JPH02164735A - 石英ガラススートの製造装置 - Google Patents
石英ガラススートの製造装置Info
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- JPH02164735A JPH02164735A JP32083488A JP32083488A JPH02164735A JP H02164735 A JPH02164735 A JP H02164735A JP 32083488 A JP32083488 A JP 32083488A JP 32083488 A JP32083488 A JP 32083488A JP H02164735 A JPH02164735 A JP H02164735A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、気相軸付は法による石英ガラスス−］への製
造装置に関するものである。
造装置に関するものである。
［従来技術］
石英ガラススートの製造方法に、気相軸付は法がある。
この方法は、多重管バーナに酸素ガス。
水素ガス、ガラス原料ガス（四塩化ケイ素等）。
その他を流し、酸素・水素火炎中でガラス原料ガスを加
水分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子を種
棒に付着・堆積させて石英ガラスス−１−を軸方向に成
長させるものである。この石英ガラススートは、その後
、ガラス微粒子を熱処理し、脱水及び焼結・ガラス化し
、光フアイバプリフォームとする。
水分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子を種
棒に付着・堆積させて石英ガラスス−１−を軸方向に成
長させるものである。この石英ガラススートは、その後
、ガラス微粒子を熱処理し、脱水及び焼結・ガラス化し
、光フアイバプリフォームとする。
気相軸付は法では、酸素・水素火炎中で生成したガラス
微粒子のうち、堆積しないものは、排気管によって強制
排気しているが、その一部は反応容器内を浮遊する舞い
上りススとなった後、スート表面に付着する。この付着
した舞い上りススは、その後の熱処理工程で石英ガラス
の発泡の原因となる。
微粒子のうち、堆積しないものは、排気管によって強制
排気しているが、その一部は反応容器内を浮遊する舞い
上りススとなった後、スート表面に付着する。この付着
した舞い上りススは、その後の熱処理工程で石英ガラス
の発泡の原因となる。
石英ガラススートの形状安定性と反応容器内壁へのスス
の付着防止を目的として、第３図に示すような石英ガラ
ススートの製造装置が提案されている。この装置は、上
部が開口した球状の下部容器部１の上部に、円筒状の上
部外商部２が一体に連設され、該上部外筒部２内に同軸
状に上部内筒部３が設けられ、これら上部外筒部２と上
部内筒部３の上端が蓋４で閉塞された構造の反応容器５
を用いる。そして、蓋４を貫通して該反応容器５内に挿
入した種棒６に多重管バーナ７よりガラス微粒子を付着
・１「積させて石英ガラススート８を形成する。このよ
うなスート堆積時に、上部外商部２に設けられた開気孔
９からガス、この例では外気を導入し、この外気を上部
外筒部２と上部内筒部３との間を通って下部容器部１に
流入させ、該下部容器部１の内壁に沿って流し、舞い上
りススと一緒に排気管１０から排出させる。排気管１０
には図示しないが排風機が接続されていて強制排気を行
うようになっている。このため、反応容器５内外の気圧
差により、開気孔９から外気が自然流入するようになっ
ている。
の付着防止を目的として、第３図に示すような石英ガラ
ススートの製造装置が提案されている。この装置は、上
部が開口した球状の下部容器部１の上部に、円筒状の上
部外商部２が一体に連設され、該上部外筒部２内に同軸
状に上部内筒部３が設けられ、これら上部外筒部２と上
部内筒部３の上端が蓋４で閉塞された構造の反応容器５
を用いる。そして、蓋４を貫通して該反応容器５内に挿
入した種棒６に多重管バーナ７よりガラス微粒子を付着
・１「積させて石英ガラススート８を形成する。このよ
うなスート堆積時に、上部外商部２に設けられた開気孔
９からガス、この例では外気を導入し、この外気を上部
外筒部２と上部内筒部３との間を通って下部容器部１に
流入させ、該下部容器部１の内壁に沿って流し、舞い上
りススと一緒に排気管１０から排出させる。排気管１０
には図示しないが排風機が接続されていて強制排気を行
うようになっている。このため、反応容器５内外の気圧
差により、開気孔９から外気が自然流入するようになっ
ている。
［発明が解決しようとする課題］
このような上部二手形の反応容器５は、舞い上リススの
該反応容器内壁への付着を防止し、この内壁からススが
舞い上って来ることを予防する効果は大きいが、バーナ
７で形成される酸素・水素火炎の上界流と一緒に上部内
筒部３内に舞い上るススを抑制する効果がなく、この舞
い上りススが石英ガラススート８に付着するのを防止で
きない問題点があった。
該反応容器内壁への付着を防止し、この内壁からススが
舞い上って来ることを予防する効果は大きいが、バーナ
７で形成される酸素・水素火炎の上界流と一緒に上部内
筒部３内に舞い上るススを抑制する効果がなく、この舞
い上りススが石英ガラススート８に付着するのを防止で
きない問題点があった。
本発明の目的は、舞い上りススが石英ガラススートの表
面に付着するのを防止できる石英ガラススートの製造装
置を提供することにある。
面に付着するのを防止できる石英ガラススートの製造装
置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するための本発明の詳細な説明すると
、本発明は反応容器内でバーナから酸素ガス、水素ガス
、ガラス原料ガスを放出し、酸素・水素火炎中で前記ガ
ラス原料ガスを加水分解してガラス微粒子を形成し、該
ガラス微粒子を種棒に付着・堆積させて石英ガラススー
トを成長させると共に、前記反応容器内にはガスを導入
して舞い上りススを該ガスと共に排気管から排出させる
石英ガラススートの製造装置において、前記反応容器内
には該反応容器内に流入する前記ガスが前記石英ガラス
スートの外周面に当るように整流する整流板が設けられ
ていることを特徴とする。
、本発明は反応容器内でバーナから酸素ガス、水素ガス
、ガラス原料ガスを放出し、酸素・水素火炎中で前記ガ
ラス原料ガスを加水分解してガラス微粒子を形成し、該
ガラス微粒子を種棒に付着・堆積させて石英ガラススー
トを成長させると共に、前記反応容器内にはガスを導入
して舞い上りススを該ガスと共に排気管から排出させる
石英ガラススートの製造装置において、前記反応容器内
には該反応容器内に流入する前記ガスが前記石英ガラス
スートの外周面に当るように整流する整流板が設けられ
ていることを特徴とする。
［作 用］
このようにすると、スート外周面にガスによる下降流が
形成されるため、バーナで形成された酸素・水素火炎の
上昇流が抑制され、ススの舞い上りを防止でき、舞い上
りススが石英ガラススート表面に付着するのを防止でき
る。
形成されるため、バーナで形成された酸素・水素火炎の
上昇流が抑制され、ススの舞い上りを防止でき、舞い上
りススが石英ガラススート表面に付着するのを防止でき
る。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。なお、前述した第３図と相対応する部分には同一符号
を付けて示している。
。なお、前述した第３図と相対応する部分には同一符号
を付けて示している。
第１図は本発明の第１実施例を示したものである。本実
施例の石英ガラススートの製造装置は、上部外筒部２と
上部内筒部３との下端に、外気が石英ガラススート８の
外周面に当るように該外気の流れの方向を変える整流板
１１．１２が設けられている。
施例の石英ガラススートの製造装置は、上部外筒部２と
上部内筒部３との下端に、外気が石英ガラススート８の
外周面に当るように該外気の流れの方向を変える整流板
１１．１２が設けられている。
このようにすると、石英ガラススート８の外周面に外気
による下降流が形成されるため、バーナ７で形成された
酸素・水素火炎の上野流が抑制され、上部内筒部３内へ
のススの舞い上りを防止できる。また、バーナ７の酸素
・水素火炎流と外気流によって石英ガラススート８が下
部容器部１内の気流が′ａｌ１ｇｉされるため、下部容
器部１内で気流によって浮遊する舞い上りススが石英ガ
ラススート８に付着するのを防止できる。
による下降流が形成されるため、バーナ７で形成された
酸素・水素火炎の上野流が抑制され、上部内筒部３内へ
のススの舞い上りを防止できる。また、バーナ７の酸素
・水素火炎流と外気流によって石英ガラススート８が下
部容器部１内の気流が′ａｌ１ｇｉされるため、下部容
器部１内で気流によって浮遊する舞い上りススが石英ガ
ラススート８に付着するのを防止できる。
本実施例では、上部内筒部３の下部にも整流板１２を設
けたが、これは整流板１１の効果をあげるためであって
、整流板１１のみで十分な効果が（ｑられる場合にはな
くても良い。
けたが、これは整流板１１の効果をあげるためであって
、整流板１１のみで十分な効果が（ｑられる場合にはな
くても良い。
また、本実施例で上部二重形の反応容器５を用いたのは
、導入された外気の流路断面積が小さいため、上部の両
筒部２．３間下部での流速が速く、スート表面近傍での
上昇流抑制効果が大きいためである。従って、十分な下
降流速が１７られる場合には、上部内筒部３を省略して
もよい。
、導入された外気の流路断面積が小さいため、上部の両
筒部２．３間下部での流速が速く、スート表面近傍での
上昇流抑制効果が大きいためである。従って、十分な下
降流速が１７られる場合には、上部内筒部３を省略して
もよい。
第２図は本発明の第２実施例を示したものである。第１
実施例では、排気管１ｏを通して排風機によって反応容
器５内の気体を排気することにより生じる反応容器５内
外の気圧差を利用して、開気孔９から外気を自然流入さ
せていたが、反応容器５内外の気圧差が変動することに
より外気の流入量が変動し、石英ガラススート８の表面
近傍における外気下降流の流速が変動する。このためバ
ーナ７で形成される酸素・水素火炎流の石英ガラススー
ト８表面での流れが乱され、石英ガラススート８の形状
が変動し易いおそれがある。
実施例では、排気管１ｏを通して排風機によって反応容
器５内の気体を排気することにより生じる反応容器５内
外の気圧差を利用して、開気孔９から外気を自然流入さ
せていたが、反応容器５内外の気圧差が変動することに
より外気の流入量が変動し、石英ガラススート８の表面
近傍における外気下降流の流速が変動する。このためバ
ーナ７で形成される酸素・水素火炎流の石英ガラススー
ト８表面での流れが乱され、石英ガラススート８の形状
が変動し易いおそれがある。
そこで、第２図に示すように、開気孔９に流皐調節器１
３を介してガスタンク１４を接続し、上部外筒部２と上
部内筒部３の間に導入するガス流量を一定に保つように
すると、石英ガラススート８の表面近傍のガス下降流の
流速変動が小さくなり、石英ガラススート８の形状を安
定に保つことができる。
３を介してガスタンク１４を接続し、上部外筒部２と上
部内筒部３の間に導入するガス流量を一定に保つように
すると、石英ガラススート８の表面近傍のガス下降流の
流速変動が小さくなり、石英ガラススート８の形状を安
定に保つことができる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明に係る石英ガラススートの製
造装置は、反応容器内に流入するガスが石英ガラススー
トの外周面に当るように整流する整流板を設けたので、
該ガスによる下降流がスート外周面に形成され、バーナ
で形成された酸素・水素火炎の上昇流が抑制され、スス
の舞い上りを防止でき、舞い上りススが石英ガラススー
ト表面に付着するのを防止でき、発泡のない石英ガラス
を容易に得ることができる。
造装置は、反応容器内に流入するガスが石英ガラススー
トの外周面に当るように整流する整流板を設けたので、
該ガスによる下降流がスート外周面に形成され、バーナ
で形成された酸素・水素火炎の上昇流が抑制され、スス
の舞い上りを防止でき、舞い上りススが石英ガラススー
ト表面に付着するのを防止でき、発泡のない石英ガラス
を容易に得ることができる。
第１図及び第２図は本発明に係る装置の第１゜第２実施
例の縦断端面図、第３図は従来の装置の縦断端面図であ
る。 １・・・下部容器部、２・・・上部外筒部、３・・・上
部内筒部、４・・・藷、５・・・反応容器、６・・・種
棒、７・・・多重管バーナ、８・・・石英ガラススート
、９・・・開気孔、１０・・・排気管、１１．１２・・
・整流板、１３・・・流但調節器、１４・・・ガスタン
ク。
例の縦断端面図、第３図は従来の装置の縦断端面図であ
る。 １・・・下部容器部、２・・・上部外筒部、３・・・上
部内筒部、４・・・藷、５・・・反応容器、６・・・種
棒、７・・・多重管バーナ、８・・・石英ガラススート
、９・・・開気孔、１０・・・排気管、１１．１２・・
・整流板、１３・・・流但調節器、１４・・・ガスタン
ク。
Claims (1)
- 反応容器内でバーナから酸素ガス、水素ガス、ガラス原
料ガスを放出し、酸素・水素火炎中で前記ガラス原料ガ
スを加水分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒
子を種棒に付着・堆積させて石英ガラススートを成長さ
せると共に、前記反応容器内にはガスを導入して舞い上
りススを該ガスと共に排気管から排出させる石英ガラス
スートの製造装置において、前記反応容器内には該反応
容器内に流入する前記ガスが前記石英ガラススートの外
周面に当るように整流する整流板が設けられていること
を特徴とする石英ガラススートの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32083488A JPH02164735A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 石英ガラススートの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32083488A JPH02164735A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 石英ガラススートの製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02164735A true JPH02164735A (ja) | 1990-06-25 |
Family
ID=18125759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32083488A Pending JPH02164735A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 石英ガラススートの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02164735A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07101744A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-18 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置 |
| US5879428A (en) * | 1995-11-07 | 1999-03-09 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
| EP0941972A2 (en) * | 1997-12-03 | 1999-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for producing a glass base material for an optical fiber |
| WO2000023385A1 (fr) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dispositif et procede de production de matiere de base de verre poreuse |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP32083488A patent/JPH02164735A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07101744A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-18 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置 |
| US5879428A (en) * | 1995-11-07 | 1999-03-09 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
| EP0941972A2 (en) * | 1997-12-03 | 1999-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for producing a glass base material for an optical fiber |
| EP0941972A3 (en) * | 1997-12-03 | 1999-09-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for producing a glass base material for an optical fiber |
| WO2000023385A1 (fr) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dispositif et procede de production de matiere de base de verre poreuse |
| US6698249B1 (en) | 1998-10-21 | 2004-03-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Porous glass base material production device and method |
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