JP5655418B2 - 多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、余剰となったガラス微粒子が十分に排気されずに反応容器内に滞留すると、合成中の多孔質ガラス母材に再付着し、合成後の多孔質ガラス母材を焼結炉でガラス化させる際に、再付着した余剰ススが核となって内部に気泡が発生する問題があった。
また、ススが詰まるなどして反応容器の排気口からの排気圧が変化すると、反応容器内のガラス微粒子の気流が乱れて、多孔質ガラス母材に安定してガラス微粒子を堆積させることができなくなり、堆積速度が合成中に変化して、合成後の多孔質ガラス母材の特性が長手方向で変化する問題があった。
(1) 反応容器に設けられた一本以上のバーナによりガラス原料ガスおよび燃焼ガスを含む反応ガスを噴き出し、該反応ガスが反応して生成したガラス微粒子をターゲットに堆積させ、上方に引き上げて軸方向に多孔質ガラス母材を堆積させる多孔質ガラス母材の製造装置であって、
原料投入量の最も多い前記バーナが設置されている前記反応容器の壁面と同一の壁面に前記反応容器内にクリーンエアを供給するクリーンエア噴出口を設置し、
前記原料投入量の最も多いバーナと対向する壁面でかつ該バーナの下端より上方に開口部下端が位置する排気口を設け、
前記原料投入量の最も多いバーナの下端部より下方位置に前記クリーンエア噴出口下端部が位置するように前記クリーンエア噴出口を設置し、かつ前記クリーンエア噴出口の下端部が上方に向いており、前記クリーンエア噴出口下端部の前記反応容器の水平方向に対する角度を、前記原料投入量の最も多い前記バーナの前記反応容器の水平方向に対する角度よりも大きい角度とすることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。
また、クリーンエア噴出口の下端部の反応容器の水平方向に対する角度(上下方向の角度)を、バーナの水平方向に対する角度より大きくしているので、クリーンエアの流れにガラス微粒子を乗せて、余剰ススを効率よく排気口に流し込むことができ、気泡の発生が防止される。
前記クリーンエア噴出口は、前記原料投入量の最も多いバーナを挟む両側の位置にも開口されていることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。
原料投入量の最も多い前記バーナが設置されている前記反応容器の壁面と同一の壁面にクリーンエア噴出口を設置して、前記クリーンエア噴出口よりクリーンエアを前記反応容器内に供給するとともに、前記原料投入量の最も多いバーナと対向する壁面でかつ該バーナの下端より上方に開口部下端が位置する排気口を設けて前記反応容器内の気体を排気し、
前記原料投入量の最も多いバーナの下端部より下方位置に前記クリーンエア噴出口下端部が位置するように設置し、前記クリーンエア噴出口下端部の前記反応容器の水平方向に対する角度を、前記原料投入量の最も多い前記バーナの前記反応容器の水平方向に対する角度よりも大きい角度として前記排気口に向けて前記クリーンエアを供給することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。
また、クリーンエア噴出口の下端部の反応容器の水平方向に対する角度(上下方向の角度)を、バーナの水平方向に対する角度より大きくしているので、クリーンエアの流れにガラス微粒子を乗せて、余剰ススを効率よく排気口に流し込むことができ、気泡の発生が防止される。
前記クリーンエア噴出口より供給するエア圧力を、前記反応容器の内部圧力に対して25Pa以上、30Pa以下とすることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。
図1は本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法に用いられる製造装置の模式図である。
本実施の形態に係る多孔質ガラス母材19の製造装置100は、回転するターゲット17を収容する反応容器11と、ガラス原料ガスと燃焼ガスとの反応ガス15から火炎加水分解反応により生成するガラス微粒子を出発材となるターゲット17に向けて噴き付けるバーナ13と、ターゲット17を引き上げる引き上げ装置41と、反応容器11の中に清浄化ガスであるクリーンエア31を供給するためのクリーンエア供給手段(清浄化ガス供給手段)であるクリーンエア発生装置43とを備えている。
図3(a)は、クリーンエア噴出口27が、原料投入量の最も多いバーナ13aを取り囲むように設けられている。図3(b)は、クリーンエア噴出口27が、二本のバーナ13a,13bを取り囲むように設けられている。また、図3(c)は、クリーンエア噴出口27は楕円状に開口されてバーナ13a,13bを挟んだ両側に配置されている。また、各例とも、クリーンエア噴出口27は、噴出口下端部25(図1参照)が原料投入量の最も多いバーナ13aの下端部よりも下方に位置し、かつ噴出口下端部25の角度が、原料投入量の最も多いバーナ13aの設置角度よりも小さい角度とされている。
これらの例においても、余剰ススはクリーンエアの流れに乗って排気口に流され、効率的に排気される一方、ガラス微粒子は気流に挟まれて安定的に運ばれ、ターゲット17に堆積される。
これにより、クリーンエア31が適度な圧力で噴出されるので、ガラス微粒子の搬送効果(整流効果)の著しい低下がなく、またクリーンエア31の気流によるバーナ火炎の乱れやこれによる成長速度の変動などがなくなる。換言するとクリーンエア31の供給圧が低すぎると効果がなくなり、また、供給圧が高すぎると気流が強すぎて火炎を乱し、バーナ13aから出たガラス微粒子の多孔質ガラス母材19への安定した堆積を妨げる。
製造装置100を用いた多孔質ガラス母材19の製造方法では、反応容器11内において回転する出発材となるターゲット17に対して、バーナ13から噴き出されるガラス原料ガスおよび燃焼ガスの火炎加水分解反応により生成するガラス微粒子を堆積させて上方向に引き上げ、多孔質ガラス母材19を製造する。この際に、バーナ13の周囲から整流されたクリーンエア31を供給する。
VAD法にてコア部とクラッド部のそれぞれを合成する二本のバーナを用いて光ファイバ用ガラス母材の合成を行った。コア部を合成するバーナヘは0.5リットル/分、クラッド部を合成するバーナヘは6リットル/分の流量で原料となる四塩化珪素ガスを投入し、80mm/hrの速度で引き上げながら合成した。
この条件で連続して多孔質ガラス母材を二十本合成し、多孔質ガラス母材の中に混入した気泡の個数を測定した。その結果、気泡の個数は多孔質ガラス母材一本あたり0.3個であった。
実施例に記載の反応容器からクリーンエア噴出口を取り外して多孔質ガラス母材を二十本合成して、多孔質ガラス母材の中に混入した気泡の個数を測定した結果、図4に示すように、多孔質ガラス母材一本あたり3個と気泡発生頻度が大幅に増加した。
実施例に記載のクリーンエア噴出口から反応容器の底面に平行の角度でクリーンエアを供給して多孔質ガラス母材を合成し、多孔質ガラス母材の中に混入した気泡の個数を測定した結果、多孔質ガラス母材一本あたり2個であった。
反応容器内の引き圧を大気圧に対して−20Pa、クリーンエアの圧力を0.4Paとして実施例と同様に多孔質ガラス母材を二十本合成し、多孔質ガラス母材の中に混入した気泡の数を測定した結果、多孔質ガラス母材一本あたり1.5個であった。
なお、図4に、クリーンエア供給圧力と気泡発生数との相関図を示す。この図より、クリーンエアの圧力を5Pa以上とすることで、極端に気泡の数が減少していることが分かる。
反応容器内の引き圧を大気圧に対して−20Pa、クリーンエアの圧力を15Paとして実施例と同様に多孔質ガラス母材を合成したが、図5に示すように、多孔質ガラス母材の引き上げ速度が80mm/hrから60mm/hrに低下し、良好な多孔質ガラス母材を得ることができなかった。
なお、図5に、クリーンエア供給圧力とガラス合成時の引き上げ速度との相関図を示す。この図より、クリーンエアの圧力が10Paを超えると、極端に引き上げ速度が低下することが分かる。
13 バーナ
15 反応ガス
17 ターゲット
19 多孔質ガラス母材
21 壁面
23 下端部
25 噴出口下端部
27 クリーンエア噴出口
29 排気口
31 クリーンエア
100 製造装置
θ1、θ2 設置角度
Claims (4)
- 反応容器に設けられた一本以上のバーナによりガラス原料ガスおよび燃焼ガスを含む反応ガスを噴き出し、該反応ガスが反応して生成したガラス微粒子をターゲットに堆積させ、上方に引き上げて軸方向に多孔質ガラス母材を堆積させる多孔質ガラス母材の製造装置であって、
原料投入量の最も多い前記バーナが設置されている前記反応容器の壁面と同一の壁面に前記反応容器内にクリーンエアを供給するクリーンエア噴出口を設置し、
前記原料投入量の最も多いバーナと対向する壁面でかつ該バーナの下端より上方に開口部下端が位置する排気口を設け、
前記原料投入量の最も多いバーナの下端部より下方位置に前記クリーンエア噴出口下端部が位置するように前記クリーンエア噴出口を設置し、かつ前記クリーンエア噴出口の下端部が上方に向いており、前記クリーンエア噴出口下端部の前記反応容器の水平方向に対する角度を、前記原料投入量の最も多い前記バーナの前記反応容器の水平方向に対する角度よりも大きい角度とすることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。 - 請求項1記載の多孔質ガラス母材の製造装置であって、
前記クリーンエア噴出口は、前記原料投入量の最も多いバーナを挟む両側の位置にも開口されていることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。 - 反応容器に設けられた一本以上のバーナによりガラス原料ガスおよび燃焼ガスを含む反応ガスを噴き出し、該反応ガスが反応して生成したガラス微粒子をターゲットに堆積させ、上方に引き上げて軸方向に多孔質ガラス母材を堆積させる多孔質ガラス母材の製造方法であって、
原料投入量の最も多い前記バーナが設置されている前記反応容器の壁面と同一の壁面にクリーンエア噴出口を設置して、前記クリーンエア噴出口よりクリーンエアを前記反応容器内に供給するとともに、前記原料投入量の最も多いバーナと対向する壁面でかつ該バーナの下端より上方に開口部下端が位置する排気口を設けて前記反応容器内の気体を排気し、
前記原料投入量の最も多いバーナの下端部より下方位置に前記クリーンエア噴出口下端部が位置するように設置し、前記クリーンエア噴出口下端部の前記反応容器の水平方向に対する角度を、前記原料投入量の最も多い前記バーナの前記反応容器の水平方向に対する角度よりも大きい角度として前記排気口に向けて前記クリーンエアを供給することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 - 請求項3記載の多孔質ガラス母材の製造方法であって、
前記クリーンエア噴出口より供給するエア圧力を、前記反応容器の内部圧力に対して25Pa以上、30Pa以下とすることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。
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