TW460423B - Method and apparatus for producing a glass base material for an optical fiber - Google Patents

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4 ®砂4¾¾專利申請案 L· " 中文·書修正頁民國89年9妒i /妨肩m ? -----B7_ __, 五、發明說明（1 ) 發明背景 發明領域 (請先®讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種製造用於光纖之玻璃基材的方法及 設備’特別是關於一種用以解決在製造光纖用之玻璃基材 (預型’ pre-form )時所產生之問題的技術；亦即，當反 應容器的內部變得過度乾燥時，經由反應所產生的煙灰因 靜電作用而附著並聚積在該反應容器的內壁表面的問題； 以及當反應器的內部變得過於潮溼時，水蒸氣凝結在反應 容器的內壁表面上，加上前述煙灰附著的結果，致使觀察 窗變得霧朦朦的問題。 習知技藝說明 假若嘗試以一單一的步驟製造出一種非常薄的光纖時 ，因爲要做到最佳的折射率分部，這使得控制變得很困難 。因此，在習知製造光纖的過程中，一種具有與最終產品 相同之折射率，但是直徑較大的玻璃基材（預型，preform)首 先被製造出，而該玻璃基材被加熱並抽出，抽出之光纖的 直徑是被控制在一定値。因此而製造出一種很薄的光纖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印髮 這樣的玻璃基材已經藉不同的方法被製造出，例如氣 相軸向沉源法 V A D ( vapor phase axial deposition )及化 學氣相沉殺法 C V D ( chemical vapor phase deposition ) 。在VAD法中，一種光纖用之材料’如四氯化矽（ S 1 C 1 或是四氯化鍺（Ge C 14)，與反應氣體之 氫氣及氧氣一起從一氫氧燃燒器被噴向石英基底的下端’ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公釐） -4- 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 0 46042 Α7 Β7 五、發明說明（2 ) 旋轉的石英基底被往上拉以製造出玻璃基材。 — C V D法被分類成內部沉澱C V D法及外部沉澱 CVD法，其中*前者的反應產物（S i 〇2)是沉澱在石 英管之內部圓周表面，接著破碎（crashed );而在後者中 ，反應產物（S 1 〇2)是徑向地沉澱在石英棒的外部圓周 表面，且在移除該石英棒時，該沉澱的反應產物會破碎（ crashed )。如同前述之VAD法，在外部沉澱CVD法中 ，一種如四氯化矽（S i C 14)或是四氯化鍺（Ge C 14 )的光纖用材料，與反應氣體之氫氣及氧氣一起從氫氧燃 燒器被噴向石英棒。 另外，在所提之VAD法與外部沉澱CVD法中，用 以供給如四氯化矽（S i C 1 4 )或四氯化鍺（G e C 1 4 )等材料的供料線，以及用以供給如氫及氧等氣體的供氣 線是連接至一燃燒器，該燃燒器的頂端是位在反應容器內 ，因此可以製造出玻璃基材。 在上述用以製造光纖用之玻璃基材的設備中，由於氫 氧焰的水解反應，反應容器內所產生的水蒸氣會凝結在反 應容器的內壁表面 > 其造成的結果是：在VAD法中，很 多的水滴會凝結在觀察窗及其他控制窗的玻璃面上，同樣 地會凝結在石英基底的基部，該石英基底是位在路徑（火 焰流動區域）之外，且與燃燒器、目標部（target portion )、及抽空管路相連接，反應氣體主要藉該抽空管路流動 。另外，部分無法附著於目標部的煙灰散在空中且喪失速 度，因此便附著在反應容器的內壁表面上。如果反應容器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --- I -------- ΐ --I l - J I - ^ ——— — — — I— (請先閲讀背面之泫意事項再填寫本頁〉 -5- 經濟部中央標绛局員工消費合作杜印製 46042 3 A7 B7 五、發明説明（3 ) - 的內壁表面存在有水滴，煙灰首先是以黏著的狀態附著在 內壁表面上，當其變乾時，形成一強烈附著在內壁表面上— 的薄膜。另外’如果該煙灰薄膜從內壁表面剝落且附著在 石英基底的側表面或是基部’或是熔入目標部時’煙灰將 變成是外來物質’導致品質衰敗。 爲了避免內壁表面有水蒸氣凝結及煙灰的附著以解決 前述問題1習知的方法中，空氣被引入反應容器內或是噴 向內壁表面。但是，所引入的空氣量及引入空氣的方式是 靠經驗來決定，因此，當設備的大小及產品狀況改變時， 引入空氣的位置及引入的空氣量會變得不適當。如果引入 的空氣過多，反應容器內部會太乾燥’導致靜電的產生。 在這樣的狀況下，大置帶電的煙灰附著在內壁表面上且會 攪亂氣流，_使,得反應的控制變得困難；另外’在清潔反應 容器的內部時，會有引起火花產生的問題。 如果所引入的空氣太少，水蒸氣及水滴變得難以從反 應容器的內部排出，因此造成不同的問題’例如，水滴聚 積在反應容器之壓力栓（pressure tap )的問題’該壓力栓 t pressure up )係用以測量反應容器的內部壓力，此會使 得無法精確的測量內部壓力；以及水滴與煙灰相接觸且強 烈地附著在觀察窗或其他控制窗上的問題’此會造成煙灰 難以被移除。 發明槪要 縱觀前面所述，本發明的目的是提供一種製造用於光 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X2W公釐） (諸先閔讀背面之注意事項再¥焉本頁} -訂 -6 - 經濟部中央標準局工消費合作社印製 460423 A7 __________B7____五、發明説明（4 ) 纖之玻璃基材的方法及設備，其中空氣量不是靠經驗來決 定，因此可以可靠地解決在製造光纖用之玻璃基材（預型 ，pre-form )時所產生的問題，也就是，反應容器內部過 於乾燥，導致反應所產生的煙灰因靜電的作用而附著並聚 積在反應容器內壁表面的問題；以及水蒸氣過多且凝結在 內壁表面，導致煙灰強烈地附著在內壁表面，而使得觀察 窗或是類似的窗變得模糊。 本發明的另一個目的是提供一種製造用於光纖之玻璃 基材的方法與設備，可以避免煙灰因附著而將內壁表面剝 落，或熔入側表面或該將被拉出之預型（pre-form )的基 部，藉此，可以改善產品品質，且同時可使操作穩定。 爲了達到上述目的，本發明提供一種製造用於光纖之 玻璃基底的1其中，爲了煙灰狀的反應產物在一預定 的位置處沉澱在該基底上以製造出用於光纖之玻璃基材， 作爲光纖用之材料以及反應氣體是從燃燒器噴向石英基底 的表面，該燃燒器與供料線及供氣線相連接。其特徵是乾 空氣是以水蒸氣量的二到三十倍被引入反應容器|前述水 蒸氣是在反應過程中因火焰水解而生成於燃燒器內。 當乾空氣是以因火焰水解而生成在燃燒器內之水蒸氣 量的二到三十倍|且以不攪亂火焰流的速度從石英基底的 基部 '觀察窗、或其他控制窗被引入反應容器內時1在反 應容器內，內壁表面附近及火焰流區域外側之死點區域， 可以保持適當程度的溼度，且乾空氣以適當的速度流動。 因此，當水蒸氣凝結在觀察窗時|煙灰漂浮與附著在石英 (請先閣讀背面之注意事項再>寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 460423 A7 _ B7_ 五、發明説明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 基底的側表面，以及弄髒觀察窗或與觀察窗類似之物的問 題並不會發生所以，可以製造出用於光纖之無污染的基μ 材。另外，因爲沒有水蒸氣凝結在控制窗上，可以適當的 量測，且控制器可因此而避免錯誤的操作，所以可穩定的 操作。另外，溼度是維持在一適當的程度，乾煙灰由於靜 電的降低附著在內壁表面1因此在停止操作以執行淸潔工 作時，可降低火花產生的可能，因此可以具有高安全性的 操作。 本發明亦提供一種製造用於光纖之玻璃基材的設備， 其中，光纖用之材料與反應氣體被從一個與供料線及供氣 線相連接的燃燒器噴向石英基底的表面’俾將煙灰狀的反 應產物沉澱在該基底上一預定的位置’藉此製造出用於光 纖之玻璃基村其特徵是，該設備是將乾空氣以水蒸氣量 的二到三十倍引入反應容器內的方式建構，而該水蒸氣是 在反應過程中由於火焰水解而產生。 經濟部中夬標隼局員工消費合作社印製 既然本發明之設備可以將反應過程中由於火焰水解而 產生的水蒸氣量的二到三十的乾空氣引入反應容器內’因 此，可以避免上述問題的發生。 較佳的是，乾空氣至少是從石英基底的基部及反應容 器的觀察窗被引入反應容器內3 在此例中，提供有用以引入乾空氣的管子’俾使乾空 氣從火焰流動區以外的區域被引入反應容器的內部，其中 ，流出燃燒器的火焰流會撞到目標部’然後到達排出口（ evacuation port );也就是’從石英基底的基部，該石英基

本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格U10 X 297公釐） 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 . A7 ______37 _ 五、發明説明（6 ) .. 底是位在一火焰流難以流動的靜止區域，以及從一圍繞著 觀察窗或其他控制窗且與一歧管相接的位置，該歧管內溫'‘ 度低且氣體易停滯°因此，不會形成靜止區，而可避免煙 灰漂浮與附著在石英基底的側表面及弄髒觀察窗，同時避 免水蒸氣凝結在觀察窗。 在本發明中，空氣是連續地以水蒸氣量（由火焰水解 而產生）的二到三十倍從反應容器上一適當的位置被引入 。因此，煙灰不會附著亦不會熔入將被拉出的產物（預型 -pre-form )，且大量降低了煙灰附著在觀察窗及水蒸氣 凝結的情形，所以產品品質獲得改進且使操作更爲穩定。 另外，由於靜電產生的情形減少，使得因充電而附著在內 壁表面的煙灰的量降低’因此，當操作停止而進行反應容 器內部的淸_谭_工作時’可以避免火花的產生’所以可在安 全性之下進行產品的製造。 圖示簡單說明 圖1爲依據本發明實施例之製造設備的結構圖’其中 ，提供有乾空氣引入管’用以將乾空氣引入反應容器。 主要元件對照表 1 反應容器 2 石英棒 3 抽空管 4 燃燒器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再"烏本頁} 訂 -9- 經濟部中央標準局員工消費合作枉印製 ^ ar4 6042 Ί _ Β7五、發明説明（7 ) 5 圓環形引入口 6 觀察窗 | 7 空氣引入管 2 a 目標部 較佳實施例之詳細說明 現在將參考所附圖示來說明本發明之實施例，但是本 發明不應限於這些說明。 依據本發明之製造用於光纖之玻璃基材的設備可以應 用於1例如’ 一種依據VAD法以製造用於光纖之玻璃基 材（預型，pre-form )的設備。如圖1所示，該設備包括 反應容器1 ，一作爲基底的石英棒2被插入該反應容器； 一抽空管3 、用以在反應容器1內產生真空；以及一燃燒 器4 ’以其頂端朝向石英棒2底端的目標部2 a的方式設 置。燃燒器4與供料線連接，該供料線用以供給作爲光纖 用之材料四氯化矽（s i C 1 4 )以及作爲摻雜用以控制折 射率之四氯化鍺（S 1 C 1 4 )，同時亦與供氣線相連接， 該供氣線用以供給氫氣及氧氣（供料線及供氣線R )。 在本實施例中，乾空氣引入管7是連接至一圓環形引 入口 5 ，所以空氣是從圓環形引入口 5被引入反應容器i 的內部|且空氣衝撞到觀察窗6之玻璃的內表面。另外， 當提供有控制窗（未顯示）時，乾空氣引入管7是連接至 反應容器1 |使空氣衝撞控制窗之玻璃的內表面，與觀察 窗的情形一樣。 (請先閱讀背面之注意事項再磺爲本頁)

、1T '" 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ29?公釐） • 10 - 460423 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（8 ) 在上述的設備中，用於光纖之玻璃基材的製造方式如 下。當石英棒2旋轉時，材料與氣體從燃燒器噴向目標部 2 a以造成火焰水解反應，所以，煙灰狀的反應產物（ S i 〇2)是軸向地沉澱在目標部2 a的表面。旋轉的石英 棒2被往向拉，以便製造出玻璃基材。 當依據VAD法製造用於光纖之玻璃基材時，火焰從 燃燒器4的頂端經目標部2 a到抽空管3形成一火焰流區 域。煙灰狀的反應產物被火焰流帶動且衝撞到目標部2 a 。儘管大部分的煙灰聚積在目標部2 a上，但是仍有一部 分的煙灰離開火焰區域而被一亂流帶至度應容器的內壁表 面，以及被帶至石英棒2的基部與側表面。相對於火焰流 而言1前述內壁表面、基部 '以及側表面是靜止區域，所 以煙灰會停滞卫附著在這些地方，進而積聚在內壁表面以 及石英棒2的基部與側表面。 該由於火焰水解所產生的水氣大部分是以水蒸氣的形 態與火焰流一起被排出。但是，一部分的水氣被亂流帶動 而與前述煙灰有類似的行徑，所以水蒸氣凝結在溫度較低 的內壁表面或是觀察窗的玻璃面上。此時，在煙灰附著之 後，水蒸氣可能附著在內壁表面及該玻璃面上。 無法衝撞到目標部2 a的煙灰已離開火焰流區域，或 是無法從排出口被排出，對於預型（pre-form )而言，該 煙灰變成雜質或是外來物質 > 而被繼續處理至最終產物。 所以|這些煙灰不允許附著至或是熔入該將被拉出的預型 (pre-form ) ° 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (请先閱讀背面之注意事項再轳舄本頁) ,va -ήi . Λ_- -11 - 460423 A7 B7 ______ 五、發明説明（9 ) ' 爲了避免水蒸氣凝結及煙灰附著在內壁上，習知的空 氣被引入反應容器或是被噴向內壁表面。但是’空氣所引 入的量與引入的方式是靠經驗來決定’因此’當設備的大 小及產品狀況改變時’空氣引λ的位置及空氣引入的量會 變得不適當。如果引入的空氣量過多，反應容器的內部會 太乾燥而導致靜電的產生。在這樣的狀況下’大量帶電的 煙灰會附著在內壁表面上且會攪亂氣流’使反應的控制變 得困難；另外，在淸潔反應容器的內部時’會引起火花產 生的問題。 如果所引入的空氣量太少’水蒸氣及水滴變得難以從 反應容器的內部排出，因此造成不同的問題，例如，水滴 聚積在反應容器之壓力栓（pressure tap )的問題’該壓力 栓.（p re s s u r.e J a p )係用以測量反應容器內的壓力，此會使 得無法精確的測量內部壓力；以及水滴與煙灰相接觸且強 烈地附著在觀察窗或其他控制窗上的問題，此會造成煙灰 難以被移除。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再<寫本頁) 爲了解決上述問題，本發明的發明者決定了乾空氣引 入的量及引入的方式1使已進入火焰流區域以外之靜止區 域的煙灰、水蒸氣、以及溼氣得以有效的排除，且當水蒸 氣被排出時，仍然留住適量的水蒸氣與溼氣|以避免反應 容器的內部過度的乾燥，以及避免存在過量的水蒸氣與溼 氣，俾可執行玻璃基材的製造=圖1所示的結構中，乾空 氣引入管7是與設置在石英棒2的基部的圓環形引入口5 相連接，如此，空氣從石英棒2的基部流向位於石英棒2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）' -12- is濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 6 0 4 2 3 A7 ____B7 五、發明説明（10 ) · 之頂端的目標部2 a。另外，乾空氣引入管7是以可使乾 空氣衝撞觀察窗6之玻璃的內表面的方式所提供。當控制μ 窗（未顯示）存在時，可以提供該控制窗一類似於觀察窗 所用之管線，俾增進本發明的功效。 乾空氣是以由火焰水解所產生的水蒸氣的二到三十倍 的量，較佳的是四到八倍，被引入反應容器內。乾空氣小 於由火焰水解所生之水蒸氣量的二倍時顯得過少，煙灰或 是溼氣會停滯且易附著在內壁表面或是凝結在內壁表面上 。乾空氣大於由火焰水解所產生之水蒸氣量的三十倍時則 顯得過多，且反應容器的內部會出現過度乾燥的狀態，因 此大量漂浮的煙灰易因靜電的作用而附著在內壁表面。 前面所提之火焰水解作用是由以下的化學方程式表示 ，而且，從、該〆七學方程式很明顯地看出，每一莫耳的四氯 化矽（S 1 C 1 4)材料會產生兩莫耳的水蒸氣。 SiCl4 + 4H2 + 2〇2 —> Si〇2 + 4HC1 + 2H20 例如，當S i C 1 4以每分鐘一莫耳（1 7 0 g )的速 率燃燒時，理論上水蒸氣的產生速率是每分鐘4 4 . 8公 升（降至常溫常壓下時，as reduce to NTP )。因此’乾 空氣是以每分鐘9 0 - 1 3 4 4公升（降至常溫常壓下時 ，as reduce to NTP )的速率被引入反應容器內，此數量 是所生成之水蒸氣是的二到三十倍。 較佳的是，被引入反應容器內的乾空氣的相對溼度 RH是3 0%_7 0%。若相對溼度RH小於3 0% ’反 (請先閱讀背面之注意事項再i,寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標半（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 460423 A7 ______ B7 五、發明説明（11) .. 應容器的內部會過度的乾燥。若相對溼度RH大於7 〇% ，水蒸氣的凝結很容易發生。因此，不希望相對溼度超出‘ 前述範圍。 實施例 接下來’本發明將以實施例加以說明。 例： 藉由使用如圖1所示的設備，以材料氣體的量維持不 變，但引入的乾空氣量改變執行七次實驗。實驗條件與結 果顯示於表1。 在第四次實驗中|光纖基材被製造出，經由使用外徑 爲3 5 m m 五管燃燒器來供給氫（30公升/分鐘）、 氧（20公升/分鐘）、及四氯化矽（Si C 14) (38 公升/分鐘）。此時，乾空氣（相對溼度：5 0 % )是以 每分鐘1 0 0公升速率從反應容器的上方部位1以及每分 鐘2 0公升的速率從觀察窗被引入反應容器（從石英棒的 基部），所以，乾空氣是以總和爲每分鐘1 2 0公升的速 率被引入（約爲所產生之水蒸氣的八倍）。因此’沒有水 滴附著在內壁表面、觀察窗、控制窗、壓力栓（Pressure tap )、以及類似的物件上。另外’沒有大量的煙灰附著在 反應容器的內壁表面上1且當淸潔反應容器時’因靜電所 生之火花不會產生。 在第一個實驗中’從石英棒的基部引入的乾空氣（相 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（2I〇x29?公釐） (請先閱讀背面之注意事項再移寫本頁)

,1T -14- 4 6 0久 Λ7 B7 五、發明説明（12 ) 對溼度：5 0 % )的流量是設定成每分鐘1 5公升的低速 率，此實質上是相同於水蒸氣的生成速率。因此，水滴從' 製程的中點開始形成，所以無法正確的測量反應容器內的 壓力。在第七次的實驗中，乾空氣（相對溼度：5 0%) 是以每分鐘4 8 0公升的速率從反應容器的上方部位’以 及每分鐘2 0公升的速率從觀察窗被引入反應容器’所以 ，被引入之乾空氣的總量是每分鐘5 0 0公升。因此’從 燃燒器噴出的火焰變成亂流，導致所產生之石英微粒與到 達目標之石英微粒的比値降低’而且在製程中點之後無法 製造出基材a 以上重覆實驗的結果示出，如果引入的乾空氣是該由 反應生成之水蒸氣量的二到三十倍時，特別是四到八倍時 ，可以獲得顯黃的成效。 •p (請先閱讀背面之注意事項再#鳥本頁) 訂 **=*— - 經濟部中央標隼局員工消費合作社印策 本紙張尺度適用中國國家標準（c叫Λ4規格（210x297公瘦） -15- 460423 A7 B7 五、發明説明（13 ) 表1 實驗 乾空氣引入速率 (公升/每分鐘） 與水蒸氣產生 速率的比値 結果 觀察窗 內壁表面煙灰 附著與聚積 第一次 15 1 形成凝結 少量 第二次 3 0 2 不形成凝結 少量 第三次 6 0 4 不形成凝結 微量 第四次 12 0 8 不形成凝結 微量 第五次 3 0 0 2 0 不形成凝結 少量 第六次 4 5 0 3 0 不形成凝結 少量 第七次 5 0 0 3 3-3 不形成凝結 X里 (請先閱讀背面之注意事項存>為本頁) 訂 本發明並不限於以上之實施例。這些僅是例子而已， 且那些實質上與所附之申請專利範圍所描述之結構相同， 且提供有類似作用與功效的，應包含於本發明的範疇內。 例如’在上述本發明的實施例中，引入乾空氣的功效 已在使用v A D法的情形下加以描述，其中反應產物是沉 澱在石英基底的下端。但是，本發明並不限於此，而且可 以應用在一種反應產物是沉澱在石英基底的周圍的方法， 例如應用在外側沉澱C V D法。 另外，在上述實施例中，著重於描述乾空氣是從石英 基底的基部及從觀察窗被引入反應容器的例子。但是，本 發明並不限於此類的例子，且包含其他修改的例子，例如 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS > Λ4規格（210X297公釐） ^!. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -16- 4 6042 A7 B7五、發明説明（14 )乾空氣是以由反應產生之水蒸氣量的二到三十倍的範圍被 引入反應容器。 (請先閲讀背面之注意事項再本頁) -5 &丨 經濟部中央標隼局員工消費合作社印装 本紙張尺度適用肀國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） -17-

Claims (1)

1. 3 2 告 公 00 008¾ ABCS

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 第87119592號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國89年9月修正 種製造用於光纖之玻璃基材的方法，其包含以 下步驟： 將一石英基底置入一反應容器內； 將作爲光纖用之材料（S i C 14，GeC 14)及反 應氣體（H2，〇2)從連接有供料線及供氣線的燃燒器噴 向該石英基底的表面，俾使煙灰狀的反應產物（S i 〇2) 沉澱在該基底上一預定的位置，藉以製造出用於光纖之玻 璃基材；以及 將乾空氣以水蒸氣的量的二到三十倍引入反應容器> 該水蒸氣是因爲反應過程中火焰水解而生成於燃燒器內。 2 . —種製造用於光纖之坡璃基材的設備，其包含： 反應容器，一石英基底被插入其內部； 燃燒器，其與供料線及供氣線相連接，可適宜地將作 爲光纖用之材料（S i C 14，Ge C 14)及反應氣體（ Hs，〇2)噴向該石英基底的表面，俾使煙灰狀的反應產 物（S 1 〇2)沉澱在該基底上一預定的位置，藉以製造出 用於光纖之玻璃基材；以及 空氣供給機構，用以將乾空氣以水蒸氣量的二到三十 倍引入反應容器，該水蒸氣是因爲反應過程中火焰水解而 生成於燃燒器內。 本纸張尺度適用中囷國家標準（CNS)A4規恪（210 X 297公釐） ---r---------—表，I I I I I I I 訂--- - ----- <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 480423 A8 B8 C8 D8 t、申請專利範圍 3 .如申請專利範圍第2項之製造用於光纖之玻璃基 材的設備’其中乾空氣至少是從該石英基底的基部以及反 應容器的觀察窗被引入反應容器。 ------------ ^--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -2-