JP2010064934A - 合成シリカガラス製造用バーナ及びそのバーナを用いた合成シリカガラス製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】合成速度を大きくしても高い収率を得ることのできる合成シリカガラス製造用バーナ及びそのバーナを用いた合成シリカガラス製造装置を提供する。
【解決手段】原料ガスを供給するソースノズル３Ａと、前記ソースノズル３Ａを中心部に収容し、可燃性ガスを供給する可燃性ガスノズル３Ｂと、前記可燃性ガスノズル３Ｂ内に前記ソースガスノズルを囲うように配置され、支燃性ガスを供給する複数の支燃性ガスノズル３Ｃとを有し、前記原料ガスの流速は１５〜５０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、前記可燃性ガスの流速は７〜３０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、前記支燃性ガスの流速は１〜１０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、且つ、前記原料ガスの流速は前記支燃性ガスの流速より速く、前記支燃性ガスの流速は前記可燃性ガスの流速より速い設定となされる。
【選択図】図３

Description

本発明は合成シリカガラス製造用バーナ及びそのバーナを用いた合成シリカガラス製造装置に関する。

現在、紫外線透過材料として２５０ｎｍ以下の波長の光透過性がよく、不純物含有量の極めて少ない合成シリカガラスが用いられている。
この合成シリカガラスは、一般的には紫外線（４００ｎｍ以下）領域の波長を吸収してしまう原因となりうる金属不純物の混入を避ける目的で、高純度のケイ素化合物、例えば四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ₄）などを原料として製造されている。

具体的には、図５の模式図に示すように、耐火物で組まれた炉体５０の上部にバーナ５１が設けられ、このバーナ５１から下方に向けて原料ガス（例えばＳｉＣｌ₄＋Ｏ₂）、水素ガス（Ｈ₂）、酸素ガス（Ｏ₂）が供給される。
バーナ５１のノズル口付近では、水素（Ｈ₂）と酸素（Ｏ₂）との燃焼反応が発生し（図５のＳ１）、高温の水蒸気（Ｈ₂Ｏ）が発生する（図５のＳ２）。

そして、その水蒸気（Ｈ₂Ｏ）と原料ガス（ＳｉＣｌ₄＋Ｏ₂）とが加水分解反応（図５のＳ３）することによりシリカ微粒子（ＳｉＯ₂）が生成される（図５のＳ４）。
生成されたシリカ微粒子は、バーナ５１から噴出されるガスの流れにのり、鉛直軸周りに回転するインゴット６０（ターゲット５２）上に堆積・溶融ガラス化され、透明なガラスとして製造される。

ところで、従来から、合成シリカガラスの製造においては、高透過性及び高均質性といった品質面での課題が重要視される一方、反応効率をよくすることによってインゴットの収率を向上させることも大きな課題となっている。
特許文献１には、火炎の反応効率の低下を防止することのできる図６に示すようなバーナノズルが開示されている。

図６において、同心円状にノズル７１、７２、７３が設けられ、ノズル７１とノズル７２との間に複数個のノズル７４が配設されている。
ノズル７１内からは原料（例えばＳｉＣｌ₄ガス）と酸素ガスとを混合させた原料ガスを供給し、ノズル７１とノズル７２との間からは水素ガス、ノズル７２とノズル７３との間からは酸素ガスをそれぞれ供給するようになされている。さらに小径のノズル７４からは酸素ガスを供給するように構成されている。ここで、供給する原料ガスと水素ガスとの間隔、及び酸素ガスと水素ガスとの間隔がそれぞれ１ｍｍ以下となるように各ノズルが配設されている。

そして、原料ガス、及び酸素ガスのノズル出口７１，７３，７４における平均流速を２０ｍ／ｓｅｃ以上、５０ｍ／ｓｅｃ以下とし、水素ガスのノズル出口７２における平均流速を５ｍ／ｓｅｃ以上、１０ｍ／ｓｅｃ以下とする制御がなされる。
このようなバーナノズルによれば、酸水素の燃焼や原料ガスの加水分解反応が促進されて反応効率がよくなり、ガラス微粒子の合成速度を大きくすることができる。
特開平６−２４７７２２号公報

インゴットの収率向上には、前記特許文献１のバーナノズルのようにガラス微粒子の合成速度を大きくする（反応効率を良くする）ことが必要である。
しかしながら、特許文献１に開示のバーナノズルによるガス供給のように、単に合成速度を大きくすることに着目すると、原料ガスと生成されたシリカガラス微粒子との対流及び拡散が大きくなる虞があり、インゴット（ターゲット）へのシリカガラス微粒子の捕捉率が低下し、収率が低下するという課題があった。

本発明は上述した事情を考慮してなされたものであり、合成速度を大きくしても高い収率を得ることのできる合成シリカガラス製造用バーナ及びそのバーナを用いた合成シリカガラス製造装置を提供することを目的とする。

上述した目的を達成するため、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナは、インゴット形成用のターゲットに対向して設けられた合成シリカガラス製造用バーナであって、原料ガスを供給するソースノズルと、前記ソースノズルを中心部に収容し、可燃性ガスを供給する可燃性ガスノズルと、前記可燃性ガスノズル内部に前記ソースノズルを囲うように配置され、支燃性ガスを供給する複数の支燃性ガスノズルとを有し、前記原料ガスの流速は１５〜５０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、前記可燃性ガスの流速は７〜３０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、前記支燃性ガスの流速は１〜１０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、且つ、前記原料ガスの流速は前記支燃性ガスの流速より速く、前記支燃性ガスの流速は前記可燃性ガスの流速より速い設定となされることに特徴を有する。
また、前記複数の支燃性ガスノズルは、前記ソースノズルの周りに少なくとも二重に形成された該ソースノズルの仮想同心円上に、所定間隔を空けて配置されていることが望ましい。
このようなバーナノズルを用いることにより、原料ガスと、火炎加水分解により生成されたシリカガラス微粒子との対流及び拡散が抑制され、ターゲットへのシリカガラス微粒子の捕捉率を向上することができ、高収率且つ速い合成速度でインゴットを製造することができる。

また、前記可燃性ガスノズルは、該可燃性ガスノズル内に設けられた、より小径の複数のサブノズルを備え、前記サブノズルから可燃性ガスを供給することが望ましい。
このように構成することにより、大口径のインゴットの製造に適用するためバーナを大型としても、可燃性ガスノズルの径面積の増大による水素ガスの流速低下を防止することができ、原料ガスと、火炎加水分解により生成されたシリカガラス微粒子との対流及び拡散を十分に抑制することができる。
したがって、大口径のインゴットを製造する場合においても、ターゲットへの合成シリカガラス微粒子の捕捉率を向上することができ、高収率且つ速い合成速度でインゴットを合成することができる。

また、前記複数の支燃性ガスノズルは、前記第一の可燃性ガスノズル内において、前記第二の可燃性ガスノズル内部と、前記第二の可燃性ガスノズルの周囲とに設けられ、前記第二の可燃性ガスノズルの周囲に設けられた前記支燃性ガスノズルから供給する支燃性ガスの流速は、前記第二の可燃性ガスノズル内部に設けられた支燃性ガスノズルから供給する支燃性ガスの流速以下となされることが望ましい。
また、前記複数の支燃性ガスノズルは、前記第一の可燃性ガスノズルと前記第二の可燃性ガスノズルとの間、及び前記第二の可燃性ガスノズル内に設けられ、前記第一の可燃性ガスノズルと前記第二の可燃性ガスノズルとの間に設けられた前記支燃性ガスノズルから供給する支燃性ガスの流速は、前記第二の可燃性ガスノズル内に設けられた支燃性ガスノズルから供給する支燃性ガスの流速以下となされることが望ましい。
このような流速制御により、原料ガスと、火炎加水分解により生成されたシリカ微粒子との対流及び拡散をより抑制することができる。

また、前記目的を達成するため、本発明に係る合成シリカガラス製造装置は、前記合成シリカガラス製造用バーナと、前記合成シリカガラス製造用バーナに対向して回転可能に設置されたインゴット形成用のターゲットとを少なくとも備えることに特徴を有する。

本発明によれば、合成速度を大きくしても高い収率を得ることのできる合成シリカガラス製造用バーナ及びそのバーナを用いた合成シリカガラス製造装置を提供することができる。

本発明の合成シリカガラス製造用バーナ及びそのバーナを用いた合成シリカガラス製造装置について、図に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナを用いた合成シリカガラス製造装置の断面図、図２は、その合成シリカガラス製造用バーナの第一の実施形態を示すノズル口の平面図である。

図１に示すように、本発明の合成シリカガラス製造装置１は、下部が大気に常時開放されている炉体２を備えている。この炉体２は耐火物からなり、その頂部にシリカガラス製造用のバーナ３が設置されている。尚、前記炉体２の水平断面は円形に形成されている。

また、前記炉体２の内部には、前記バーナ３に対向して設けられ、回転可能に設置されたインゴット形成用のターゲット４と、前記ターゲット４を回転及び昇降するインゴット昇降軸５が設けられている。
更に、炉体２の下部には、ターゲット４に堆積されなかったシリカ微粒子を排気する排気口６が設けられている。また、前記排気口６には排気管７が接続され、この排気管７に排気ファン８が設けられている。

本発明は、バーナ３のノズル構造に特徴を有する。図２に示すように、このバーナ３は、原料とする四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ₄）と酸素（Ｏ₂）との混合ガスである原料ガスを供給する円筒管３ａからなるソースノズル３Ａと、このソースノズル３Ａを中心部に収容し、可燃性ガスである水素（Ｈ₂）ガスを供給するノズル３Ｂ（可燃性ガスノズル）とを有する。尚、前記ノズル３Ｂは、前記円筒管３ａと円筒管３ｂとの間の空間から水素ガスを噴出するノズルとして機能する。

さらに、ノズル３Ｂの内部には、ソースノズル３Ａを囲うように、複数（図では１２本）の円筒管３ｄからなるノズル３Ｃ（支燃性ガスノズル）が設けられ、これらのノズル３Ｃから支燃性ガスである酸素（Ｏ₂）ガスが供給される。前記複数のノズル３Ｃは、前記ソースノズル３Ａの周りに二重に形成された仮想同心円Ｃ１，Ｃ２（破線で示される）上に所定の間隔を空けて配置されている。また、各ノズル３Ｃの焦点は、バーナ３の中心軸の延長上にあるターゲット４（インゴット１０形成中は溶融シリカ付着面１０ａ）に合うように制御される。ソースノズル３Ａから供給される原料ガスは、ノズル３Ｃから供給される酸素ガスをキャリアとしてターゲット４に向けて運ばれるようになされている。
尚、ノズル３Ｃが配置される前記仮想同心円（Ｃ１、Ｃ２、・・・）は少なくとも二重に形成された円である。

このようなノズル配置のバーナ３を備える合成シリカガラス製造装置１においては、次のように合成シリカガラスの製造が行われる。
先ず、高純度のケイ素化合物、例えば四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ₄）と酸素ガスとを混合させた原料ガスを、開口するバーナ３を用いて酸水素炎中に導入する。
ここで、ソースノズル３Ａから供給される原料ガスの流速は、２０〜５０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定され、各ノズル３Ｃから供給される酸素ガスの流速は、７〜３０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定される。また、ノズル３Ｂから供給される水素ガスの流速は、１〜１０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定される。
さらに、原料ガスの流速は酸素ガスの流速より速く、酸素ガスの流速は水素ガスの流速より速くなるよう設定される。
このような制御を行うことにより、合成速度が大きくても、原料ガスと、火炎加水分解により生成されたシリカガラス微粒子との対流及び拡散が抑制される。

そして、生成されたシリカガラス微粒子を、直接回転するターゲット４上に堆積・溶融ガラス化させ、堆積速度に合わせてバーナ３からインゴット１０の溶融シリカ付着面１０ａまでの距離を一定に保つように引き下げながら合成シリカガラスの製造を行う。
また、炉内空気はインゴット１０の周囲に沿って上方から下方に流れ、排気口６から炉体２外に排気される。

このように本発明に係る実施の形態によれば、バーナ３のソースノズル３Ａから供給される原料ガスの流速と、各ノズル３Ｃから供給される酸素ガスの流速と、ノズル３Ｂから供給される水素ガスの流速との設定において、原料ガスの流速が酸素ガスの流速より速く、酸素ガスの流速が水素ガスの流速より速くなるよう制御がなされる。これにより、原料ガスと、火炎加水分解により生成されたシリカガラス微粒子との対流及び拡散が抑制され、ターゲットへの合成シリカガラス微粒子の捕捉率が向上し、高収率且つ速い合成速度でインゴットを製造することができる。

続いて本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナの第二の実施形態について説明する。尚、この第二の実施の形態にあっては、そのバーナ構造の一部を除き、前記した第一の実施形態と同じ構成を適用できるため、同じ構成部分には同じ符号を用いると共に、その詳細な説明については省略する。

図３は、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナの第二の実施形態を示すノズル口の平面図である。
図３に示すバーナ１３は、第一の実施の形態で説明したバーナ３に代えて用いることができる。図示するように、バーナ３における仮想同心円Ｃ１と仮想同心円Ｃ２との間には、円筒管３ｂと同心円状に形成された円筒管３ｄが設けられ、この円筒管３ｄは、水素ガスを供給するノズル３Ｄとして機能する。
即ち、この第二の実施の形態において、可燃性ガスである水素ガスを供給する可燃性ガスノズルは、第一の可燃性ガスノズルとしてのノズル３Ｂと第二の可燃性ガスノズルとしてのノズル３Ｄからなる。

そして、前記した第一の実施の形態と同様に、ソースノズル３Ａから供給される原料ガスの流速は、２０〜５０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定され、各ノズル３Ｃから供給される酸素ガスの流速は、７〜３０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定される。また、ノズル３Ｂから（即ち、円筒管３ｂと円筒管３ｄとの間の空間から）供給される水素ガスの流速は、１〜１０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定される。尚、このノズル３Ｂから供給する水素ガスの流速は、ノズル３Ｂ内に収容されたノズル３Ｄから供給する水素ガスの流速以上（即ち、内径側より外径側の水素ガス流速が速いように）に設定される。

また、ノズル３Ｂ内において、ノズル３Ｄの周囲に設けられた複数のノズル３Ｃから供給する酸素ガスの流速は、ノズル３Ｄ内に設けられた複数のノズル３Ｃから供給する酸素ガスの流速以下（即ち、外径側より内径側の酸素ガス流速が速いように）に設定される。
さらに、原料ガスの流速は酸素ガスの流速より速く、酸素ガスの流速は水素ガスの流速より速くなるように設定される。
これにより、原料ガスと、火炎加水分解により生成されたシリカ微粒子との対流及び拡散が、より抑制され、ターゲットへの合成シリカガラス微粒子の捕捉率が向上する。したがって、この第二の実施の形態によれば、高収率且つ速い合成速度でインゴットを製造することができる。

続いて本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナの第三の実施形態について説明する。尚、この第三の実施の形態にあっては、そのバーナ構造の一部を除き、前記した第一、第二の実施形態と同じ構成を適用できるため、同じ構成部分には同じ符号を用いると共に、その詳細な説明については省略する。

図４は、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナの第三の実施形態を示すノズル口の平面図である。このバーナ２３は、大口径のインゴットを製造する場合に適用可能な大型のバーナとなる。また、図４に示すバーナ２３は、第一、第二の実施の形態で説明したバーナ３に代えて用いることができる。

図４に示すように、バーナ２３は、図３に示した第二の実施形態の構成と同様に、第二の可燃性ガスノズルとしてのノズル３Ｄを有している。
この第三の実施形態において、ノズル３Ｄは、その内側に設けられた、より小径の円筒管３ｅ（サブノズル）を複数備え、この円筒管３ｅから水素ガスを供給するようになされている。
ノズル３Ｄ内には、二重の仮想同心円Ｃ１、Ｃ２の円周上に、酸素ガスを供給する複数（図では９本）の円筒管３ｃからなるノズル３Ｃと、水素ガスを供給する複数（図では９本）の前記円筒管３ｅとが所定間隔を空けて交互に設けられる。
また、円筒管３ｂと円筒管３ｄとの間の空間には、破線で示す仮想同心円Ｃ３の円周上に、酸素ガスを供給する円筒管３ｃからなるノズル３Ｃが所定の間隔を空けて、複数（図では１６本）設けられている。

このバーナ２３においては、前記した第二の実施の形態と同様に、ソースノズル３Ａから供給される原料ガスの流速は、２０〜５０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定され、ノズル３Ｃから供給される酸素ガスの流速は、７〜３０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定される。
また、ノズル３Ｂから（即ち、円筒管３ｂと円筒管３ｄとの間の空間から）供給される水素ガスの流速は、１〜１０ｍ／ｓｅｃの範囲で所定値に設定され、この流速は、ノズル３Ｄ内に設けられた複数の円筒管３ｅから供給する水素ガスの流速以上（即ち、内径側より外径側の水素ガス流速が速いように）に設定される。
また、ノズル３Ｂ内において、ノズル３Ｄの周囲に設けられた複数のノズル３Ｃから供給する酸素ガスの流速は、ノズル３Ｄ内に設けられる複数のノズル３Ｃから供給する酸素ガスの流速以下（即ち、外径側より内径側の酸素ガス流速が速いように）に設定される。
さらに、原料ガスの流速は酸素ガスの流速より速く、酸素ガスの流速は水素ガスの流速より速くなるように設定される。

尚、前記のようにノズル３Ｄにおいて、水素ガスを複数の円筒管３ｅから供給することにより、ノズル３Ｄの径面積の増大によるノズル３Ｄからの水素ガスの流速低下を防止することができ、原料ガスと、火炎加水分解により生成されたシリカ微粒子との対流及び拡散を前記第一、第二の実施の形態と同様に抑制することができる。
したがって、第三の実施の形態によれば、大口径のインゴットを製造する場合に、図４に示すバーナ２３の構成により、高収率且つ速い合成速度でインゴットを合成することができる。

（実施例１）
図１に示す合成シリカガラス製造装置を用いてインゴットを合成し、バーナノズルの構造及びガス供給の流速制御によって、合成速度と収率がどのように変化するかを検証した。
この合成シリカガラス製造装置は、図１に示すように、バーナ７が炉体２上部からターゲット４にその先端を向けて設置されており、バーナ７のノズル構造を図２、図３、図４に示したいずれかの構造とした。

バーナのノズル構造及び供給するガスの流速設定の組み合わせ条件を表１に示す。
尚、表１において水素ガスＡはノズル３Ｂ（図２）またはノズル３Ｄ（図３）または円筒管３ｅ（図４）から供給される水素ガスを示し、水素ガスＢは、ノズル３Ｂ（図３、図４）から（即ち円筒管３ｂと円筒管３ｅとの間から）供給される水素ガスを示す。
また、酸素ガスＡは図２及び図３に示した仮想同心円Ｃ１の円周上に配置されたノズル３Ｃから供給される酸素ガスを示し、酸素ガスＢは仮想同心円Ｃ２の円周上に配置されたノズル３Ｃから供給される酸素ガスを示し、酸素ガスＣは仮想同心円Ｃ３の円周上に配置されたノズル３Ｃから供給される酸素ガスを示す。

表１に示すように、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナに適用される各実施条件１〜５では、原料ガスの流速（２５ｍ／ｓｅｃ）は酸素ガスの流速より速く、酸素ガスの流速は水素ガスの流速より速くなるように設定した。
また、比較条件１では、図２に示したバーナノズル構造において、従来（特許文献１）のガス流速設定に基づき、インゴットの合成を行った。尚、表１に示すように比較条件１では、酸素ガス（酸素ガスＡ）の流速を原料ガスの流速（２５ｍ／ｓｅｃ）よりも速い３５ｍ／ｓｅｃとした。また、水素ガス（水素ガスＡ）の流速を５ｍ／ｓｅｃに設定した。

表１に示すように、この実験の結果、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナを用いることにより、従来（比較条件１）より合成速度が速く、収率が約２０〜２７％向上することがわかった。

（実施例２）
実施例２では、合成速度をより速くするために原料ガスの流速を４０ｍ／ｓｅｃに設定し、それに基づき他のガス流速を設定した。
即ち、表２に示すように、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナに適用される各実施条件６〜１０では、原料ガスの流速（４０ｍ／ｓｅｃ）が酸素ガスの流速より速く、酸素ガスの流速は水素ガスの流速より速くなるように設定した。
また、比較条件２では、図２に示したバーナノズル構造において、従来（特許文献１）のガス供給条件に基づき、インゴットの合成を行った。このとき、酸素ガス（酸素ガスＡ）の流速を原料ガスの流速（４０ｍ／ｓｅｃ）よりも速い４２ｍ／ｓｅｃとした。また、水素ガス（水素ガスＡ）の流速を６ｍ／ｓｅｃに設定した。

表２に示すように、比較条件では、合成速度を速くすると、収率が低下したが、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナを用いることにより、合成速度を速くしても収率が低下しないことがわかった（従来条件である比較条件に対して収率が約３０〜４０％の高収率となる）。
以上の実施例の結果、本発明に係る合成シリカガラス製造用バーナを用いることにより、原料ガス及び生成したシリカ微粒子の対流及び拡散を抑制することができ、合成速度を大きくしても収率が向上することを確認した。

図１は、本発明の一実施形態に係る合成シリカガラス製造装置の概略構成図である。 図２は、その合成シリカガラス製造用バーナの第一の実施形態を示すノズル口の平面図である。 図３は、その合成シリカガラス製造用バーナの第二の実施形態を示すノズル口の平面図である。 図４は、その合成シリカガラス製造用バーナの第三の実施形態を示すノズル口の平面図である。 図５は、合成シリカガラスの一般的な製造方法を説明するための模式図である。 図６は、従来のバーナノズルの構造を示すノズル口の平面図である。

符号の説明

１ 合成シリカガラス製造装置
２ 炉体
３ バーナ
３Ａ ソースノズル
３ａ 円筒管
３Ｂ ノズル（可燃性ガスノズル、第一の可燃性ガスノズル）
３ｂ 円筒管
３Ｃ ノズル（支燃性ガスノズル）
３ｃ 円筒管
３Ｄ ノズル（第二の可燃性ガスノズル）
３ｄ 円筒管
３ｅ 円筒管（サブノズル）
４ ターゲット
６ 排気口
７ 排気管
８ 排気ファン
１０ インゴット

Claims (6)

1. インゴット形成用のターゲットに対向して設けられた合成シリカガラス製造用バーナであって、
   原料ガスを供給するソースノズルと、前記ソースノズルを中心部に収容し、可燃性ガスを供給する可燃性ガスノズルと、前記可燃性ガスノズル内部に前記ソースノズルを囲うように配置され、支燃性ガスを供給する複数の支燃性ガスノズルとを有し、
   前記原料ガスの流速は１５〜５０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、前記可燃性ガスの流速は７〜３０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、前記支燃性ガスの流速は１〜１０ｍ／ｓｅｃの範囲で設定され、
   且つ、前記原料ガスの流速は前記支燃性ガスの流速より速く、前記支燃性ガスの流速は前記可燃性ガスの流速より速い設定となされることを特徴とする合成シリカガラス製造用バーナ。
2. 前記複数の支燃性ガスノズルは、前記ソースノズルの周りに少なくとも二重に形成された該ソースノズルの仮想同心円上に、所定間隔を空けて配置されていることを特徴とする請求項１に記載された合成シリカガラス製造用バーナ。
3. 前記可燃性ガスノズルは、該可燃性ガスノズル内に設けられた、より小径の複数のサブノズルを備え、
   前記サブノズルから可燃性ガスを供給することを特徴とする請求項１または請求項２に記載された合成シリカガラス製造用バーナ。
4. 前記可燃性ガスノズルは、第一の可燃性ガスノズルと、該第一の可燃性ガスノズル内に同心円状に設けられた第二の可燃性ガスノズルとからなり、
   前記第一の可燃性ガスノズルから供給する可燃性ガスの流速は、前記第二の可燃性ガスノズルから供給する可燃性ガスの流速以上となされることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された合成シリカガラス製造用バーナ。
5. 前記複数の支燃性ガスノズルは、前記第一の可燃性ガスノズル内において、前記第二の可燃性ガスノズル内部と、前記第二の可燃性ガスノズルの周囲とに設けられ、
   前記第二の可燃性ガスノズルの周囲に設けられた前記支燃性ガスノズルから供給する支燃性ガスの流速は、前記第二の可燃性ガスノズル内部に設けられた支燃性ガスノズルから供給する支燃性ガスの流速以下となされることを特徴とする請求項４に記載された合成シリカガラス製造用バーナ。
6. 前記請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された合成シリカガラス製造用バーナと、
   前記合成シリカガラス製造用バーナに対向して回転可能に設置されたインゴット形成用のターゲットとを少なくとも備えることを特徴とする合成シリカガラス製造装置。

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