JPS61197439A - 多孔質ガラス棒の製造方法とその装置 - Google Patents
多孔質ガラス棒の製造方法とその装置Info
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- JPS61197439A JPS61197439A JP3809885A JP3809885A JPS61197439A JP S61197439 A JPS61197439 A JP S61197439A JP 3809885 A JP3809885 A JP 3809885A JP 3809885 A JP3809885 A JP 3809885A JP S61197439 A JPS61197439 A JP S61197439A
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- Japan
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- porous glass
- glass rod
- reaction vessel
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- manufacturing
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野ｊ
本発明は光フアイバ用、ロッドレンズ用などの光学系多
孔質ガラス母材をＶＡＤ法により製造する際の方法と装
置に関する。
孔質ガラス母材をＶＡＤ法により製造する際の方法と装
置に関する。
１従来の技術Ｉ
ＶＡＤ法により光学系の多孔質ガラス母材を製造すると
き、その製造雰囲気を形成している反応容器内の気流を
安定させる必要があり、その安定性が十分に確保できな
いと、多孔質ガラス母材の外径変動、屈折率分布の変動
が大きくなる。
き、その製造雰囲気を形成している反応容器内の気流を
安定させる必要があり、その安定性が十分に確保できな
いと、多孔質ガラス母材の外径変動、屈折率分布の変動
が大きくなる。
そのため、反応容器の排気圧をコントロールしたり、反
応容器上部からその内部へ流量制御、圧力制御されたガ
スを流入させるなど、適宜の手段が講じられており、こ
れらに関する技術として例えば特開昭５８−６９２３４
号公報、特開昭５７−１３５７３８号公報の発明が提供
されている。
応容器上部からその内部へ流量制御、圧力制御されたガ
スを流入させるなど、適宜の手段が講じられており、こ
れらに関する技術として例えば特開昭５８−６９２３４
号公報、特開昭５７−１３５７３８号公報の発明が提供
されている。
従来法として特開昭５７−１３５７３８号公報の発明を
例示した第３図（イ）（ロ）において、ｌは排気口２を
有する反応容器、３は反応容器ｌの上部からその内部へ
挿入された通路管、４は反応容器１の下部からその内部
へ先端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナ、５は
ターゲット、６は多孔質ガラス棒である。
例示した第３図（イ）（ロ）において、ｌは排気口２を
有する反応容器、３は反応容器ｌの上部からその内部へ
挿入された通路管、４は反応容器１の下部からその内部
へ先端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナ、５は
ターゲット、６は多孔質ガラス棒である。
第３図の方法では、多孔質ガラス棒６を形成するに際し
て通路管３内からその下方へ所定のガスを流すが、同図
（イ）のごとく多孔質ガラス棒６の形成初期には通路管
３内のクリアランスが大きく、多孔質ガラス棒６の成長
とともにこれが通路管３内に侵入したとき、上記クリア
ランスが小さくなる。
て通路管３内からその下方へ所定のガスを流すが、同図
（イ）のごとく多孔質ガラス棒６の形成初期には通路管
３内のクリアランスが大きく、多孔質ガラス棒６の成長
とともにこれが通路管３内に侵入したとき、上記クリア
ランスが小さくなる。
したがって多孔質ガラス棒８の成長にともない通路管３
を介した流動性に変化が生じ、これとともに反応容器ｌ
内でのバーナ火炎の指向性（ガラス微粒子の噴射方向）
にも変化が生じる。
を介した流動性に変化が生じ、これとともに反応容器ｌ
内でのバーナ火炎の指向性（ガラス微粒子の噴射方向）
にも変化が生じる。
説明を省略した特開昭５８−８３２３４号公報の発明で
も同様の現象が生じる。
も同様の現象が生じる。
１発明が解決しようとする問題点Ｊ
上述したように従来法の場合は、バーナ火炎の指向性に
変化が生じるため、所望長さの多孔質ガラス棒６を製造
する際、そのガラス棒Ｂの外径変動や屈折率分布の変動
を確実に防止することかでず、これを補償すべき通路管
３内の流量制御１反応容器１内の圧力制御も困難である
。
変化が生じるため、所望長さの多孔質ガラス棒６を製造
する際、そのガラス棒Ｂの外径変動や屈折率分布の変動
を確実に防止することかでず、これを補償すべき通路管
３内の流量制御１反応容器１内の圧力制御も困難である
。
一方、通路管３の内径を大きくして上記流動性の変化を
無視できる程度に小さくした場合、多孔質ガラス棒６の
外径は安定するようになるが、この場合は反応容器上部
からの流動エネルギが小さくなることにより、バーナ４
からのガラス微粒子が容器ｌ内で乱舞し、多孔質ガラス
棒６の屈折率分布の安定性が損なわれる。
無視できる程度に小さくした場合、多孔質ガラス棒６の
外径は安定するようになるが、この場合は反応容器上部
からの流動エネルギが小さくなることにより、バーナ４
からのガラス微粒子が容器ｌ内で乱舞し、多孔質ガラス
棒６の屈折率分布の安定性が損なわれる。
本発明は上記の問題点に鑑み１反応容器内における流動
性を安定させ、これにより長手方向にわたる外径、屈折
率分布の安定した多孔質ガラス棒が得られる方法および
装置を提供しようとするものである。
性を安定させ、これにより長手方向にわたる外径、屈折
率分布の安定した多孔質ガラス棒が得られる方法および
装置を提供しようとするものである。
ｒ問題点を解決するための手段ｊ
本末発明方法の場合。
本発明は容器側部の排気口、容器上部からその内部にわ
たる上下方向の通路部、および容器下部からその内部に
先端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナを宥する
反応容器と、上記通路部から反応容器内へ上下動自在か
つ回転自在に挿入されたターゲットとを用い１反応容器
内の所定位置で回転しているターゲットの下端には、バ
ーナを介して生成されたガラス微粒子を噴射かつ堆積さ
せて多孔質ガラス棒を形成し、該多孔質ガラス棒の成長
速度に応じてターゲットを引き上げる多孔質ガラス棒の
製造方法において、上記反応容器内にはその通路部の外
周に沿う下降気流を生じさせることを特徴としている。
たる上下方向の通路部、および容器下部からその内部に
先端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナを宥する
反応容器と、上記通路部から反応容器内へ上下動自在か
つ回転自在に挿入されたターゲットとを用い１反応容器
内の所定位置で回転しているターゲットの下端には、バ
ーナを介して生成されたガラス微粒子を噴射かつ堆積さ
せて多孔質ガラス棒を形成し、該多孔質ガラス棒の成長
速度に応じてターゲットを引き上げる多孔質ガラス棒の
製造方法において、上記反応容器内にはその通路部の外
周に沿う下降気流を生じさせることを特徴としている。
木本発明装置の場合。
本発明は容器側部の排気口、容器上部からその内部にわ
たる上下方向の通路部、および容器下部からその内部に
先端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナを有する
反応容器と、上記通路部から反応容器内へ上下動自在か
つ回転自在に挿入されたターゲットとを備えた多孔質ガ
ラス棒の製造装置において、上記通路部の上には気密性
を有する筒体が連結され、反応容器の上部内周と通路部
外周との間には下降気流を形成するためのガス流路が形
成され、そのガス流路の上端にガス流入部が形成されて
いることを特徴としている。
たる上下方向の通路部、および容器下部からその内部に
先端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナを有する
反応容器と、上記通路部から反応容器内へ上下動自在か
つ回転自在に挿入されたターゲットとを備えた多孔質ガ
ラス棒の製造装置において、上記通路部の上には気密性
を有する筒体が連結され、反応容器の上部内周と通路部
外周との間には下降気流を形成するためのガス流路が形
成され、そのガス流路の上端にガス流入部が形成されて
いることを特徴としている。
７作用」
本発明において、反応容器内のバーナ先端より噴射した
ガラス微粒子を回転状態のターゲット下端に堆積させて
多孔質ガラス棒を形成し、該多孔質ガラス棒の成長速度
に応じてターゲットを引きとげる点は従来例と同じであ
るが、こうして多孔質ガラス棒を形成するとき、反応容
器内には通路部の外周に沿う下降気流を生じさせる。
ガラス微粒子を回転状態のターゲット下端に堆積させて
多孔質ガラス棒を形成し、該多孔質ガラス棒の成長速度
に応じてターゲットを引きとげる点は従来例と同じであ
るが、こうして多孔質ガラス棒を形成するとき、反応容
器内には通路部の外周に沿う下降気流を生じさせる。
上記のようにして多孔質ガラス棒を製造するとき、通路
部内を多孔質ガラス棒はターゲットとともに通路部内を
通り、下降気流は通路部の外周に沿って排気口へと流れ
る。
部内を多孔質ガラス棒はターゲットとともに通路部内を
通り、下降気流は通路部の外周に沿って排気口へと流れ
る。
したがって、はじめターゲットが通り、つぎに成長した
多孔質ガラス棒が通ることにとより通路部内のクリアラ
ンスが変化するとしても、その通路部外周に沿って下降
する気流には、上記クリアラスの変化による影響が生ぜ
ず、常に安定した流動性を呈する。
多孔質ガラス棒が通ることにとより通路部内のクリアラ
ンスが変化するとしても、その通路部外周に沿って下降
する気流には、上記クリアラスの変化による影響が生ぜ
ず、常に安定した流動性を呈する。
その結果、安定状態の下降気流により多孔質ガラス母材
の外径がほぼ一定に仕上がり、また、堆積面に対し一定
したバーナ火炎の指向性、下降気流によるガラス微粒子
の乱舞阻止など、これらの相乗効果により、多孔質ガラ
ス母材の長手方向にわたる屈折率分布も一定化し、かく
て品質、特性のよい多孔質ガラス母材が得られる。
の外径がほぼ一定に仕上がり、また、堆積面に対し一定
したバーナ火炎の指向性、下降気流によるガラス微粒子
の乱舞阻止など、これらの相乗効果により、多孔質ガラ
ス母材の長手方向にわたる屈折率分布も一定化し、かく
て品質、特性のよい多孔質ガラス母材が得られる。
「実 施 例ｊ
以下１本発明方法および装置の具体例につき、図面を参
照して説明する。
照して説明する。
第１図、第２図において、」１は排気口１２を有する反
応容器、１３は反応容器１１の上部からその内部にわた
って設けられた通路部、 １４は反応容器１１の下部か
らその内部へ先端が装着されたガラス微粒子生成用のバ
ーナ、１５は回転かつ上下動自在な既知のターゲットで
ある。
応容器、１３は反応容器１１の上部からその内部にわた
って設けられた通路部、 １４は反応容器１１の下部か
らその内部へ先端が装着されたガラス微粒子生成用のバ
ーナ、１５は回転かつ上下動自在な既知のターゲットで
ある。
上記において、通路部１３の上面には気密性を有する筒
体ｌＢが連結され、反応容器１１の上部内周と通路部１
３外周との間には下降気流を生じさせるためのガス流路
１７が形成されているとともにそのガス流路１７の上端
にはガス導入部１８が形成されている。
体ｌＢが連結され、反応容器１１の上部内周と通路部１
３外周との間には下降気流を生じさせるためのガス流路
１７が形成されているとともにそのガス流路１７の上端
にはガス導入部１８が形成されている。
なお、第１図の場合は反応容器１１の上面に等間隔で穿
設された複数の円形透孔によりガス導入部１８が形成さ
れており、第２図の場合はガス導入口１９とリング状の
ガス吐出口２０とを有する部材を介してガス流入部１８
が形成されているとともにガス導入口１９には流量調整
器２１を有する配管系２２が接続されている。
設された複数の円形透孔によりガス導入部１８が形成さ
れており、第２図の場合はガス導入口１９とリング状の
ガス吐出口２０とを有する部材を介してガス流入部１８
が形成されているとともにガス導入口１９には流量調整
器２１を有する配管系２２が接続されている。
図中、２３は多孔質ガラス棒を示す。
上述した図示の装置により多孔質ガラス棒２３を製造す
るとき、ターゲラ）１５はその下端が反応容器１１内の
所定位置まで挿入されて回転され、バーナ１４を介した
火炎加水分解反応による生成物すなわちガラス微粒子が
上記ターゲット１５の下端に向けて噴射かつ堆積される
。
るとき、ターゲラ）１５はその下端が反応容器１１内の
所定位置まで挿入されて回転され、バーナ１４を介した
火炎加水分解反応による生成物すなわちガラス微粒子が
上記ターゲット１５の下端に向けて噴射かつ堆積される
。
かかるガラス微粒子の堆積により、ターゲット１５の下
端には多孔質ガラス棒２３が形成され、該多孔質ガラス
棒２３の成長速度に応じてターゲット１５は通路部１３
内、筒体ｌＢ内を上方へ引き上げられるが、この際、反
応容器ｌｌ内は排気口１２より排気されるとともにその
排気にともなう自然導入、または配管系２２からの強制
導入により所定のガスがガス導入部１８からガス流路１
７へと導入され、これにより通路部１３の外周に沿う下
降気流が生じる。
端には多孔質ガラス棒２３が形成され、該多孔質ガラス
棒２３の成長速度に応じてターゲット１５は通路部１３
内、筒体ｌＢ内を上方へ引き上げられるが、この際、反
応容器ｌｌ内は排気口１２より排気されるとともにその
排気にともなう自然導入、または配管系２２からの強制
導入により所定のガスがガス導入部１８からガス流路１
７へと導入され、これにより通路部１３の外周に沿う下
降気流が生じる。
前述したように、通路部１３の外周に沿って排気口１２
へと流れる当該下降気流は、通路部１３内のクリアラン
スの変化に影響されない安定した流動性を示し、堆積面
に対する一定したバーナ火炎の指向性、ガラス微粒子の
乱舞阻止などの作用効果を奏するから、多孔質ガラス母
材２３の長手方向にわたる外径および屈折率分布が一定
となる。
へと流れる当該下降気流は、通路部１３内のクリアラン
スの変化に影響されない安定した流動性を示し、堆積面
に対する一定したバーナ火炎の指向性、ガラス微粒子の
乱舞阻止などの作用効果を奏するから、多孔質ガラス母
材２３の長手方向にわたる外径および屈折率分布が一定
となる。
なお、上記において多孔質ガラス棒２３を製造するとき
、反応容器ｌｌ内の排気圧、下降気流の流量等を一定に
保持すべき圧力コントロール、流量コントロールを行な
うのがよく、これらの制御は排気口１２に接続された配
管系の排気量調整器（図示せず）、ガス導入口１Ｂに接
続された配管系２２の流量調整器２１等により調整して
行なう。
、反応容器ｌｌ内の排気圧、下降気流の流量等を一定に
保持すべき圧力コントロール、流量コントロールを行な
うのがよく、これらの制御は排気口１２に接続された配
管系の排気量調整器（図示せず）、ガス導入口１Ｂに接
続された配管系２２の流量調整器２１等により調整して
行なう。
ｒ発明の効果ｊ
以上説明した通り１本発明方法によるときは、ＶＡＤ法
により多孔質ガラス棒を製造するとき、反応容器内の通
路部外周に沿う下降気流を生じさせるから、通路部内の
クリアランスの変化に影響されない安定した当該下降気
流により、長手方向にわたる外径および屈折率分布の一
定な多孔質ガラス母材が得られる。
により多孔質ガラス棒を製造するとき、反応容器内の通
路部外周に沿う下降気流を生じさせるから、通路部内の
クリアランスの変化に影響されない安定した当該下降気
流により、長手方向にわたる外径および屈折率分布の一
定な多孔質ガラス母材が得られる。
一方１本発明装置の場合、反応容器の排気口と通路部、
ガラス微粒子生成用のバーナ、ターゲット等を備えてい
るだけでなく、反応容器の上部内周と通路部外周との間
にガス流路が形成され、そのガス流路の上端にはガス流
入部が形成され、上記通路部の上には気密性を有する筒
体が連結されているから、所定の下降気流を容易に生じ
させることができ、多孔質ガラス棒の引き上げ操作も通
路部上の筒体を利用して反応容器内の雰囲気を損なうこ
となく行ない得る。
ガラス微粒子生成用のバーナ、ターゲット等を備えてい
るだけでなく、反応容器の上部内周と通路部外周との間
にガス流路が形成され、そのガス流路の上端にはガス流
入部が形成され、上記通路部の上には気密性を有する筒
体が連結されているから、所定の下降気流を容易に生じ
させることができ、多孔質ガラス棒の引き上げ操作も通
路部上の筒体を利用して反応容器内の雰囲気を損なうこ
となく行ない得る。
第１図は本発明方法ならびに装置の一実施例を略示した
説明図、第２図は同上の他実施例を略示した説明図、第
３図（イ）（ロ）は従来例の説明図である。 １１・・・反応容器 １２−拳Φ排気口 １３・・・通路部 １４・・・バーナ １５＠・・ターゲット １８・・・筒体 １７・・・ガス流路 １８・ψ・ガス導入部 １９・・畳 ガス導入口 ２０・・・ガス吐出口 ２１・・・流量調整器 ２２・・・配管系 ２３拳・・多孔質ガラス棒 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第 ｆ 図
説明図、第２図は同上の他実施例を略示した説明図、第
３図（イ）（ロ）は従来例の説明図である。 １１・・・反応容器 １２−拳Φ排気口 １３・・・通路部 １４・・・バーナ １５＠・・ターゲット １８・・・筒体 １７・・・ガス流路 １８・ψ・ガス導入部 １９・・畳 ガス導入口 ２０・・・ガス吐出口 ２１・・・流量調整器 ２２・・・配管系 ２３拳・・多孔質ガラス棒 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第 ｆ 図
Claims (7)
- （１）容器側部の排気口、容器上部からその内部にわた
る上下方向の通路部、および容器下部からその内部に先
端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナを有する反
応容器と、上記通路部から反応容器内へ上下動自在かつ
回転自在に挿入されたターゲットとを用い、反応容器内
の所定位置で回転しているターゲットの下端には、バー
ナを介して生成されたガラス微粒子を噴射かつ堆積させ
て多孔質ガラス棒を形成し、該多孔質ガラス棒の成長速
度に応じてターゲットを引き上げる多孔質ガラス棒の製
造方法において、上記反応容器内にはその通路部の外周
に沿う下降気流を生じさせることを特徴とする多孔質ガ
ラス棒の製造方法。 - （２）通路部の外周に沿う下降気流が一定となるよう、
当該気流の流量を調整する特許請求の範囲第１項記載の
多孔質ガラス棒の製造方法。 - （３）反応容器内の排気圧が一定となるよう、通路部の
外周に沿う下降気流の流量を調整する特許請求の範囲第
１項記載の多孔質ガラス棒の製造方法。 - （４）容器側部の排気口、容器上部からその内部にわた
る上下方向の通路部、および容器下部からその内部に先
端が装着されたガラス微粒子生成用のバーナを有する反
応容器と、上記通路部から反応容器内へ上下動自在かつ
回転自在に挿入されたターゲットとを備えた多孔質ガラ
ス棒の製造装置において、上記通路部の上には気密性を
有する筒体が連結され、反応容器の上部内周と通路部外
周との間には下降気流を形成するためのガス流路が形成
され、そのガス流路の上端にガス流入部が形成されてい
ることを特徴とする多孔質ガラス棒の製造装置。 - （５）ガス流入部が反応容器の上面に穿設された複数の
透孔からなる特許請求の範囲第４項記載の多孔質ガラス
棒の製造装置。 - （６）ガス導入口とリング状のガス吐出口とを有する部
材を介してガス流入部が形成されている特許請求の範囲
第４項記載の多孔質ガラス棒の製造装置。 - （７）ガス導入口には流量調整器を有する配管系が接続
されている特許請求の範囲第６項記載の多孔質ガラス棒
の製造装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3809885A JPS61197439A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 多孔質ガラス棒の製造方法とその装置 |
| GB8611440A GB2190078B (en) | 1985-02-27 | 1986-05-10 | Method of fabricating porous glass rod and apparatus for fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3809885A JPS61197439A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 多孔質ガラス棒の製造方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197439A true JPS61197439A (ja) | 1986-09-01 |
| JPH0526732B2 JPH0526732B2 (ja) | 1993-04-19 |
Family
ID=12515998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3809885A Granted JPS61197439A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 多孔質ガラス棒の製造方法とその装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61197439A (ja) |
| GB (1) | GB2190078B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63282137A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-18 | Asahi Glass Co Ltd | 多孔質石英ガラス母材の製造法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54116429A (en) * | 1978-03-03 | 1979-09-10 | Hitachi Ltd | Production of material for optical fiber |
| DE3036915A1 (de) * | 1979-10-09 | 1981-04-23 | Nippon Telegraph & Telephone Public Corp., Tokyo | Verfahren zur herstellung von rohlingen fuer lichtleitfasern |
| JPS57100934A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacturing of optical fiber preform |
| JPS57100933A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Preparation of base material for optical fiber |
| US4435199A (en) * | 1982-04-26 | 1984-03-06 | Western Electric Co., Inc. | Exhaust system for a vapor deposition chamber |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP3809885A patent/JPS61197439A/ja active Granted
-
1986
- 1986-05-10 GB GB8611440A patent/GB2190078B/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63282137A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-18 | Asahi Glass Co Ltd | 多孔質石英ガラス母材の製造法 |
| JP2603472B2 (ja) * | 1987-05-12 | 1997-04-23 | 旭硝子株式会社 | 多孔質石英ガラス母材の製造法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0526732B2 (ja) | 1993-04-19 |
| GB2190078A (en) | 1987-11-11 |
| GB2190078B (en) | 1990-04-11 |
| GB8611440D0 (en) | 1986-06-18 |
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