溶剤とを併用する洗浄方法の場
合、炭化水素系溶剤には、例えば、第４類の第２石油類
又は第４類の第３石油類等の溶剤が一般的に多く使用さ
れるが、切削油やプレス油等と比較して、炭化水素系溶
剤の沸点が低いという特性を有している。この為、不活
性溶剤中に炭化水素系溶剤が混入した溶剤を蒸留再生す
るとき、不活性溶剤及び炭化水素系溶剤の混合した蒸気
が発生するだけでなく、不活性溶剤中に炭化水素系溶剤
が微量（約５％）ながら溶解するため、純粋な不活性溶
剤を回収することが技術的に困難である。且つ、蒸留再
生された不活性溶剤でワーク全体を後処理しても、ワー
ク表面に炭化水素溶剤の付着した跡が残るため、不活性
溶剤による洗浄効果が損なわれてしまうという問題点を
有している。
【０００４】この発明は上記問題に鑑み、溶剤蒸留室内
の溶剤蒸留塔に装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の
蒸気を接触させることにより、不活性溶剤の蒸気中に含
まれる炭化水素系溶剤が効率よく蒸留分離され、蒸留再
生される不活性溶剤の純度及び効率の向上を図ることが
できる蒸留再生装置の提供を目的とする。
の溶剤蒸留塔に装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の
蒸気を接触させることにより、不活性溶剤の蒸気中に含
まれる炭化水素系溶剤が効率よく蒸留分離され、蒸留再
生される不活性溶剤の純度及び効率の向上を図ることが
できる蒸留再生装置の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の蒸留再生装置
は、上記溶剤蒸留室内の下部貯液領域に不活性溶剤を所
定量貯液する溶剤貯液槽を設け、該溶剤貯液槽内に不活
性溶剤を沸点温度に加熱する溶剤加熱手段を設けると共
に、上記溶剤蒸留室内の上部蒸気領域に不活性溶剤の蒸
気を導入して、該蒸留再生した不活性溶剤の蒸気を塔外
部に排出する溶剤蒸留塔を設け、上記溶剤蒸留塔の蒸気
導入領域に不活性溶剤の蒸気中に含まれる炭化水素系溶
剤を吸着分離する金属製の吸着体を装填した蒸留再生装
置であることを特徴とする。
は、上記溶剤蒸留室内の下部貯液領域に不活性溶剤を所
定量貯液する溶剤貯液槽を設け、該溶剤貯液槽内に不活
性溶剤を沸点温度に加熱する溶剤加熱手段を設けると共
に、上記溶剤蒸留室内の上部蒸気領域に不活性溶剤の蒸
気を導入して、該蒸留再生した不活性溶剤の蒸気を塔外
部に排出する溶剤蒸留塔を設け、上記溶剤蒸留塔の蒸気
導入領域に不活性溶剤の蒸気中に含まれる炭化水素系溶
剤を吸着分離する金属製の吸着体を装填した蒸留再生装
置であることを特徴とする。
【０００６】
【作用】この発明の蒸留再生装置は、炭化水素系溶剤が
混入する不活性溶剤を溶剤蒸留室内の溶剤貯液槽に一旦
貯液した後、同槽に貯液された不活性溶剤を溶剤加熱手
段で加熱して蒸発気化する。溶剤蒸留室内の上部蒸気領
域に放出された不活性溶剤の蒸気を溶剤蒸留塔に導入
し、同塔内部に装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の
蒸気を接触させる。この時、吸着体と接触する不活性溶
剤の蒸気から熱が効率よく吸収されると共に、不活性溶
剤よりも炭化水素系溶剤の沸点が高く、且つ、各溶剤の
特性が異なるため、炭化水素系溶剤を多く含んだ不活性
溶剤の蒸気が凝縮液化され、蒸留分離された不活性溶剤
の蒸気のみを塔外部に排出して洗浄工程に返還供給する
ことができる。
混入する不活性溶剤を溶剤蒸留室内の溶剤貯液槽に一旦
貯液した後、同槽に貯液された不活性溶剤を溶剤加熱手
段で加熱して蒸発気化する。溶剤蒸留室内の上部蒸気領
域に放出された不活性溶剤の蒸気を溶剤蒸留塔に導入
し、同塔内部に装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の
蒸気を接触させる。この時、吸着体と接触する不活性溶
剤の蒸気から熱が効率よく吸収されると共に、不活性溶
剤よりも炭化水素系溶剤の沸点が高く、且つ、各溶剤の
特性が異なるため、炭化水素系溶剤を多く含んだ不活性
溶剤の蒸気が凝縮液化され、蒸留分離された不活性溶剤
の蒸気のみを塔外部に排出して洗浄工程に返還供給する
ことができる。
【０００７】
【発明の効果】この発明によれば、溶剤蒸留室内の溶剤
蒸留塔に装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の蒸気を
接触させるので、沸点や比重等の溶剤特性が異なるた
め、不活性溶剤の蒸気中に含まれる炭化水素系溶剤が効
率よく蒸留分離され、蒸留再生される不活性溶剤の純度
及び効率の向上を図ることができる。しかも、高純度の
不活性溶剤でワークを仕上げ洗浄するため、ワーク表面
に溶剤の付着した跡が残ったりせず、高度な技術を必要
とする洗浄処理が簡単に行え、ワーク表面を綺麗に仕上
げ洗浄することができる。
蒸留塔に装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の蒸気を
接触させるので、沸点や比重等の溶剤特性が異なるた
め、不活性溶剤の蒸気中に含まれる炭化水素系溶剤が効
率よく蒸留分離され、蒸留再生される不活性溶剤の純度
及び効率の向上を図ることができる。しかも、高純度の
不活性溶剤でワークを仕上げ洗浄するため、ワーク表面
に溶剤の付着した跡が残ったりせず、高度な技術を必要
とする洗浄処理が簡単に行え、ワーク表面を綺麗に仕上
げ洗浄することができる。
【０００８】
【実施例】図１は超音波洗浄やシャワー洗浄等の前処理
に炭化水素系溶剤Ｔ（例えば、商品名＝ナフテゾール等
のナフテン系溶剤）を使用する洗浄工程に於いて、ワー
クの後処理に使用される不活性溶剤Ｆ（例えば、ハイド
ロフルオロカーボン＝ＨＦＣ、パーフルオロカーボン＝
ＰＦＣ、パーフルオロポリエーテル＝ＰＦＣ等からなる
単一溶剤又は混合溶剤）を蒸留再生するために用いられ
る第１実施例の蒸留再生装置１を示し、この蒸留再生装
置１は、後処理に使用された不活性溶剤Ｆ（ＰＦ−５０
６０、沸点５６℃）を蒸留する溶剤蒸留室２の下部貯液
領域に、炭化水素系溶剤Ｔ（ナフテゾールＭ、沸点２０
９．５℃〜２３５．５℃）が混入した不活性溶剤Ｆを貯
液する溶剤貯液槽３を連設すると共に、同溶剤蒸留室２
の上部蒸気領域に、不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ中から炭化
水素系溶剤Ｔを蒸留分離する溶剤蒸留塔４を連設してい
る。
に炭化水素系溶剤Ｔ（例えば、商品名＝ナフテゾール等
のナフテン系溶剤）を使用する洗浄工程に於いて、ワー
クの後処理に使用される不活性溶剤Ｆ（例えば、ハイド
ロフルオロカーボン＝ＨＦＣ、パーフルオロカーボン＝
ＰＦＣ、パーフルオロポリエーテル＝ＰＦＣ等からなる
単一溶剤又は混合溶剤）を蒸留再生するために用いられ
る第１実施例の蒸留再生装置１を示し、この蒸留再生装
置１は、後処理に使用された不活性溶剤Ｆ（ＰＦ−５０
６０、沸点５６℃）を蒸留する溶剤蒸留室２の下部貯液
領域に、炭化水素系溶剤Ｔ（ナフテゾールＭ、沸点２０
９．５℃〜２３５．５℃）が混入した不活性溶剤Ｆを貯
液する溶剤貯液槽３を連設すると共に、同溶剤蒸留室２
の上部蒸気領域に、不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ中から炭化
水素系溶剤Ｔを蒸留分離する溶剤蒸留塔４を連設してい
る。
【０００９】上述の溶剤貯液槽３は、同槽底部の内壁面
に炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを蒸発気化
するための溶剤加熱管５を配管し、例えば、適宜温度に
加熱されたオイルや水溶液等の加熱媒体（図示省略）を
溶剤加熱管５内に循環供給して、同槽内部に貯液された
不活性溶剤Ｆが蒸発気化する適宜温度に溶剤加熱管５を
加熱する。且つ、溶剤貯液槽３に貯液される不活性溶剤
Ｆの液面部分よりも上部壁面に回収用バルブ６を介して
溶剤回収路７を接続している。
に炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを蒸発気化
するための溶剤加熱管５を配管し、例えば、適宜温度に
加熱されたオイルや水溶液等の加熱媒体（図示省略）を
溶剤加熱管５内に循環供給して、同槽内部に貯液された
不活性溶剤Ｆが蒸発気化する適宜温度に溶剤加熱管５を
加熱する。且つ、溶剤貯液槽３に貯液される不活性溶剤
Ｆの液面部分よりも上部壁面に回収用バルブ６を介して
溶剤回収路７を接続している。
【００１０】前述の溶剤分離塔４は、同溶剤分離塔４の
中央内部に、例えば、四角形、五角形、六角形等の多面
形状に形成した筒状の塔本体８を垂設し、同塔本体８の
下部位置に炭化水素系溶剤Ｔを滴下するための溶剤滴下
槽９を配設して、同溶剤滴下槽９に貯液される炭化水素
系溶剤Ｔの液面部分に塔本体８の下端側開口部を適宜深
さ浸漬して液封している。
中央内部に、例えば、四角形、五角形、六角形等の多面
形状に形成した筒状の塔本体８を垂設し、同塔本体８の
下部位置に炭化水素系溶剤Ｔを滴下するための溶剤滴下
槽９を配設して、同溶剤滴下槽９に貯液される炭化水素
系溶剤Ｔの液面部分に塔本体８の下端側開口部を適宜深
さ浸漬して液封している。
【００１１】上述の塔本体８は、同塔本体８の外面側周
方向に対して凹形の棚部８ａを連続形成し、同塔本体８
の外面側軸方向に対して複数の各棚部８ａ…を適宜上下
間隔に隔てて形成すると共に、同各棚部８ａ…の下流側
底部に各流下孔８ｅ…を形成している。同塔本体８の各
棚部８ａ…には、例えば、ステンレスやアルミニウム等
の金属材料で断面円筒形（例えば、長さ約５mm）に形成
した多数個の各筒体１０…（例えば、商品名＝ラシヒリ
ング）を適宜密度に集合して装填している。
方向に対して凹形の棚部８ａを連続形成し、同塔本体８
の外面側軸方向に対して複数の各棚部８ａ…を適宜上下
間隔に隔てて形成すると共に、同各棚部８ａ…の下流側
底部に各流下孔８ｅ…を形成している。同塔本体８の各
棚部８ａ…には、例えば、ステンレスやアルミニウム等
の金属材料で断面円筒形（例えば、長さ約５mm）に形成
した多数個の各筒体１０…（例えば、商品名＝ラシヒリ
ング）を適宜密度に集合して装填している。
【００１２】また、塔本体８の各棚部８ａ…に、例え
ば、四角形、五角形、六角形等の断面多角形に形成した
筒体１０を多数個装填したり、後述する第２実施例の交
絡繊維体２８（例えば、商品名＝デミスター）を圧縮成
形して装填するもよい。
ば、四角形、五角形、六角形等の断面多角形に形成した
筒体１０を多数個装填したり、後述する第２実施例の交
絡繊維体２８（例えば、商品名＝デミスター）を圧縮成
形して装填するもよい。
【００１３】且つ、塔本体８の上端側外周面に複数の各
蒸気導入孔８ｂ…を適宜間隔に隔てて形成し、同塔本体
８の上端側周縁部に溶剤蒸留塔４の上面側開口部が閉鎖
される大きさに形成した閉鎖板８ｃを溶着固定し、同閉
鎖板８ｃの下面側中央部に塔本体８の全長よりも短尺寸
法に形成した蒸気排出管８ｄを垂設すると共に、同蒸気
排出管８ｄの上端部に排出用バルブ１１を介して蒸気排
出路１２を接続している。
蒸気導入孔８ｂ…を適宜間隔に隔てて形成し、同塔本体
８の上端側周縁部に溶剤蒸留塔４の上面側開口部が閉鎖
される大きさに形成した閉鎖板８ｃを溶着固定し、同閉
鎖板８ｃの下面側中央部に塔本体８の全長よりも短尺寸
法に形成した蒸気排出管８ｄを垂設すると共に、同蒸気
排出管８ｄの上端部に排出用バルブ１１を介して蒸気排
出路１２を接続している。
【００１４】以下、ワークの後処理に使用された不活性
溶剤Ｆを蒸留再生装置１により蒸留再生するときの方法
を説明する。
溶剤Ｆを蒸留再生装置１により蒸留再生するときの方法
を説明する。
【００１５】先ず、回収用バルブ６を開操作して、炭化
水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを溶剤回収路７を
介して溶剤蒸留室２内の溶剤貯液槽３に一旦貯液し、同
槽に貯液した不活性溶剤Ｆを溶剤加熱管５で適宜温度に
加熱して蒸発気化させ、溶剤蒸留室２内の上部蒸気領域
に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを放出する。なお、超音波洗
浄やシャワー洗浄等の前処理に炭化水素系溶剤Ｔを使用
した場合、後処理に使用される不活性溶剤Ｆには炭化水
素系溶剤Ｔが若干量混入しており、溶剤貯液槽３内に貯
液された不活性溶剤Ｆを蒸発気化させると、不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａ中に炭化水素系溶剤Ｔが混入する。
水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを溶剤回収路７を
介して溶剤蒸留室２内の溶剤貯液槽３に一旦貯液し、同
槽に貯液した不活性溶剤Ｆを溶剤加熱管５で適宜温度に
加熱して蒸発気化させ、溶剤蒸留室２内の上部蒸気領域
に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを放出する。なお、超音波洗
浄やシャワー洗浄等の前処理に炭化水素系溶剤Ｔを使用
した場合、後処理に使用される不活性溶剤Ｆには炭化水
素系溶剤Ｔが若干量混入しており、溶剤貯液槽３内に貯
液された不活性溶剤Ｆを蒸発気化させると、不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａ中に炭化水素系溶剤Ｔが混入する。
【００１６】次に、溶剤蒸留室２内の上部蒸気領域に放
出された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを溶剤蒸留塔４内に導
入して、同溶剤蒸留塔４内に垂設した塔本体８の各棚部
８ａ…に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを流入させ、各棚部８
ａ…に装填した各筒体１０…の表面に沿って不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａを上昇流動させながら整流すると共に、各
筒体１０…と接触するときに炭化水素系溶剤Ｔが多く含
まれた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸留分離する。つま
り、各筒体１０…の小さな孔及び各筒体１０…の隙間を
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが通過するとき、各筒体１０…
の表面積が大きいため、各筒体１０…の表面に接触する
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａから熱が効率よく吸収されると
共に、不活性溶剤Ｆよりも炭化水素系溶剤Ｔの沸点が高
く、且つ、各溶剤Ｆ，Ｔの特性が異なるため、炭化水素
系溶剤Ｔを多く含んだ不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが凝縮液
化される。
出された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを溶剤蒸留塔４内に導
入して、同溶剤蒸留塔４内に垂設した塔本体８の各棚部
８ａ…に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを流入させ、各棚部８
ａ…に装填した各筒体１０…の表面に沿って不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａを上昇流動させながら整流すると共に、各
筒体１０…と接触するときに炭化水素系溶剤Ｔが多く含
まれた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸留分離する。つま
り、各筒体１０…の小さな孔及び各筒体１０…の隙間を
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが通過するとき、各筒体１０…
の表面積が大きいため、各筒体１０…の表面に接触する
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａから熱が効率よく吸収されると
共に、不活性溶剤Ｆよりも炭化水素系溶剤Ｔの沸点が高
く、且つ、各溶剤Ｆ，Ｔの特性が異なるため、炭化水素
系溶剤Ｔを多く含んだ不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが凝縮液
化される。
【００１７】次に、凝縮液化した炭化水素系溶剤Ｔを各
筒体１０…の表面に順次付着させると共に、同各筒体１
０…の表面に付着する炭化水素系溶剤Ｔを互いに合体さ
せながら自重流下する。凝縮液化した炭化水素系溶剤Ｔ
は塔本体８及び各棚部８ａ…の表面に沿って自重流下
し、塔本体８の下部位置に配設した溶剤滴下槽９内に滴
下される。同溶剤滴下槽９内に貯液された炭化水素系溶
剤Ｔをオーバーフローさせて溶剤貯液槽３に返還する。
筒体１０…の表面に順次付着させると共に、同各筒体１
０…の表面に付着する炭化水素系溶剤Ｔを互いに合体さ
せながら自重流下する。凝縮液化した炭化水素系溶剤Ｔ
は塔本体８及び各棚部８ａ…の表面に沿って自重流下
し、塔本体８の下部位置に配設した溶剤滴下槽９内に滴
下される。同溶剤滴下槽９内に貯液された炭化水素系溶
剤Ｔをオーバーフローさせて溶剤貯液槽３に返還する。
【００１８】同時に、溶剤蒸留塔４内に導入される不活
性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、塔本体８の各棚部８ａ…に装填
した各筒体１０…に順次接触させて蒸留分離すると共
に、溶剤蒸留塔４内の上部蒸気領域に蒸留分離された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａのみを上昇させ、各蒸気導入孔８
ｂ…を介して、塔本体８の内部空間に蒸留分離された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを順次導入する。蒸留分離された
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを排出する場合、排出用バルブ
１１を開操作して、塔本体８の内部空間に導入された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸気排出管８ｄ及び蒸気排出路
１２を介して槽外部に排出し、蒸留再生された不活性溶
剤Ｆの蒸気Ｆａを、例えば、超音波洗浄、浸漬洗浄、蒸
気洗浄、シャワー洗浄等の後処理工程に返還供給する。
性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、塔本体８の各棚部８ａ…に装填
した各筒体１０…に順次接触させて蒸留分離すると共
に、溶剤蒸留塔４内の上部蒸気領域に蒸留分離された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａのみを上昇させ、各蒸気導入孔８
ｂ…を介して、塔本体８の内部空間に蒸留分離された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを順次導入する。蒸留分離された
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを排出する場合、排出用バルブ
１１を開操作して、塔本体８の内部空間に導入された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸気排出管８ｄ及び蒸気排出路
１２を介して槽外部に排出し、蒸留再生された不活性溶
剤Ｆの蒸気Ｆａを、例えば、超音波洗浄、浸漬洗浄、蒸
気洗浄、シャワー洗浄等の後処理工程に返還供給する。
【００１９】以上のように、溶剤蒸留塔４に装填した金
属製の各筒体１０…に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを接触さ
せるので、金属製の各筒体１０…と不活性溶剤Ｆの蒸気
Ｆａとの接触面積が大きく、且つ、沸点や比重等の溶剤
特性が異なるため、不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ中に含まれ
る炭化水素系溶剤Ｔが効率よく蒸留分離され、蒸留再生
される不活性溶剤Ｆの純度及び効率の向上を図ることが
できる。しかも、高純度の不活性溶剤Ｆでワークを仕上
げ洗浄するため、ワーク表面に溶剤の付着した跡が残っ
たりせず、高度な技術を必要とする洗浄処理が簡単に行
え、ワーク表面を綺麗に仕上げ洗浄することができる。
属製の各筒体１０…に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを接触さ
せるので、金属製の各筒体１０…と不活性溶剤Ｆの蒸気
Ｆａとの接触面積が大きく、且つ、沸点や比重等の溶剤
特性が異なるため、不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ中に含まれ
る炭化水素系溶剤Ｔが効率よく蒸留分離され、蒸留再生
される不活性溶剤Ｆの純度及び効率の向上を図ることが
できる。しかも、高純度の不活性溶剤Ｆでワークを仕上
げ洗浄するため、ワーク表面に溶剤の付着した跡が残っ
たりせず、高度な技術を必要とする洗浄処理が簡単に行
え、ワーク表面を綺麗に仕上げ洗浄することができる。
【００２０】図２はワークの後処理に使用された不活性
溶剤Ｆを蒸留再生するために用いられる第２実施例の蒸
留再生装置１５を示し、この蒸留再生装置１５は、後処
理に使用された不活性溶剤Ｆを蒸留する溶剤蒸留室１６
の下部貯液領域に、炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性
溶剤Ｆを貯液する溶剤貯液槽１７を連設すると共に、同
溶剤蒸留室１６の上部蒸気領域に、不活性溶剤Ｆの蒸気
Ｆａ中から炭化水素系溶剤Ｔを蒸留分離する各溶剤蒸留
塔１８…を複数配設している。
溶剤Ｆを蒸留再生するために用いられる第２実施例の蒸
留再生装置１５を示し、この蒸留再生装置１５は、後処
理に使用された不活性溶剤Ｆを蒸留する溶剤蒸留室１６
の下部貯液領域に、炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性
溶剤Ｆを貯液する溶剤貯液槽１７を連設すると共に、同
溶剤蒸留室１６の上部蒸気領域に、不活性溶剤Ｆの蒸気
Ｆａ中から炭化水素系溶剤Ｔを蒸留分離する各溶剤蒸留
塔１８…を複数配設している。
【００２１】上述の溶剤貯液槽１７は、同槽底部の内壁
面に炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを蒸発気
化するための溶剤加熱管１９を配管し、例えば、適宜温
度に加熱されたオイルや水溶液等の加熱媒体（図示省
略）を溶剤加熱管１９内に循環供給して、同槽底部に貯
液された不活性溶剤Ｆが蒸発気化する適宜温度に溶剤加
熱管１９を加熱する。且つ、溶剤貯液槽１７に貯液され
る不活性溶剤Ｆの液面部分よりも上部壁面に回収用バル
ブ２０を介して溶剤回収路２１を接続している。
面に炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを蒸発気
化するための溶剤加熱管１９を配管し、例えば、適宜温
度に加熱されたオイルや水溶液等の加熱媒体（図示省
略）を溶剤加熱管１９内に循環供給して、同槽底部に貯
液された不活性溶剤Ｆが蒸発気化する適宜温度に溶剤加
熱管１９を加熱する。且つ、溶剤貯液槽１７に貯液され
る不活性溶剤Ｆの液面部分よりも上部壁面に回収用バル
ブ２０を介して溶剤回収路２１を接続している。
【００２２】前述の各溶剤蒸留塔１８…は、同各溶剤蒸
留塔１８…の内部空間にＵ字形の各蒸留通路２２…を形
成し、同各蒸留通路２２…の下部領域に炭化水素系溶剤
Ｔを滴下するための各溶剤滴下槽２３…を配設してい
る。且つ、各溶剤滴下槽２３…に貯液される炭化水素系
溶剤Ｔの液面部分と対応する側壁面と、溶剤貯液槽１７
に貯液される不活性溶剤Ｆの液面部分よりも上部壁面と
を各返還用バルブ２４…を介して各溶剤返還路２５…で
接続している。
留塔１８…の内部空間にＵ字形の各蒸留通路２２…を形
成し、同各蒸留通路２２…の下部領域に炭化水素系溶剤
Ｔを滴下するための各溶剤滴下槽２３…を配設してい
る。且つ、各溶剤滴下槽２３…に貯液される炭化水素系
溶剤Ｔの液面部分と対応する側壁面と、溶剤貯液槽１７
に貯液される不活性溶剤Ｆの液面部分よりも上部壁面と
を各返還用バルブ２４…を介して各溶剤返還路２５…で
接続している。
【００２３】上述の各蒸留通路２２…は、溶剤蒸留室１
６の上部蒸気領域と、前段側の蒸留通路２２に形成した
流入口２２ａとを連通接続し、前段側の蒸留通路２２に
形成した流出口２２ｂと、後段側の蒸留通路２２に形成
した流入口２２ａとを連通接続し、後段側の蒸留通路２
２に形成した流出口２２ｂに排出用バルブ２６を介して
蒸気排出路２７を接続している。且つ、各蒸留通路２２
…の入口側内部に形成した網状の各棚部２２ｃ…に、例
えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料で線条体
２８ａを形成すると共に、同線条体２８ａを交絡してな
る交絡繊維体２８（例えば、商品名＝デミスター）を適
宜密度に圧縮成形して装填している。なお、蒸留通路２
２の棚部２２ｃに、上述した第１実施例の筒体１０（商
品名＝ラシヒリング）を多数個装填するもよい。
６の上部蒸気領域と、前段側の蒸留通路２２に形成した
流入口２２ａとを連通接続し、前段側の蒸留通路２２に
形成した流出口２２ｂと、後段側の蒸留通路２２に形成
した流入口２２ａとを連通接続し、後段側の蒸留通路２
２に形成した流出口２２ｂに排出用バルブ２６を介して
蒸気排出路２７を接続している。且つ、各蒸留通路２２
…の入口側内部に形成した網状の各棚部２２ｃ…に、例
えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料で線条体
２８ａを形成すると共に、同線条体２８ａを交絡してな
る交絡繊維体２８（例えば、商品名＝デミスター）を適
宜密度に圧縮成形して装填している。なお、蒸留通路２
２の棚部２２ｃに、上述した第１実施例の筒体１０（商
品名＝ラシヒリング）を多数個装填するもよい。
【００２４】以下、ワークの後処理に使用された不活性
溶剤Ｆを蒸留再生装置１５により蒸留再生するときの方
法を説明する。
溶剤Ｆを蒸留再生装置１５により蒸留再生するときの方
法を説明する。
【００２５】先ず、回収用バルブ２０を開操作して、炭
化水素系溶剤Ｔの混入した不活性溶剤Ｆを溶剤回収路２
１を介して溶剤蒸留室１６内の溶剤貯液槽１７に一旦貯
液し、同槽に貯液した不活性溶剤Ｆを溶剤加熱管１９で
適宜温度に加熱して蒸発気化させ、溶剤蒸留室１６内の
上部蒸気領域に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを放出する。
化水素系溶剤Ｔの混入した不活性溶剤Ｆを溶剤回収路２
１を介して溶剤蒸留室１６内の溶剤貯液槽１７に一旦貯
液し、同槽に貯液した不活性溶剤Ｆを溶剤加熱管１９で
適宜温度に加熱して蒸発気化させ、溶剤蒸留室１６内の
上部蒸気領域に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを放出する。
【００２６】次に、溶剤蒸留室２内の上部蒸気領域に放
出された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、前段側の溶剤蒸留
塔１８に形成した蒸留通路２２と、後段側の溶剤蒸留塔
１８に形成した蒸留通路２２とに順次導入し、同各蒸留
通路２２…に装填した各交絡繊維体２８…の繊維隙間に
沿って不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを流動させながら整流す
ると共に、各交絡繊維体２８…を通過するときに炭化水
素系溶剤Ｔが多く含まれた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸
留分離する。つまり、交絡繊維体２８の繊維隙間を不活
性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが通過するとき、交絡繊維体２８を
構成する線条体２８ａとの接触により不活性溶剤Ｆの蒸
気Ｆａから熱が効率よく吸収されると共に、不活性溶剤
Ｆよりも炭化水素系溶剤Ｔの沸点が高く、且つ、各溶剤
Ｆ，Ｔの特性が異なるため、炭化水素系溶剤Ｔを多く含
んだ不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが凝縮液化される。
出された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、前段側の溶剤蒸留
塔１８に形成した蒸留通路２２と、後段側の溶剤蒸留塔
１８に形成した蒸留通路２２とに順次導入し、同各蒸留
通路２２…に装填した各交絡繊維体２８…の繊維隙間に
沿って不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを流動させながら整流す
ると共に、各交絡繊維体２８…を通過するときに炭化水
素系溶剤Ｔが多く含まれた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸
留分離する。つまり、交絡繊維体２８の繊維隙間を不活
性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが通過するとき、交絡繊維体２８を
構成する線条体２８ａとの接触により不活性溶剤Ｆの蒸
気Ｆａから熱が効率よく吸収されると共に、不活性溶剤
Ｆよりも炭化水素系溶剤Ｔの沸点が高く、且つ、各溶剤
Ｆ，Ｔの特性が異なるため、炭化水素系溶剤Ｔを多く含
んだ不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが凝縮液化される。
【００２７】同時に、凝縮液化した炭化水素系溶剤Ｔを
各交絡繊維体２８…に順次付着させると共に、同各交絡
繊維体２８…に付着する炭化水素系溶剤Ｔを互いに合体
させて各溶剤滴下槽２３…内に順次滴下する。後段側の
溶剤蒸留塔１８に形成した蒸留通路２２の出口側蒸気領
域に、蒸留分離された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａのみを流
動させ、排出用バルブ２６を開操作して、同蒸留通路２
２の出口側蒸気領域に流動した不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ
を蒸気排出路２７を介して槽外部に排出し、蒸留再生さ
れた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、例えば、超音波洗浄、
浸漬洗浄、蒸気洗浄、シャワー洗浄等の後処理工程に返
還供給する。且つ、各返還用バルブ２４…を開操作し
て、各溶剤滴下槽２３…の液面部分に浮遊する不活性溶
剤Ｆを各溶剤返還路２５…を介して溶剤貯液槽１７に夫
々返還する。
各交絡繊維体２８…に順次付着させると共に、同各交絡
繊維体２８…に付着する炭化水素系溶剤Ｔを互いに合体
させて各溶剤滴下槽２３…内に順次滴下する。後段側の
溶剤蒸留塔１８に形成した蒸留通路２２の出口側蒸気領
域に、蒸留分離された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａのみを流
動させ、排出用バルブ２６を開操作して、同蒸留通路２
２の出口側蒸気領域に流動した不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ
を蒸気排出路２７を介して槽外部に排出し、蒸留再生さ
れた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、例えば、超音波洗浄、
浸漬洗浄、蒸気洗浄、シャワー洗浄等の後処理工程に返
還供給する。且つ、各返還用バルブ２４…を開操作し
て、各溶剤滴下槽２３…の液面部分に浮遊する不活性溶
剤Ｆを各溶剤返還路２５…を介して溶剤貯液槽１７に夫
々返還する。
【００２８】以上のように、溶剤蒸留塔１８に装填した
金属製の交絡繊維体２８に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを接
触させるので、第１実施例の装置と同様に、不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａ中に含まれる炭化水素系溶剤Ｔが効率よく
蒸留分離されると共に、第１実施例の溶剤蒸留塔４に装
填される筒体１０の密度よりも、第２実施例の溶剤蒸留
塔１８に装填される交絡繊維体２８の密度が高いため、
第１実施例の溶剤蒸留装置１よりも蒸留効率が向上し、
高純度の不活性溶剤Ｆを蒸留再生することができる。
金属製の交絡繊維体２８に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを接
触させるので、第１実施例の装置と同様に、不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａ中に含まれる炭化水素系溶剤Ｔが効率よく
蒸留分離されると共に、第１実施例の溶剤蒸留塔４に装
填される筒体１０の密度よりも、第２実施例の溶剤蒸留
塔１８に装填される交絡繊維体２８の密度が高いため、
第１実施例の溶剤蒸留装置１よりも蒸留効率が向上し、
高純度の不活性溶剤Ｆを蒸留再生することができる。
【００２９】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の吸着体は、第１実施例の筒体１０
と、第２実施例の交絡繊維体２８とに対応するも、この
発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるものでは
ない。
において、この発明の吸着体は、第１実施例の筒体１０
と、第２実施例の交絡繊維体２８とに対応するも、この
発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるものでは
ない。
【００３０】第１実施例の蒸留再生装置１は、溶剤蒸留
室２内の溶剤蒸留塔４に金属製の各筒体１０…を装填
し、第２実施例の蒸留再生装置１５は、溶剤蒸留室１６
内の溶剤蒸留塔１８に金属製の交絡繊維体２８を装填し
ているが、例えば、溶剤蒸留室２内の溶剤蒸留塔４に金
属製の交絡繊維体２８を装填し、溶剤蒸留室１６内の溶
剤蒸留塔１８に金属製の各筒体１０…を装填するもよ
く、溶剤の特性に応じて金属製の筒体１０又は交絡繊維
体２８の何れかを選択使用する。且つ、金属製の筒体１
０及び交絡繊維体２８を複合して使用するもよい。
室２内の溶剤蒸留塔４に金属製の各筒体１０…を装填
し、第２実施例の蒸留再生装置１５は、溶剤蒸留室１６
内の溶剤蒸留塔１８に金属製の交絡繊維体２８を装填し
ているが、例えば、溶剤蒸留室２内の溶剤蒸留塔４に金
属製の交絡繊維体２８を装填し、溶剤蒸留室１６内の溶
剤蒸留塔１８に金属製の各筒体１０…を装填するもよ
く、溶剤の特性に応じて金属製の筒体１０又は交絡繊維
体２８の何れかを選択使用する。且つ、金属製の筒体１
０及び交絡繊維体２８を複合して使用するもよい。
【００３１】また、各蒸留再生装置１，１５を構成する
各溶剤蒸留塔４，１８の塔数、塔本体８に形成した棚部
８ａ及び蒸留通路２２に形成した棚部２２ｃの段数は、
各実施例の構成のみに限定されるものではなく、溶剤の
特性に応じて塔数及び段数を変更するもよい。
各溶剤蒸留塔４，１８の塔数、塔本体８に形成した棚部
８ａ及び蒸留通路２２に形成した棚部２２ｃの段数は、
各実施例の構成のみに限定されるものではなく、溶剤の
特性に応じて塔数及び段数を変更するもよい。
【００３２】さらにまた、各溶剤蒸留塔４，１８の通過
時に蒸留分離された炭化水素系溶剤Ｔを、同塔下部に配
設した各溶剤貯液槽３，１７に滴下供給して再度蒸留再
生するもよい。
時に蒸留分離された炭化水素系溶剤Ｔを、同塔下部に配
設した各溶剤貯液槽３，１７に滴下供給して再度蒸留再
生するもよい。
【図１】第１実施例の蒸留再生装置による蒸留方法を示
す縦断側面図。
す縦断側面図。
【図２】第２実施例の蒸留再生装置による蒸留方法を示
す縦断側面図。
す縦断側面図。
Ｆ…不活性溶剤 Ｆａ…蒸気 Ｔ…炭化水素系溶剤 １…蒸留再生装置 ２…溶剤蒸留室 ３…溶剤貯液槽 ４…溶剤蒸留塔 ８…塔本体 ８ａ…棚部 １０…筒体 １５…蒸留再生装置 １６…溶剤蒸留室 １７…溶剤貯液槽 １８…溶剤蒸留塔 ２２…蒸気通路 ２２ｃ…棚部 ２８…交絡繊維体
Claims (1)
- 【請求項１】炭化水素系溶剤が混入した不活性溶剤を溶
剤蒸留室内に回収して蒸留再生する蒸留再生装置であっ
て、上記溶剤蒸留室内の下部貯液領域に不活性溶剤を所
定量貯液する溶剤貯液槽を設け、該溶剤貯液槽内に不活
性溶剤を沸点温度に加熱する溶剤加熱手段を設けると共
に、上記溶剤蒸留室内の上部蒸気領域に不活性溶剤の蒸
気を導入して、該蒸留再生した不活性溶剤の蒸気を塔外
部に排出する溶剤蒸留塔を設け、上記溶剤蒸留塔の蒸気
導入領域に不活性溶剤の蒸気中に含まれる炭化水素系溶
剤を吸着分離する金属製の吸着体を装填した蒸留再生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5145503A JP2537127B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 蒸留再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5145503A JP2537127B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 蒸留再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06327901A true JPH06327901A (ja) | 1994-11-29 |
| JP2537127B2 JP2537127B2 (ja) | 1996-09-25 |
Family
ID=15386769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5145503A Expired - Lifetime JP2537127B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 蒸留再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2537127B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998049554A1 (fr) * | 1997-04-28 | 1998-11-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Procede et appareil pour concentrer une solution |
| JP2002370001A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-24 | Shin Ootsuka Kk | 溶剤分離装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5779880A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-19 | Tsuneyuki Kobayashi | Kit for a plurality of sensitivity tests |
| JPS58183226U (ja) * | 1982-06-01 | 1983-12-06 | 日鉄化工機株式会社 | 充填物 |
| JPS6015913A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Tokuyama Soda Co Ltd | 半導体基材の処理方法 |
| JPS6157235A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-03-24 | デ−ル エドワ−ド ナタ− | 気液接触装置における充填床のための充填部材 |
| JPH0188788U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-12 | ||
| JPH0531355A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-09 | Tokyo Tokushu Kanaami Kk | 気液接触用充填物 |
-
1993
- 1993-05-24 JP JP5145503A patent/JP2537127B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5779880A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-19 | Tsuneyuki Kobayashi | Kit for a plurality of sensitivity tests |
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| JPS6015913A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Tokuyama Soda Co Ltd | 半導体基材の処理方法 |
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| JPH0188788U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-12 | ||
| JPH0531355A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-09 | Tokyo Tokushu Kanaami Kk | 気液接触用充填物 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998049554A1 (fr) * | 1997-04-28 | 1998-11-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Procede et appareil pour concentrer une solution |
| JP2002370001A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-24 | Shin Ootsuka Kk | 溶剤分離装置 |
| JP4689084B2 (ja) * | 2001-06-13 | 2011-05-25 | 新オオツカ株式会社 | 溶剤分離装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2537127B2 (ja) | 1996-09-25 |
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