JPH1053430A - 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造装置及び製造方法Info
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- JPH1053430A JPH1053430A JP20454696A JP20454696A JPH1053430A JP H1053430 A JPH1053430 A JP H1053430A JP 20454696 A JP20454696 A JP 20454696A JP 20454696 A JP20454696 A JP 20454696A JP H1053430 A JPH1053430 A JP H1053430A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 外気に含まれる微小な浮遊ダストが容器内に
入るのを防止し、透明化した後に気泡や脈理がなく、線
引きすることにより特性の安定した光ファイバが得られ
る光ファイバ母材の製造装置及び製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】 出発部材を把持し、それを軸回りに回転
させるとともに、軸方向に往復運動させる機構と、側面
に前記出発部材の回転軸に直角かつ前後に移動可能に取
付けられたバーナを備え、該バーナの反対側の側面に排
気口を有する容器からなり、ガラス微粒子を合成しつつ
出発部材に順次堆積させて光ファイバ母材を製造する装
置において、前記バーナの取付け部の周囲に清浄なガス
を送り込むことができるガスシール部を設けてなること
を特徴とする光ファイバ母材の製造装置及びそれを用い
た光ファイバ母材の製造方法。
入るのを防止し、透明化した後に気泡や脈理がなく、線
引きすることにより特性の安定した光ファイバが得られ
る光ファイバ母材の製造装置及び製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】 出発部材を把持し、それを軸回りに回転
させるとともに、軸方向に往復運動させる機構と、側面
に前記出発部材の回転軸に直角かつ前後に移動可能に取
付けられたバーナを備え、該バーナの反対側の側面に排
気口を有する容器からなり、ガラス微粒子を合成しつつ
出発部材に順次堆積させて光ファイバ母材を製造する装
置において、前記バーナの取付け部の周囲に清浄なガス
を送り込むことができるガスシール部を設けてなること
を特徴とする光ファイバ母材の製造装置及びそれを用い
た光ファイバ母材の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は出発部材の周囲にガ
ラス微粒子を堆積させる光ファイバ母材の製造装置及び
製造方法に関し、さらに詳しくは外気中のダストや不純
物の影響を抑え、良好な品質の光ファイバ母材を得るこ
とができる光ファイバ母材の製造装置及び製造方法に関
する。
ラス微粒子を堆積させる光ファイバ母材の製造装置及び
製造方法に関し、さらに詳しくは外気中のダストや不純
物の影響を抑え、良好な品質の光ファイバ母材を得るこ
とができる光ファイバ母材の製造装置及び製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来行われている光ファイバプリフォー
ムの製造方法の一つとして、コア又はコアとクラッド層
からなる出発部材を容器内に水平、もしくは鉛直に設置
し、これを出発部材の軸回りに回転させ、気体状ガラス
原料をガラス微粒子合成用バーナに供給してガラス微粒
子を合成し、往復運動している出発部材に堆積させるい
わゆる外付け法によりガラス微粒子堆積体（光ファイバ
母材）を得て、これを加熱溶融して透明ガラス化する方
法がある（特開平２−１７２８３８号公報など）。この
方法により光ファイバ母材を製造する装置の１例を図５
に示す。図５の装置は容器１内に出発部材２がロッド７
に把持され鉛直に取付けられており、この出発部材２は
軸回りに回転し、昇降装置５により上下方向に往復運動
するようになっている。容器１の側面には出発部材２の
回転軸に直角にバーナ３が取付けられており、ガラス微
粒子を合成し出発部材２上に堆積させる。なお、バーナ
３はバーナ移動装置４により前後に移動可能になってい
る。また、バーナ３の反対側の容器１の側面には排気口
６が設けられており、合成中の排気が排出される。
ムの製造方法の一つとして、コア又はコアとクラッド層
からなる出発部材を容器内に水平、もしくは鉛直に設置
し、これを出発部材の軸回りに回転させ、気体状ガラス
原料をガラス微粒子合成用バーナに供給してガラス微粒
子を合成し、往復運動している出発部材に堆積させるい
わゆる外付け法によりガラス微粒子堆積体（光ファイバ
母材）を得て、これを加熱溶融して透明ガラス化する方
法がある（特開平２−１７２８３８号公報など）。この
方法により光ファイバ母材を製造する装置の１例を図５
に示す。図５の装置は容器１内に出発部材２がロッド７
に把持され鉛直に取付けられており、この出発部材２は
軸回りに回転し、昇降装置５により上下方向に往復運動
するようになっている。容器１の側面には出発部材２の
回転軸に直角にバーナ３が取付けられており、ガラス微
粒子を合成し出発部材２上に堆積させる。なお、バーナ
３はバーナ移動装置４により前後に移動可能になってい
る。また、バーナ３の反対側の容器１の側面には排気口
６が設けられており、合成中の排気が排出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような装置におい
ては、バーナが前後に移動可能に取付けられており、ま
た、出発部材を把持するロッドも軸回りに回転しかつ上
下に往復運動するように取付けられているため、バーナ
やロッドの周辺部における外気の流入を防ぐのは難し
く、外気に含まれる微小な浮遊ダストが容器内に入るこ
とになる。浮遊ダストは有機系物質を多く含んでおり、
これらの物質がＳｉＯ2 と反応してＳｉＯ、ＣＯ、ＣＯ
2 などのガスが発生する。そのためプリフォーム中に細
かい気泡や不整を生じ、ファイバ化した際のファイバ外
径の変動や断線の原因となる場合があった。
ては、バーナが前後に移動可能に取付けられており、ま
た、出発部材を把持するロッドも軸回りに回転しかつ上
下に往復運動するように取付けられているため、バーナ
やロッドの周辺部における外気の流入を防ぐのは難し
く、外気に含まれる微小な浮遊ダストが容器内に入るこ
とになる。浮遊ダストは有機系物質を多く含んでおり、
これらの物質がＳｉＯ2 と反応してＳｉＯ、ＣＯ、ＣＯ
2 などのガスが発生する。そのためプリフォーム中に細
かい気泡や不整を生じ、ファイバ化した際のファイバ外
径の変動や断線の原因となる場合があった。
【０００４】本発明は上記のような従来技術における問
題点を解決し、出発部材上にガラス微粒子を堆積させる
際に、外気に含まれる微小な浮遊ダストが容器内に入る
のを防止し、透明化した後に気泡や脈理がなく、線引き
することにより特性の安定した光ファイバが得られる光
ファイバ母材の製造装置及び製造方法を提供しようとす
るものである。
題点を解決し、出発部材上にガラス微粒子を堆積させる
際に、外気に含まれる微小な浮遊ダストが容器内に入る
のを防止し、透明化した後に気泡や脈理がなく、線引き
することにより特性の安定した光ファイバが得られる光
ファイバ母材の製造装置及び製造方法を提供しようとす
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する手段
として、本発明は次の（１）〜（６）の態様を採るもの
である。 （１）出発部材を把持し、それを軸回りに回転させると
ともに、軸方向に往復運動させる機構と、側面に前記出
発部材の回転軸に直角かつ前後に移動可能に取付けられ
たバーナを備え、該バーナの反対側の側面に排気口を有
する容器からなり、ガラス原料をバーナに供給してガラ
ス微粒子を合成しつつ出発部材に順次堆積させて光ファ
イバ母材を製造する装置において、前記バーナの取付け
部の周囲に清浄なガスを送り込むことができるガスシー
ル部を設けてなることを特徴とする光ファイバ母材の製
造装置。
として、本発明は次の（１）〜（６）の態様を採るもの
である。 （１）出発部材を把持し、それを軸回りに回転させると
ともに、軸方向に往復運動させる機構と、側面に前記出
発部材の回転軸に直角かつ前後に移動可能に取付けられ
たバーナを備え、該バーナの反対側の側面に排気口を有
する容器からなり、ガラス原料をバーナに供給してガラ
ス微粒子を合成しつつ出発部材に順次堆積させて光ファ
イバ母材を製造する装置において、前記バーナの取付け
部の周囲に清浄なガスを送り込むことができるガスシー
ル部を設けてなることを特徴とする光ファイバ母材の製
造装置。
【０００６】（２）前記バーナが複数個取り付けられ、
それぞれの取付け部の周囲に清浄なガスを送り込むこと
ができるガスシール部を設けてなることを特徴とする前
記(1)の光ファイバ母材の製造装置。 （３）出発部材を把持するロッドと容器の嵌合部の周囲
に清浄なガスを送り込むことができるガスシール部を設
けてなることを特徴とする前記 (1)又は(2) の光ファイ
バ母材の製造装置。
それぞれの取付け部の周囲に清浄なガスを送り込むこと
ができるガスシール部を設けてなることを特徴とする前
記(1)の光ファイバ母材の製造装置。 （３）出発部材を把持するロッドと容器の嵌合部の周囲
に清浄なガスを送り込むことができるガスシール部を設
けてなることを特徴とする前記 (1)又は(2) の光ファイ
バ母材の製造装置。
【０００７】（４）前記 (1)〜(3) のいずれかの装置を
使用し、前記ガスシール部内の圧力が外気及び容器内部
の圧力よりも高くなるように清浄なガスを送気しながら
操作することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 （５）前記ガスシール部内の圧力と外気圧との差圧が０
を超え、０．２ｍｍＨ2Ｏ以下であることを特徴とする
前記 (4)の光ファイバ母材の製造方法。 （６）前記清浄なガスとして清浄な空気を使用すること
を特徴とする前記 (4)又は(5) の光ファイバ母材の製造
方法。
使用し、前記ガスシール部内の圧力が外気及び容器内部
の圧力よりも高くなるように清浄なガスを送気しながら
操作することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 （５）前記ガスシール部内の圧力と外気圧との差圧が０
を超え、０．２ｍｍＨ2Ｏ以下であることを特徴とする
前記 (4)の光ファイバ母材の製造方法。 （６）前記清浄なガスとして清浄な空気を使用すること
を特徴とする前記 (4)又は(5) の光ファイバ母材の製造
方法。
【０００８】本明細書においては、コア又はコアとクラ
ッド層からなる出発部材にガラス微粒子を堆積させたガ
ラス微粒子堆積体を光ファイバ母材と称し、これを高温
の焼結炉で透明化したものを透明化光ファイバ母材と称
する。
ッド層からなる出発部材にガラス微粒子を堆積させたガ
ラス微粒子堆積体を光ファイバ母材と称し、これを高温
の焼結炉で透明化したものを透明化光ファイバ母材と称
する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。図１は本発明の第１の実施態様である光
ファイバ母材の製造装置の概略を示す断面図であり、図
２はガスシール部９の詳細を示す部分拡大図である。図
１の装置は容器１内にコア又はコアとクラッド層からな
る出発部材２がロッド７に把持され鉛直に取付けられて
おり、この出発部材２は軸回りに回転し、昇降装置５に
より上下方向に往復運動するようになっている。容器１
の側面には出発部材２の回転軸に直角にバーナ３が取付
けられており、原料供給装置１３から原料を供給してガ
ラス微粒子を合成し出発部材２上に堆積させる。このと
き、出発部材２上にガラス微粒子が堆積し外径が太くな
るにつれてバーナ３を徐々に後退させる必要があるので
容器１とバーナ３の間には隙間１２が存在する。なお、
バーナ３は四塩化珪素、酸素、水素などを供給してガラ
スを合成する多重管構造のバーナである。
細に説明する。図１は本発明の第１の実施態様である光
ファイバ母材の製造装置の概略を示す断面図であり、図
２はガスシール部９の詳細を示す部分拡大図である。図
１の装置は容器１内にコア又はコアとクラッド層からな
る出発部材２がロッド７に把持され鉛直に取付けられて
おり、この出発部材２は軸回りに回転し、昇降装置５に
より上下方向に往復運動するようになっている。容器１
の側面には出発部材２の回転軸に直角にバーナ３が取付
けられており、原料供給装置１３から原料を供給してガ
ラス微粒子を合成し出発部材２上に堆積させる。このと
き、出発部材２上にガラス微粒子が堆積し外径が太くな
るにつれてバーナ３を徐々に後退させる必要があるので
容器１とバーナ３の間には隙間１２が存在する。なお、
バーナ３は四塩化珪素、酸素、水素などを供給してガラ
スを合成する多重管構造のバーナである。
【００１０】容器１のバーナ３とは反対側の側面には排
気口６が設けられており、ガラス微粒子合成中の排気が
排出される。通常、容器１内は−１．５〜−２ｍｍＨ2
Ｏ程度の負圧となっており、隙間１２から外気が侵入す
るため、外気中の浮遊ダストなどの不純物が混入する。
このような不純物の容器１内への混入を防止するため、
本発明においてはバーナ３の容器１への取付け部の周囲
に清浄なガスを送り込むことができるガスシール部９を
設け、外気が容器１内へ巻き込まれるのを防止するよう
にしている。この実施態様においては、バーナ３の取付
け部３の周囲に、バーナ３を取り囲む形でガス供給口を
設けたカバー８を取付け、ガスシール部９を構成してい
る。なお、図中の符号１０はガスシール部９内の圧力を
測定する圧力計である。
気口６が設けられており、ガラス微粒子合成中の排気が
排出される。通常、容器１内は−１．５〜−２ｍｍＨ2
Ｏ程度の負圧となっており、隙間１２から外気が侵入す
るため、外気中の浮遊ダストなどの不純物が混入する。
このような不純物の容器１内への混入を防止するため、
本発明においてはバーナ３の容器１への取付け部の周囲
に清浄なガスを送り込むことができるガスシール部９を
設け、外気が容器１内へ巻き込まれるのを防止するよう
にしている。この実施態様においては、バーナ３の取付
け部３の周囲に、バーナ３を取り囲む形でガス供給口を
設けたカバー８を取付け、ガスシール部９を構成してい
る。なお、図中の符号１０はガスシール部９内の圧力を
測定する圧力計である。
【００１１】ガスシール部９内に清浄なガス１１を送り
込むと図２の矢印に示すようにガスの流れが形成され、
容器１内への外気の侵入を防止することができる。この
とき、ガスシール部９内の圧力が外気圧に比較して０を
超え０．２ｍｍＨ2 Ｏ以下、好ましくは０を超え０．１
ｍｍＨ2 Ｏ以下の範囲で高くなるように制御するのが望
ましい。ガスシール部９内の圧力と外気圧との差圧が
０．２ｍｍＨ2 Ｏを超えると装置内部に流入する清浄な
ガスの流速が速くなり、ガラス微粒子堆積体の表面温度
が下がり、割れの発生などの原因となるので好ましくな
い。
込むと図２の矢印に示すようにガスの流れが形成され、
容器１内への外気の侵入を防止することができる。この
とき、ガスシール部９内の圧力が外気圧に比較して０を
超え０．２ｍｍＨ2 Ｏ以下、好ましくは０を超え０．１
ｍｍＨ2 Ｏ以下の範囲で高くなるように制御するのが望
ましい。ガスシール部９内の圧力と外気圧との差圧が
０．２ｍｍＨ2 Ｏを超えると装置内部に流入する清浄な
ガスの流速が速くなり、ガラス微粒子堆積体の表面温度
が下がり、割れの発生などの原因となるので好ましくな
い。
【００１２】ガスシール部８内に送り込む清浄なガスと
しては窒素やアルゴンなどの不活性ガスやフィルタを通
過させた空気が使用できるが、中でも空気が入手しやす
く安価であり、取扱も容易で好ましい。また、清浄ガス
として空気を使用すれば、酸素による助燃効果があり、
反応性がよくなる効果もある。通常、外気中には数百万
個／ｍ3 の浮遊ダストが含まれているが、フィルタを通
過させることにより数万個／ｍ3 以下に減少させること
ができ、本発明における清浄なガスとして使用すること
ができる。
しては窒素やアルゴンなどの不活性ガスやフィルタを通
過させた空気が使用できるが、中でも空気が入手しやす
く安価であり、取扱も容易で好ましい。また、清浄ガス
として空気を使用すれば、酸素による助燃効果があり、
反応性がよくなる効果もある。通常、外気中には数百万
個／ｍ3 の浮遊ダストが含まれているが、フィルタを通
過させることにより数万個／ｍ3 以下に減少させること
ができ、本発明における清浄なガスとして使用すること
ができる。
【００１３】図３は本発明の第２の実施態様である光フ
ァイバ母材の製造装置の概略を示す断面図である。この
装置はバーナ３が２基設けられ、それぞれにガスシール
部９が形成された例であり、その他の部分については前
記第１の実施態様の場合と同様である。
ァイバ母材の製造装置の概略を示す断面図である。この
装置はバーナ３が２基設けられ、それぞれにガスシール
部９が形成された例であり、その他の部分については前
記第１の実施態様の場合と同様である。
【００１４】このような光ファイバ母材の製造装置にお
いては、バーナの取付け部のほか、出発部材を把持し、
回転及び上下に往復運動をするロッドと容器との間にも
隙間があり、外気の侵入の恐れがある。そのため、本発
明の第３の実施態様である図４の光ファイバ母材の製造
装置では、バーナ３の取付け部のほかに、出発部材１４
を把持するロッド７と容器１との嵌合部の隙間１４の周
囲にもカバー１５を取付け、清浄なガスを送り込むこと
ができるガスシール部１６を設けている。このガスシー
ル部１６に送り込むガスの種類、圧力等については、バ
ーナ３の取付け部に設けるガスシール部９と同様であ
る。また、図４の装置におけるガスシール部１６以外の
構成は前記第１及び第２の実施態様の場合と同様であ
る。
いては、バーナの取付け部のほか、出発部材を把持し、
回転及び上下に往復運動をするロッドと容器との間にも
隙間があり、外気の侵入の恐れがある。そのため、本発
明の第３の実施態様である図４の光ファイバ母材の製造
装置では、バーナ３の取付け部のほかに、出発部材１４
を把持するロッド７と容器１との嵌合部の隙間１４の周
囲にもカバー１５を取付け、清浄なガスを送り込むこと
ができるガスシール部１６を設けている。このガスシー
ル部１６に送り込むガスの種類、圧力等については、バ
ーナ３の取付け部に設けるガスシール部９と同様であ
る。また、図４の装置におけるガスシール部１６以外の
構成は前記第１及び第２の実施態様の場合と同様であ
る。
【００１５】図１〜図３の態様においては、バーナの容
器への取付け部あるいは出発部材を把持するロッドの容
器への嵌合部を取り囲む形で容器の外側にカバーを取付
けてガス溜まり部を形成してガスシール部とし、バーナ
やロッドとの間の隙間に清浄なガスを送り込むようにし
ている。この方式は施工が容易で、既存の設備にも簡単
に取付けができ、有利な方法であるが、ガスシール部の
構成としてはこれに限定されるものではなく、容器の内
側にガス溜まり部を設ける方式やバーナ取付け部あるい
はロッドの嵌合部の容器を二重構造とするなど、外側の
気体が容器内に入り込む部分に清浄なガスを供給し、清
浄なガスのみが容器内に入るようにできる構造であれば
よい。
器への取付け部あるいは出発部材を把持するロッドの容
器への嵌合部を取り囲む形で容器の外側にカバーを取付
けてガス溜まり部を形成してガスシール部とし、バーナ
やロッドとの間の隙間に清浄なガスを送り込むようにし
ている。この方式は施工が容易で、既存の設備にも簡単
に取付けができ、有利な方法であるが、ガスシール部の
構成としてはこれに限定されるものではなく、容器の内
側にガス溜まり部を設ける方式やバーナ取付け部あるい
はロッドの嵌合部の容器を二重構造とするなど、外側の
気体が容器内に入り込む部分に清浄なガスを供給し、清
浄なガスのみが容器内に入るようにできる構造であれば
よい。
【００１６】なお、この種の光ファイバ母材の製造装置
には、通常余分に生成して容器内に浮遊するガラス微粒
子の排気を促進するため空気取り入れ口が設けられてい
るが、ここから取り込まれる空気についても、清浄な空
気とするのが好ましい。
には、通常余分に生成して容器内に浮遊するガラス微粒
子の排気を促進するため空気取り入れ口が設けられてい
るが、ここから取り込まれる空気についても、清浄な空
気とするのが好ましい。
【００１７】
【実施例】以下実施例により本発明の効果を実証する。 （実施例１）図１に示す構成の装置を使用して光ファイ
バ母材を作製した。ガスシール部９内にフィルタを通過
させた清浄な空気を導入して外気圧に対する差圧が＋
０．１ｍｍＨ2 Ｏとなるようにし、図２のように清浄な
空気が外側に吹き出し外気の巻き込みを抑える状態でバ
ーナ３からＳｉＣｌ4 からなるガラス原料を含むガスを
供給して長さ５００ｍｍ、直径１５ｍｍのＧｅＯ2 −Ｓ
ｉＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 からなるクラッドを有す
るガラスからなる出発部材２にガラス微粒子を１００ｍ
ｍの外径になるまで堆積させた（スス付け）。この間、
出発部材２は約４０ｒｐｍ程度の速度で回転させ、ガラ
ス微粒子が堆積し外径が太くなるにつれてバーナ３を徐
々に後退させてバーナ３と堆積体の表面との間隔をほぼ
一定に保った。
バ母材を作製した。ガスシール部９内にフィルタを通過
させた清浄な空気を導入して外気圧に対する差圧が＋
０．１ｍｍＨ2 Ｏとなるようにし、図２のように清浄な
空気が外側に吹き出し外気の巻き込みを抑える状態でバ
ーナ３からＳｉＣｌ4 からなるガラス原料を含むガスを
供給して長さ５００ｍｍ、直径１５ｍｍのＧｅＯ2 −Ｓ
ｉＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 からなるクラッドを有す
るガラスからなる出発部材２にガラス微粒子を１００ｍ
ｍの外径になるまで堆積させた（スス付け）。この間、
出発部材２は約４０ｒｐｍ程度の速度で回転させ、ガラ
ス微粒子が堆積し外径が太くなるにつれてバーナ３を徐
々に後退させてバーナ３と堆積体の表面との間隔をほぼ
一定に保った。
【００１８】得られた光ファイバ母材（ガラス微粒子堆
積体）を高温に保った焼結炉で透明化した結果、気泡や
脈理がない良好な透明化光ファイバ母材が得られた。さ
らにこの透明化光ファイバ母材から線引きを行ったとこ
ろ、特性の安定した光ファイバを得ることができた。
積体）を高温に保った焼結炉で透明化した結果、気泡や
脈理がない良好な透明化光ファイバ母材が得られた。さ
らにこの透明化光ファイバ母材から線引きを行ったとこ
ろ、特性の安定した光ファイバを得ることができた。
【００１９】（実施例２）図３に示す構成の装置を使用
して光ファイバ母材を作製した。この例ではバーナ３を
２本取付け、それぞれにカバー８を取り付けてガスシー
ル部９とし、それぞれ外気圧に対する差圧が＋０．１ｍ
ｍＨ2 Ｏとなるようにフィルタを通過させた清浄な空気
を導入した他は実施例１と同様な方法で外気の容器１内
への混入を抑えて長さ５００ｍｍ、直径１５ｍｍのＧｅ
Ｏ2 −ＳｉＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 からなるクラッ
ドを有するガラスからなる出発部材２にガラス微粒子を
１００ｍｍの外径になるまで堆積させた。得られた光フ
ァイバ母材から透明化光ファイバ母材、さらに線引きを
行ったところ実施例１と同様に良好な結果が得られた。
して光ファイバ母材を作製した。この例ではバーナ３を
２本取付け、それぞれにカバー８を取り付けてガスシー
ル部９とし、それぞれ外気圧に対する差圧が＋０．１ｍ
ｍＨ2 Ｏとなるようにフィルタを通過させた清浄な空気
を導入した他は実施例１と同様な方法で外気の容器１内
への混入を抑えて長さ５００ｍｍ、直径１５ｍｍのＧｅ
Ｏ2 −ＳｉＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 からなるクラッ
ドを有するガラスからなる出発部材２にガラス微粒子を
１００ｍｍの外径になるまで堆積させた。得られた光フ
ァイバ母材から透明化光ファイバ母材、さらに線引きを
行ったところ実施例１と同様に良好な結果が得られた。
【００２０】（実施例３）図４に示す構成の装置を使用
して光ファイバ母材を作製した。この例では反応容器１
の上部にある出発部材２を把持するロッド７と容器１の
嵌合部にもガスシール部１７を設け、そこには外気圧に
対する差圧が＋０．０８ｍｍＨ2 Ｏとなるようにフィル
タを通過させた清浄な空気を導入した他は実施例２と同
様な方法で外気の容器１内への混入を抑えて出発部材２
にガラス微粒子を堆積させた。得られた光ファイバ母材
から透明化光ファイバ母材、さらに線引きを行ったとこ
ろ実施例２と同様に良好な結果が得られた。
して光ファイバ母材を作製した。この例では反応容器１
の上部にある出発部材２を把持するロッド７と容器１の
嵌合部にもガスシール部１７を設け、そこには外気圧に
対する差圧が＋０．０８ｍｍＨ2 Ｏとなるようにフィル
タを通過させた清浄な空気を導入した他は実施例２と同
様な方法で外気の容器１内への混入を抑えて出発部材２
にガラス微粒子を堆積させた。得られた光ファイバ母材
から透明化光ファイバ母材、さらに線引きを行ったとこ
ろ実施例２と同様に良好な結果が得られた。
【００２１】空気以外の清浄ガスとして窒素又はアルゴ
ンガスを用いて前記実施例と同様に操作することによっ
て、気泡や脈理のない良好な光ファイバ母材を得ること
ができた。しかしながら、これらのガスはいずれも空気
に比較して高価であり、光ファイバのコストが若干上昇
する。
ンガスを用いて前記実施例と同様に操作することによっ
て、気泡や脈理のない良好な光ファイバ母材を得ること
ができた。しかしながら、これらのガスはいずれも空気
に比較して高価であり、光ファイバのコストが若干上昇
する。
【００２２】（比較例１）図５に示す従来の構成の装置
を使用して光ファイバ母材を作製した。この装置ではバ
ーナ３の回りに清浄なガスを供給する手段はなく、外気
をそのまま巻き込むことになる。この状態で実施例１と
同様の条件でスス付けを行いガラス微粒子堆積体を得
た。このガラス微粒子堆積体を高温に保った焼結炉で透
明化したところ、母材中に気泡の発生が見られた。この
母材を線引きしたところ気泡の存在した個所で光ファイ
バの外径の変動や断線が発生し、歩留りがよくなかっ
た。
を使用して光ファイバ母材を作製した。この装置ではバ
ーナ３の回りに清浄なガスを供給する手段はなく、外気
をそのまま巻き込むことになる。この状態で実施例１と
同様の条件でスス付けを行いガラス微粒子堆積体を得
た。このガラス微粒子堆積体を高温に保った焼結炉で透
明化したところ、母材中に気泡の発生が見られた。この
母材を線引きしたところ気泡の存在した個所で光ファイ
バの外径の変動や断線が発生し、歩留りがよくなかっ
た。
【００２３】
【発明の効果】本発明の光ファイバ母材の製造装置によ
れば、出発部材上にガラス微粒子を堆積させる際に、外
気に含まれる微小な浮遊ダストが容器内に入るのを防止
することができ、透明化した後に気泡や脈理がなく、線
引きすることにより特性の安定した光ファイバが得られ
る。また、前記の装置を使用してガスシール部内の圧力
が外気及び容器内部よりも高くなるように清浄なガスを
送気しながら操作することにより、容器内への外気の侵
入を確実に防止するこができる。さらに、清浄なガスと
してフィルタを通して清浄化した空気を使用すれば、酸
素による助燃効果があり、反応性がよくなる効果もあ
る。
れば、出発部材上にガラス微粒子を堆積させる際に、外
気に含まれる微小な浮遊ダストが容器内に入るのを防止
することができ、透明化した後に気泡や脈理がなく、線
引きすることにより特性の安定した光ファイバが得られ
る。また、前記の装置を使用してガスシール部内の圧力
が外気及び容器内部よりも高くなるように清浄なガスを
送気しながら操作することにより、容器内への外気の侵
入を確実に防止するこができる。さらに、清浄なガスと
してフィルタを通して清浄化した空気を使用すれば、酸
素による助燃効果があり、反応性がよくなる効果もあ
る。
【図１】本発明の第１の実施態様である光ファイバ母材
の製造装置の概略を示す断面図。
の製造装置の概略を示す断面図。
【図２】図１のガスシール部の詳細を示す部分拡大図。
【図３】本発明の第２の実施態様である光ファイバ母材
の製造装置の概略を示す断面図。
の製造装置の概略を示す断面図。
【図４】本発明の第３の実施態様である光ファイバ母材
の製造装置の概略を示す断面図。
の製造装置の概略を示す断面図。
【図５】従来の光ファイバ母材の製造装置の１例を示す
概略断面図。
概略断面図。
１．容器 ２．出発部材 ３．バーナ ４．バー
ナ移動装置 ５．昇降装置 ６．排気口 ７．ロッド ８．カ
バー ９．ガスシール部 １０．圧力計 １１．清浄なガ
ス １２．隙間 １３．原料供給装置 １４．隙間 １５．カバー
１６．ガスシール部
ナ移動装置 ５．昇降装置 ６．排気口 ７．ロッド ８．カ
バー ９．ガスシール部 １０．圧力計 １１．清浄なガ
ス １２．隙間 １３．原料供給装置 １４．隙間 １５．カバー
１６．ガスシール部
Claims (6)
- 【請求項１】 出発部材を把持し、それを軸回りに回転
させるとともに、軸方向に往復運動させる機構と、側面
に前記出発部材の回転軸に直角かつ前後に移動可能に取
付けられたバーナを備え、該バーナの反対側の側面に排
気口を有する容器からなり、ガラス原料をバーナに供給
してガラス微粒子を合成しつつ出発部材に順次堆積させ
て光ファイバ母材を製造する装置において、前記バーナ
の取付け部の周囲に清浄なガスを送り込むことができる
ガスシール部を設けてなることを特徴とする光ファイバ
母材の製造装置。 - 【請求項２】 前記バーナが複数個取り付けられ、それ
ぞれの取付け部の周囲に清浄なガスを送り込むことがで
きるガスシール部を設けてなることを特徴とする請求項
１に記載の光ファイバ母材の製造装置。 - 【請求項３】 出発部材を把持するロッドと容器の嵌合
部の周囲に清浄なガスを送り込むことができるガスシー
ル部を設けてなることを特徴とする請求項１又は２に記
載の光ファイバ母材の製造装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の装置を
使用し、前記ガスシール部内の圧力が外気及び容器内部
の圧力よりも高くなるように清浄なガスを送気しながら
操作することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項５】 前記ガスシール部内の圧力と外気圧との
差圧が０を超え、０．２ｍｍＨ2 Ｏ以下であることを特
徴とする請求項４に記載の光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項６】 前記清浄なガスとして清浄な空気を使用
することを特徴とする請求項４又は５に記載の光ファイ
バ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20454696A JP3651129B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20454696A JP3651129B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1053430A true JPH1053430A (ja) | 1998-02-24 |
| JP3651129B2 JP3651129B2 (ja) | 2005-05-25 |
Family
ID=16492309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20454696A Expired - Fee Related JP3651129B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3651129B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
| EP1284246A2 (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-19 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method and apparatus for producing porous glass soot body |
| JP2012062203A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置および多孔質ガラス母材の製造方法 |
| JP2012166992A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| WO2019044807A1 (ja) | 2017-08-29 | 2019-03-07 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法、ガラス母材の製造方法及びガラス微粒子堆積体 |
| WO2020116521A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体製造用バーナ、ガラス微粒子堆積体の製造装置および製造方法 |
-
1996
- 1996-08-02 JP JP20454696A patent/JP3651129B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
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| EP1284246A3 (en) * | 2001-08-09 | 2004-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method and apparatus for producing porous glass soot body |
| JP2012062203A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置および多孔質ガラス母材の製造方法 |
| CN102432169A (zh) * | 2010-09-14 | 2012-05-02 | 住友电气工业株式会社 | 多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法 |
| CN102432169B (zh) * | 2010-09-14 | 2016-04-27 | 住友电气工业株式会社 | 多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法 |
| JP2012166992A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| WO2019044807A1 (ja) | 2017-08-29 | 2019-03-07 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法、ガラス母材の製造方法及びガラス微粒子堆積体 |
| KR20200046036A (ko) | 2017-08-29 | 2020-05-06 | 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 | 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법, 유리 모재의 제조 방법 및 유리 미립자 퇴적체 |
| WO2020116521A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体製造用バーナ、ガラス微粒子堆積体の製造装置および製造方法 |
| JPWO2020116521A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2021-10-21 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体製造用バーナ、ガラス微粒子堆積体の製造装置および製造方法 |
| US11981595B2 (en) | 2018-12-04 | 2024-05-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Burner for producing glass fine particle deposited body, and device and method for producing glass fine particle deposited body |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3651129B2 (ja) | 2005-05-25 |
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