JP5168772B2 - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
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Description
前記ガラス合成用バーナの材質が石英であり、V/W≦5を満たし、前記ガラス原料ガス用ポートと前記可燃性ガス用ポートと前記支燃性ガス用ポートは同心円状に配設されるものである。
図1に示すように、このガラス微粒子堆積体の製造装置10は反応容器1を有しており、この反応容器1の上部には、拡縮自在の開口部5aを有する開閉板5が設けられている。反応容器1の外側上方には吊り下げ装置13が設置されており、シード棒12が吊り下げ装置13によって吊り下げられている。吊り下げられたシード棒12には、ガラスロッド11が取り付けられ、ガラスロッド11は開口部5aを通って、反応容器1の内部へ導入されている。
このガラスロッド11の外周にガラス微粒子を堆積させていくと、中心にガラスロッド11を有するガラス微粒子堆積体19を作製することができる。
反応容器1の下部には、ガラス微粒子を生成するバーナ(ガラス合成用バーナ)7と、反応容器1内の未堆積ガラス微粒子等を排出する排気口9とが設けられている。
図2に示すように、バーナ7は、径の異なる複数の円筒状のパイプ32a,32b,32c,32d,32eを同心円状に配設したものである。
本実施形態では、中央に配置されたポートP1は、ガラス原料ガスを噴出するガラス原料ガス用ポートであり、このポートP1の外側に配置されたポートP2,P4は可燃性ガスを噴出する可燃性ガス用ポートであり、ポートP1の外側に配置されたポートP3,P5は支燃性ガスを噴出する支燃性ガス用ポートである。
まず、シード棒12の先端にガラスロッド11を取り付け、このシード棒12を吊り下げ装置13に吊り下げる。そして、吊り下げ装置13を作動させ、ガラスロッド11のガラス微粒子堆積開始点とバーナ7の吹き出し口との距離が所望の距離となるように、ガラスロッド11を降下させる。
一方、ガス流量制御器15,16,17により、支燃性ガス(酸素)、可燃性ガス(水素)、ガラス原料ガス(四塩化珪素)をバーナ7のポートP1〜P5へ供給する。
このように、ガラスロッド11の引き上げ速度を調節することにより、ガラスロッド11に堆積させるガラス微粒子堆積体19の外径が、長手方向にわたって均一となるように堆積される。
さらに、本実施形態では、同心円状の多重管構造であるバーナ7を例に挙げて説明したが、本発明で使用するガラス合成用バーナは、同心円状でなくても良い。例えば、図4に示すバーナ41のように、中央に配置されたガラス原料ガス用ポートとしてのポートP7を形成するパイプ42aの周囲に、可燃性ガスを噴出する可燃性ガス用ポートとしてのポートP8を形成するパイプ42bを設け、さらに、ポートP8の中で支燃性ガスを噴出する支燃性ガス用ポートとしてのポートP9を形成するパイプ42cを複数、同一円上に配列させたものを使用しても良い。このバーナ41では、複数のパイプ42cは、その噴出する方向の焦点がバーナ41の中心軸上の1箇所に重なるように、バーナ41の中心軸に対して中央寄りに傾斜して配置されている。このような構造のバーナ41を使用すると、酸水素火炎の広がりを抑えて狙った位置に火炎のエネルギーを集中させることができる。
4 制御装置
10 ガラス微粒子堆積体の製造装置
11 ガラスロッド(出発棒)
19 ガラス微粒子堆積体
P1〜P9 ポート
Claims (2)
- 中央に配置されガラス原料ガスを噴出するガラス原料ガス用ポートと、ガラス原料ガス用ポートの外側に配置され可燃性ガスを噴出する可燃性ガス用ポートと、ガラス原料ガス用ポートの外側に配置され支燃性ガスを噴出する支燃性ガス用ポートとを備えたガラス合成用バーナによりガラス微粒子を生成し、出発棒にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を形成するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
隣接した前記可燃性ガス用ポートと前記支燃性ガス用ポートとの距離をW(mm)、前記可燃性ガス用ポートから噴出する可燃性ガスの流速をV(m/秒)としたときに、前記可燃性ガスの流速Vを、1.8≦V/Wを満たす関係とし、かつ、前記ガラス合成用バーナが赤熱しない流速とし、さらに、
前記ガラス合成用バーナの材質が石英であり、V/W≦5を満たし、
前記ガラス原料ガス用ポートと前記可燃性ガス用ポートと前記支燃性ガス用ポートは同心円状に配設されるガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 隣接した前記可燃性ガス用ポートと前記支燃性ガス用ポートとの間に空きポートを有し、前記空きポートから噴出する不活性ガスまたは窒素ガスの流量を、隣接する前記可燃性ガス用ポートから噴出する可燃性ガスの流量の5体積%以下とすることを特徴とする請求項1に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
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