JP2537127B2 - 蒸留再生装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、電子部品や
電気部品、或いは、切削部品、プレス部品等のワーク洗
浄に使用されたＨＦＣ、ＰＦＣ、ＰＦＥなどの不活性溶
剤を蒸留再生するために用いるような蒸留再生装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、上述例のようなワークを洗浄する
方法としては、例えば、未洗浄のワークを炭化水素系溶
剤（例えばＨＣ）で洗浄処理して、同ワーク表面に付着
した研磨粉や切削油等の異物を洗浄除去する前処理を行
った後、ワークを上述のＨＦＣ、ＰＦＣ、ＰＦＥなどの
不活性溶剤で洗浄処理（すすぎ処理）して、同ワーク表
面に残着した炭化水素系溶剤を洗浄除去（すすぎ除去）
する後処理を行う洗浄方法がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のように
不活性溶剤と炭化水素系溶剤とを併用する洗浄方法の場
合、炭化水素系溶剤には、例えば、第４類の第２石油類
又は第４類の第３石油類等の溶剤が一般的に多く使用さ
れるが、切削油やプレス油等と比較して、炭化水素系溶
剤の沸点が低いという特性を有している。このため、不
活性溶剤中に炭化水素系溶剤が混入した溶剤を蒸留再生
する時、不活性溶剤および炭化水素系溶剤の混合した蒸
気が発生するだけでなく、不活性溶剤中に炭化水素系溶
剤が微量（約５％）ながら溶解するため、純粋な不活性
溶剤を回収することが技術的に困難である。かつ、蒸留
再生された不活性溶剤でワーク全体を後処理しても、ワ
ーク表面に炭化水素溶剤の付着した跡が残るため、不活
性溶剤による洗浄効果が損なわれる問題点があった。

【０００４】この発明は、溶剤蒸留室内の溶剤蒸留塔に
装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の蒸気を接触させ
ることにより、不活性溶剤の蒸気中に含まれる炭化水素
系溶剤が効率よく蒸留分離され、蒸留再生される不活性
溶剤の純度および効率の向上を図ることができ、さらに
溶剤蒸留室を密封構成と成すことで、再生蒸留された高
純度の不活性溶剤蒸気を再生蒸気取出手段からロスなく
取出すことができ、特にＰＦＣのような揮発性が大なる
溶剤の蒸留再生に極めて有効な蒸留再生装置の提供を目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、炭化水素系
溶剤（Ｔ）が混入した不活性溶剤（Ｆ）を溶剤蒸留室
（２，１６）内に回収して蒸留再生する蒸留再生装置で
あって、上記溶剤蒸留室（２，１６）内の下部貯液領域
に不活性溶剤（Ｆ）を所定量貯液する溶剤貯液槽（３，
１７）を設け、該溶剤貯液槽（３，１７）内に不活性溶
剤（Ｆ）を沸点温度に加熱する溶剤加熱手段（５，１
９）を設けると共に、上記溶剤蒸留室（２，１６）内の
上部蒸気領域に不活性溶剤（Ｆ）の蒸気（Ｆａ）を導入
して、該蒸留再生する溶剤蒸留塔（４，１８）を設け、
上記溶剤蒸留塔（４，１８）の蒸気導入領域に不活性溶
剤（Ｆ）の蒸気（Ｆａ）中に含まれる炭化水素系溶剤
（Ｔ）を吸着分離する金属製の吸着体（１０，２８）を
装填すると共に、溶剤蒸留塔（４，１８）の下部領域に
炭化水素系溶剤（Ｔ）を貯液する溶剤滴下槽（９，２
３）を設け、上記溶剤蒸留塔（４，１８）には蒸留再生
された不活性溶剤（Ｆ）の蒸気（Ｆａ）を塔外部に取出
す再生蒸気取出手段（１２，２７）を設け、さらに上記
溶剤蒸留塔（４，１８）を含む溶剤蒸留室（２，１６）
を密封構造と成した蒸留再生装置であることを特徴とす
る。

【０００６】

【作用】この発明によれば、炭化水素系溶剤が混入した
不活性溶剤を溶剤蒸留室内の溶剤貯液槽に一旦貯液した
後、同槽に貯液された不活性溶剤を溶剤加熱手段で加熱
して蒸発気化する。溶剤蒸留室内の上部蒸気領域に放出
された不活性溶剤の蒸気を溶剤蒸留塔に導入し、同塔内
部に装填した金属製の吸着体に不活性溶剤の蒸気を接触
させる。この時、吸着体と接触する不活性溶剤の蒸気か
ら熱が効率よく吸収されると共に、不活性溶剤よりも炭
化水素系溶剤の沸点が高く、かつ、各溶剤の特性が異な
るため、炭化水素系溶剤を多く含んだ不活性溶剤の蒸気
から炭化水素系溶剤が凝縮液化されて溶剤滴下槽に貯液
すると共に、蒸留分離された高純度の不活性溶剤の蒸気
のみを再生蒸気取出手段を介して塔外部に取出して洗浄
工程に返還供給することができる。

【０００７】

【発明の効果】このように、この発明によれば、溶剤蒸
留室内の溶剤蒸留塔に装填した金属製の吸着体に不活性
溶剤の蒸気を接触させるので、沸点や比重等の溶剤特性
が異なるため、不活性溶剤の蒸気中に含まれる炭化水素
系溶剤が効率よく蒸留分離され、蒸留再生される不活性
溶剤の純度および効率の向上を図ることができる。さら
に、上述の溶剤蒸留室を密封構造と成したので、再生蒸
留された高純度の不活性溶剤蒸気を再生蒸気取出手段か
らロスなく取出すことができ、特にＰＦＣのような揮発
性が大なる溶剤の蒸留再生に極めて有効となり、溶剤ロ
スの大幅な低減を図ることができる効果がある。なお、
上述のような高純度の不活性溶剤でワークを仕上げ洗浄
すると、ワーク表面に溶剤の付着した跡が残ったりせ
ず、高度な技術を必要とする洗浄処理が簡単に行え、ワ
ーク表面を綺麗に仕上げ洗浄することができる。

【０００８】さらに、分離した炭化水素系溶剤を溶剤滴
下槽に貯液することで、該溶剤液を溶剤蒸留塔から取出
したり、または、該塔の液封に利用することができる。

【０００９】

【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面は蒸留再生装置を示し、図１は超音波洗浄
やシャワー洗浄等の前処理に炭化水素系溶剤Ｔ（例え
ば、商品名＝ナフテゾール等のナフテン系溶剤）を使用
する洗浄工程において、ワークの後処理に使用される不
活性溶剤Ｆ（例えば、ハイドロフルオロカーボン＝ＨＦ
Ｃ、パーフロオロカーボン＝ＰＦＣ、パーフルオロポリ
エーテル＝ＰＦＥ等からなる単一溶剤又は混合溶剤）を
蒸留再生するために用いられる第１実施例の蒸留再生装
置１を示し、この蒸留再生装置１は、後処理に使用され
た不活性溶剤Ｆ（ＰＦ−５０６０、沸点５６℃）を蒸留
する密封構造の溶剤蒸留室２の下部貯液領域に、炭化水
素系溶剤Ｔ（ナフテゾールＭ、沸点２０９．５℃〜２３
５．５℃）が混入した不活性溶剤Ｆを貯液する溶剤貯液
槽３を連設すると共に、同溶剤蒸留室２の上部蒸気領域
に、不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ中から炭化水素系溶剤Ｔを
蒸留分離する溶剤蒸留塔４を連設している。

【００１０】上述の溶剤貯液槽３は、同槽底部の内壁面
に炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを蒸発気化
するための溶剤加熱管５を配管し、例えば、適宜温度に
加熱されたオイルや水溶液等の加熱媒体（図示省略）を
溶剤加熱管５内に循環供給して、同槽内部に貯液された
不活性溶剤Ｆが蒸発気化する適宜温度に溶剤加熱管５を
加熱する。かつ、溶剤貯液槽３に貯液される不活性溶剤
Ｆの液面部分よりも上部壁面に回収用バルブ６を介して
溶剤回収路７を接続している。

【００１１】前述の溶剤蒸留塔４は、同溶剤蒸留塔４の
中央内部に、例えば、四角形、五角形、六角形等の多面
形状に形成した筒状の塔本体８を垂設し、同塔本体８の
下部位置に炭化水素系溶剤Ｔを滴下するための溶剤滴下
槽９を配設して、同溶剤滴下槽９に貯液される炭化水素
系溶剤Ｔの液面部分に塔本体８の下端側開口部を適宜深
さ浸漬して液封している。

【００１２】上述の塔本体８は、同塔本体８の外面側周
方向に対して凹形の棚部８ａを連続形成し、同塔本体８
の外面側軸方向に対して複数の各棚部８ａ…を適宜上下
間隔に隔てて形成すると共に、同各棚部８ａ…の下流側
底部に各流下孔８ｅ…を形成している。同塔本体８の各
棚部８ａ…には、例えば、ステンレスやアルミニウム等
の金属材料で断面円筒形（例えば、長さ約５mm）に形成
した多数個の各筒体１０…（例えば、商品名＝ラシヒリ
ング）を適宜密度に集合して装填している。

【００１３】また、塔本体８の各棚部８ａ…に、例え
ば、四角形、五角形、六角形等の断面多角形に形成した
筒体１０を多数個装填したり、後述する第２実施例の交
絡繊維体２８（例えば、商品名＝デミスター）を圧縮成
形して装填するもよい。

【００１４】さらに、塔本体８の上端側外周面に複数の
各蒸気導入孔８ｂ…を適宜間隔に隔てて形成し、同塔本
体８の上端側周縁部に溶剤蒸留塔４の上面側開口部が閉
鎖される大きさに形成した閉鎖板８ｃを溶着固定し、同
閉鎖板８ｃの下面側中央部に塔本体８の全長よりも短尺
寸法に形成した蒸気排出管８ｄを垂設すると共に、同蒸
気排出管８ｄの上端部に排出用バルブ１１を介して蒸気
排出路１２を接続している。

【００１５】以下、ワークの後処理に使用された不活性
溶剤Ｆを蒸留再生装置１により蒸留再生する作用を説明
する。

【００１６】まず、回収用バルブ６を開操作して、炭化
水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを溶剤回収路７を
介して溶剤蒸留室２内の溶剤貯液槽３に一旦貯液し、同
槽に貯液した不活性溶剤Ｆを溶剤加熱管５で適宜温度に
加熱して蒸発気化させ、溶剤蒸留室２内の上部蒸気領域
に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを放出する。なお、超音波洗
浄やシャワー洗浄等の前処理に炭化水素系溶剤Ｔを使用
した場合、後処理に使用される不活性溶剤Ｆには炭化水
素系溶剤Ｔが若干量混入しており、溶剤貯液槽３内に貯
液された不活性溶剤Ｆを蒸発気化させると、不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａ中に炭化水素系溶剤Ｔが混入する。

【００１７】次に、溶剤蒸留室２内の上部蒸気領域に放
出された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを溶剤蒸留塔４内に導
入して、同溶剤蒸留塔４内に垂設した塔本体８の各棚部
８ａ…に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを流入させ、各棚部８
ａ…に装填した各筒体１０…の表面に沿って不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａを上昇流動させながら整流すると共に、各
筒体１０…と接触するときに炭化水素系溶剤Ｔが多く含
まれた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸留分離する。つま
り、各筒体１０…の小さな孔及び各筒体１０…の隙間を
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが通過するとき、各筒体１０…
の表面積が大きいため、各筒体１０…の表面に接触する
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａから熱が効率よく吸収されると
共に、不活性溶剤Ｆよりも炭化水素系溶剤Ｔの沸点が高
く、かつ、各溶剤Ｆ，Ｔの特性が異なるため、炭化水素
系溶剤Ｔを多く含んだ不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａから炭化
水素系溶剤Ｔが凝縮液化される。

【００１８】次に、凝縮液化した炭化水素系溶剤Ｔを各
筒体１０…の表面に順次付着させると共に、同各筒体１
０…の表面に付着する炭化水素系溶剤Ｔを互いに合体さ
せながら自重流下する。凝縮液化した炭化水素系溶剤Ｔ
は塔本体８および各棚部８ａ…の表面に沿って自重流下
し、塔本体８の下部位置に配設した溶剤滴下槽９内に滴
下される。同溶剤滴下槽９内に貯液された炭化水素系溶
剤Ｔをオーバーフローさせて溶剤貯液槽３に返還する。

【００１９】同時に、溶剤蒸留塔４内に導入される不活
性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、塔本体８の各棚部８ａ…に装填
した各筒体１０…に順次接触させて蒸留分離すると共
に、溶剤蒸留塔４内の上部蒸気領域に蒸留分離された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａのみを上昇させ、各蒸気導入孔８
ｂ…を介して、塔本体８の内部空間に蒸留分離された不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを順次導入する。蒸留分離された
不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを取出す場合、排出用バルブ１
１を開操作して、塔本体８の内部空間に導入された不活
性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを蒸気排出管８ｄおよび蒸気排出路
１２を介して槽外部に排出し、蒸留再生された不活性溶
剤Ｆの蒸気Ｆａを、例えば、超音波洗浄、浸漬洗浄、蒸
気洗浄、シャワー洗浄等の後処理工程に返還供給する。

【００２０】以上のように、溶剤蒸留塔４に装填した金
属製の各筒体１０…に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを接触さ
せるので、金属製の各筒体１０…と不活性溶剤Ｆの蒸気
Ｆａとの接触面積が大きく、かつ、沸点や比重等の溶剤
特性が異なるため、不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ中に含まれ
る炭化水素系溶剤Ｔが効率よく蒸留分離され、蒸留再生
される不活性溶剤Ｆの純度および効率の向上を図ること
ができる。さらに、上述の溶剤蒸留室２を密封構造と成
したので、再生蒸留された高純度の不活性溶剤蒸気Ｆａ
を再生蒸気取出手段（蒸気排出路１２参照）からロスな
く取出すことができ、特にＰＦＣのような揮発性が大な
る溶剤の蒸留再生に極めて有効となり、溶剤ロスの大幅
な低減を図ることができる効果がある。なお、このよう
な高純度の不活性溶剤Ｆでワークを仕上げ洗浄すると、
ワーク表面に溶剤の付着した跡が残ったりせず、高度な
技術を必要とする洗浄処理が簡単に行え、ワーク表面を
綺麗に仕上げ洗浄することができる。

【００２１】図２はワークの後処理に使用された不活性
溶剤Ｆを蒸留再生するために用いられる第２実施例の蒸
留再生装置１５を示し、この蒸留再生装置１５は、後処
理に使用された不活性溶剤Ｆを蒸留する密封構造の溶剤
蒸留室１６の下部貯液領域に、炭化水素系溶剤Ｔが混入
した不活性溶剤Ｆを貯液する溶剤貯液槽１７を連設する
と共に、同溶剤蒸留室１６の上部蒸気領域に、不活性溶
剤Ｆの蒸気Ｆａ中から炭化水素系溶剤Ｔを蒸留分離する
各溶剤蒸留塔１８…を複数配設している。

【００２２】上述の溶剤貯液槽１７は、同槽底部の内壁
面に炭化水素系溶剤Ｔが混入した不活性溶剤Ｆを蒸発気
化するための溶剤加熱管１９を配管し、例えば、適宜温
度に加熱されたオイルや水溶液等の加熱媒体（図示省
略）を溶剤加熱管１９内に循環供給して、同槽底部に貯
液された不活性溶剤Ｆが蒸発気化する適宜温度に溶剤加
熱管１９を加熱する。また、溶剤貯液槽１７に貯液され
る不活性溶剤Ｆの液面部分よりも上部壁面に回収用バル
ブ２０を介して溶剤回収路２１を接続している。

【００２３】前述の各溶剤蒸留塔１８…は、同各溶剤蒸
留塔１８…の内部空間にＵ字形の各蒸留通路２２…を形
成し、同各蒸留通路２２…の下部領域に炭化水素系溶剤
Ｔを滴下するための各溶剤滴下槽２３…を配設してい
る。かつ、各溶剤滴下槽２３…に貯液される炭化水素系
溶剤Ｔの液面部分と対応する側壁面と、溶剤貯液槽１７
に貯液される不活性溶剤Ｆの液面部分よりも上部壁面と
を各返還用バルブ２４…を介して各溶剤返還路２５…で
接続している。

【００２４】上述の各蒸留通路２２…は、溶剤蒸留室１
６の上部蒸気領域と、前段側の蒸留通路２２に形成した
流入口２２ａとを連通接続し、前段側の蒸留通路２２に
形成した流出口２２ｂと、後段側の蒸留通路２２に形成
した流入口２２ａとを連通接続し、後段側の蒸留通路２
２に形成した流出口２２ｂに排出用バルブ２６を介して
蒸気排出路２７を接続している。さらに、各蒸留通路２
２…の入口側内部に形成した網状の各棚部２２ｃ…に、
例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料で線条
体２８ａを形成すると共に、同線条体２８ａを交絡して
なる交絡繊維体２８（例えば、商品名＝デミスター）を
適宜密度に圧縮成形して装填している。なお、蒸留通路
２２の棚部２２ｃに、上述した第１実施例の筒体１０
（商品名＝ラシヒリング）を多数個装填するもよい。

【００２５】以下、ワークの後処理に使用された不活性
溶剤Ｆを蒸留再生装置１５により蒸留再生する作用を説
明する。

【００２６】まず、回収用バルブ２０を開操作して、炭
化水素系溶剤Ｔの混入した不活性溶剤Ｆを溶剤回収路２
１を介して溶剤蒸留室１６内の溶剤貯液槽１７に一旦貯
液し、同槽に貯液した不活性溶剤Ｆを溶剤加熱管１９で
適宜温度に加熱して蒸発気化させ、溶剤蒸留室１６内の
上部蒸気領域に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを放出する。

【００２７】次に、溶剤蒸留室１６内の上部蒸気領域に
放出された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、前段側の溶剤蒸
留塔１８に形成した蒸留通路２２と、後段側の溶剤蒸留
塔１８に形成した蒸留通路２２とに順次導入し、同各蒸
留通路２２…に装填した各交絡繊維体２８…の繊維隙間
に沿って不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを流動させながら整流
すると共に、各交絡繊維体２８…を通過するときに炭化
水素系溶剤Ｔが多く含まれた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを
蒸留分離する。つまり、交絡繊維体２８の繊維隙間を不
活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａが通過するとき、交絡繊維体２８
を構成する線条体２８ａとの接触により不活性溶剤Ｆの
蒸気Ｆａから熱が効率よく吸収されると共に、不活性溶
剤Ｆよりも炭化水素系溶剤Ｔの沸点が高く、かつ、各溶
剤Ｆ，Ｔの特性が異なるため、炭化水素系溶剤Ｔを多く
含んだ不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａから炭化水素系溶剤Ｔが
凝縮液化される。

【００２８】同時に、凝縮液化した炭化水素系溶剤Ｔを
各交絡繊維体２８…に順次付着させると共に、同各交絡
繊維体２８…に付着する炭化水素系溶剤Ｔを互いに合体
させて各溶剤滴下槽２３…内に順次滴下する。後段側の
溶剤蒸留塔１８に形成した蒸留通路２２の出口側蒸気領
域に、蒸留分離された不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａのみを流
動させ、排出用バルブ２６を開操作して、同蒸留通路２
２の出口側蒸気領域に流動した不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａ
を蒸気排出路２７を介して槽外部に取出し、蒸留再生さ
れた不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを、例えば、超音波洗浄、
浸漬洗浄、蒸気洗浄、シャワー洗浄等の後処理工程に返
還供給する。かつ、各返還用バルブ２４…を開操作し
て、各溶剤滴下槽２３…の液面部分に浮遊する不活性溶
剤Ｆを各溶剤返還路２５…を介して溶剤貯液槽１７にそ
れぞれ返還する。

【００２９】以上のように、溶剤蒸留塔１８に装填した
金属製の交絡繊維体２８に不活性溶剤Ｆの蒸気Ｆａを接
触させるので、第１実施例の装置と同様に、不活性溶剤
Ｆの蒸気Ｆａ中に含まれる炭化水素系溶剤Ｔが効率よく
蒸留分離されると共に、第１実施例の溶剤蒸留塔４に装
填される筒体１０の密度よりも、第２実施例の溶剤蒸留
塔１８に装填される交絡繊維体２８の密度が高いため、
第１実施例の溶剤蒸留装置１よりも蒸留効率が向上し、
高純度の不活性溶剤Ｆを蒸留再生することができる。な
お、その他の点については、この第２実施例においても
先の第１実施例と同様の作用、効果を奏する。

【００３０】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の吸着体は、実施例の筒体１０およ
び交絡繊維体２８に対応し、以下同様に、再生蒸気取出
手段は、蒸気排出路１２，２７に対応するも、この発明
は、上述の実施例の構成のみに限定されるものではな
い。

【００３１】第１実施例の蒸留再生装置１は、溶剤蒸留
室２内の溶剤蒸留塔４に金属製の各筒体１０…を装填
し、第２実施例の蒸留再生装置１５は、溶剤蒸留室１６
内の溶剤蒸留塔１８に金属製の交絡繊維体２８を装填し
ているが、例えば、溶剤蒸留室２内の溶剤蒸留塔４に金
属製の交絡繊維体２８を装填し、溶剤蒸留室１６内の溶
剤蒸留塔１８に金属製の各筒体１０…を装填するもよ
く、溶剤の特性に応じて金属製の筒体１０または交絡繊
維体２８の何れかを選択使用してもよく、或は金属製の
筒体１０および交絡繊維体２８を複合して使用するもよ
い。

【００３２】また、各蒸留再生装置１，１５を構成する
各溶剤蒸留塔４，１８の塔数、塔本体８に形成した棚部
８ａおよび蒸留通路２２に形成した棚部２２ｃの段数
は、各実施例の構成のみに限定されるものではなく、溶
剤の特性に応じて塔数および段数を変更するもよい。

【００３３】さらにまた、各溶剤蒸留塔４，１８の通過
時に蒸留分離された炭化水素系溶剤Ｔを、同塔下部に配
設した各溶剤貯液槽３，１７に滴下供給して再度蒸留再
生するもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の蒸留再生装置を示す縦断面図。

【図２】本発明の蒸留再生装置の他の実施例を示す縦断
面図。

【符号の説明】

Ｆ…不活性溶剤 Ｆａ…蒸気 Ｔ…炭化水素系溶剤 ２，１６…溶剤蒸留室 ３，１７…溶剤貯液槽 ４，１８…溶剤蒸留塔 ５，１９…溶剤加熱手段９，２３…溶剤滴下槽 １２，２７…再生蒸気取出手段 １０，２８…吸着体

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】炭化水素系溶剤（Ｔ）が混入した不活性溶
   剤（Ｆ）を溶剤蒸留室（２，１６）内に回収して蒸留再
   生する蒸留再生装置であって、 上記溶剤蒸留室（２，１６）内の下部貯液領域に不活性
   溶剤（Ｆ）を所定量貯液する溶剤貯液槽（３，１７）を
   設け、該溶剤貯液槽（３，１７）内に不活性溶剤（Ｆ）
   を沸点温度に加熱する溶剤加熱手段（５，１９）を設け
   ると共に、 上記溶剤蒸留室（２，１６）内の上部蒸気領域に不活性
   溶剤（Ｆ）の蒸気（Ｆａ）を導入して、該蒸留再生する
   溶剤蒸留塔（４，１８）を設け、 上記溶剤蒸留塔（４，１８）の蒸気導入領域に不活性溶
   剤（Ｆ）の蒸気（Ｆａ）中に含まれる炭化水素系溶剤
   （Ｔ）を吸着分離する金属製の吸着体（１０，２８）を
   装填すると共に、溶剤蒸留塔（４，１８）の下部領域に
   炭化水素系溶剤（Ｔ）を貯液する溶剤滴下槽（９，２
   ３）を設け、 上記溶剤蒸留塔（４，１８）には蒸留再生された不活性
   溶剤（Ｆ）の蒸気（Ｆａ）を塔外部に取出す再生蒸気取
   出手段（１２，２７）を設け、 さらに上記溶剤蒸留塔（４，１８）を含む溶剤蒸留室
   （２，１６）を密封構造と成した蒸留再生装置。