JP2012193057A - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応容器16内のターゲット15にバーナ21の火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を吹き付けて堆積させるガラス微粒子堆積体22の製造方法であって、バーナ21の近傍に反応容器16内へクリーンエアCAが導入されるクリーンエア導入口25を設けるとともに、クリーンエア導入口25と反対側に反応容器16内のガスが排気される排気口27を設け、ターゲット15へのガラス微粒子の堆積時に、クリーンエア導入口25から、温度10℃以上40℃以下、湿度30%以上70%以下、0.3μm以上のダスト量100個/CF以下のクリーンエアCAを反応容器16内へ供給する。
【選択図】図1
Description
前記バーナの近傍に前記反応容器内へクリーンエアが導入されるクリーンエア導入口を設けるとともに、前記クリーンエア導入口と反対側に前記反応容器内のガスが排気される排気口を設け、
前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記クリーンエア導入口から、温度10℃以上40℃以下、湿度30%以上70%以下、0.3μm以上のダスト量100個/CF以下のクリーンエアを前記反応容器内へ供給することを特徴とする。
図1に示すように、ガラス微粒子堆積体の製造装置10Aは、上部支持装置11の支持棒12及び下部支持装置13の支持棒14に連結されて軸回りに回転するターゲット15を収容する反応容器16を備えている。上部支持装置11は上部煙突17に覆われ、下部支持装置13は下部煙突18に覆われている。
ガラス微粒子堆積体22の製造では、ガラス原料の酸水素火炎をバーナ21から噴出させ、反応容器16の内部で火炎加水分解して生成されるガラス微粒子を、軸回りに回転するターゲット15に吹き付けて堆積させてガラス微粒子堆積体22を製造する。また、バーナ21は、堆積によるガラス微粒子堆積体22の拡径に伴って後退させる。
したがって、製造したガラス微粒子堆積体22を焼結して得られる透明ガラス母材から光ファイバを線引きする際の断線を極力なくすことができる。
そこで、上記実施形態のクリーンエアCAの供給条件に加えて、クリーンエアCAの1立方フィートあたりにおける粒径0.3μm以上の大きさのダストの量を100個(100個/CF)以下とすると、クラックの発生防止、異物や気泡の残留防止の効果がより増大する。
図2に示すように、製造装置10Bは、OVD(Outside Vapor Phase Deposition)法によってガラス微粒子堆積体22を製造するものである。この製造装置10Bでは、軸回りに回転しながら軸方向へ往復移動するターゲット15に対して、側方に配置されたバーナ21からガラス微粒子が吹き付けられ、ターゲット15にガラス微粒子が堆積される。
そして、このときのクリーンエアCAの供給条件を、温度10℃以上40℃以下、湿度30%以上70%以下とする。より好ましくは、クリーンエアCAに含まれる粒径0.3μm以上のダスト量を100個/CF以下とする。
なお、反応容器16内へ導入するクリーンエアCAを含むガスの1秒あたりの流量の合計は反応容器16の容積の略1.3倍とし、クリーンエアCAは、メッシュ状壁部26で整流させて、メッシュ状壁部26における流速の変動幅が10%以内になるよう流速を均一化して供給した。なお、製造装置10Aの反応容器16の容積は1.59m3のものを用い、ガスの流量は約2m3/secとした。調査結果を、図4及び図5に示す。
なお、図4中の○△×は、各々の温度、湿度条件で製造したガラス微粒子堆積体の良否の状態を表したものであり、○はクラックの発生がなくその他の不具合も生じなかった場合、△はクラックは発生しなかったがその他の不具合(堆積速度の低下、さびの発生など)が生じた場合、×はクラックが発生し、当該堆積体の製造を続けられなかった場合を示している。
Claims (2)
- 反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を吹き付けて堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記バーナの近傍に前記反応容器内へクリーンエアが導入されるクリーンエア導入口を設けるとともに、前記クリーンエア導入口と反対側に前記反応容器内のガスが排気される排気口を設け、
前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記クリーンエア導入口から、温度10℃以上40℃以下、湿度30%以上70%以下、0.3μm以上のダスト量100個/CF以下のクリーンエアを前記反応容器内へ供給することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 請求項1に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記クリーンエアを整流することにより、前記クリーンエア導入口における前記クリーンエアの流速をその変動幅が10%以内になるように均一化して前記反応容器内へ供給することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011056664A JP2012193057A (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
CN2012100687166A CN102674681A (zh) | 2011-03-15 | 2012-03-15 | 玻璃微粒堆叠体的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011056664A JP2012193057A (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012193057A true JP2012193057A (ja) | 2012-10-11 |
Family
ID=46807319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011056664A Pending JP2012193057A (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012193057A (ja) |
CN (1) | CN102674681A (ja) |
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2011
- 2011-03-15 JP JP2011056664A patent/JP2012193057A/ja active Pending
-
2012
- 2012-03-15 CN CN2012100687166A patent/CN102674681A/zh active Pending
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---|---|
CN102674681A (zh) | 2012-09-19 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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