TW460914B

TW460914B - Floating carrier device

Info

Publication number: TW460914B
Application number: TW089110678A
Authority: TW
Inventors: Michio Tanikai; Masayuki Tsujimura; Masayuki Tsuda; Masaki Kusuhara
Original assignee: Watanabe M & Co Ltd; Wakomu Denso Kk
Priority date: 1999-06-28
Filing date: 2000-06-01
Publication date: 2001-10-21
Also published as: KR100777177B1; KR20010066884A; JP2001010724A

Description

^60914 五、發明說明（1) -- 發明所屬技術領域本發明係有關於浮上搬運裝置，更詳細說明之，係有關於在搬運作為板狀基體之晶圓或玻璃板等時令板狀基體浮上之浮上搬運裝置 i 習知技術在令板狀基體浮上後在此狀態搬運板狀基體之系統上例如有搬運TFT型液晶顯示器用之玻璃板的。此搬運系統如圖20所示。此搬運系統由移送單元丨〇〇和控制單元2〇〇組合而成。移送單元100令四角形之玻璃板300浮上後令向移動方向310移動。控制單元200在令玻璃板3〇〇浮上之狀態令停止、靜止，而且令向轉換方向311轉換方向。此外，搬運系統具備對玻璃板3 0 0進行各種處理之處理單元，但省略圖示。移送單元100為了令玻璃板300直線移動，一般連結使用。圖21表示該移送單元100之一例。移送單元1〇〇具備基部110和圍件120。在基部110進行供給系111之配管，而供給系111供給用以令玻璃板3 0 0浮上之氣體，例如不影響玻璃板30 0之氮氣、氬氣、乾燥空氣或其他氣體。圍件120覆蓋之基部110之上面112係搬運路線之搬運面’在上面112鑽複數喷出孔113。如圖22所示，將喷出孔 113設置成對於上面112傾斜’喷出孔113朝玻璃板300之移動方向310之中心112A。中心112A也是上面112之中心。又，如圖23所示，除了喷出孔1 13以外，和玻璃板300

4 6 Ο 9 1 4 五、發明說明（2) t 之移動方向3 1 0平行排列而且對於上面丨丨2傾斜的鑽推進用之喷出孔11 5。間’ 113 113 噴出孔113 '115鑽在自上面至輔助孔114、116之輔助孔1 1 4、1 1 6各自和供给系j〗1相通。因喷出孔、：115之直徑小，輔助孔114、116係在形成喷出孔 ' 1 1 5時預先在基部1 1 〇鑽之直徑大之預備孔。由供給系11 1供給之氣體經由輔助孔丨丨4、丨丨6，自喷出孔113、115喷出。而且，相對於移動方向31(),來自喷出孔113之氣體成直角，來自噴出孔115之氣體平行。利用圖24之噴出方向113A、115A在平面上表示這種氣體之喷出。於疋’利用自各噴出孔113、115向喷出方向113A、出之氣體’玻璃板3〇〇浮上後向移動方向31〇移動，同時因玻璃板3 0 0沿著上面1 1 2之中心11 2 a移動，玻璃板 300之侧面和圍件丨20表侧璧不會接觸。即，利用喷出孔 11 3之調芯作用’玻璃板3 〇〇之中心移至上面〗丨2之中心 112A。利用對於玻璃板3〇〇之調芯，玻璃板3〇〇對於圍件 1 2 0以非接觸之狀態移動。控制單元200控制自移送單元所送來之玻璃板3〇〇之接觉、該玻璃板3〇〇停止、靜止以及移動方向之變更或玻璃板300本身之轉動等。控制單元2〇〇藉著氣體之噴出控制玻璃板3 0 〇停止、靜止等。 ^利用這種移送單元1 0〇及由控制單元200所構成之搬運系統和各種處理單元之組合，構築玻璃板3〇〇之處理系

第5頁 4609 1 4 五、發明說明（3) 統。此搬運系統之一例如特願平3 —328〇52號公報所示。發明所欲解決之課題可是’在習知之浮上搬運裝置有如下之問題點。即，移送單元之喷出孔113利用氣體之噴出進行玻璃板3〇〇之浮上和對於玻璃板3 0 0之調芯。因而，玻璃板3〇〇變重時，喷出孔11 3對於玻璃板300之調芯作用變弱。結果，玻璃板 300蛇行，移動時間增加’而且發生玻璃板3q〇和圍件ho 碰撞之課題。本發明之目的在於提供一種浮上搬運裝置，可解決這種課題’排除板狀基體之形狀或重量之影響，可對於板狀基體迅速的調芯。用以解決課題之手段如申請專利範圍第1項之發明，其特徵在於包括：基部’具備板狀之搬運面並沿著該搬運面搬運板狀基體；第一喷出裝置，藉著自該搬運面喷出氣體令板狀基體自搬運面浮上而且令板狀基體沿著該搬運面移動；以及第二喷出裝置’為了將利用第一喷出裝置浮上之板狀基體保持在搬運面之中心位置而噴出氣體。利用本構造，送到基部之上面之板狀基體用來自第一嗔出裝置之氣體浮上。同時，板狀基體利用來自第二喷出裝置之氣體朝基部之上面之中心方向迅速移動。因而，板狀基體不會蛇行而自基部之上面突出，而在該上面上直線

第6頁 4 60 9 ) 4 五、發明說明（4) ) 移動。如申請專利範圍第2項之發明，其特徵在於：在申請專利範圍第1項之浮上搬運裝置，該第二噴出裝置具備沿著該搬運面上之兩側配置之兩個側方喷出部和供給這兩個側方噴出部氣體之供給系，該各側方噴出部具備複數向該搬運面之中心方向喷出氣體之噴出孔。如申請專利範圍第3項之發明，其特徵在於：在如申請專利範圍第2項之浮上搬運裝置，該各側方噴出部係可朝該搬運面之中心方向移動。如^請專利範圍第4項之發明，其特徵在於：在如申請專利範圍第1項之浮上搬運裝置，該第二噴出裝置具備如隔著該搬運面之中心般配置於該搬運面而且朝該搬運面之中心方向噴出氣體之兩個面側喷出部和供給這兩個面側噴出部氣體之供給系。如申請專利範圍第5項之發明，其特徵在於：在如申請專利範圍第4項之浮上搬運裝置，該各面侧噴出部沿著該搬運面具備至少一列喷出孔列，該喷出孔列朝該搬運面之中心汉置複數列，該各喷出孔列具備朝該搬運面之中心喷出氟體而且沿著該搬運面排列之複數喷出孔。如申請專利範圍第6項之發明，其特徵在於：在如申請專利範圍第4項之浮上搬運裝置，該各面側噴出部沿著該搬運面具備至少一列喷出縫隙列，該喷出縫隙列朝噹運面之中心設置複數列，該各噴出縫隙列具備朝該搬^ 之中心噴出氣體而且沿著該搬運面排列之複數噴出縫隙面

d 6〇914 五、發明說明（5) 發明之實施例實施例1 以下參照圖1 ~ 5說明本發明之實施例1。圖1係表示實施例1之浮上搬運裝置之基部之平面圖。圖2係表示圖1之 I -1剖面之剖面圖。圖3係表示圖1之π _ π剖面之剖面圖。圖4係用以說明氣體之喷出狀況之說明圖。圖5係用以說明利用所喷出之氣體調芯之狀況之說明圖。在實施例1，使用圖1所示基部1替代圖2 1之基部11 〇。基部1形成在移動方向310長之長方形。而且，基部1係上面I平之板狀體。在基部1之上面1〗之端部附近設定設定線1 Ai、1 Α2。此外，在設定線1Α!、1Α2之内側設定設定線1 、1 Β2，在其内侧設定設定線1L、1C2。設定線lA^lQ、1A2〜1C2係用以配置浮上用喷出孔的。即’如圖2所示’在設定線1心、1 A2設置複數喷出孔2 A„、 2A21和複數輔助孔2A12、2A22，在設定線IBi、1B2設置複數喷出孔2B„、2B21和複數輔助孔2B12、2B22。還在設定線lq、 1C2設置複數喷出孔2Cu、2C21和複數輔助孔2C12、2C22。喷出孔ZAnlCn、2A21〜2C21及複數輔助孔2A12~2C12、 2A22~2C22和圖22之喷出孔113及輔助孔11 4各自相同。而且’噴出孔2A„和輔助孔2A12、喷出孔2Bn和輔助孔2B12、喷出孔2C„和輔助孔2C12、喷出孔2A21和辅助孔2A22、噴出孔 2Bgl和辅助孔2B22以及喷出孔2C21和輔助孔2C22各自構成浮上

46〇914 五、發明說明（6) 用喷出部分2A〗、2B1、2Q、2A2、2B2、2C2。此外，全部之喷出孔各自形成浮上用噴出孔2AU、2BU、2C„、2A21、 2B21、2C21。在設定線1 q和設定線1C2之間各自設定設定線1D】、 1D2、1 、1E2。設定線11)丨、1D2、1 Ei、1E2係用以配置移動用噴出孔。即，在設定線lDi、id2設置複數喷出孔2D„、 2DZ1和複數辅助孔2Dia、2D22，在設定線iEt、1E2設置複數喷出孔2EU ' 2E21和複數輔助孔2E12、2E22。各嗔出孔2E”、2E21及各辅助孔2E12、2E22。和圖23之喷出孔115及辅助孔116各自相同，朝移動方向31〇進給玻璃板。各喷出孔2D„、2D21及各辅助孔2D12、2D22，朝和移動方向31 0相反之方向進給玻璃板。而且，噴出孔2DU和辅助孔 21)。、噴出孔2D21和辅助孔2D22各自形成第一移動用喷出部分2D!、2DS ’喷出孔2E21和輔助孔2E22喷出孔2En和輔助孔 2Eia、噴出孔2Eai和辅助孔2E22各自形成第二移動用喷出部分2E!、2E2。在基部1之上面1〗之一方之端部和設定線〗之間及上面1丨之另一方之端部和設定線1心之間各自設定設定線 1 Fi、1F2。在設定線1 A〗、1 、1 q之各間各自設定設定線 1 h、1’在設定線1 a2、1B2、1 c2D之各間各自設定設定線 1 G2、1 H2。即’交互配置設定線Ui、1 Bi、1 Ci和1 Fi、1 G!、 11，一樣的交互配置設定線1 a2、1 &、1 q和i 、1 G2、 1H2。結果’就按照固定間隔配置設定線i i g!、1，一樣的按照固定間隔配置設定線〗F2、1 ·、11}2。

460 914 ί ' -------------------- 五、發明說明（7) 如圖3所示，在設定線iFi、1F2設置複數嘖出孔2Fn、 2匕1和複數輔助孔2F12、2F22。各喷出孔2Fu、2F21對於基部1 之上面I向上方而且向上面L之中心U喷出氣體。位於設定線lFi之喷出孔2FU和輔助孔2F12、構成用以進行玻璃板300之調芯之調芯用喷出部分2Fi。如圖4所示，調芯用噴出部分2Fi之喷出孔2F"朝破螭板30〇之側壁以喷出方向Θ1喷出氣體。當浮上用噴出部分2A!之喷出孔2 Au喷出氣體之喷出方向係6*2時’此時氣體之噴出方向Θ1設定如下。此外，噴出方向01、6>2係以上面1為基準之角度。 0〈喷出方向01〈噴出方向Θ2 藉著喷出方向Θ1、Θ2之這種設定’喷出氣體所產生之力作用於玻璃板30 0。即，因朝喷出方向Θ1喷出之氣體，玻璃板30 0承受之力W,分成係和上面I平行之力之調芯力W„和係和上面1!垂直之力之浮力W12。一樣的’因朝喷出方向0 2喷出之氣體，玻璃板3 0 0承受之力心分成調芯力W21和浮力 W22。因喷出方向01小於噴出方向Θ2，推力和浮力之關係如下。調芯力W21〈調芯浮力w22>浮力w12 因而，因調芯用喷出部分2Fi之調芯力Wu大於浮上用喷出部分2Ai之調芯力1^1，玻璃板3 0 0主要利用喷出方向<9 1之氣體移到上面li之中心12。

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五、發明說明（8,) 和設定線lFi —樣’在設定線1F2設置複數嘴出孔^ 和複數輔助孔2Fm。喷出孔2F2丨和輔助孔2F22構成难奸 21 ^ 部分2F2。如調芯用喷出部分2Fa之噴出氣體之嘴出負出來自調芯用噴出部分之氣體之喷出方向相向般，向和調芯用喷出部分2F2之喷出孔2FZ1和調芯用噴出部又分’2ρ卜列+ 出孔2F"。因而’調芯用喷出部分2FZ和調芯用喷^ 嘴成對的對於玻璃板調芯。 ° ~ 2Pt 在設定線％、1G2設置複數喷出孔2Gii、2Gu和複助孔2G1Z、2Ga2。喷出孔2GU和辅助孔2Gia構成調芯用喷分2 Gi，喷出孔2 GZ1和輔助孔2 Gu構成調芯用噴出部分2 G 。調芯用喷出部分2G〗、2G2和調芯用噴出部分2Fi 相各喷出孔2GU、2G21各自朝上面1丨之中心、噴出方丄^ 出氣體。 1 在設定線、It設置複數喷出孔2Hu、21^和複數辅助孔2H1Z、2H22。噴出孔21^和輔助孔2HU構成調芯用噴出部分21^，喷出孔2H”和辅助孔2H22構成調芯用喷出部分。調芯用喷出部分、2HZ和調芯用喷出部分2Fi、21?2相2同，各喷出孔2Η„、2ΗΖ1各自朝上面I之中心l2、噴出方向出氣體》設定線lFi上之噴出孔2F„、設定線iGl上之喷出孔2G" 以及設定線1 Η!上之噴出孔2H"形成第一面側喷出部，又丨，1 設定線1F2上之喷出孔2Fn、設定線1G2上之喷出孔2Gai以及設定線11上之噴出孔形成第二面側喷出部。而，第一和第二面側喷出部以及供給系（省略圖示）構成第二噴出裝

第11頁 460914 五、發明說明（9) 置。其次，說明本實施例之動作。被送入基部1之玻璃板3 0 0利用自浮上用喷出部分 2八1〜2(：1、2八2~2(：2噴出之氣體浮上。又，玻璃板300利用自第一移動用噴出部分21、2D2喷出之氣體朝移動方向310進給。同時，來自按照該玻璃板3 0 0之寬度之調芯用喷出部分’例如如圖5所示，來自調芯用噴出部分2F!、2F2之氣體向坡璃板300之側壁301喷出。利用所喷出之氣體，玻璃板 3 0 0移至中心12，對於玻璃板3 〇〇調芯。於是，若依據實施例1，除了浮上用噴出部分 2Ar 、2A2〜2C2、第一移動用喷出部分2D!、2D2、第二移動用噴出部分2Ei、2E2以外，還設置調芯用噴出部分 2Fi〜2圮、2F2〜2H2。而且，因利用調芯用喷出部分2?^〗^、 2匕~2112喷出之氣體對於玻璃板30 0調芯，玻璃板3 00重，也利用為了調芯用而強烈喷出之氣體，可對於玻璃板3 0 0調芯。又，調芯用喷出部分和調芯用喷出部分2F2〜2H2 朝上面li之中心12依次排列。結果，若按照玻璃板之寬自調芯用噴出部分2Fr 2h和調芯用噴出部分2F2~2¾之中選擇最佳之調芯用噴出部分，可對任意寬度之玻璃板調芯。即’使得在玻璃板搬運後可搬運寬度和該玻璃板不同之玻螭板。

第12頁 460914 五、發明說明（ip) 實施例2 其次，參照圖6說明本發明之實施例2。圖6係表示實施例2之浮上搬運裝置之基部之刳面圖。 ’ 在實施例2，使用圖6所示浮上用噴出部分i 1A〜11(：、 11 Az〜11 C2 ’替代在實施例1使用之浮上用噴出部分 1 2Ar.2C,、2A2~2C2。即，實施例2之浮上用喷出部分UA ' I U2具備複數噴出孔1 1A„、11A21和複數輔助孔j Ui2、1 11A22。各輔助孔11 A12、1 1A22和實施例1之輔助孔2ai2、2A22 各自相同。各喷出孔11AU、1 1A21和實施例1之喷出孔2AU、2A21不同，朝垂直於基部10之上面10!方向喷出氣體。即，在實施例2 ’圖5之喷出方向6» 2係90度，各噴出孔iiau、11A21 作為玻璃板之浮上專甩。浮上用喷出部分11B〖、liq具備複數喷出孔11Bu、 II 和複數辅助孔11B12、11C12 ’浮上用喷出部分11 b2、 11(：2具備複數喷出孔11B21、11C21和複數輔助孔11B22、 11C22。喷出孔11B„、11CU及辅助孔11B12、1 1C12和喷出孔11AU 及輔助孔11A12各自相同，喷出孔、i1C2i及辅助孔 11B22、11C22和喷出孔11A21及辅助孔11 A22各自相同。又’在實施例2，具備和實施例1之相同之第一移動用喷出部分11 、1 Π)2和第二移動用喷出部分！！ Ei、！！ e2。此外，在實施例2 ’雖省略圖示，具備和實施例1相同之調芯用喷出部分。

第13頁 460914 五、發明說明（11) 照這樣，依據實施例2，因浮上用喷出部分、11A2~11C2朝垂直於基部1〇之上面^丨方向喷出氣體，玻璃板重，也利用浮上用喷出部分11 A! ~ 1 1Q、 11A2〜11C2和調芯用噴出部分，令玻璃板沿著上面1 之中心浮上，可令移動。又，因浮上用喷出部分1ΙΑ^ 1 lq、1 U2〜l 1C2朝垂直於基部10之上面lOi方向噴出氣體，可在如0〈Θ1<90般之寬範圍設定圖4之喷出方向01。實施例3 其次，參照圖7〜9說明本發明之實施例3。圖7係表示實施例3之浮上搬運裝置之基部之平面圖。圖8係表示圖7 之Π - m剖面之剖面圖。圖9係表示實施例3之喷出裝置之立體圖。實施例3之浮上搬運裝置係藉著浮上搬運板狀基體之搬運系統中之移送單元，具備基部2 1、圍件22以及側方喷出部之調芯部23、24。圍件22和圖21之圍件120係相同。基部21包括各自具備噴出孔21八11~21人61和辅助孔21久12〜21人62之浮上用喷出部分 21Ar2lA6、各自具備喷出孔21BU、21B12和輔助孔21B12、 2 1 δα之第一移動用噴出部分21 B!、21B2以及各自具借噴出孔21Cn、2 1C12和辅助孔2 lCn、21Cu之第二移動用喷出部分 21C]、21C2。浮上用喷出部分2 1 Ai〜2 1 As、2 1 As〜2 1 Ae和實施例1之浮

第14頁 4 B〇 9 t 4 五、發明說明〇幻上用喷出部分、2AZ〜2C：2各自相同，第一移動用喷出部分21Bt、21BS和實施例1之第一移動用噴出部分2[)1、2匕相同。又，第二移動用喷出部分2 i Ci、2丨q和實施例]之第二移動用喷出部分2E!、2E2相同。調芯部23、24各自具備驅動裝置23A、24A、4台伸縮裝置23B、24B以及4台喷出裝置23c、24C。伸縮裝置23B、24B通過在圍件22所鑽之貫穿孔22A各自將4台喷出裝置23C、2 4C和驅動裝置23a、2 4A連接。用驅動裝置23A、24A各自控制伸縮裝置23b、24B朝和移動方向310垂直之方向而且朝基部21之中心伸縮。又，伸縮裝置2 3B、2 4B各自將來自驅動裝置23A、24八之氣體送至噴出裝置23C、24C。驅動裝置23A、24A各自驅動4台伸縮裝置23B、24B。即’驅動裝置23A、24A按照所送來之玻璃板3〇〇之寬度令4 〇伸％裝置23B、24B各自向基部21之中心伸縮。因而，驅動裝置23A、24A使得噴出裝置23C、24C位於玻璃板300之侧壁附近。同時’驅動裝置23A、24a經由伸縮裝置23B、 2 4B各自向喷出裝置23C、24C送入氣體。喷出裝置23C如圖9所示’係長方體形狀，在玻璃板 3〇〇之進給方向長。喷出裝置23c之内部係中空D在喷出裝置23C之正面23(^ ’即和噴出裝置24C相向之面，鑽複數喷出孔2 3 Cs。喷出孔2 3C2如位於浮上之玻璃板3 〇〇之側面之下部般鑽在正面23(^。而且，喷出孔23(：2鑽成在喷出裝置23C 之縱向排成一列。因而’喷出孔23C2朝相對於基部2 1之上

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笫15頁 4 609 14 五、發明說明（13) 面之水平方向’即相對於該上面以傾斜角度〇噴出氣體。各喷出裝置24C因和噴出裝置23C各自相同，省略說明。 4台喷出裝置23C、24C將自驅動裝置23A、24A送來之氣體朝基部21之中心自噴出孔23C2各自喷出。此時，喷出裝置23C、24C向玻璃板3 〇〇之側面之下部噴出氣體。結果’依據實施例3 ’噴出裝置23C、24C藉著喷出氣體可將玻璃板300移動成玻璃板3〇〇之中心位於基部21之中心。又’因喷出裝置23C、24C向玻璃板300之側面之下部喷出氣體’玻璃板3 00之厚度不同，也可將玻璃板3 〇〇移至基部21之t心。此外’因自玻璃板3 〇〇之側面附近以傾斜角度〇喷出氣體’可增大作用於破璃板3〇〇之調芯力。結果，可在短時間令玻璃板3 0 0之中心移至基部2 1之中心。實施例4 其次’參照圖1 〇說明本發明之實施例4。圖1 〇係表示實施例4之噴出裝置之立體圖。在實施例4 ’使用圖1 〇所示喷出裝置25替代實施例3之喷出裝置23C、24C。喷出裝置25係將噴出裝置23C、24C變成分割型的。即’喷出裝置25由上部25A和下部25B構成。上部25A和下部25B採用相同之箱型形狀。在下部25B之開口 258丨設置四角形之複數缺口 25B2。如上部25A之開口蓋上下部25B之開口25B!般將上部25A裝在下部25B。依據實施例4，因灰塵等附著於喷出裝置2 5之内部而

第16頁 460914 五，發明說明（0) 氣體之流動變差時’將上部25A和下部25B分離，使得可簡單的清掃喷出裝置2 5之内部。即，依據實施例4，使得可簡化對於喷出裝置2 5之曰常之保養檢查。實施例5 其次’參照圖11說明本發明之實施例5。圖丨丨係表示實施例5之浮上搬運裝置之基部之剖面圖。在實施例5 ’如下之點和實施例3不同。即，在實施例 3，用驅動裝置23Α、24Α供給喷出裝置23C、24C氣體。在實施例5 ’自基部3 〇供給氣體。實施例5之基部3 〇和實施例 3 —樣在内部具備浮上用噴出部分3 i 〜3 i Ae、第—移動用喷出部分31B!、31B2以及第二移動用喷出部分31Ci、31c：2。又’實施例5之基部3 〇在内部具備供給裝置3 2、3 3。供給裝置32、33如沿著基部30之上面30t)般設於基部3〇之兩侧。供給裳置32、33自供給系（省略圖示）接受氣體之供給。而且’供給裝置32、33使所供給之氣體向上方流。 ^ 此外’噴出裝置34、35位於基部30之上面30b而且供給裝置32、33之上端。喷出裝置34、35和喷出裝置23(：、 24C一樣係内部中空之長方體。在係喷出裝置34、35相向 =面之正面和喷出裝置23C、24C—樣的設置複數噴出孔。這種喷出裝置34 '35和實施例3之喷出裝置2 3C、24C —樣的向玻璃板3 0 0之下部喷出氣體。於是’依據實施例5 ’可使得在基部3 〇或圍件3 〇 A之外側不需要供給氣體之裝置。

第17頁 480.9 14 五、發明說明（15) 實施例6 其次，參照圖12〜1 4說明本發明之實施例6。圖12係表示實施例6之浮上搬運裝置之基部之平面圖。圖13係表示圖1 2之IV- IV剖面之剖面圖。圖1 4係表示圖1 2之缝隙部分之立體圖。實施例6之浮上搬運裝置係利用浮上搬運板狀基體之搬運系統中之移送單元《在實施例6，使用圖1 2所示基部 4 0替代實施例1之基部1。在基部4 0之上面4 設置調芯用縫隙列41〗〜41η、42广42η、浮上用缝隙列43^43η、44^44。、具備複數喷出孔45u、4521之第一移動用喷出孔列、452 以及具備複數喷出孔45ai、45^第二移動用喷出孔列453、 454。因第一移動用噴出孔列45,、452及第二移動用喷出孔列4 53、4 54和各自第一移動用喷出孔列2Dn、2D及第二移動用嘴出孔列2Eu、2EZ1相同’省略說明。調芯用縫隙列 41 i〜41 n和調芯用縫隙列4 ~ 4 2n各自形成面侧噴出部，這2 個面侧噴出部形成第二噴出裝置。調姑用縫隙列41广41n設置成朝上面4(^之中心等間隔排列。調芯用缝隙.列41!〜41n各自具備複數脅出缝隙3 41u〜41nl。喷出缝隙41u如下所示形成。即，如圖14所示，在基部40之内部之輔助孔41la設置噴出縫隙41 。輔助孔 4一llz係在基部40之縱向延伸之中空之孔，自供1給系（省略圖不）接受氣體之供給。和基部40之上面4 〇〗相向之助孔 41〗2部分成三角柱形狀。設於自輔助孔41is之三角柱部分至

4 609 14 -----------— 五、發明說明（16) * 基部40之上面4(^為止之間之缝隙係噴出縫隙η 。對於上面40,朝角度03之方向鑽嗅出缝隙。角度 0 3和實施例1之喷出方向0 1相同。因而，喷出縫隙4111自上面40丨以角度Θ3，即喷出方向Θ1 ，而且朝上面go,之中心噴出調芯用之氣體。 .喷出縫隙41„〜41nl之中其他的也和喷出縫隙4lii〆樣二調芯用縫隙列42r42n和調芯用縫隙列41〜41n z樣的設置成朝上面4(^之中心等間隔排列。調芯用缝隙列42,〜42« 和調芯用縫隙列41^4、一樣的各自具備複數喷出鏠隙 42u〜42nl。而且，喷出鏠隙42u設於辅助孔4212~42n2和上面 40ι之間。喷出缝隙42u〜42nl和調芯用缝隙列41i~41n 一樣’ I ,, 自上面40!以角度03，即喷出方向Θ1 ，而且朝上面40]之中心噴出調芯用之氣體。利用這些調芯用縫隙列41^4 ln和調芯用缝隙列 42ι〜42n ’使得所搬運之玻璃板之中心和基部4 0之上面4 之中心一致。浮上用縫隙列4 〜4 3n各自具備噴出縫隙 43ιι〜43nl和輔助孔4312〜43n2。又，浮上用缝隙列44^4(各自具備喷出縫隙44u~44nl和輔助孔44^44^。除了如下之點以外，浮上用縫隙列43^43n&浮上用縫隙列斗心“乞和調站用縫隙列411〜41„及調芯用缝隙列421〜4211各自具有相同之: 造。即’鑽浮上用缝隙列43广43n之噴出縫隙43u〜43nl和 '孚上用縫隙列44^4^之喷出縫隙44n〜44nl之角度和實例广噴出方向0 2相同。因而，浮上用縫隙列43^43n、44〜44 和實施例1 一樣的令玻璃板浮上。 1 n

第19頁 460914 五、發明說明（π) 照這樣’若依攄實施例6 ’因浮上和調芯所使用之喷出縫隙係細長形狀’只是藉著斜切上面4 〇 ^之加工，可形成喷出縫隙。又，因一個噴出縫隙可和複數喷出孔對應；可用少之工時形成喷出調芯用或浮上用之氣體。實施例7 其次’參照圖1 5〜1 9說明本發明之實施例7。圖1 5係表示在實施例7使用之喷出縫隙構造之平面圖。圖丨6係表示圖15之V-V剖面之剖面圖。圖17係表示圖16之槽之立體圖。圖1 8係表示圖1 6之遮蔽板之剖面之剖面圖。圖1 9係表示圖16之遮蔽板之底面之下視圖。在實施例7具有和實施例6之噴出縫隙不同之構造。即’如圖1 5、1 6所示’用以形成實施例7之噴出縫隙之喷出缝隙構造50利用遮蔽板51、槽52以及供給孔53形成。槽52設於基部40之上面40!。槽52如圖17所示，具備底面52A。底面52A係寬度為L1之長方形，沿著基部之上面變長。在底面52A之一方之端如和該底面52A正交般形成侧面52B。側面52B之上端和上面40!垂直的交叉，側面 5 2B之寬度為槽52之深度。在底面52 A之另一方之端形成斜面52C。斜面52C傾斜成相對於上面4(^2角度為04。斜面 5 2C之上端和上面4(^交叉。於是，槽52具有以角度Θ4傾斜之斜面52C ’形成開口之最大寬度係L2之梯形。供給孔53係在基部鑽之圓孔，在底面52A和斜面52C 交叉之部分按照固定間隔設置。自供給系（省略圖示）供給

第20頁 460914 五、發明說明（13) 供給孔53氣體。遮蔽板51位於槽52内。遮蔽板51如圖18所示，係截面形狀為梯形之板。即，遮蔽板51之侧面51 A和槽52之側面 52B之形狀相同》遮蔽板51放在槽52時，侧面51 A和側面 52B接觸。遮蔽板51之上面51B及下面51C之一方之端為側面51A之上下之兩端。而且，上面51B及下面51C和側面51A 垂直。上面51B之寬比遮蔽板51之寬L2只短既定長度，同樣的，下面51C之寬比遮蔽板51之寬L1只短既定長度。遮蔽板51放在槽52時，下面51C和槽52之底面52A接觸。在上面51B及下面51C之另一方之端間形成之面係斜面 51D。斜面51D和槽52之斜面52C之形狀相同。因上面51B之寬比遮蔽板5 1之寬L2只短既定長度、下面5丨c之寬比遮蔽板51之寬L1只短既定長度，遮蔽板51放在槽52時，斜面 51D離開槽52之斜面52C。此時，斜面51D和斜面52C相向，而且相對於斜面5 2 C保持固定間隔。結果，形成噴出氣體之角度係Θ 4之噴出縫隙5 〇 A。在遮蔽板51之斜面51D設置間隔片51E。間隔片51E之厚度等於斜面51D和斜面52C之距離。又，間隔片51^如圖 19所示如不覆蓋供給孔53般而且為了保持氣體之流動良好而等間隔的配置於斜面51D。遮蔽板51放在槽52時，侧面51A利，間隔片和側面52B密接。即，利用間隔片 51E，只是將遮蔽板51放在槽52，不需要定位等，就可確實的形成噴出縫隙50A。 ,，?、ie樣所形成之噴出缝隙5 〇 A和實施例6 一樣，可用於

4609 H 五、發明說明（19) 浮上和調站。此時，在浮上用和調过用上’只要改變角度 0 4即可。又，在形成喷出縫隙5 〇 A之情況’不必使用切斷機對於基部40之上面4(^加工。結果’可簡化喷出缝隙50 A之形成，而且可使得角度04之設定簡單。發明之效果如以上之說明所示，本發明之特徵在於包括：基部，具備板狀之搬運面並沿著該搬運面搬運板狀基體；第一噴出裝置’藉著自該搬運面喷出氣體令板狀基體自搬運面浮上而且令板狀基體沿著該搬運面移動；以及第二噴出裝置’為了將利用第一喷出裝置浮上之板狀基體保持在搬運面之中心位置而喷出氣體。因而’因第二喷出裝置設置成導引用及調芯專用，板狀基體重，也可將利用噴出氣體之用以調芯之強力作甩於板狀基體。因而，防止板狀基體蛇行，可令板狀基體迅速移至基部之中心位置，使得可實現板狀基體之非接觸搬運。本發明之特徵在於：該第二喷出裝置具備沿著該搬竭面上之兩側配置之兩個側方喷出部和供給這兩個侧部氣體之供給系，該各相彳t1權_选& 忒谷側方喷出部具備複數向該搬運面< 中心方向喷出氣體之喷出孔。又，本發明之 1 各側方噴出部係可朝該搬運面之中心方向移動。 sl 因而’在各側方噴出部上使用例如管狀的時，可使用

第22頁 460914 五、發明說明（2,0) 簡單之材料形成各側方喷出部。還藉著使得各侧方喷出部可移動，可適應寬度不同之板狀基體。本發明之特徵在於：該第二喷出裝置具備如隔著該搬運面之中心般配置於該搬運面而且朝該搬運面之中心方向噴出氣體之兩個面側喷出部和供給這兩個面侧噴，出部氣體之供給系□又，本發明之特徵在於：該各面側噴出部沿著該搬運面具備至少一列喷出孔列，該喷出孔列朝該搬運面之中心設置複數列，該各喷出孔列具備朝該搬運面之中心喷出氣體而且沿著該搬運面排列之複數喷出孔。因而，因在搬運面設置第二喷出裝置，可使得不必在搬運面上設計用以喷出氣體之機構。又，因按照玻璃板之寬度自動選擇第二喷出裝置，使得可混合搬運任意寬度之玻璃板。結果，因裝置簡單，可令裝置之可靠性提高。本發明之特徵在於：該各面側噴出部沿著該搬運面具備至少一列喷出缝隙列，該喷出缝隙列朝該搬運面之中心設置複數列，該各喷出缝隙列具備朝該搬運面之中心喷出氣體而且沿著該搬運面排列之複數喷出缝隙。因而，因一個喷出缝隙和複數喷出孔對應，可簡化第二喷出裝置之形狀。圖式簡單說明圖1係表示實施例1之浮上搬運裝置之基部之平面圖。圖2係表示圖1之I - I剖面之剖面圖。圖3係表示圖1之Π - Π剖面之剖面圖。

第23頁 460914 五、發明說明（21) 圖4係用以說明氣體之噴出狀況之說明圖。圖5係用以說明利用所喷出之氣體調芯之狀況之說明圖。圖6係表示實施例2之浮上搬運裝置之基部之剖面圖。圖7係表示實施例3之浮上搬運裝置之基部之平面圖。圖8係表示圖7之瓜-IE剖面之剖面圖。圖9係表示實施例3之喷出裝置之立體圖。圖1 0係表示實施例4之喷出裝置之立體圖。圖11係表示實施例5之浮上搬運裝置之基部之剖面圖。圖1 2係表示實施例6之浮上搬運裝置之基部之平面圖。圖1 3係表示圖1 2之IV - IV剖面之剖面圖。圖1 4係表示圖1 2之缝隙部分之立體圖。圖1 5係表示在實施例7使用之喷出縫隙構造之平面圖。圖1 6係表示圖1 5之V - V剖面之剖面圖。圖17係表示圖16之槽之立體圖。圖1 8係表示圖1 6之遮蔽板之剖面之剖面圖。圖19係表示圖16之遮蔽板之底面之下視圖。圖2 0係表示習知之板狀基體搬運系統之平面圖。圖21係表示習知之移送單元之立體圖。圖2 2係表示圖21之X I - X I剖面之剖面圖。圖2 3係表示圖21之X Π- X Π剖面之剖面圖。

第24頁 460914 五、發明說明（2幻圖24係表示習知之移送單元之喷出方向之說明圖。符號說明 1、10、21、30、40、1 10 基部 1ι ' 10】、 30B ' 4〇! '112 :、51B 上面 ( 中心 1A「 it、 1A2~1H2 設定線 2Ar 2(^、 2 A2 〜2 C2 ' 1 lAr -lie 1 ' π a2 〜11C2 、2 1 A,〜 21Ae、 31ΑΓ ^31A 6 浮上用噴出部分 2Dj 、2D2 ' llDi ' 11D2、 2 IB) ' 21B2 、31Bi 、31B2 第一移動用喷出部分 2Ej 、2E2 、11E!、 11E2、 21Ci 、21C2 、31C! 、31C2 第二移動用噴出部分 2Fr 2H! ' 2F2~2H2 調芯用喷出部分 2AU 〜2Hn 、2A21 〜2H21、llAn〜 11E"、 1 1 A21 〜 11E21、 21AU 〜21Α 61 21Bn 、21CU 、23C2、 451: 「4541、 113、 115 喷出孔 2 A12 ~2H12 、2A22〜2H22、11A12〜 11E12、 ha22~ 11E22、 21A12 〜21Α 62 21B12 、21B22 、21C12 、21 C22、114、116、4112 〜41n2、 4212〜 4 2n2 、4 312 ~ 4 3n2、 4412- 44n2 輔助孔 22 、120 、30A 圍件 22A 貝穿孔 23 、24 調芯部 23C 1 正面 23A、24A 驅動裝置

第25頁五、發明說明（23) 23Β、24Β 伸縮裝置 23C 、 24C 、 25 、 34 、 35 喷出裝置 2 3 Cj 正面 2 5 A 上部 25B 下部 25Bt 開口 25Bj 缺口 32、33 供給裝置 41r41n 調芯用缝隙列 41π~41η1 ' 42π~42η1 ' 43π~43η1 '44η-44η] '50Α 喷出缝隙 42r42η 調芯用缝隙列 43r43n ' 44r44n 浮上用縫隙列 4 5 j ~ 4 52 第一移動用喷出孔列 4 53~4 54 第二移動用喷出孔列 50 喷出縫隙構造 5 1 A 側面 51C 下面 5 1 D 斜面 5 1 E 間隔件 51 遮蔽板 52 槽 5 2 A 底面 5 2 B 側面

第26頁 4 609 14 五、發明說明（2$) 5 2 C 斜面 53 供給孔 1 3 0 加工板 1 0 0移送單元 I 1 1 供給系 II 2 A 中心 113A、1 15A 噴出方向 140 密封板 20 0 控制單元 30 0 玻璃板 31 0 移動方向 311 轉換方向 L1 、 L2 寬、W21 調芯力 w12、w22 浮力 ΘΙ > Θ2 喷出方向 θ 3、θ 4 角度

第27頁

Claims

460914 六、申請專利範圍遠件也购50:¾, £ — 1, 一種浮上搬運裝置，其特徵在於包括：基部，具備板狀之搬運面並沿著該搬運面搬運板狀基體；第-噴出裝置’藉著自該搬運面噴出氣體令板狀基體自搬運面浮上而且令板狀基體沿著該搬運面移動；以及第二喷出裝置’肖了將利用第—噴出裝置浮上之板狀基體保持在搬運面之中心位置而喷出氣體。 2, 如申請專利範圍第1項之浮上搬運裝置，豆中$ 二喷出裝置具備沿著該搬運面上之兩側配置之兩個側ς 出部和供給這兩個側方喷出部氣體之供给系，該各側出部具備複數向該搬運面之中心方向噴出氣體之噴出孔。、 3, 如申請專利範圍第2項之浮上搬運裂置，其中該各側方噴出部係可朝該搬運面之中心方向移動。、以 4，如申請專利範圍第1項之浮上搬運裝置，其中該第噴出裝置具備如隔著該搬運面之中心般配置於'該搬運胃面而且朝該搬運面之中心方向喷出氣體之兩個面側噴出部和供給這兩個面側噴出部氣體之供給系。、 ° 5.如申請專利範圍第4項之浮上搬運裝置，其中該各面側噴出部沿著該搬運面具備至少一列噴出孔列，該"喷出孔列朝該搬運面之中心設置複數列，該各喷出孔列具備朝 =概運面之中心噴出氣體而且沿著該搬運面排列之複數喷面側出缝 6.如申請專利範圍第4項之浮上搬運裝置，其中該各噴出部沿著該搬運面具備至少一列喷出縫隙列，該嘴隙列朝該搬運面之中心設置複數列，該各喷出縫隙列

第28頁 460914 六、申請專利範圍 ► 具備朝該搬運面之中心喷出氣體而且沿著該搬運面排列之複數喷出縫隙。第29頁 III··