JP2804094B2 - ガラス微粒子堆積装置 - Google Patents
ガラス微粒子堆積装置Info
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- JP2804094B2 JP2804094B2 JP1176278A JP17627889A JP2804094B2 JP 2804094 B2 JP2804094 B2 JP 2804094B2 JP 1176278 A JP1176278 A JP 1176278A JP 17627889 A JP17627889 A JP 17627889A JP 2804094 B2 JP2804094 B2 JP 2804094B2
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- Japan
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- exhaust
- deposition
- glass
- box
- exhaust port
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
この発明は、VAD法によりバーナから生成されたガラ
ス微粒子を堆積させて光ファイバ母材などを作製するた
めの、ガラス微粒子堆積装置に関する。
ス微粒子を堆積させて光ファイバ母材などを作製するた
めの、ガラス微粒子堆積装置に関する。
光ファイバ母材を作製するためのVAD法では、バーナ
の酸水素火炎中にSiCl4などのガラス原料ガスを導入
し、火炎加水分解反応によりガラス（SiO2）微粒子を生
成し、これをターゲットである種棒に堆積するようにし
ている。 従来のVAD法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第２図に示すように、複数のバー
ナ３が鉛直方向（上下方向）に並べられており、これら
によりガラス微粒子を生成し、これを、上から下に吊さ
れたターゲット棒１の下端に付着させる。ターゲット棒
１を回転させながら引き上げていくとガラス微粒子堆積
体２が円柱状に形成される。このとき、付着しなかった
ガラス微粒子や未反応のガスを拡散させずに排気口５よ
り強制的に排気するため、あるいは塵埃等が付着しない
ようにするため、この堆積部周囲がデポジションボック
ス４によって覆われる。排気量に応じた空気をボックス
４内に供給するため、ボックス４の排気口５の反対側に
多数の空気流入孔６が設けられている。このボックス４
の容量は、ボックス４内の圧力を安定に保つために設定
された大きさとされており、また、排気口５も、十分な
排気量を得るために設定された大きさとなっている。そ
して、デポジションを行う際、バーナ３の位置や、反応
させる原料ガスの流量、デポジションボックス４内の給
気・排気のバランス等を調整して、デポジションボック
ス４内の空気の流れを安定させるようにしている。
の酸水素火炎中にSiCl4などのガラス原料ガスを導入
し、火炎加水分解反応によりガラス（SiO2）微粒子を生
成し、これをターゲットである種棒に堆積するようにし
ている。 従来のVAD法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第２図に示すように、複数のバー
ナ３が鉛直方向（上下方向）に並べられており、これら
によりガラス微粒子を生成し、これを、上から下に吊さ
れたターゲット棒１の下端に付着させる。ターゲット棒
１を回転させながら引き上げていくとガラス微粒子堆積
体２が円柱状に形成される。このとき、付着しなかった
ガラス微粒子や未反応のガスを拡散させずに排気口５よ
り強制的に排気するため、あるいは塵埃等が付着しない
ようにするため、この堆積部周囲がデポジションボック
ス４によって覆われる。排気量に応じた空気をボックス
４内に供給するため、ボックス４の排気口５の反対側に
多数の空気流入孔６が設けられている。このボックス４
の容量は、ボックス４内の圧力を安定に保つために設定
された大きさとされており、また、排気口５も、十分な
排気量を得るために設定された大きさとなっている。そ
して、デポジションを行う際、バーナ３の位置や、反応
させる原料ガスの流量、デポジションボックス４内の給
気・排気のバランス等を調整して、デポジションボック
ス４内の空気の流れを安定させるようにしている。
しかしながら、従来のガラス微粒子堆積装置では、ボ
ックス内の空気の流れを完全には安定させることができ
ず、そのため、ターゲット棒１に付着しなかったガラス
微粒子を排気しきれず、そのガラス微粒子がデポジショ
ンボックス４の内壁面に付着する。そして、このデポジ
ションボックス４の内壁面に付着したガラス微粒子がな
んらかの理由で剥離し、ガラス微粒子堆積体２中に入り
込んだ場合、このガラス微粒子堆積体２を透明ガラス化
して光ファイバ母材としたときそれを核として気泡が発
生するという不都合が生じる。 この発明は、デポジションボックス内壁面にガラス微
粒子が付着しないような安定した空気流をデポジション
ボックス内につくることができ、それによって気泡が発
生しないガラス微粒子堆積体をつくることができるガラ
ス微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
ックス内の空気の流れを完全には安定させることができ
ず、そのため、ターゲット棒１に付着しなかったガラス
微粒子を排気しきれず、そのガラス微粒子がデポジショ
ンボックス４の内壁面に付着する。そして、このデポジ
ションボックス４の内壁面に付着したガラス微粒子がな
んらかの理由で剥離し、ガラス微粒子堆積体２中に入り
込んだ場合、このガラス微粒子堆積体２を透明ガラス化
して光ファイバ母材としたときそれを核として気泡が発
生するという不都合が生じる。 この発明は、デポジションボックス内壁面にガラス微
粒子が付着しないような安定した空気流をデポジション
ボックス内につくることができ、それによって気泡が発
生しないガラス微粒子堆積体をつくることができるガラ
ス微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、この発明によるガラス微粒
子堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するための
上下方向に配列された複数のバーナと、生成されたガラ
ス微粒子がその下端に堆積され、堆積とともに上方に引
き上げられるターゲットと、この堆積部を覆うデポジシ
ョンボックスと、該デポジションボックスに設けられた
上下方向に並ぶ複数の断面長方形の排気口と、該排気口
のそれぞれの排気量を下方のものほど小さくするよう調
整するための、該排気口のそれぞれに設けられた、該排
気口の各々の開口の大きさを変えるダンパーとが備えら
れている。
子堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するための
上下方向に配列された複数のバーナと、生成されたガラ
ス微粒子がその下端に堆積され、堆積とともに上方に引
き上げられるターゲットと、この堆積部を覆うデポジシ
ョンボックスと、該デポジションボックスに設けられた
上下方向に並ぶ複数の断面長方形の排気口と、該排気口
のそれぞれの排気量を下方のものほど小さくするよう調
整するための、該排気口のそれぞれに設けられた、該排
気口の各々の開口の大きさを変えるダンパーとが備えら
れている。
デポジションボックスに、複数の断面長方形の排気口
を設け、さらに各排気口の排気量を調整するための、排
気口の各々の開口の大きさを変えるダンパーを設けたの
で、各排気口のダンパーを動かすだけで、各々の排気口
での排気量を容易に調整でき、デポジションの種々のパ
ターンに幅広く対応させることができる。のみならず、
各排気口の排気量を微調整することが容易であるため、
各ダンパーを動かしてみて最適な排気量分布を求めるこ
とも容易である。 そして、実験的に確かめたところ、下方の排気口ほど
排気量が少なくなるよう各ダンパーを動かして調整する
と、デポジションボックス内壁面に付着するガラス微粒
子を低減でき、光ファイバ母材中に発生する気泡も少な
くなることが分かった。 さらに、各ダンパーを動かせば各排気口の排気量を微
調整することができるので、ダンパーの設定について煮
詰めて最適なものとすることが容易であることも、上記
の実験から期待できる。
を設け、さらに各排気口の排気量を調整するための、排
気口の各々の開口の大きさを変えるダンパーを設けたの
で、各排気口のダンパーを動かすだけで、各々の排気口
での排気量を容易に調整でき、デポジションの種々のパ
ターンに幅広く対応させることができる。のみならず、
各排気口の排気量を微調整することが容易であるため、
各ダンパーを動かしてみて最適な排気量分布を求めるこ
とも容易である。 そして、実験的に確かめたところ、下方の排気口ほど
排気量が少なくなるよう各ダンパーを動かして調整する
と、デポジションボックス内壁面に付着するガラス微粒
子を低減でき、光ファイバ母材中に発生する気泡も少な
くなることが分かった。 さらに、各ダンパーを動かせば各排気口の排気量を微
調整することができるので、ダンパーの設定について煮
詰めて最適なものとすることが容易であることも、上記
の実験から期待できる。
つぎにこの発明の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。第１図に示すように、複数のバーナ３が上
下方向に配列されており、これらのそれぞれによりガラ
ス微粒子が生成される。このガラス微粒子は、上から吊
されたターゲット棒１の下端に付着させられ、ターゲッ
ト棒１が回転しながら引き上げられていくとガラス微粒
子堆積体２が円柱状に形成される。そしてこの堆積部周
囲がデポジションボックス４によって覆われる。このデ
ポジションボックス４には、上下方向に並べられた複数
（この実施例では３個）の排気口51、52、53が設けられ
ており、これらの各排気口51、52、53には排気量を調整
するためのダンパー71、72、73がそれぞれ設けられる。
すなわち、これらダンパー71、72、73は排気口51、52、
53の各々の開口の大きさを調整するもので、これにより
排気量の調整ができる。これら各排気口51、52、53の後
方より所定の負圧で吸引し、ターゲット棒１の下端に付
着しなかったガラス微粒子や未反応のガスを排気する。
このデポジションボックス４はガラス微粒子堆積体２に
塵埃等が付着しないようにするためでもある。そして、
デポジションボックス４の排気口51、52、53が設けられ
ている側とは反対側の壁に多数の小さな空気流入孔６が
設けられており、空気がボックス４内に取り入れられ
る。 このように、デポジションボックス４内に、バーナ３
の配列方向と対応する方向に複数の排気口51、52、53を
設け、且つそれらからの排気量をダンパー71、72、73に
よって調整するようにしているため、デポジションボッ
クス４内に任意の安定した空気流を生じさせることがで
きる。 この実施例において、３つの排気口51、52、53の各排
気量をつぎの表１に示すような３つのパターンで調整し
て、実際にデポジションを行ってみた。 ここで単位はm/分であり、つまり各排気口51、52、53に
流れ込む風速を示す。この各排気量のパターンにおい
て、デポジションボックス４の内壁面に付着するガラス
微粒子の様子を調べたところつぎの表２のようになっ
た。 ここで母材中の気泡の個数というのは、ガラス微粒子堆
積体２を透明ガラス化して作った光ファイバ母材の長さ
200mmの範囲に発生した気泡の数を数えたものである。
この結果から、下方の排気口ほど排気量を少なくしたパ
ターンの、他のパターンに対する明かな優位性が認めら
れる。なお、空気の給入量は排気量に充分に見合う量と
してある。
ら説明する。第１図に示すように、複数のバーナ３が上
下方向に配列されており、これらのそれぞれによりガラ
ス微粒子が生成される。このガラス微粒子は、上から吊
されたターゲット棒１の下端に付着させられ、ターゲッ
ト棒１が回転しながら引き上げられていくとガラス微粒
子堆積体２が円柱状に形成される。そしてこの堆積部周
囲がデポジションボックス４によって覆われる。このデ
ポジションボックス４には、上下方向に並べられた複数
（この実施例では３個）の排気口51、52、53が設けられ
ており、これらの各排気口51、52、53には排気量を調整
するためのダンパー71、72、73がそれぞれ設けられる。
すなわち、これらダンパー71、72、73は排気口51、52、
53の各々の開口の大きさを調整するもので、これにより
排気量の調整ができる。これら各排気口51、52、53の後
方より所定の負圧で吸引し、ターゲット棒１の下端に付
着しなかったガラス微粒子や未反応のガスを排気する。
このデポジションボックス４はガラス微粒子堆積体２に
塵埃等が付着しないようにするためでもある。そして、
デポジションボックス４の排気口51、52、53が設けられ
ている側とは反対側の壁に多数の小さな空気流入孔６が
設けられており、空気がボックス４内に取り入れられ
る。 このように、デポジションボックス４内に、バーナ３
の配列方向と対応する方向に複数の排気口51、52、53を
設け、且つそれらからの排気量をダンパー71、72、73に
よって調整するようにしているため、デポジションボッ
クス４内に任意の安定した空気流を生じさせることがで
きる。 この実施例において、３つの排気口51、52、53の各排
気量をつぎの表１に示すような３つのパターンで調整し
て、実際にデポジションを行ってみた。 ここで単位はm/分であり、つまり各排気口51、52、53に
流れ込む風速を示す。この各排気量のパターンにおい
て、デポジションボックス４の内壁面に付着するガラス
微粒子の様子を調べたところつぎの表２のようになっ
た。 ここで母材中の気泡の個数というのは、ガラス微粒子堆
積体２を透明ガラス化して作った光ファイバ母材の長さ
200mmの範囲に発生した気泡の数を数えたものである。
この結果から、下方の排気口ほど排気量を少なくしたパ
ターンの、他のパターンに対する明かな優位性が認めら
れる。なお、空気の給入量は排気量に充分に見合う量と
してある。
この発明のガラス微粒子堆積装置によれば、複数の断
面長方形の排気口の各々にダンパーを設けるという簡単
な構成によって、各排気口での排気量を容易に調整で
き、デポジションの種々のパターンに幅広く対応させる
ことができるのみでなく、各排気口の排気量を微調整す
ることが容易であるため、各ダンパーを動かしてみて最
適な排気量分布を求めることも容易である。そのため、
デポジションボックス内壁面に付着するガラス微粒子が
低減するような空気の流れをデポジションボックス内に
安定に作り、光ファイバ母材中に発生する気泡が少なく
なるような最適な排気状態を得ることも容易である。
面長方形の排気口の各々にダンパーを設けるという簡単
な構成によって、各排気口での排気量を容易に調整で
き、デポジションの種々のパターンに幅広く対応させる
ことができるのみでなく、各排気口の排気量を微調整す
ることが容易であるため、各ダンパーを動かしてみて最
適な排気量分布を求めることも容易である。そのため、
デポジションボックス内壁面に付着するガラス微粒子が
低減するような空気の流れをデポジションボックス内に
安定に作り、光ファイバ母材中に発生する気泡が少なく
なるような最適な排気状態を得ることも容易である。
第１図はこの発明の一実施例を切り欠いて示す模式的な
斜視図、第２図は従来例を切り欠いて示す模式的な斜視
図である。 １……ターゲット棒、２……ガラス微粒子堆積体、３…
…バーナ、４……デポジションボックス、51、52、53…
…排気口、６……空気流入孔、71、72、73……ダンパ
ー。
斜視図、第２図は従来例を切り欠いて示す模式的な斜視
図である。 １……ターゲット棒、２……ガラス微粒子堆積体、３…
…バーナ、４……デポジションボックス、51、52、53…
…排気口、６……空気流入孔、71、72、73……ダンパ
ー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 8/04 C03B 20/00 C03B 37/00 - 37/16
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス微粒子を生成するための上下方向に
配列された複数のバーナと、生成されたガラス微粒子が
その下端に堆積され、堆積とともに上方に引き上げられ
るターゲットと、この堆積部を覆うデポジションボック
スと、該デポジションボックスに設けられた上下方向に
並ぶ複数の断面長方形の排気口と、該排気口のそれぞれ
の排気量を下方のものほど小さくするよう調整するため
の、該排気口のそれぞれに設けられた、該排気口の各々
の開口の大きさを変えるダンパーとを備えることを特徴
とするガラス微粒子堆積装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176278A JP2804094B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | ガラス微粒子堆積装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176278A JP2804094B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | ガラス微粒子堆積装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0340932A JPH0340932A (ja) | 1991-02-21 |
| JP2804094B2 true JP2804094B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=16010786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1176278A Expired - Lifetime JP2804094B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | ガラス微粒子堆積装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804094B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3557070B2 (ja) * | 1997-03-06 | 2004-08-25 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 |
| JP3619637B2 (ja) * | 1997-06-04 | 2005-02-09 | 古河電気工業株式会社 | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 |
| JP2002068210A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Hiromichi Inagaki | 包装袋及び包装品及び包装袋の開口を閉じて保持する方法 |
| WO2003000607A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device for manufacturing a preform for optical fibres through chemical deposition |
| US7461524B2 (en) | 2001-06-25 | 2008-12-09 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| KR20030012749A (ko) * | 2001-08-04 | 2003-02-12 | 화이콤(주) | 광섬유용 유리모재 제조방법 및 제조장치 |
| JP4196700B2 (ja) * | 2003-03-05 | 2008-12-17 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造法 |
| JP2006131231A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 簡易スタンディングパウチ |
| JP5598872B2 (ja) * | 2012-05-30 | 2014-10-01 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP6916023B2 (ja) * | 2017-03-31 | 2021-08-11 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59193831U (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | 株式会社フジクラ | 光フアイバ母材の製造装置 |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP1176278A patent/JP2804094B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0340932A (ja) | 1991-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |