KR20010066884A

KR20010066884A - 부상 반송 장치

Info

Publication number: KR20010066884A
Application number: KR1020000036146A
Authority: KR
Inventors: 미치오 야가이; 마사유키 쯔지무라; 마사유키 토다; 마사키 쿠즈하라
Original assignee: 추후제출; 가부시키가이샤 와타나베 쇼코; 추후보정; 가부시키가이샤 와코무 덴소
Priority date: 1999-06-28
Filing date: 2000-06-28
Publication date: 2001-07-11
Also published as: KR100777177B1; TW460914B; JP2001010724A

Abstract

본 발명은 판상 기체의 형상과 중량의 영향을 제거하고, 판상 기체에 대해 신속하게 조심할 수 있는 부상 반송 장치를 제공한다.

판상 반송면(상면 1₁)을 구비하고, 이 반송면을 따라 판상 기체를 보내기 위한 기부(1)와 반송면에서 기체를 분출하는 것에 의해 판상기체를 반송면에서 부상시킴과 동시에 부상한 판상 기체를 반송면을 따라 이동시키는 제 1 분출 수단과 제 1 분출 수단에 의해 부상한 판상 기체를 반송면의 중심위치(I₂)로 유지하기 위해 기체를 분출하는 제 2 분출수단(2F₁∼2H₁, 2F₂∼2H₂)을 구비했다.

Description

부상 반송 장치{FLOATING TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 부상 반송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 판상 기체로 웨이퍼와 유리판 등을 반송할 때에 판상 기체를 부상시키는 부상 반송 장치에 관한 것이다.

판상 기체를 부상시켜서, 이 상태로 판상 기체를 반송하는 시스템으로, 예를 들면, TFT형 액정 디스플레이용 유리판을 반송하는 것이 있다. 이 반송 시스템을 도 20에 도시한다. 이 반송 시스템은 이송 유닛(100)과 제어 유닛(200)의 조합으로 구성된 것이다. 이송 유닛(100)은 사각형상의 유리판(300)을 부상시켜서 이동방향(301)으로 이동시킨다. 제어 유닛(200)은 유리판(300)을 부상시킨 상태로 정지시킴과 동시에, 전환방향(311)으로 방향 전환시킨다. 또한 반송 시스템은 도시를 생략하고 있지만, 유리판(300)에 대해 각종 처리를 하는 처리 유닛을 구비하고 있다.

이송 유닛(100)은 유리판(300)을 직선적으로 이동시키기 위해, 통상 연결되어 이용된다. 이 이송 유닛(100)의 일례를 도 21에 도시한다. 이송 유닛(100)은 기부(110)와 덮개(120)를 구비하고 있다. 기부(110)에는 유리판(300)을 부상시키기 위한 기체, 예를 들면, 유리판(300)에 영향을 주지않는 질소가스, 아르곤 가스, 건조 공기와 그 외의 가스를 공급하는 공급계(111)가 배관되어 있다.

덮개(120)가 감싸는 기부(110)의 상면(112)이 반송로의 반송면이고, 상면(112)에는 복수의 분출공(113)이 나 있다. 도 22에 도시하는 것과 같이 분출공(113)이 상면(112)에 대해 경사져서 설치되며, 분출공(113)의 경사방향이 유리판(300)의 이동방향(310) 중심(112A)을 향해 경사져 있다. 중심(112A)은 상면(112)의 중심이기도 하다.

또, 분출공(113)과는 별개로 도 23에 도시한 바와 같이, 추진용 분출공(115)이 유리판(300)의 이동방향(310)과 평행하게 늘어서고, 또, 상면(112)에 대해 비스듬하게 나 있다.

분출공(113), (115)은 상면(112)에서 보조혈(114), (116)에 이르는 동안에 뚫려 있다. 보조혈(114), (116)은 공급계(111)에 각각 통해 있다. 보조공(114), (116)은 분출공(113), (115)의 직경이 작으므로, 분출공(113), (115)의 형성에 있어서 미리 기부(110)에 뚫려 있는 직경이 큰 예비 구멍이다.

공급계(111)에서 공급되는 기체가 보조혈(114), (116)을 거쳐, 분출공(113), (115)에서 분출된다. 분출공(113), (115)로부터의 기체의 분출방향은 상면(112)에 대해 비스듬한 방향으로 경사져 있다. 또, 이동방향(310)에 대해 분출공(113)으로 부터 기체가 직각이 되고 분출공(115)으로부터의 기체가 평행해져 있다. 이러한 기체의 분출이 도 24의 분출 방향(113A),(115A)에 의해, 평면적으로 표시되어 있다.

이렇게 하여, 각 분출공(113),(115)로부터 분출 방향(113A), (115A)로 분출된 기체에 의해 유리판(300)이 부상하여 이동방향(310)으로 움직임과 동시에, 유리판(300)의 중심이 상면(112)의 중심(112A)을 따라 이동하므로 유리판(300)의 측면이 덮개(120)의 측벽에 접촉하는 일이 없다. 즉, 각 분출공(113)에 의한 조심작용에 의해, 유리판(300)의 중심이 상면(112)의 중심(112A)으로 이동한다. 유리판(300)에 대한 조심에 의해 유리판(300)이 덮개(120)에 대해 비접촉인 상태로이동된다.

제어 유닛(200)은 이송 유닛(100)으로부터 보내져 오는 유리판(300)을 받아서, 이 유리판(300)의 정지 및 이동방향의 변경과 유리판(300) 자체의 회전 등을 행한다. 제어 유닛(200)은 유리판(300)에 대한 정지 등의 제어를 기체의 분출에 의해 행한다.

이러한 이송 유닛(100) 및 제어 유닛(200)으로 구성되는 반송 시스템과 각종 처리 유닛을 조합하므로써, 유리판(300) 처리 시스템이 구축된다. 이 반송 시스템의 일례가 일본 특원평 3-328052호 공보에 나와 있다.

그런데, 종래의 부상 반송 장치에는 아래의 문제점이 있었다. 즉, 이송 유닛의 분출공(113)은 유리판(300)의 부상과 유리판(300)에 대한 조심의 양쪽을 기체의 분출로 하고 있다. 이 때문에 유리판(300)이 무거워지면, 유리판(300)에 대해 분출공(113)에 의한 조심작용이 약해진다. 이 결과, 유리판(300)이 S자로 이동하여 이동시간이 증가하거나, 또는 유리판(300)이 덮개(120)에 충돌하는 문제가 발생한다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하고 판상 기체의 형상과 중량의 영향을 제거하여, 판상 기체에 대해 신속한 조심을 할 수있는 부상 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 실시예 1에 따른 부상 반송 장치의 기부를 도시하는 평면도이다.

도 2는 도 1의 I-I 단면을 도시하는 단면도이다.

도 3은 도 1의 II-II 단면을 도시하는 단면도이다.

도 4는 기체의 분출 양상을 설명하기 위한 설명도이다.

도 5는 분출된 기체에 의한 조심의 양상을 설명하기 위한 설명도이다.

도 6은 실시예 2에 따른 부상 반송 장치의 기부를 도시하는 단면도이다.

도 7은 실시예 3에 따른 부상 반송 장치의 기부를 도시하는 평면도이다.

도 8은 도 7의 III-III 단면을 도시하는 단면도이다.

도 9는 실시예 3에 따른 분출 장치를 도시하는 사시도이다.

도 10은 실시예 4에 따른 분출 장치를 도시하는 사시도이다.

도 11은 실시예 5에 따른 기부의 단면을 도시하는 단면도이다.

도 12는 실시예 6에 따른 부상 반송 장치의 기부를 도시하는 평면도이다.

도 13은 도 12의 IV-IV 단면을 도시하는 단면도이다.

도 14는 도 12의 슬릿 부분을 도시하는 사시도이다.

도 15는 실시예 7에 이용되는 분출 슬릿 구조를 도시하는 평면도이다.

도 16은 도 15의 V-V 단면을 도시하는 단면도이다.

도 17은 도 16의 홈을 도시하는 사시도이다.

도 18은 도 16의 차폐판 단면을 도시하는 단면도이다.

도 19는 도 16의 차폐판 저면을 도시하는 저면도이다.

도 20은 종래의 판상 기체 반송 시스템을 도시하는 평면도이다.

도 21은 종래의 이송 유닛을 도시하는 사시도이다.

도 22는 도 21의 XI-XI 단면을 도시하는 단면도이다.

도 23은 도 21의 XII-XII 단면을 도시하는 단면도이다.

도 24는 종래의 이송 유닛에 의한 분출방향을 도시하는 설명도이다.

부호의 설명

1, 10, 21, 30, 40, 110 기부

1_1,10₁, 30B, 40₁, 112, 51B 상면

1₂중심

1A₁∼1H₁, 1A₂∼1H₂설정 라인

2A₁∼2C₁, 2A₂∼2C₂, 11A₁∼11C₁, 11A₂∼11C₂,

21A₁∼21A₆, 31A₁∼31A₆부상용 분출 부분

2D₁, 2D₂, 11D₁, 11D₂, 21B₁, 21B₂, 31B₁, 31B₂제 1 이동용 분출 부분

2E₁, 2E₂, 11E₁, 11E₂, 21C₁, 21C₂, 31C₁, 31C₂제 2 이동용 분출 부분

21F₁∼2H₁, 2F₂∼2H₂조심용 분출 부분

2A₁₁∼2H₁₁, 2A₂₁∼2H₂₁, 11A₁₁∼11E₁₁,

11A₂₁∼11H₂₁, 21A₁₁∼21A₆₁, 21B₁₁, 21C₁₁,

23C₂, 45₁₁∼45₄₁, 113, 115 분출공

2A₁₂∼2H₁₂, 2A₂₂∼2H₂₂, 11A₁₂∼11E₁₂,

11A₂₂∼11E₂₂, 21A₁₂∼21A₆₂, 21B₁₂, 21B₂₂,

21C₁₂, 21C₂₂, 114, 116, 41₁₂∼41_n2,

42₁₂∼42_n2, 43₁₂∼43_n2, 44₁₂∼44_n2보조혈

22, 120, 30A 덮개

22A 관통혈

23, 24 조심부

23C₁정면

23A, 24A 구동장치

23B, 24B 신축장치

23C, 24C, 25, 34, 35 분출장치

23C₁정면

25A 상부

25B 하부

25B₁개구

25B₂절결

32, 33 공급장치

41₁∼41_n조심용 슬릿열

41₁₁∼41_n1, 42₁₁∼42_n1, 43₁₁∼43_n1, 44₁₁∼44_n1, 50A 분출 슬릿

42₁∼42_n, 조심용 슬릿열

43₁∼43_n, 44₁∼44_n부상용 슬릿열

45₁, 45₂제 1 이동용 분출공 열

45₃, 45₄제 2 이동용 분출공 열

50 분출 슬릿 구조

51 차폐판

51A 측면

51C 하면

51D 사면

51E 스페이서

52 홈

52A 저면

52B 측면

52C 사면

53 공급공

130 가공판

100 이송 유닛

111 공급계

112A 중심

113A, 115A 분출방향

140 계지판

200 제어 유닛

300 유리판

310 이동방향

311 전환방향

L1, L2 폭

W₁₁, W₂₁조심력

W₁₂, W₂₂부상력

θ1, θ2 분출방향

θ3, θ4 각도

청구항 1에 기재한 본 발명은 판상의 반송면을 구비하고, 이 반송면을 따라 판상 기체를 보내기 위한 기부와 상기 반송면으로부터 기체를 분출하므로써, 판상기체를 상기 반송면에서 부상시킴과 동시에 부상한 판상 기체를 상기 반송면을 따라 이동시키는 제 1 분출 수단, 상기 제 1 분출 수단에 의해 부상한 판상 기체를 상기 반송면의 중심위치로 유지하기 위해 기체를 분출하는 제 2 분출 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의해 기부의 상면으로 보내어져온 판상 기체가 제 1 분출 수단으로부터의 기체로 부상한다. 동시에 판상기체는 제 2 분출 수단으로부터의 기체에 의해 기부의 상면 중심방향으로 신속하게 이동된다. 이것에 의해 판상 기체는 S자로 이동하여 기부의 상면으로부터 밀려나는 일 없이 이 상면의 위를 직선적으로 이동한다.

청구항 2에 기재한 본 발명은 청구항 1에 기재한 부상 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 분출 수단은 상기 반송면 상면쪽을 따라 배치되어 있는 두개의 측방 분출부와 이들 2개의 측방 분출부에 기체를 공급하는 공급계를 구비하고 각 측방 분출부는 상기 반송면의 중심방향으로 기체를 분출하는 분출공을 다수 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재한 본 발명은 청구항 2에 기재한 부상 반송 장치에 있어서, 상기 각 측방 분출부는 상기 반송면의 중심방향으로 이동가능한 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재한 본 발명은, 청구항 1에 기재한 부상 반송 장치에 있어서 상기 제 2 분출 수단은 상기 반송면의 중심을 감싸듯이 상기 반송면에 배치됨과 동시에 상기 반송면의 중심방향으로 기체를 분출하는 두개의 면측 분출부와 이들 면측 분출부로 기체를 공급하는 공급계를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재한 본 발명은 청구항 4에 기재한 부상 반송 장치에 있어서, 상기 각 면측 분출부는 상기 반송면을 따라 적어도 하나의 분출공 열을 구비하고, 상기 분출공 열은 상기 반송면의 중심을 향해서 복수열이 설치되어 있으며, 상기 각 분출공 열은 상기 반송면 중심을 향해서 기체를 분출함과 동시에 상기 반송면을 따라 늘어서 있는 다수의 분출공을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재한 본 발명은 청구항 4에 기재한 부상 반송 장치에 있어서, 상기 각 면측 분출부는 상기 반송면을 따라 적어도 하나의 분출 슬릿열을 구비하고, 상기 분출 슬릿열은 상기 반송면의 중심을 따라 복수열 설치되어 상기 각 분출 슬릿열은 상기 반송면의 중심을 향해 기체를 분출함과 동시에 상기 반송면을 따라 늘어서 있는 복수의 분출 슬릿을 구비하는 것을 특징으로 한다.

실시예 1

다음으로, 도 1∼5를 참조하여, 본 발명의 실시예 1에 관해 서술한다. 도 1은 실시예 1에 따른 부상 반송 장치의 기부를 도시한 평면도이다. 도 2는 도 1의 I-I 단면을 도시하는 단면도이다. 도 3은 도 1의 II-II 단면을 도시한 단면도이다.도 4는 기체의 본출 모습을 설명하기 위한 설명도이다. 도 5는 분출된 기체에 의한 조심 모습을 설명하기 위한 설명도이다.

실시예 1에서는 도 21의 기부(110) 대신에 도 1에 도시되어 있는 기부 1이 이용되고 있다. 기부 1은 이동 방향(310)에 대해 긴 장방형을 하고 있다. 또, 기부1은 상면 1₁이 평평한 판상체이다.

기부(1)의 상면(1₁) 단부부근에는 설정 라인(1A₁), (1A₂)가 설정되어 있다. 더우기, 설정 라인(1A₁),(1A₂)의 내측에는 설정 라인(1B₁),(1B₂)가 설정되고, 그 내측에는 설정 라인(1C₁),(1C₂)가 설정되어 있다.

설정 라인(1A₁)∼(1C₁),(1A₂)∼(1C₂)는 부상용 분출공을 배치하기 위한 것이다. 즉, 설정 라인(1A₁), (1A₂)에는 도 2에 도시하듯이 다수의 분출공(2A₁₁), (2A₂₁)과 다수의 보조혈(2A₁₂),(2A₂₂)이 설치되고, 설정 라인(1B₁), (1B₂)에는 다수의 분출공(2B₁₁), (2B₂₁)과 다수의 보조혈(2B₁₂),(2B₂₂)가 각각 설치되어 있다. 더우기, 설정 라인(1C₁), (1C₂)에는 다수의 분출공(2C₁₁), (2C₂₁)과 다수의 보조혈(2C₁₂),(2C₂₂)이 설치되어 있다.

분출공(2A₁₁)∼(2C₁₁), (2A₂₁)∼(2C₂₁) 및 보조혈(2A₁₂)∼(2C₁₂), (2A₂₂)∼(2C₂₂)는 도 22의 분출공(113) 및 보조혈(114)과 각각 같다. 그리고, 분출공(2A₁₁)과 보조혈(2A₁₂), 분출공(2B₁₁)과 보조혈(2B₁₂), 분출공(2C₁₁)과 보조혈(2C₁₂), 분출공(2A₂₁)과 보조혈(2A₂₂), 분출공(2B₂₁)과 보조혈(2B₂₂) 및 분출공(2C₂₁)과 보조혈(2C₂₂)이, 부상용 분출 부분(2A₁), (2B₁), (2C₁), (2A₂), (2B₂), (2C₂)을 각각 구성한다. 더우기 모든 분출공 (2A₁₁), (2B₁₁),(2C₁₁),(2A₂₁),(2B₂₁),(2C₂₁)이 부상용 분출공 열을 각각 형성한다.

설정 라인(1C₁)과 설정 라인(1C₂) 사이에는 설정 라인(1D₁), (1D₂), (1E₁), (1E₂)이 각각 설정되어 있다. 설정 라인(1D₁), (1D₂), (1E₁), (1E₂)은 이동용 분출공을 배치하기 위한 것이다. 즉, 설정 라인(1D₁), (1D₂)에는 다수의 분출공(2D₁₁),(2D₂₁)과 다수의 보조혈(2D₁₂), (2D₂₂)이 설치되어 있다. 설정 라인(1E₁), (1E₂)에는 다수의 분출공(2E₁₁), (2E₂₁)과 다수의 보조혈(2E₁₂), (2E₂₂)이 설치되어 있다.

각 분출공(2E₁₁), (2E₂₁) 및 각 보조혈(2E₁₂), (2E₂₂)은 도 23의 분출공(115) 및 보조혈(116)과 각각 같고, 유리판을 이동방향(310)으로 보낸다. 각 분출공(2D₁₁), (2D₂₁) 및 각 보조혈(2D₁₂), (2D₂₂)은 유리판을 이동방향(310)과 반대방향으로 보낸다. 그리고, 분출공(2D₁₁)과 보조혈(2D₁₂), 분출공(2D₂₁)과 보조혈(2D₂₂)이 제 1 이동용 분출 부분(2D₁), (2D₂)을 각각 형성하고, 분출공(2E₁₁)과 보조혈(2E₁₂), 분출공(2E₂₁)과 보조혈(2E₂₂)이 제 2 이동용 분출부분(2E₁), (2E₂)을 각각 형성한다.

기부(1) 상면(1₁)의 한 쪽 단부와 설정 라인(1A₁)간, 및 상면(1₁)의 다른 쪽 단부와 설정 라인(1A₂)간에는 설정 라인(1F₁), (1F₂)가 각각 설정되어 있다. 설정 라인(1A₁), (1B₁), (1C₁)의 각 사이에는 설정 라인(1G₁), (1H₁)이 각각 설정되고 설정 라인(1A₂), (1B₂), (1C₂)의 각 사이에는 설정 라인(1G₂), (1H₂)이 각각 설정되어 있다. 즉, 설정 라인(1A₁), (1B₁), (1C₁)과 설정 라인(1F₁), (1G₁), (1H₁)이 교호로 배치되고, 동시에 설정 라인(1A₂), (1B₂), (1C₂)과 설정 라인(1F₂), (1G₂), (1H₂)이 교호로 배치되어 있다. 이 결과, 설정 라인(1F₁), (1G₁), (1H₁)이 일정 간격으로 배치되고, 같은 방법으로 설정 라인(1F₂), (1G₂), (1H₂)이 일정 간격으로 배치되게 된다.

설정 라인(1F₁), (1F₂)에는 도 3에 도시한 것 같이, 다수의 분출공(2F₁₁), (2F₂₁)과 다수의 보조혈(2F₁₂), (2F₂₂)이 설치되어 있다. 각 분출공(2F₁₁), (2F₂₁)이 기부(1)의 상면(1₁)에 대해 상방향으로 또, 상면(1₁)의 중심(1₂)을 향해 기체를 분출한다.

설정 라인(1F₁)에 위치하는 분출공(2F₁₁)과 보조혈(2F₁₂)이 유리판(300)의 조심을 하기위한 조심용 분출 부분(2F₁)을 구성한다. 도 4에 도시한 것 같이, 조심용 분출부분(2F₁)의 분출공(2F₁₁)이 유리판(300)의 측벽(301)을 향해 분출방향(θ1)으로 기체를 분출한다. 이 때의 기체 분출 방향(θ1)은 부상용 분출부분(2A₁)의 분출공(2A₁₁)이 분출하는 기체의 분출 방향이 (θ2)일 때, 다음과 같이 설정되어 있다. 또한, 분출 방향(θ1), (θ2)은 상면(1₁)을 기준으로 한 각도이다.

0(제로) ＜ 분출방향 (θ1) ＜ 분출방향(θ2)

분출방향(θ1), (θ2)의 이러한 설정에 의해, 기체의 분출로 발생하는 힘이 유리판(300)에 작용한다. 즉, 분출방향(θ1)에 분출된 기체에 의해 유리판(300)이 받는 힘(W₁)은 상면(1₁)과 평행한 힘인 조심력(W₁₁)과 상면(1₁)에 대해 직각의 힘인 부상력(W₁₂)으로 나뉘어진다. 똑같이, 분출방향(θ2)으로 분출된 기체에 의해 유리판(300)이 받는 힘(W₂)은 조심력(W₂₁)과 부상력(W₂₂)으로 나뉘어진다.

분출방향(θ1)이 분출방향(θ2)에 비해 작으므로, 추진력과 부상력의 관계가 다음과 같아진다.

조심력(W₂₁) ＜ 조심력(W₁₁)

부상력(W₂₂) ＜ 부상력(W₁₂)

이것에 의해 부상용 분출 부분(2A₁)의 조심력(W₂₁)에 비해 조심용 분출부분(2F₁)의 조심력(W₁₁)이 커지므로, 주로 분출방향(θ1)의 기체에 의해, 유리판(300)이 상면(1₁)의 중심(1₂)으로 이동한다.

설정 라인(1F₁)과 같은 방법으로 하여, 설정 라인(1F₂)에는 다수의 분출공(2F₂₁)과 다수의 보조혈(2F₂₂)이 설치되어 있다. 분출공(2F₂₂)과 보조혈(2F₂₂)이 조심용 분출 부분(2F₂)을 구성한다. 조심용 분출 부분(2F₂)이 분출하는 기체의 분출 방향이 조심용 분출 부분(2F₁)으로부터의 기체 분출방향과 마주보도록 조심용 분출부분(2F₂)의 분출공(₂₁)과 조심용 분출부분(2F₁)의 분출공(2F₁₁)이 배열되어 있다. 이것에 의해 조심용 분출 부분(2F₂)은 조심용 분출부분(2F₁)과 짝을 이루어 유리판에 대한 조심을 행한다.

설정 라인(1G₁), (1G₂)에는 다수의 분출공(2G₁₁), (2G₂₁)과 다수의 보조혈(2G₁₂), (2G₂₂)이 설치되어 있다. 분출공(2G₁₁)과 보조혈(2G₁₂)이 조심용 분출 부분(2G₁)을 구성하고, 분출공(2G₂₁)과 보조혈(2G₂₂)이 조심용 분출 부분(2G₂)을 구성한다. 조심용 분출 부분(2G₁), (2G₁)은 조심 분출 부분(2F₁), (2F₂)과 동일하고, 각 분출공(2G₁₁), (2G₂₁)이 상면(1₁)의 중심(1₂)을 향해 분출방향(θ1)으로 기체를 각각 분출한다.

설정 라인(1H₁), (1H₂)에는 다수의 분출공(2H₁₁), (2H₂₁)과 다수의 보조혈(2H₁₂), (2H₂₂)가 설치되어 있다. 분출공(2H₁₁)과 보조혈(2H₁₂)이 조심용 분출부분(2H₁)을 구성하고, 분출공(2H₂₁)과 보조혈(2H₂₂)이 조심용 분출 부분(2H₂)을 구성한다. 조심용 분출 부분(2H₁), (2H₂)은 조심 분출 부분(2F₁), (2F₂)과 같으며, 각 분출공(2H₁₁), (2H₂₁)이 상면(1₁)의 중심(1₂)을 향해 분출 방향(θ1)으로 기체를 각각분출한다.

설정 라인(1F₁)상의 분출공(2F₁₁)과 설정 라인(1G₁)상의 분출공(2G₁₁)과 설정 라인(1H₁)상의 분출공(2H₁₁)이 제 1의 면측 분출부를 형성하고 또, 설정 라인(1F₂)상의 분출공(2F₂₁)과 설정 라인(1G₂)상의 분출공(2G₂₁)과 설정 라인(1H₂)상의 분출공(2H₂₁)이 제 2의 면측 분출부를 형성한다. 더우기, 제 1과 제 2의 면측분출부와 공급계(도시를 생략)가 제 2분출 수단을 구성한다.

다음으로, 이 실시예 1의 동작에 관해 설명한다.

기부(1)에 보내어진 유리판(300)은 부상용 분출 부분(2A₁)∼(2C₁), (2A₂)∼(2C₂)으로부터 분출되는 기체로 부상한다. 또, 유리판(300)은 제 1 이동용 분출 부분(2D₁), (2D₂)로부터 분출되는 기체로 이동방향(310)으로 보내어진다.

동시에, 유리판(300)의 측벽(301)에는 이 유리판(300)의 폭에 따른 조심용 분출 부분, 예를 들면, 도 5에 도시한 바와 같이, 조심용 분출 부분(2F₁), (2F₂)로부터의 기체가 분출된다. 분출되는 기체에 의해, 유리판(300)이 중심(1₂)으로 이동하고, 유리판(300)에 대한 조심이 행해진다.

이렇게 실시예 1에 의하면, 부상용 분출 부분(2A₁)∼(2C₁), (2A₂)∼(2C₂), 제 1 이동용 분출 부분(2D₁)∼(2D₂), 제 2 이동용 분출 부분(2E₁), (2E₂)과는 별도로,조심용 분출 부분(2F₁)∼(2H₁), (2F₂)∼(2H₂)이 설치되어 있다. 그리고, 조심용 분출부분(2F₁)∼(2H₁), (2F₂)∼(2H₂)이 분출하는 기체에 의해, 유리판(300)에 대한 조심이 행해지기 때문에 유리판(300)이 무거워져도, 조심용으로 강하게 분출되는 기체에 의해 유리판(300)에 대한 조심을 할 수 있다.

또, 조심용 분출 부분(2F₁)∼(2H₁)과 조심용 분출 부분(2F₂)∼(2H₂)이 상면(1₁)의 중심(1₂)을 향해 순서대로 늘어서 있다. 이 결과, 유리판의 폭에 따라 조심용 분출 부분(2F₁)∼(2H₁)과 조심용 분출 부분(2F₂)∼(2H₂) 중에서 최적의 조심용 분출 부분을 선택하면, 임의의 폭의 유리판에 대한 조심을 할 수 있다. 즉, 유리판의 반송후, 이 유리판과 폭이 다른 유리판의 반송(이하, 유리판의 혼재 반송이라함)을 가능하게 한다.

실시예 2

다음으로, 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예 2에 관해 서술한다. 도 6은 실시예 2에 따른 부상 반송 장치의 기부를 도시하는 단면도이다.

실시예 2에서는 실시예 1에서 이용된 부상용 분출 부분(2A₁)∼(2C₁), (2A₂), (2C₂) 대신에 도 6에 도시하는 부상용 분출 부분(11A₁)∼(11C₁), (11A₂)∼(11C₂)이 이용되고 있다. 즉, 실시예 2의 부상용 분출 부분(11A₁), (11A₂)은 다수의 분출공(11A₁₁), (11A₂₁)과 다수의 보조혈(11A₁₂), (11A₂₂)을 구비하고 있다. 각 보조혈(11A₁₂), (11A₂₂)은 실시예 1의 보조혈(2A₁₂), (2A₂₂)과 각각 같다.

각 분출공(11A₁₁), (11A₂₁)은 실시예 1의 분출공(2A₁₁), (2A₂₁)과 다르고, 기부(10)의 상면(10₁)에 대해 직각 방향으로 기체를 분출한다. 즉, 실시예 2 에서는 도 5의 분출방향(θ2)이 90 도이고, 각 분출공(11A₁₁), (11A₂₁)은 유리판의 부상전용으로 이용되고 있다.

부상용 분출 부분(11B₁), (11C₁)은 다수의 분출공(11B₁₁), (11C₁₁)과 다수의 보조공(11B₁₂), (11C₁₂)을 구비하고, 부상용 분출부분(11B₂), (11C₂)는 다수의 분출공(11B₂₁), (11C₂₁)과 다수의 보조혈(11B₂₂), (11C₂₂)을 구비하고 있다.

분출공(11B₁₁), (11C₁₁) 및 보조혈(11B₁₂), (11C₁₂)는 분출공(11A₁₁) 및 보조혈(11A₁₂)과 각각 동일하며, 분출공(11B₂₁), (11C₂₁) 및 보조혈(11B₂₂), (11C₂₂)은 분출공(11A₂₁) 및 보조혈(11A₂₂)과 각각 동일하다.

또, 실시예 2에서는 실시예 1과 동일한 제 1 이동용 분출부분(11D₁), (11D₂)과 제 2이동용 분출 부분(11E₁), (11E₂)을 구비하고 있다.

더우기, 실시예 2에서는 도시를 생략하고 있지만, 실시예 1과 동일한 조심용 분출 부분을 구비하고 있다.

이렇게 하여, 실시예 2에 의해 부상용 분출 부분(11A₁)∼(11C₁),(11A₂)∼(11C₂)가 기부(10)의 상면(10₁)에 대해 직각 방향으로 기체를 분출하므로, 유리판이 무거워져도 부상용 분출 부분(11A₁)∼(11C₁), (11A₂)∼(11C₂)과 조심용 분출 부분에 의해 상면(10₁)의 중심을 따라 유리판을 부상시켜서, 이동시킬 수 있다.

또, 부상용 분출 부분(11A₁)∼(11C₁), (11A₂), (11C₂)이 기부(10)의 상면(10₁)에 대해 직각방향으로 기체를 분출하므로, 도 4의 분출방향(θ1)을

0 ＜ θ1 ＜ 90

과 같이 광범위하게 설정할 수 있다.

실시예 3

다음으로, 도 7∼9를 참조하여, 본 발명의 실시예 3에 관해 서술한다. 도 7은 실시예 3에 따른 부상 반송 반치의 기부를 도시하는 평면도이다. 도 8은 도 7의 III-III 단면을 도시하는 단면도이다. 도 9는 실시예 3에 따른 분출 장치를 도시하는 사시도이다.

실시예 3에 따른 부상 반송 장치는 부상에 의해 판상 기체를 반송하는 반송 시스템 중 이송 유닛이고, 기부(21), 덮개(22) 및 측방 분출부로 조심부(23), (24)를 구비하고 있다.

덮개(22)는 도 21의 덮개(120)와 동일하다. 기부(21)는 분출공(21A₁₁)∼(21A₆₁)과 보조혈(21A₁₂)∼(21A₆₂)을 각각 구비하고 있는 부상용 분출 부분(21A₁)∼(21A₆), 분출공(21B₁₁)∼(21B₁₂)과 보조혈(21B₁₂), (21B₂₂)을 각각 구비하고 있는 제 1 이동용 분출 부분(21B₁)∼(21B₂) 및 분출공(21C₁₁), (21C₁₂)과 보조혈(21C₁₂), (21C₂₂)을 각각 구비하고 있는 제 2 이동용 분출 부분(21C₁), (21C₂)를 구비하고 있다.

부상용 분출 부분(21A₁)∼(21A₃), (21A₄)∼(21A₆)은 실시예 1의 부상용 분출 부분(2A₁)∼(2C₁), (2A₂)∼(2C₂)과 동일하고, 제 1 이동용 분출 부분(21B₁), (21B₂)은 실시예 1의 제 1 이동용 분출 부분(2D₁), (2D₂)과 동일하다. 또, 제 2 이동용 분출 부분(21C₁), (21C₂)는, 실시예 1의 제 2 이동용 분출 부분(2E₁), (2E₂)과 동일하다.

조심부(23), (24)는 구동장치(23A), (24A), 4개의 신축장치(23B), (24B) 및 4개의 분출장치(23C), (24C)를 각각 구비하고 있다.

신축장치(23B), (24B)는 덮개(22)에 나있는 관통혈(22A)을 통해 4개의 분출 장치(23C), (24C)를 구동장치(23A), (24A)에 각각 접속한다. 신축장치(23B), (24B)는 이동방향(310)과 직각인 방향으로, 또, 기부(21)의 중심을 향해, 구동장치(23A), (24A)의 제어에 의해 각각 신축한다. 또, 신축장치(23B), (24B)는 구동장치(23A), (24A)로부터의 기체를 분출장치(23C), (24C)로 각각 보낸다.

구동장치(23A), (24A)는 4개의 신축장치(23B), (24B)를 각각 구동한다. 즉, 구동장치(23A), (24A)는 보내져 오는 유리판(300)의 폭에 따라 4개의 신축장치(23B), (24B)를 기부(21)의 중심을 향해 각각 신축시킨다. 이것에 의해, 구동장치(23A), (24A)는 분출장치(23C), (24C)를 유리판(300)의 측벽부근에 위치하도록 한다. 동시에, 구동장치(23A), (24A)는 신축장치(23B), (24B)를 거쳐서, 분출장치(23C), (24C)로 각각 기체를 보낸다.

분출장치(23C)는 도 9에 도시한 바와 같이, 직방체의 형상이고, 유리판(300)을 보내는 방향으로 길다. 분출장치(23C)의 내부가 중공이다. 분출장치(23C)의 정면(23C₁) 즉, 분출장치(24C)와 마주보는 면에는 복수의 분출공(23C₂)이 나있다. 분출공(23C₂)은 부상한 유리판(300)의 측면의 하부에 위치하듯이, 정면(23C₁)에 나있다. 또, 분출공(23C₂)은 분출장치(23C)의 긴 쪽 방향으로 일렬로 늘어서 구멍이 나있다. 이것에 의해, 분출공(23C₂)은 기부(21)의 정면에 대해 수평방향으로 , 즉 이 상면에 대해 경사각도 0(제로)로 기체를 분출한다. 각 분출장치(24C)는 분출장치(23C)와 각각 동일하므로, 설명을 생략한다.

4개의 분출장치(23C), (24C)는 구동장치(23A), (24A)로부터 보내져 오는 기체를 기부(21)의 중심을 향해 분출공(23C₂)으로부터 각각 분출한다. 이 때, 분출장치(23C), (24C)는 유리판(300)의 측면 하부에 기체를 분출한다. 이 결과, 실시예 3에 의해, 분출장치(23C), (24C)는 유리판(300)의 중심이 기부(21)의 중심에 위치하듯이, 유리판(300)을 기체의 분출로 움직일 수 있다.

또, 분출장치(23C), (24C)는 부상한 유리판(300)의 하부 측면에 기체를 분출하므로, 유리판(300)의 두께가 달라도, 유리판(300)을 기부(21)의 중심으로 움직일 수 있다.

더우기, 유리판(300)의 측면 가까이에서 경사각도 0(제로)로, 기체가 분출되므로, 유리판(300)에 작용하는 조심용 힘을 크게 할 수 있다. 이 결과, 유리판(300)의 중심을 단시간에 기부(21)의 중심으로 이동시킬 수 있다.

실시예 4

다음으로, 도 10을 참조하여, 본 발명의 실시예 4에 관해 서술한다. 도 10은 실시예 4의 분출장치를 도시하는 사시도이다.

실시예 4에서는 실시예 3의 분출장치(23C), (24C) 대신에, 도 10에 도시하는 분출장치(25)가 이용되고 있다. 분출장치(25)는 분출장치(23C), (24C)를 분할형으로 한 것이다. 즉, 분출장치(25)는 상부(25A)와 하부(25B)로 구성되어 있다. 상부(25A)와 하부(25B)는 같은 상자형 형상을 하고 있다. 하부(25B)의 개구(25B₁)에는 사각형상의 복수 절결(25B₂)이 설치되어 있다. 하부(25B)의 개구(25B₁)에 상부(25A)의 개구가 덮듯이, 상부(25A)가 하부(25B)에 설치 가능하다. 상부(25A)가 하부(25B)에 설치되었을 때, 절결(25B₂)이 분출공이 된다.

실시예 4에 의해, 분출장치(25)의 내부에 먼지 등이 부착되어 기체의 흐름이 나빠졌을 때, 상부(25A)와 하부(25B)를 분리하여, 분출장치(25)의 내부를 간단히 청소하는 것을 가능하게 한다. 즉, 실시예 4에 의해, 분출장치(25)에 대한 일상의 보수점검을 간단하게 할 수 있다.

실시예 5

다음으로 도 11을 참조하여, 본 발명의 실시예 5에 관해 서술한다. 도 11은실시예 5에 따른 기부의 단면을 도시하는 단면도이다.

실시예 5에서는 다음의 점이 실시예 3과 다르다. 즉, 실시예 3에서는 분출장치(23C), (24C)에 대한 기체공급이 구동장치(23A), (24A)로 이루어져 있다. 실시예 5에서는 기부(30)로부터 기체공급이 이루어져 있다. 실시예 5의 기부(30)는 실시예 3과 똑같이, 부상 분출 부분(31A₁)∼(31A₆), 제 1 이동용 분출 부분(31B₁), (31B₂) 및 제 2 이동용 분출 부분(31C₁), (31C₂)을 내부에 구비하고 있다.

또, 실시예 5의 기부(30)는 공급장치(32), (33)를 내부에 구비하고 있다. 공급장치(32), (33)는 기부(30)의 상면(30b)을 따라가듯이, 또, 기부(30)의 양쪽에 설치되어 있다. 공급장치(32), (33)는 공급계(도시를 생략)로부터 기체의 공급을 받는다. 그리고, 공급장치(32), (33)는 공급된 기체를 상방을 향해 흘린다.

더우기, 기부(30)의 상면(30B)에, 또, 공급장치(32), (33)의 상단에 분출장치(34), (35)가 놓여져 있다. 분출장치(34), (35)는 분출장치(23C), (24C)와 똑같이, 내부가 중공의 직방체이다. 분출장치(34), (35)가 서로 마주하는 면인 정면에는 복수의 분출공이 분출장치(23C), (24C)와 똑같이 설치되어 있다. 이러한 분출장치(34), (35)는 실시예 3의 분출장치(23C), (24C)와 똑같이 유리판(300)의 측면 하부를 향해 기체를 분출한다.

이렇게 해서, 실시예 5에 의해, 기부(30)와 덮개(30A)의 외측 기체공급을 하는 장치를 불필요하게 할 수 있다.

실시예 6

다음으로, 도 12∼14를 참조하여, 본 발명의 실시예 6에 관하여 서술한다. 도 12는 실시예 6에 따른 부상반송장치의 기부를 도시하는 평면도이다. 도 13은 도 12의 IV-IV단면을 도시하는 단면도이다. 도 14는 도 12의 슬릿부분을 도시하는 사시도이다.

실시예 6에 따른 부상 반송 장치는 부상에 의해 판상 기체를 반송하는 반송시스템 중의 이송 유닛이다. 실시예 6에서는 실시예 1의 기부(1) 대신에 도 12에 도시하는 기부(40)가 이용되고 있다. 기부(40)의 상면(40₁)에는 조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n), (42₁)∼(42_n), 부상용 슬릿열(43₁)∼(43_n), (44₁)∼(44_n), 다수의 분출공(45₁₁), (45₂₁)을 구비하는 제 1이동용 분출공 열(45₁), (45₂), 및 다수의 분출공(45₃₁), (45₄₁)을 구비하는 제 2이동용 분출공 열(45₂), (45₄)이 설치되어 있다. 제 1이동용 분출공 열(45₁), (45₂)과 제 2이동용 분출공 열(45₂), (45₄)는 도 1의 제 1이동용 분출공 열(2D₁₁), (2D₂₁)과 제 2이동용 분출공 열(2E₁₁), (2E₂₁)과 각각 동일하므로, 이들의 설명을 생략한다. 조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n)과 조심용 슬릿열(42₁)∼(42_n)이 면측 분출부를 각각 형성하고 이들 2개의 면측 분출부가 제 2분출수단을 형성한다.

조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n)은 상면(40₁)의 중심을 향해 등간격으로 늘어서서 설치되어 있다. 조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n)은 복수의 분출 슬릿(41₁₁)∼(41_n1)을 각각구비한다. 분출 슬릿(41₁₁)은 다음과 같이 형성되어 있다. 즉, 도 14에 도시한 바와 같이, 분출 슬릿(41₁₁)은 기부(40)의 내부 보조혈(41₁₂)에 설치되어 있다. 보조공(41₁₂)은 기부(40)의 세로 방향으로 긴 중공의 구멍이고, 공급계(도시를 생략)로부터 기체의 공급을 받는다. 기부(40)의 상면(40₁)을 마주하는 보조혈(41₁₂)의 부분이 삼각주의 형상을 하고 있다. 보조혈(41₁₂)의 삼각주 부분에서 기부(40)의 상면(40₁)까지의 사이에 설치된 슬릿이 분출 슬릿(41₁₁)이다.

분출 슬릿(41₁₁)은 상면(40₁)에 대해 각도(θ3)의 방향으로 나있다. 각도(θ3)는 실시예 1의 분출방향(θ1)과 같다. 이것에 의해, 분출 슬릿(41₁₁)은 상면(40₁)으로부터 각도(θ3) 즉, 분출방향(θ1)으로 또, 상면(40₁)의 중심을 향해 조심용 기체를 분출한다.

분출 슬릿(41₁₁)∼(41_n1) 중 다른 것도, 분출 슬릿(41₁₁)과 동일하다.

조심용 슬릿열(42₁)∼(42_n)은 조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n)과 똑같이, 상면(40₁)의 중심을 향해 등간격으로 늘어서서 설치되어 있다. 조심용 슬릿열(42₁)∼(42_n)은 조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n)과 똑같이, 복수의 분출 슬릿(42₁₁)∼(42_n1)을 각각 구비한다. 그리고, 분출 슬릿(42₁₁)은 보조혈(42₁₂)∼(42_n2)과 상면(40₁)사이에 설치되어 있다. 분출 슬릿(42₁₁)∼(42_n1)은 조심용 슬릿열(41₁)∼(41₁₁)과 똑같이, 상면(40₁)로부터 각도(θ3) 즉, 분출방향(θ1)으로 또, 상면(40₁)의 중심을 향해 조심용 기체를 분출한다.

이들 조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n)과 조심용 슬릿열(42₁)∼(42_n)에 의해 반송되는 유리판의 중심을 기부(40)의 상면(40₁)의 중심에 맞게 한다.

부상용 슬릿열(43₁)∼(43_n)은 분출 슬릿(43₁₁)∼(43_n1)과 보조혈(43₁₂)∼(43_n2)을 각각 구비한다. 또, 부상용 슬릿열(44₁)∼(44_n)은 분출 슬릿(44₁₁)∼(44_n1)과 보조혈(44₁₂)∼(44_n2)을 각각 구비한다. 부상용 슬릿열(43₁)∼(43_n) 및 부상용 슬릿열(44₁)∼(44_n)은 다음의 점을 빼고, 조심용 슬릿열(41₁)∼(41_n) 및 조심용 슬릿열(42₁)∼(42_n)과 각각 똑같은 구조를 하고 있다. 즉, 부상용 슬릿열(43₁)∼(43_n)의 분출 슬릿(43₁₁)∼(43_n1)과 부상용 슬릿열(44₁)∼(44_n)의 분출 슬릿(44₁₁)∼(44_n1)이 나있는 각도가 실시예 1의 분출방향(θ2)과 동일하다. 이것에 의해 부상용 슬릿열(43₁)∼(43_n1), (44₁)∼(44_n)은 실시예 1과 똑같이 유리판을 부상시킨다.

이렇게 하여, 실시예 6에 의하면, 부상용과 조심용으로 이용되는 분출 슬릿이 가늘고 긴 형상이므로, 상면(40₁)을 비스듬하게 자르는 가공만으로 분출 슬릿을 형성할 수 있다. 또, 하나의 분출 슬릿이 복수의 분출공에 대응하므로, 조심용과 부상용의 기체를 분출하기 위한 구조를 적은 공수로 형성할 수 있다.

실시예 7

다음으로, 도 15∼19를 참조하여 본 발명의 실시예 7에 대해 설명한다. 도 15는 실시예 7에 이용되고 있는 분출 슬릿 구조를 도시하는 평면도이다. 도 16은 도 15의 V-V단면을 도시하는 단면도이다. 도 17은 도 16의 홈을 도시하는 사시도이다. 도 18은 도 16의 차폐판의 단면을 도시하는 단면도이다. 도 19는 도 16의 차폐판 저면을 도시하는 저면도이다.

실시예 7에서는 실시예 6의 분출 슬릿이 다른 구조를 하고 있다. 즉, 도 15, 16에 도시한 바와 같이, 실시예 7의 분출 슬릿을 형성하기 위한 분출 슬릿구조(50)는 차폐판(51), 홈(52) 및 공급혈(53)에 의해 형성된다. 홈(52)은 기부(40)의 상면(40₁)에 설치되어 있다. 홈(52)은 도 17에 도시한 바와 같이, 저면(52A)을 구비하고 있다. 저면(52A)은 폭이 L1인 장방형이고, 기부의 상면(40₁)을 따라 길다. 저면(52A)의 한쪽 단부에는 이 저면(52A)과 직교하듯이, 측면(52B)이 형성되어 있다. 측면(52B) 상단이 상면(40₁)과 직각으로 교차하고, 측면(52B)의 폭이 홈(52)의 깊이로 되어 있다. 저면(52A)의 다른 쪽 단부에는 사면(52C)이 형성되어 있다. 사면(52C)은 상면(40₁)에 대해 각도가 (θ4)가 되도록 경사져 있다. 사면(52C)의 상단은 상면(40₁)과 교차하고 있다. 이렇게 홈(52)은 각도(θ4)로 경사진 사면(52C)을 갖고, 개구의 최대가 폭(L2)인 대형을 하고 있다.

공급혈(53)은 기부(40)에 나있었던 동그란 구멍이고, 저면(52A)이 사면(52C)과 교차하는 부분에 일정 간격으로 설치되어 있다. 공급혈(53)에는 공급계(도시를생략)로부터 기체가 공급된다.

차폐판(51)은 홈(52)내에 놓여진 것이다. 차폐판(51)은 도 18에 도시한 바와 같이, 단면형상이 대형을 한 판이다. 즉, 차폐판(51)의 측면(51A)가 홈(52)의 측면(52B)과 같은 형상을 하고 있다. 차폐판(51)이 홈(52)에 놓여졌을 때, 측면(51A)이 측면(52B)에 접촉한다. 차폐판(51)의 상면(51B) 및 하면(51C)의 한쪽 단부가 측면(51A)의 상하 양 단부로 되어 있다. 그리고, 상면(51B) 및 하면(51C)은 측면(51A)에 대해 직각이 되어 있다. 상면(51B)의 폭이 차폐판(51)의 폭(L1)보다 소정의 길이만큼 짧고 같은 방법으로 하면(51C)의 폭이 차폐판(51)의 폭(L1)보다 소정 길이만큼 짧아져 있다. 차폐판(51)이 홈(52)에 놓여졌을 때, 하면(51C)이 홈(52)의 저면(52A)에 접촉한다.

상면(51B) 및 하면(51C)의 다른 쪽 단부간에 형성된 면이 사면(51D)이다. 사면(51D)는 홈(52)의 사면(52C)와 같은 형상을 하고 있다. 상면(51B)의 폭이 폭(L2)보다 소정의 길이만큼 짧고, 하면(51C)의 폭이 폭(L1)보다 소정의 길이만큼 짧아져 있으므로 차폐판(51)이 홈(52)에 놓여져 있을 때, 사면(51D)이 홈(52)의 사면(52C)로부터 분리된다. 이 때, 사면(51D)은 사면(52C)과 마주하도록 또, 사면(52C)에 대해 일정한 간격을 유지한다. 이 결과 기체를 분출하는 각도가 (θ4)인 분출 슬릿(50A)이 형성된다.

차폐판(51)의 사면(51D)에는 스페이서(51E)가 설치되어 있다. 스페이서(51E)의 두께는 사면(51D)과 사면(52C)의 거리와 같다. 또, 스페이서(51E)는 도 19에 도시한 바와 같이, 공급혈(53)을 덮지않도록, 또, 기체의 흐름을 양호하게 유지하기위해 등간격으로 사면(51D)에 배치되어 있다. 스페이서(51E)에 의해 차폐판(51)이 홈(52)에 놓여져 있을 때에 측면(51A)이 측면(52B)에 밀착한다. 즉, 스페이서(51E)에 의해, 차폐판(51)을 홈(52)에 놓는 것만으로, 위치를 결정하는 것등을 불필요하게 하여, 확실히 분출 슬릿(50A)을 형성할 수 있다.

이렇게 해서 형성된 분출 슬릿(50A)은 실시예 6과 똑같이, 부상용과 조심용으로 이용할 수 있다. 이 때, 부상용과 조심용으로는 각도(θ4)를 바꾸면 된다.

또, 분출 슬릿(50A)을 형성하는 경우, 커터 등을 이용하여 기부(40)의 상면(40₁)에 대한 가공이 불필요해진다. 이 결과, 분출 슬릿(50A)의 형성을 간단하게 할 수 있고, 각도(θ4)의 설정을 간단하게 할 수 있다.

이상, 설명한 바와 같이, 본 발명은 판상의 반송면을 구비하고 이 반송면을 따라 판상 기체를 보내기위한 기부와 상기 반송면으로부터 기체를 분출하므로써, 판상 기체를 상기 반송면으로부터 부상시킴과 동시에 부상한 판상기체를 상기 반송면을 따라 이동시키는 제 1 분출수단과 상기 제 1 분출수단에 의해 부상한 판상 기체를 상기 반송면의 중심위치로 유지하기 위해, 기체를 분출하는 제 2 분출수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 제 2 분출수단이 가이드용 및 조심전용으로 설치되어 있으므로, 판상 기체가 무거워져도, 기체의 분출에 의한 조심을 위한 강한 힘을 판상기체에 가할 수 있다. 이것에 의해 판상기체의 S자 이동을 막고, 판상기체를 기부의 중심위치로 신속하게 이동시킬 수가 있으며, 판상기체의 비접촉에 의한 반송을 가능하게 한다.

본 발명에서는 상기 제 2 분출수단은 상기 반송면 상 양측을 따라 배치되어 있는 2개의 측방 분출부와 이들 2개의 측방 분출부에 기체를 공급하는 공급계를 구비하고, 상기 각 측방 분출부는 상기 반송면의 중심 방향으로 기체를 분출하는 분출공을 다수 구비하는 것을 특징으로 한다. 또, 본 발명에서는 상기 각 측방 분출부는 상기 반송면의 중심방향으로 이동가능한 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 각 측방 분출부로 예를 들면, 관상인 것을 이용하면 각 측방분출부를 간단한 재료를 이용하여 형성할 수 있다. 더우기 각 측방 분출부를 이동가능하게 하므로써, 폭이 다른 판상 기체에 대응할 수 있다.

본 발명에서는 상기 제 2 분출수단은 상기 반송면의 중심을 감싸듯이 상기 반송면에 배치됨과 동시에 상기 반송면의 중심방향으로 기체를 분출하는 2개의 면측 분출부와, 이들 면측 분출부에 기체를 공급하는 공급계를 구비하는 것을 특징으로 한다. 또, 본 발명에서는 상기 각 면측 분출부는 상기 반송면을 따라 적어도 1개의 분출공 열을 구비하고 상기 분출공 열은 상기 반송면의 중심을 향해 복수열 설치되며 상기 각 분출공 열은 상기 반송면의 중심을 향해 기체를 분출함과 동시에 상기 반송면을 따라 늘어서 있는 다수의 분출공을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 제 2 분출수단이 반송면에 설치되어 있으므로, 기체를 분출하기위한 기구를 반송면상에 설치하는 것을 불필요하게 할 수 있다. 또, 유리판의 폭에 따라 데 2 분출 수단이 자동적으로 선택되므로, 임의의 폭의 유리판 혼재 반송을 가능하게 한다. 이 결과, 장치가 간단해지므로, 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

본 발명에서는 상기 각 면측 분출부는 상기 반송면을 따라 적어도 하나의 분출 슬릿열을 구비하고 상기 반출 슬릿열은 상기 반송면의 중심을 향해 복수열이 설치되고, 상기 각 분출 슬릿열은 상기 반송면의 중심을 향해 기체를 분출함과 동시에 상기 반송면을 따라 늘어서 있는 복수의 분출 슬릿을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해 하나의 분출 슬릿이 복수의 분출공에 대응하므로, 제 2 분출 수단의 형성을 간단화할 수 있다.

Claims

판상의 반송면을 구비하고, 이 반송면을 따라 판상 기체를 보내기 위한 기부와,

상기 반송면으로부터 기체를 분출하는 것에 의해 판상 기체를 상기 반송면에서 부상시킴과 동시에 부상한 판상기체를 상기 반송면을 따라 이동시키는 제 1 분출수단과,

상기 제 1 분출수단에 의해 부상한 판상 기체를 상기 반송면의 중심 위치에 유지하기 위해 기체를 분출하는 제 2 분출수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
제 1항에 있어서, 상기 제 2 분출수단은 상기 반송면 위 양쪽을 따라 배치되어 있는 두 개의 측방 분출부와, 이들 두 개의 측방 분출부에 기체를 공급하는 공급계를 구비하고, 상기 각 측방 분출부는 상기 반송면의 중심 방향으로 기체를 분출하는 분출공을 다수 구비하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
제 2항에 있어서, 상기 각 측방 분출부는 상기 반송면의 중심 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
제 1항에 있어서, 상기 제 2 분출수단은 상기 반송면의 중심을 감싸듯이 상기 반송면에 배치됨과 동시에 상기 반송면 중심방향으로 기체를 분출하는 두개의 면측 분출부와 이들 면측 분출부에 기체를 공급하는 공급계를 구비하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
제 4항에 있어서, 상기 각 면측 분출부는 상기 반송면을 따라 적어도 하나의 분출공 열을 구비하고, 상기 분출공 열은 상기 반송면 중심을 향해 복수열이 설치되며, 상기 각 분출공 열은 상기 반송면의 중심을 향하여 기체를 분출함과 동시에 상기 반송면을 따라 나열되어 있는 다수의 분출공을 구비하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 각 면측 분출부는 상기 반송면을 따라 적어도 하나의 분출 슬릿열을 구비하고, 상기 분출 슬릿열은 상기 반송면의 중심을 향해 복수열이 설치되며, 상기 각 분출 슬릿열은 상기 반송면의 중심을 향해 기체를 분출함과 동시에 상기 반송면을 따라 늘어서 있는 복수의 분출슬릿을 구비하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.