JPH02283632A - ガラス微粒子堆積装置 - Google Patents
ガラス微粒子堆積装置Info
- Publication number
- JPH02283632A JPH02283632A JP10233789A JP10233789A JPH02283632A JP H02283632 A JPH02283632 A JP H02283632A JP 10233789 A JP10233789 A JP 10233789A JP 10233789 A JP10233789 A JP 10233789A JP H02283632 A JPH02283632 A JP H02283632A
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- JP
- Japan
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- deposition
- box
- fine glass
- exhaust port
- glass particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 40
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、バーナにより生成されたガラス微粒子を堆
積させて光フアイバ母材などを作製するための、ガラス
微粒子堆積装置に関する。
積させて光フアイバ母材などを作製するための、ガラス
微粒子堆積装置に関する。
光フアイバ母材を作製するためのＶＡＤ法や外付は法な
どでは、バーナの酸水素火炎中に５ｉＣＱ４な、どのガ
ラス原料ガスを導入し、火炎加水分解反応によりガラス
（ＳｉＯ□）微粒子を生成し、これをターゲットである
種棒やコアとなる中心部材に堆積するようにしている。 従来のＶＡＤ法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第３図に示すように、複数のバー
ナ３によりガラス微粒子を生成してこれをターゲット棒
１の下端に付着させる。ターゲツト棒１を回転させなが
ら引き上げていくとガラス微粒子堆積＃、２が円柱状に
形成される。このとき、付着しなかったガラス微粒子や
未反応のガスを拡散させずに排気口５より強制的に排気
するため、あるいは塵埃等が付着しないようにするため
、この堆積部周囲がデポジションボックス４によって覆
われる。排気量に応じた空気をボックス４内に供給する
ため、ボックス４の排気口５の反対側に多数の空気流入
孔６が設けられている。 このボックス４の容量は、ボックス４内の圧力を安定に
保つために設定された大きさとされており、また、排気
口５も、十分な排気量を得るために設定された大きさと
なっている。
どでは、バーナの酸水素火炎中に５ｉＣＱ４な、どのガ
ラス原料ガスを導入し、火炎加水分解反応によりガラス
（ＳｉＯ□）微粒子を生成し、これをターゲットである
種棒やコアとなる中心部材に堆積するようにしている。 従来のＶＡＤ法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第３図に示すように、複数のバー
ナ３によりガラス微粒子を生成してこれをターゲット棒
１の下端に付着させる。ターゲツト棒１を回転させなが
ら引き上げていくとガラス微粒子堆積＃、２が円柱状に
形成される。このとき、付着しなかったガラス微粒子や
未反応のガスを拡散させずに排気口５より強制的に排気
するため、あるいは塵埃等が付着しないようにするため
、この堆積部周囲がデポジションボックス４によって覆
われる。排気量に応じた空気をボックス４内に供給する
ため、ボックス４の排気口５の反対側に多数の空気流入
孔６が設けられている。 このボックス４の容量は、ボックス４内の圧力を安定に
保つために設定された大きさとされており、また、排気
口５も、十分な排気量を得るために設定された大きさと
なっている。
しかしながら、従来のガラス微粒子堆積装置では２ボツ
クス内の空気の流れが安定せず、そのため、デポジショ
ン中のバーナの炎の状態やカラス微粒子の付着量等が一
定にならず、ガラス微粒子堆積体を均一に形成できない
という問題がある。 すなわち、ボックス４内での空気の流れは第４図Ａ、Ｂ
に示すようになり、周囲の壁に衝突しながら排気口５へ
と向かうという不安定なものとなっている。そのため、
この内部空気流は、空気の供給量と排気量とのバランス
、ガラス微粒子堆積体２の成長にともなって変化する。 そしてこのボックス４内の空気の流れの変動は、ガラス
微粒子堆積体２の成長量に影響を与える。 とくに光フアイバ母材となるガラス微粒子堆積体２をつ
くる場合、母材の屈折率分布に影響が生じるため、軸方
向に物理的に変動が生じるばかりでなく、光学的特性が
軸方向に変動してしまい、問題が大きい。 この発明は、軸方向に安定にガラス微粒子を堆積できる
ガラス微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
クス内の空気の流れが安定せず、そのため、デポジショ
ン中のバーナの炎の状態やカラス微粒子の付着量等が一
定にならず、ガラス微粒子堆積体を均一に形成できない
という問題がある。 すなわち、ボックス４内での空気の流れは第４図Ａ、Ｂ
に示すようになり、周囲の壁に衝突しながら排気口５へ
と向かうという不安定なものとなっている。そのため、
この内部空気流は、空気の供給量と排気量とのバランス
、ガラス微粒子堆積体２の成長にともなって変化する。 そしてこのボックス４内の空気の流れの変動は、ガラス
微粒子堆積体２の成長量に影響を与える。 とくに光フアイバ母材となるガラス微粒子堆積体２をつ
くる場合、母材の屈折率分布に影響が生じるため、軸方
向に物理的に変動が生じるばかりでなく、光学的特性が
軸方向に変動してしまい、問題が大きい。 この発明は、軸方向に安定にガラス微粒子を堆積できる
ガラス微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、この発明によるガラス微粒子
堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するバーナと
、生成されたガラス微粒子が堆積されるターゲットと、
この堆積部を覆うデポジションボックスと、該デポジシ
ョンボックスに設けられた排気口と、該デポジションボ
ックスの内部において排気口の周囲に設けられた整流板
とが備えられている。
堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するバーナと
、生成されたガラス微粒子が堆積されるターゲットと、
この堆積部を覆うデポジションボックスと、該デポジシ
ョンボックスに設けられた排気口と、該デポジションボ
ックスの内部において排気口の周囲に設けられた整流板
とが備えられている。
デポジションボックス内部に、排気口の周囲に整流板を
設けたので、ボックス内の空気がスムーズに排気される
ようになる。これにより、ガラス微粒子堆積体の周囲の
空気流を安定にすることができ、デポジション中のバー
ナの炎の状態を安定させ、ガラス微粒子の１寸着量等を
一様にできる。 そのため、ガラス微粒子堆積体を軸方向に安定に成長さ
せることができ、とくに光フアイバ母材として軸方向に
物理的にも光学的にも安定なガラス微粒子堆積体をつく
ることができる。
設けたので、ボックス内の空気がスムーズに排気される
ようになる。これにより、ガラス微粒子堆積体の周囲の
空気流を安定にすることができ、デポジション中のバー
ナの炎の状態を安定させ、ガラス微粒子の１寸着量等を
一様にできる。 そのため、ガラス微粒子堆積体を軸方向に安定に成長さ
せることができ、とくに光フアイバ母材として軸方向に
物理的にも光学的にも安定なガラス微粒子堆積体をつく
ることができる。
つぎにこの発明をＶＡＤ法に適用した一実施例について
図面を参照しながら説明する。第１図に示すように、複
数のバーナ３によりガラス微粒子が生成される。このガ
ラス微粒子はターゲット棒１の下端に付着させられ、タ
ーゲツト棒１が回転しながら引き上げられていくとガラ
ス微粒子堆積体２が円柱状に形成される。そしてこの堆
積部周囲がデポジションボックス４によって覆われる。 このデポジションボックス４には排気口５が設けられて
おり、この排気口５から所定の負圧で吸弓され、ターゲ
ツト棒１の下端に付着しなかったガラス微粒子や未反応
のガスが排気口５より排気される。このデポジションボ
ックス４はガラス微粒子堆積体２に塵埃等が付着しない
ようにするためでもある。そして、デポジションボック
ス４の排気口５が設けられている側とは反対側の壁に多
数の小さな空気流入孔６が設けられており、空気がボッ
クス４内に取り入れられる。さらに、このデポジション
ボックス４の内部には、排気口５の周囲を囲むように整
流板７が設けられている。この整流板７の上下の部分は
円柱状に成長するガラス微粒子堆積体２に対応させて湾
曲にくぼんだ形状とされている。 このデポジションボックス４内での空気流が第２図Ａ、
Ｂに示されている。この第２図Ａ、Ｂに示すように、ボ
ックス４内で、排気口５の周囲に整流板７が設けられて
いるため、この整流板７に囲まれた部分、及び整流板７
の風上側付近に安定した空気流を生じさせることができ
る。 その結果、ガラス微粒子堆積体２の周囲に安定した空気
流が常に形成されるようになり、バーナ３の火炎やガラ
ス微粒子の流れが安定する。そのため、ガラス微粒子堆
積体２の成長状態にかかわらず、ターゲツト棒１の下端
へのガラス微粒子の堆積がきわめて安定に行なわれる。 このように、ガラス微粒子堆積体２を軸方向にきわめて
安定に成長させることができるので、ガラス微粒子堆積
体２の軸方向での物理的特性の変動を高い精度で抑える
ことができる。とくに光フアイバ母材を作製する場合は
、軸方向での物理的変動のみならず、屈折率分布の軸方
向での変動を抑えることができるため、軸方向に安定し
た特性を有する光フアイバ母材の製造が可能となる。
図面を参照しながら説明する。第１図に示すように、複
数のバーナ３によりガラス微粒子が生成される。このガ
ラス微粒子はターゲット棒１の下端に付着させられ、タ
ーゲツト棒１が回転しながら引き上げられていくとガラ
ス微粒子堆積体２が円柱状に形成される。そしてこの堆
積部周囲がデポジションボックス４によって覆われる。 このデポジションボックス４には排気口５が設けられて
おり、この排気口５から所定の負圧で吸弓され、ターゲ
ツト棒１の下端に付着しなかったガラス微粒子や未反応
のガスが排気口５より排気される。このデポジションボ
ックス４はガラス微粒子堆積体２に塵埃等が付着しない
ようにするためでもある。そして、デポジションボック
ス４の排気口５が設けられている側とは反対側の壁に多
数の小さな空気流入孔６が設けられており、空気がボッ
クス４内に取り入れられる。さらに、このデポジション
ボックス４の内部には、排気口５の周囲を囲むように整
流板７が設けられている。この整流板７の上下の部分は
円柱状に成長するガラス微粒子堆積体２に対応させて湾
曲にくぼんだ形状とされている。 このデポジションボックス４内での空気流が第２図Ａ、
Ｂに示されている。この第２図Ａ、Ｂに示すように、ボ
ックス４内で、排気口５の周囲に整流板７が設けられて
いるため、この整流板７に囲まれた部分、及び整流板７
の風上側付近に安定した空気流を生じさせることができ
る。 その結果、ガラス微粒子堆積体２の周囲に安定した空気
流が常に形成されるようになり、バーナ３の火炎やガラ
ス微粒子の流れが安定する。そのため、ガラス微粒子堆
積体２の成長状態にかかわらず、ターゲツト棒１の下端
へのガラス微粒子の堆積がきわめて安定に行なわれる。 このように、ガラス微粒子堆積体２を軸方向にきわめて
安定に成長させることができるので、ガラス微粒子堆積
体２の軸方向での物理的特性の変動を高い精度で抑える
ことができる。とくに光フアイバ母材を作製する場合は
、軸方向での物理的変動のみならず、屈折率分布の軸方
向での変動を抑えることができるため、軸方向に安定し
た特性を有する光フアイバ母材の製造が可能となる。
この発明のガラス微粒子堆積装置によれば、デポジショ
ンボックス内の空気の流れを安定化し、バーナの火炎や
バーナからのガラス微粒子の流れを安定にしてガラス微
粒子の安定な堆積を行なうことができる。そのため、ガ
ラス微粒子堆積体の成長に対しても、常にガラス微粒子
堆積量を一定にすることができ、とくに軸方向に安定し
た物理的・光学的特性を有する光フアイバ母材を作製す
るのに好適である。
ンボックス内の空気の流れを安定化し、バーナの火炎や
バーナからのガラス微粒子の流れを安定にしてガラス微
粒子の安定な堆積を行なうことができる。そのため、ガ
ラス微粒子堆積体の成長に対しても、常にガラス微粒子
堆積量を一定にすることができ、とくに軸方向に安定し
た物理的・光学的特性を有する光フアイバ母材を作製す
るのに好適である。
第１図はこの発明の一実施例を切り欠いて示す模式的な
斜視図、第２図Ａ、Ｂは上記実施例における空気流を示
すためのもので、第２図Ａはデポジションボックス部分
のみの横断面図、第２図Ｂはデポジションボックス部分
のみの縦断面図、第３図は従来例を切り欠いて示す模式
的な斜視図、第４図Ａ、Ｂは上記従来例における空気流
を示すためのもので、第４図Ａはデポジションボックス
部分のみの横断面図、第４図Ｂはデポジションボックス
部分のみの縦断面図である。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・バーナ、４・・・デポジションボックス、５・
・・排気口、６・・・空気流入孔、７・・・整流板。
斜視図、第２図Ａ、Ｂは上記実施例における空気流を示
すためのもので、第２図Ａはデポジションボックス部分
のみの横断面図、第２図Ｂはデポジションボックス部分
のみの縦断面図、第３図は従来例を切り欠いて示す模式
的な斜視図、第４図Ａ、Ｂは上記従来例における空気流
を示すためのもので、第４図Ａはデポジションボックス
部分のみの横断面図、第４図Ｂはデポジションボックス
部分のみの縦断面図である。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・バーナ、４・・・デポジションボックス、５・
・・排気口、６・・・空気流入孔、７・・・整流板。
Claims (1)
- （１）ガラス微粒子を生成するバーナと、生成されたガ
ラス微粒子が堆積されるターゲットと、この堆積部を覆
うデポジションボックスと、該デポジションボックスに
設けられた排気口と、該デポジションボックスの内部に
おいて排気口の周囲に設けられた整流板とからなるガラ
ス微粒子堆積装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10233789A JPH02283632A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガラス微粒子堆積装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10233789A JPH02283632A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガラス微粒子堆積装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02283632A true JPH02283632A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14324695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10233789A Pending JPH02283632A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガラス微粒子堆積装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02283632A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5879428A (en) * | 1995-11-07 | 1999-03-09 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
| US6619074B1 (en) | 1999-04-02 | 2003-09-16 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for production of a porous optical fiber preform |
| JP2004161606A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-06-10 | Kobe Steel Ltd | 光ファイバ母材製造装置 |
| CN111138078A (zh) * | 2018-11-06 | 2020-05-12 | 中天科技精密材料有限公司 | 沉积设备及沉积系统 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP10233789A patent/JPH02283632A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5879428A (en) * | 1995-11-07 | 1999-03-09 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
| US6619074B1 (en) | 1999-04-02 | 2003-09-16 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for production of a porous optical fiber preform |
| JP2004161606A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-06-10 | Kobe Steel Ltd | 光ファイバ母材製造装置 |
| CN111138078A (zh) * | 2018-11-06 | 2020-05-12 | 中天科技精密材料有限公司 | 沉积设备及沉积系统 |
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