JPH0340932A - ガラス微粒子堆積装置 - Google Patents
ガラス微粒子堆積装置Info
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- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title abstract description 7
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
（産業上の利用分野］
この発明は、ＶＡＤ法によりバーナから生成されたガラ
ス微粒子を堆積させて光フアイバ母材などを作製するた
めの、ガラス微粒子堆積装置に関する。
ス微粒子を堆積させて光フアイバ母材などを作製するた
めの、ガラス微粒子堆積装置に関する。
【従来の技術］
光フアイバ母材を作製するためのＶＡＤ法では、バーナ
の酸水素火炎中に５ｉＣＱ４などのガラス原料ガスを導
入し、火炎加水分解反応によりガラス（ＳｉＯ２） ｍ
粒子を生成し、これをターゲットである種棒に堆積する
ようにしている。 従来のＶＡＤ法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第２図に示すように、複数のバー
ナ３が鉛直方向く上下方向〉に並べられており、これら
によりガラス微粒子を生成し、これを、上から下に吊さ
れたターゲツト棒１の下端に付着させる。ターゲツト棒
１を回転させながら引き上げていくとガラス微粒子堆積
体２が円柱状に形成される。このとき、付着しながった
ガラス微粒子や未反応のガスを拡散させずに排気口５よ
り強制的に排気するため、あるいは塵埃等が１寸着しな
いようにするため、この堆積部周囲がデポジションボッ
クス４によって覆われる。排気量に応じた空気をボック
ス４内に供給するため、ボックス４の排気口５の反対側
に多数の空気流入孔６が設けられている。このボックス
４の容量は、ボックス４内の圧力を安定に保つために設
定された大きさとされており、また、排気口５も、十分
な排気量を得るために設定された大きさとなっている。 そして、デポジションを行う際、バーナ３の位置や、反
応させる原料ガスの流量、デポジションボックス４内の
給気・排気のバランス等を調整して、デポジションボッ
クス４内の空気の流れを安定させるようにしている。 【発明が解決しようとする課Ｍ】 しかしながら、従来のガラス微粒子堆積装置では、ボッ
クス内の空気の流れを完全には安定させることができず
、そのため、ターゲツト棒１に付着しなかったガラス微
粒子を排気しきれず、そのガラス微粒子がデポジション
ボックス４の内壁面に１寸着する。そして、このデポジ
ションボックス４の内壁面に付着したガラス微粒子がな
んらかの理由でｉ１１離し、ガラス微粒子堆積体２中に
入り込んだ場合、このガラス微粒子堆積体２を透明ガラ
ス化して光フアイバ母材としたときそれを核として気泡
が発生するという不都合が生じる。 この発明は、デポジションボックス内壁面にガラス微粒
子が付着しないような安定した空気流をデポジションボ
ックス内につくることができ、それによって気泡が発生
しないガラス微粒子堆積体をつくることができるガラス
微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
の酸水素火炎中に５ｉＣＱ４などのガラス原料ガスを導
入し、火炎加水分解反応によりガラス（ＳｉＯ２） ｍ
粒子を生成し、これをターゲットである種棒に堆積する
ようにしている。 従来のＶＡＤ法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第２図に示すように、複数のバー
ナ３が鉛直方向く上下方向〉に並べられており、これら
によりガラス微粒子を生成し、これを、上から下に吊さ
れたターゲツト棒１の下端に付着させる。ターゲツト棒
１を回転させながら引き上げていくとガラス微粒子堆積
体２が円柱状に形成される。このとき、付着しながった
ガラス微粒子や未反応のガスを拡散させずに排気口５よ
り強制的に排気するため、あるいは塵埃等が１寸着しな
いようにするため、この堆積部周囲がデポジションボッ
クス４によって覆われる。排気量に応じた空気をボック
ス４内に供給するため、ボックス４の排気口５の反対側
に多数の空気流入孔６が設けられている。このボックス
４の容量は、ボックス４内の圧力を安定に保つために設
定された大きさとされており、また、排気口５も、十分
な排気量を得るために設定された大きさとなっている。 そして、デポジションを行う際、バーナ３の位置や、反
応させる原料ガスの流量、デポジションボックス４内の
給気・排気のバランス等を調整して、デポジションボッ
クス４内の空気の流れを安定させるようにしている。 【発明が解決しようとする課Ｍ】 しかしながら、従来のガラス微粒子堆積装置では、ボッ
クス内の空気の流れを完全には安定させることができず
、そのため、ターゲツト棒１に付着しなかったガラス微
粒子を排気しきれず、そのガラス微粒子がデポジション
ボックス４の内壁面に１寸着する。そして、このデポジ
ションボックス４の内壁面に付着したガラス微粒子がな
んらかの理由でｉ１１離し、ガラス微粒子堆積体２中に
入り込んだ場合、このガラス微粒子堆積体２を透明ガラ
ス化して光フアイバ母材としたときそれを核として気泡
が発生するという不都合が生じる。 この発明は、デポジションボックス内壁面にガラス微粒
子が付着しないような安定した空気流をデポジションボ
ックス内につくることができ、それによって気泡が発生
しないガラス微粒子堆積体をつくることができるガラス
微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
上記目的を遠戚するため、この発明によるガラス微粒子
堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するための上
下方向に配列された複数のバーナと、生成されたガラス
微粒子がその下端に堆積され、堆積とともに上方に引き
上げられるターゲットと、この堆積部を覆うデポジショ
ンボックスと、該デポジションボックスに設けられた上
下方向に並ぶ複数の排気口と、該排気口のそれぞれの排
気量を下方のものほど小さくするよう調整する排気量調
整器とが備えられている。
堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するための上
下方向に配列された複数のバーナと、生成されたガラス
微粒子がその下端に堆積され、堆積とともに上方に引き
上げられるターゲットと、この堆積部を覆うデポジショ
ンボックスと、該デポジションボックスに設けられた上
下方向に並ぶ複数の排気口と、該排気口のそれぞれの排
気量を下方のものほど小さくするよう調整する排気量調
整器とが備えられている。
デポジションボックスに、複数の排気口を設け、さらに
各排気口の排気量を調整する排気量調整器を設けたので
、デポジションボックス内に任意の空気流を生じさせる
ことが可能となる。 そして、実験的に確かめたところ、下方の排気口はど排
気量が少なくなるよう排気量調整器により調整すると、
デポジションボックス内壁面に付着するガラス微粒子を
低減でき、光フアイバ母材中に発生する気泡も少なくな
ることが分かった。
各排気口の排気量を調整する排気量調整器を設けたので
、デポジションボックス内に任意の空気流を生じさせる
ことが可能となる。 そして、実験的に確かめたところ、下方の排気口はど排
気量が少なくなるよう排気量調整器により調整すると、
デポジションボックス内壁面に付着するガラス微粒子を
低減でき、光フアイバ母材中に発生する気泡も少なくな
ることが分かった。
つぎにこの発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。第１図に示すように、複数のバーナ３が上下
方向に配列されており、これらのそれぞれによりガラス
微粒子が生成される。このガラス微粒子は、上から吊さ
れたターゲツト棒１の下端に付着させられ、ターゲツト
棒１が回転しながら引き上げられていくとガラス微粒子
堆積体２が円柱状に形成される。そしてこの堆積部周囲
がデポジションボックス４によって覆われる。このデポ
ジションボックス４には、上下方向に並べられた複数（
この実施例では３個〉の排気口５１．５２．５３が設け
られており、これらの各排気口５１．５２．５３には排
気量を調整するためのダンパー７１．７２．７３がそれ
ぞれ設けられる。 すなわち、これらダンパー７１．７２．７３は排気口５
１．５２．５３の各々の開口の大きさを調整するもので
、これにより排気量の調整ができる。 これら各排気口５１．５２．５３の後方より所定の負圧
で吸引し、ターゲツト棒１の下端に付着しなかったガラ
ス微粒子や未反応のガスを排気する。 このデポジションボックス４はガラス微粒子堆積体２に
塵埃等が付着しないようにするためでもある。そして、
デポジションボックス４の排気口５１．５２．５３が設
けられている側とは反対側の壁に多数の小さな空気流入
孔６が設けられており、空気がボックス４内に取り入れ
られる。 このように、デポジションボックス４内に、バーナ３の
配列方向と対応する方向に複数の排気口５１．５２．５
３を設け、且つそれらがらの排気量をダンパー７１．７
２．７３によって調整するようにしているため、デポジ
ションボックス４内に任意の安定した空気流を生じさせ
ることができる。 この実施例において、３つの排気口５１．５２．５３の
各排気量をつぎの族１に示すような３つのパターンで調
整して、実際にデポジションを行ってみた。 〈族１〉 ここで単位はｍ７分であり、つまり各排気口５１．５２
．５３に流れ込む風速を示す。この各排気量のパターン
において、デポジションボックス４の内壁面に付着する
ガラス微粒子の様子を調べたところつぎの族２のように
なった。 く族２〉 ここで母材中の気泡の個数というのは、ガラス微粒子堆
積体２を透明ガラス化して作った光フアイバ母材の長さ
２００ ｎｉの範囲に発生した気泡の数を数えたもので
ある。この結果から、下方の排気口はど排気量を少なく
したパターンの、他のパターンに対する明かな優位性が
認められる。なお、空気の給入量は排気量に充分に見合
う量としである。
説明する。第１図に示すように、複数のバーナ３が上下
方向に配列されており、これらのそれぞれによりガラス
微粒子が生成される。このガラス微粒子は、上から吊さ
れたターゲツト棒１の下端に付着させられ、ターゲツト
棒１が回転しながら引き上げられていくとガラス微粒子
堆積体２が円柱状に形成される。そしてこの堆積部周囲
がデポジションボックス４によって覆われる。このデポ
ジションボックス４には、上下方向に並べられた複数（
この実施例では３個〉の排気口５１．５２．５３が設け
られており、これらの各排気口５１．５２．５３には排
気量を調整するためのダンパー７１．７２．７３がそれ
ぞれ設けられる。 すなわち、これらダンパー７１．７２．７３は排気口５
１．５２．５３の各々の開口の大きさを調整するもので
、これにより排気量の調整ができる。 これら各排気口５１．５２．５３の後方より所定の負圧
で吸引し、ターゲツト棒１の下端に付着しなかったガラ
ス微粒子や未反応のガスを排気する。 このデポジションボックス４はガラス微粒子堆積体２に
塵埃等が付着しないようにするためでもある。そして、
デポジションボックス４の排気口５１．５２．５３が設
けられている側とは反対側の壁に多数の小さな空気流入
孔６が設けられており、空気がボックス４内に取り入れ
られる。 このように、デポジションボックス４内に、バーナ３の
配列方向と対応する方向に複数の排気口５１．５２．５
３を設け、且つそれらがらの排気量をダンパー７１．７
２．７３によって調整するようにしているため、デポジ
ションボックス４内に任意の安定した空気流を生じさせ
ることができる。 この実施例において、３つの排気口５１．５２．５３の
各排気量をつぎの族１に示すような３つのパターンで調
整して、実際にデポジションを行ってみた。 〈族１〉 ここで単位はｍ７分であり、つまり各排気口５１．５２
．５３に流れ込む風速を示す。この各排気量のパターン
において、デポジションボックス４の内壁面に付着する
ガラス微粒子の様子を調べたところつぎの族２のように
なった。 く族２〉 ここで母材中の気泡の個数というのは、ガラス微粒子堆
積体２を透明ガラス化して作った光フアイバ母材の長さ
２００ ｎｉの範囲に発生した気泡の数を数えたもので
ある。この結果から、下方の排気口はど排気量を少なく
したパターンの、他のパターンに対する明かな優位性が
認められる。なお、空気の給入量は排気量に充分に見合
う量としである。
この発明のガラス微粒子堆積装置によれば、デポジショ
ンボックス内壁面に付着するガラス微粒子が低減するよ
うな空気の流れをデポジションボックス内に安定に作る
ことができ、光フアイバ母材中に発生する気泡を少なく
することができる。
ンボックス内壁面に付着するガラス微粒子が低減するよ
うな空気の流れをデポジションボックス内に安定に作る
ことができ、光フアイバ母材中に発生する気泡を少なく
することができる。
第１図はこの発明の一実施例を切り欠いて示す模式的な
斜視図、第２図は従来例を切り欠いて示す模式的な斜視
図である。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・バーナ、４・・・デポジションボックス、５１
．５２．５３・・・排気口、６・・・空気流入孔、７１
．７２．７３・・・ダンパー
斜視図、第２図は従来例を切り欠いて示す模式的な斜視
図である。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・バーナ、４・・・デポジションボックス、５１
．５２．５３・・・排気口、６・・・空気流入孔、７１
．７２．７３・・・ダンパー
Claims (1)
- （１）ガラス微粒子を生成するための上下方向に配列さ
れた複数のバーナと、生成されたガラス微粒子がその下
端に堆積され、堆積とともに上方に引き上げられるター
ゲットと、この堆積部を覆うデポジションボックスと、
該デポジションボックスに設けられた上下方向に並ぶ複
数の排気口と、該排気口のそれぞれの排気量を下方のも
のほど小さくするよう調整する排気量調整器とを備える
ことを特徴とするガラス微粒子堆積装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176278A JP2804094B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | ガラス微粒子堆積装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176278A JP2804094B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | ガラス微粒子堆積装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0340932A true JPH0340932A (ja) | 1991-02-21 |
| JP2804094B2 JP2804094B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=16010786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1176278A Expired - Lifetime JP2804094B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | ガラス微粒子堆積装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804094B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10245242A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 |
| JPH10338537A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 |
| JP2002068210A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Hiromichi Inagaki | 包装袋及び包装品及び包装袋の開口を閉じて保持する方法 |
| WO2003000607A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device for manufacturing a preform for optical fibres through chemical deposition |
| KR20030012749A (ko) * | 2001-08-04 | 2003-02-12 | 화이콤(주) | 광섬유용 유리모재 제조방법 및 제조장치 |
| JP2004269285A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造法 |
| JP2006131231A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 簡易スタンディングパウチ |
| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| JP2013249213A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP2018172229A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59193831U (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | 株式会社フジクラ | 光フアイバ母材の製造装置 |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP1176278A patent/JP2804094B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59193831U (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | 株式会社フジクラ | 光フアイバ母材の製造装置 |
Cited By (10)
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| JP2002068210A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Hiromichi Inagaki | 包装袋及び包装品及び包装袋の開口を閉じて保持する方法 |
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| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
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| JP2018172229A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2804094B2 (ja) | 1998-09-24 |
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