JP2003176140A - 透明石英ガラスとその製造方法 - Google Patents
透明石英ガラスとその製造方法Info
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- JP2003176140A JP2003176140A JP2001372941A JP2001372941A JP2003176140A JP 2003176140 A JP2003176140 A JP 2003176140A JP 2001372941 A JP2001372941 A JP 2001372941A JP 2001372941 A JP2001372941 A JP 2001372941A JP 2003176140 A JP2003176140 A JP 2003176140A
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- silicon tetrachloride
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/06—Glass compositions containing silica with more than 90% silica by weight, e.g. quartz
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- Materials Engineering (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体製造用治具の材料として好適な透明石
英ガラスを提供する。 【解決手段】 天然石英ガラスと合成石英ガラスの混合
物からなり、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃度が０．１０ｐｐ
ｍ以下である。
英ガラスを提供する。 【解決手段】 天然石英ガラスと合成石英ガラスの混合
物からなり、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃度が０．１０ｐｐ
ｍ以下である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造用治具
等の材料として用いられる透明石英ガラスとその製造方
法に関する。
等の材料として用いられる透明石英ガラスとその製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体集積回路の集積度は益々上
昇し、それらの半導体集積回路の性能に悪影響を与える
Ｎａ（ナトリウム）元素又はＫ（カリウム）元素を不純
物として含まない石英ガラスが、半導体製造用治具の材
料として求められている。従来、石英ガラスとしては、
天然石英粉末（天然水晶粉末）を加熱炉を用いて真空溶
融したり、酸水素火炎によって溶融したりして製造され
る天然石英ガラス、合成非晶質シリカ粉末の堆積体を焼
結するＶＡＤ法あるいは珪酸アルコキシドの加水分解に
より得られる非晶質シリカ粉末を焼結するゾルゲル法に
よって、又は非晶質シリカ粉末を形成し、焼結、溶融し
て製造される合成石英ガラスが知られている。
昇し、それらの半導体集積回路の性能に悪影響を与える
Ｎａ（ナトリウム）元素又はＫ（カリウム）元素を不純
物として含まない石英ガラスが、半導体製造用治具の材
料として求められている。従来、石英ガラスとしては、
天然石英粉末（天然水晶粉末）を加熱炉を用いて真空溶
融したり、酸水素火炎によって溶融したりして製造され
る天然石英ガラス、合成非晶質シリカ粉末の堆積体を焼
結するＶＡＤ法あるいは珪酸アルコキシドの加水分解に
より得られる非晶質シリカ粉末を焼結するゾルゲル法に
よって、又は非晶質シリカ粉末を形成し、焼結、溶融し
て製造される合成石英ガラスが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の天然石
英ガラスでは、耐熱性は優れているが、全ての不純物を
１ｐｐｍ以下の濃度に押えることは、原料となる天然水
晶粉末の高純度化処理も行われているものの、現在まで
達成されておらず、ＬＳＩの高集積化に伴う周辺材料へ
の高純度化の厳しい要求に対応し得ない不具合がある。
一方、合成石英ガラスでは、高純度化は可能であるが、
耐熱性が天然石英ガラスに比べて劣り、かつ、気泡が多
数残存して透明性が低下してしまうという不具合があ
る。これは、合成中に混入する水分（ＯＨ基）やガラス
の構造に起因するものであると考えられている。
英ガラスでは、耐熱性は優れているが、全ての不純物を
１ｐｐｍ以下の濃度に押えることは、原料となる天然水
晶粉末の高純度化処理も行われているものの、現在まで
達成されておらず、ＬＳＩの高集積化に伴う周辺材料へ
の高純度化の厳しい要求に対応し得ない不具合がある。
一方、合成石英ガラスでは、高純度化は可能であるが、
耐熱性が天然石英ガラスに比べて劣り、かつ、気泡が多
数残存して透明性が低下してしまうという不具合があ
る。これは、合成中に混入する水分（ＯＨ基）やガラス
の構造に起因するものであると考えられている。
【０００４】そこで、本発明は、半導体製造用治具の材
料として好適な透明石英ガラスとその製造方法を提供す
ることを目的とする。
料として好適な透明石英ガラスとその製造方法を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の透明石英ガラスは、天然石英ガラスと合成
石英ガラスの混合物からなり、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃
度が０．１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする。１２
００℃の温度での粘度は、１０12〜１０14ポアズである
ことが好ましい。
め、本発明の透明石英ガラスは、天然石英ガラスと合成
石英ガラスの混合物からなり、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃
度が０．１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする。１２
００℃の温度での粘度は、１０12〜１０14ポアズである
ことが好ましい。
【０００６】一方、高純度透明石英ガラスの製造方法
は、回転する耐熱性ターゲット上に、天然石英粉末を酸
水素火炎により堆積・溶融しながら、堆積方向へ四塩化
珪素を、天然石英ガラスと合成石英ガラスの割合が３：
１〜１：１となるように連続供給することを特徴とす
る。
は、回転する耐熱性ターゲット上に、天然石英粉末を酸
水素火炎により堆積・溶融しながら、堆積方向へ四塩化
珪素を、天然石英ガラスと合成石英ガラスの割合が３：
１〜１：１となるように連続供給することを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】本発明の透明石英ガラスにおいては、天然石英
ガラスと合成石英ガラスの混合物からなり、Ｆｅ、Ｎａ
及びＫの各濃度を０．１０ｐｐｍ以下とすることによっ
て、天然石英ガラス及び合成石英ガラスの両特性を併せ
持ち、特に半導体製造用治具として好的な透明石英ガラ
スを提供することができる。Ｆｅ（鉄）、Ｎａ及びＫの
各濃度が０．１０ｐｐｍを超えると、半導体製造用治具
の材料として用いることが困難となり、特に石英ガラス
の失透の要因となる。１２００℃の温度での粘度は、１
０12〜１０14ポアズであることによって、天然石英ガラ
ス及び合成石英ガラスの混合物として、より好ましい耐
熱変形性を付与することができる。より好ましい、１２
００℃の温度での粘度は、１０13〜１０14ポアズであ
る。なお、天然石英ガラス、合成石英ガラスとは、前者
が、原料として水晶等の天然原料を加熱溶融した石英ガ
ラスを、又、後者が、四塩化珪素等の高純度ガス原料を
用いて合成された石英ガラスを意味する。
ガラスと合成石英ガラスの混合物からなり、Ｆｅ、Ｎａ
及びＫの各濃度を０．１０ｐｐｍ以下とすることによっ
て、天然石英ガラス及び合成石英ガラスの両特性を併せ
持ち、特に半導体製造用治具として好的な透明石英ガラ
スを提供することができる。Ｆｅ（鉄）、Ｎａ及びＫの
各濃度が０．１０ｐｐｍを超えると、半導体製造用治具
の材料として用いることが困難となり、特に石英ガラス
の失透の要因となる。１２００℃の温度での粘度は、１
０12〜１０14ポアズであることによって、天然石英ガラ
ス及び合成石英ガラスの混合物として、より好ましい耐
熱変形性を付与することができる。より好ましい、１２
００℃の温度での粘度は、１０13〜１０14ポアズであ
る。なお、天然石英ガラス、合成石英ガラスとは、前者
が、原料として水晶等の天然原料を加熱溶融した石英ガ
ラスを、又、後者が、四塩化珪素等の高純度ガス原料を
用いて合成された石英ガラスを意味する。
【０００８】一方、透明石英ガラスの製造方法において
は、四塩化珪素（ＳｉＣｌ4）が加水分解、重縮合反応
されてシリカ（ＳｉＯ2）粉末と塩素（Ｃｌ）ガスを生
成し、シリカ粉末は、天然石英ガラスに混在する合成石
英ガラスとなる一方、塩素ガスは、天然石英粉末中の不
純物と反応し塩化物となって不純物を除去し、かつ、炉
壁からの石英ガラスインゴットへのアルカリ成分汚染を
低減する成分として機能する。四塩化珪素の供給量が、
天然石英ガラスと合成石英ガラスの割合で、３：１より
少なくなると、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃度が０．１０ｐ
ｐｍより多くなる。一方、１：１より多くなると、耐熱
性と透明性が低下する。酸水素火炎は、酸素と水素ガス
を燃焼する石英ガラス製バーナによってもたらされ、こ
の石英ガラス製バーナは、酸水素火炎中に天然石英粉末
と四塩化珪素を同時に供給できる構造となっている。
は、四塩化珪素（ＳｉＣｌ4）が加水分解、重縮合反応
されてシリカ（ＳｉＯ2）粉末と塩素（Ｃｌ）ガスを生
成し、シリカ粉末は、天然石英ガラスに混在する合成石
英ガラスとなる一方、塩素ガスは、天然石英粉末中の不
純物と反応し塩化物となって不純物を除去し、かつ、炉
壁からの石英ガラスインゴットへのアルカリ成分汚染を
低減する成分として機能する。四塩化珪素の供給量が、
天然石英ガラスと合成石英ガラスの割合で、３：１より
少なくなると、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃度が０．１０ｐ
ｐｍより多くなる。一方、１：１より多くなると、耐熱
性と透明性が低下する。酸水素火炎は、酸素と水素ガス
を燃焼する石英ガラス製バーナによってもたらされ、こ
の石英ガラス製バーナは、酸水素火炎中に天然石英粉末
と四塩化珪素を同時に供給できる構造となっている。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て具体的な実施例、比較例、及び図面を参照して説明す
る。 実施例１〜３ 先ず、高純度透明石英ガラスの製造には、図１に示す加
熱炉を使用した。この加熱炉は、上端を閉止した円筒状
の炉体１の天井中央部に、後述するように天然石英粉末
及び四塩化珪素のいずれか一方と併せて酸素ガスを供給
する中心の１本及びその周囲の円周上へ周方向へ等配し
た複数本の酸素ノズル２ａ，２ｂ（図２参照）、並びに
それらを取り囲んで水素ガスを供給する水素フード２ｃ
を有する石英ガラス製バーナ２を装着し、かつ、炉体１
内に、製造される石英ガラスインゴット３を載置すべく
昇降回転軸４を介して適宜に昇降、回転される円板状の
耐熱性ターゲット５を、石英ガラス製バーナ２と対向配
置して構成されている。
て具体的な実施例、比較例、及び図面を参照して説明す
る。 実施例１〜３ 先ず、高純度透明石英ガラスの製造には、図１に示す加
熱炉を使用した。この加熱炉は、上端を閉止した円筒状
の炉体１の天井中央部に、後述するように天然石英粉末
及び四塩化珪素のいずれか一方と併せて酸素ガスを供給
する中心の１本及びその周囲の円周上へ周方向へ等配し
た複数本の酸素ノズル２ａ，２ｂ（図２参照）、並びに
それらを取り囲んで水素ガスを供給する水素フード２ｃ
を有する石英ガラス製バーナ２を装着し、かつ、炉体１
内に、製造される石英ガラスインゴット３を載置すべく
昇降回転軸４を介して適宜に昇降、回転される円板状の
耐熱性ターゲット５を、石英ガラス製バーナ２と対向配
置して構成されている。
【００１０】次に、上記加熱炉における石英ガラス製バ
ーナ２の中心の酸素ノズル２ａから酸素ガスをキャリア
として四塩化珪素を連続供給すると共に、周辺の酸素ノ
ズル２ｂから天然石英粉末を酸素ガスと一緒に連続供給
し、それぞれ酸素ノズル２ａ，２ｂから供給される酸素
ガスと水素フード２ｃから供給される水素ガスを燃焼し
て酸水素火炎とし、この酸水素火炎により、天然石英粉
末を、回転しながら下降する耐熱性ターゲット５上に堆
積・溶融すると共に、四塩化珪素の加水分解によって生
成したシリカ粉末を、天然石英粉末と一緒に耐熱性ター
ゲット５上に堆積・溶融して石英ガラスインゴット３を
製造した。上記石英ガラスインゴット３の製造に際し、
天然石英粉末として、表１に示す純度のものを用い、
又、天然石英粉末及び四塩化珪素の供給量は、天然石英
ガラスと合成石英ガラスの混合割合が１：１（実施例
１）、２：１（実施例２）、３：１（実施例３）となる
ように調整した。
ーナ２の中心の酸素ノズル２ａから酸素ガスをキャリア
として四塩化珪素を連続供給すると共に、周辺の酸素ノ
ズル２ｂから天然石英粉末を酸素ガスと一緒に連続供給
し、それぞれ酸素ノズル２ａ，２ｂから供給される酸素
ガスと水素フード２ｃから供給される水素ガスを燃焼し
て酸水素火炎とし、この酸水素火炎により、天然石英粉
末を、回転しながら下降する耐熱性ターゲット５上に堆
積・溶融すると共に、四塩化珪素の加水分解によって生
成したシリカ粉末を、天然石英粉末と一緒に耐熱性ター
ゲット５上に堆積・溶融して石英ガラスインゴット３を
製造した。上記石英ガラスインゴット３の製造に際し、
天然石英粉末として、表１に示す純度のものを用い、
又、天然石英粉末及び四塩化珪素の供給量は、天然石英
ガラスと合成石英ガラスの混合割合が１：１（実施例
１）、２：１（実施例２）、３：１（実施例３）となる
ように調整した。
【００１１】得られた各石英ガラスインゴット３の半径
方向５ケ所の不純物をＩＣＰ発光分光分析及びＩＣＰ重
量分析したところ、平均値（ＡＶＥ）及び標準偏差（Ｓ
ＴＤ）を併記する表１に示すようになった。
方向５ケ所の不純物をＩＣＰ発光分光分析及びＩＣＰ重
量分析したところ、平均値（ＡＶＥ）及び標準偏差（Ｓ
ＴＤ）を併記する表１に示すようになった。
【００１２】
【表１】
【００１３】又、各石英ガラスインゴットの１２００℃
の温度での粘度は、表２に示すようになった。
の温度での粘度は、表２に示すようになった。
【００１４】
【表２】
【００１５】比較例１
実施例１〜３と同様の石英ガラス製バーナを用い、中心
とその周辺の酸素ノズル２ａ，２ｂから天然石英粉末を
酸素ガスと一緒に連続供給し、各酸素ノズル２ａ，２ｂ
から供給される酸素ガスと水素フード２ｃから供給され
る水素ガスを燃焼して酸水素火炎とし、この酸水素火炎
により、天然石英粉末を、回転しながら下降する耐熱性
ターゲット５上に堆積・溶融して石英ガラスインゴット
を製造した。
とその周辺の酸素ノズル２ａ，２ｂから天然石英粉末を
酸素ガスと一緒に連続供給し、各酸素ノズル２ａ，２ｂ
から供給される酸素ガスと水素フード２ｃから供給され
る水素ガスを燃焼して酸水素火炎とし、この酸水素火炎
により、天然石英粉末を、回転しながら下降する耐熱性
ターゲット５上に堆積・溶融して石英ガラスインゴット
を製造した。
【００１６】比較例２
比較例１と同様にして、天然石英粉末を、回転しながら
下降する耐熱性ターゲット５上に堆積・溶融すると共
に、耐熱性ターゲット５上のインゴットにその堆積方向
と直角に四塩化珪素を酸素ガスをキャリアとして添加し
ながら石英ガラスインゴットを製造した。
下降する耐熱性ターゲット５上に堆積・溶融すると共
に、耐熱性ターゲット５上のインゴットにその堆積方向
と直角に四塩化珪素を酸素ガスをキャリアとして添加し
ながら石英ガラスインゴットを製造した。
【００１７】比較例３
四塩化珪素の供給量を増加させるため、中心の酸素ノズ
ルの内径を５ｍｍ程度と大きくした他は、実施例１〜３
と同様の石英ガラス製バーナを用い、実施例１と同一条
件で石英ガラスインゴットの製造を試みたが、中心の酸
素ノズルにシリカが詰まってしまい、石英ガラスインゴ
ットの製造が不可となった。
ルの内径を５ｍｍ程度と大きくした他は、実施例１〜３
と同様の石英ガラス製バーナを用い、実施例１と同一条
件で石英ガラスインゴットの製造を試みたが、中心の酸
素ノズルにシリカが詰まってしまい、石英ガラスインゴ
ットの製造が不可となった。
【００１８】比較例４
実施例１〜３と同様の石英ガラス製バーナを用い、実施
例１で供給した四塩化珪素の代わりにそれと同量の塩化
水素（ＨＣｌ）ガスを供給した他は、実施例１と同様に
して石英ガラスインゴットを製造した。
例１で供給した四塩化珪素の代わりにそれと同量の塩化
水素（ＨＣｌ）ガスを供給した他は、実施例１と同様に
して石英ガラスインゴットを製造した。
【００１９】比較例５
実施例１〜３と同様の石英ガラス製バーナを用い、実施
例１で供給した四塩化珪素の代わりにそれと同量のフッ
化水素（ＨＦ）ガスを供給した他は、実施例１と同様に
して石英ガラスインゴットを製造した。
例１で供給した四塩化珪素の代わりにそれと同量のフッ
化水素（ＨＦ）ガスを供給した他は、実施例１と同様に
して石英ガラスインゴットを製造した。
【００２０】比較例６
天然石英粉末と四塩化珪素の供給量を、天然石英ガラス
と合成石英ガラスの混合割合が４：１となるようにした
他は、実施例１と同様にして石英ガラスインゴットを製
造した。
と合成石英ガラスの混合割合が４：１となるようにした
他は、実施例１と同様にして石英ガラスインゴットを製
造した。
【００２１】得られた比較例１、２、４、５、６の石英
ガラスインゴットの半径方向５ケ所の不純物をＩＣＰ発
光分光分析及びＩＣＰ重量分析したところ、平均値及び
標準偏差、並びに天然石英粉末の純度を併記する表３に
示すようになった。
ガラスインゴットの半径方向５ケ所の不純物をＩＣＰ発
光分光分析及びＩＣＰ重量分析したところ、平均値及び
標準偏差、並びに天然石英粉末の純度を併記する表３に
示すようになった。
【００２２】
【表３】
【００２３】又、比較例１、２、４、５、６の石英ガラ
スインゴットの１２００℃の温度での粘度は、表４に示
すようになった。
スインゴットの１２００℃の温度での粘度は、表４に示
すようになった。
【００２４】
【表４】
【００２５】表１〜４から分かるように、実施例１で
は、Ｆｅ、Ｎａ、Ｋの濃度はいずれも０．０５ｐｐｍを
下回り、比較例１の天然石英粉末のみからなるものの純
度と比較して、全体的に純度が上がっており、かつ、耐
熱性が天然石英ガラスとほぼ同等になっている。なお、
透明度は、天然石英ガラスとほぼ同等であった。このこ
とは、四塩化珪素が加水分解、重縮合反応によりシリカ
粉末と塩素ガスを生成し、シリカ粉末は、天然石英ガラ
スに混在する合成石英ガラスとなる一方、塩素ガスは、
天然石英粉末中の不純物と反応し、塩化物となって不純
物を除去し、かつ、炉壁からの石英ガラスインゴットへ
のアルカリ成分汚染を低減する成分として機能すること
によると考えられる。又、実施例２、３では、実施例１
よりも合成石英ガラスの混合割合を少なくしたことによ
り、実施例１と比較してＦｅ、Ｎａ、Ｋの濃度が若干増
加し、かつ、耐熱性が若干向上している。なお、透明度
は、天然石英ガラスより若干向上していた。更に、比較
例２のように、四塩化珪素を堆積方向と直角方向から供
給しても、純化効果は認められない。更に又、比較例
４、５のように、四塩化珪素の代りに、塩化水素ガス、
フッ化水素ガスを供給しても、大きな純化効果は認めら
れない。又、比較例６のように、合成石英ガラスの混合
割合を下げるように四塩化珪素の供給量を少なくする
と、ある程度の純化効果は認められるものの、実施例１
〜３程の純化効果はない。
は、Ｆｅ、Ｎａ、Ｋの濃度はいずれも０．０５ｐｐｍを
下回り、比較例１の天然石英粉末のみからなるものの純
度と比較して、全体的に純度が上がっており、かつ、耐
熱性が天然石英ガラスとほぼ同等になっている。なお、
透明度は、天然石英ガラスとほぼ同等であった。このこ
とは、四塩化珪素が加水分解、重縮合反応によりシリカ
粉末と塩素ガスを生成し、シリカ粉末は、天然石英ガラ
スに混在する合成石英ガラスとなる一方、塩素ガスは、
天然石英粉末中の不純物と反応し、塩化物となって不純
物を除去し、かつ、炉壁からの石英ガラスインゴットへ
のアルカリ成分汚染を低減する成分として機能すること
によると考えられる。又、実施例２、３では、実施例１
よりも合成石英ガラスの混合割合を少なくしたことによ
り、実施例１と比較してＦｅ、Ｎａ、Ｋの濃度が若干増
加し、かつ、耐熱性が若干向上している。なお、透明度
は、天然石英ガラスより若干向上していた。更に、比較
例２のように、四塩化珪素を堆積方向と直角方向から供
給しても、純化効果は認められない。更に又、比較例
４、５のように、四塩化珪素の代りに、塩化水素ガス、
フッ化水素ガスを供給しても、大きな純化効果は認めら
れない。又、比較例６のように、合成石英ガラスの混合
割合を下げるように四塩化珪素の供給量を少なくする
と、ある程度の純化効果は認められるものの、実施例１
〜３程の純化効果はない。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の透明石英
ガラスによれば、天然石英ガラスと合成石英ガラスの混
合物からなり、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃度を０．１０ｐ
ｐｍ以下とすることによって、天然石英ガラス及び合成
石英ガラスの両特性を併せ持ち、特に半導体製造用治具
として好適な透明石英ガラスを提供することができる。
ガラスによれば、天然石英ガラスと合成石英ガラスの混
合物からなり、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃度を０．１０ｐ
ｐｍ以下とすることによって、天然石英ガラス及び合成
石英ガラスの両特性を併せ持ち、特に半導体製造用治具
として好適な透明石英ガラスを提供することができる。
【００２７】一方、透明石英ガラスの製造方法によれ
ば、四塩化珪素が加水分解、重縮合反応されてシリカ粉
末と塩素ガスを生成し、シリカ粉末は、天然石英ガラス
に混在する合成石英ガラスとなる一方、塩素ガスは、天
然石英粉末中の不純物と反応し塩化物となって不純物を
除去し、かつ、炉壁からの石英ガラスインゴットへのア
ルカリ成分汚染を低減する成分として機能するので、高
純度で、耐熱性及び透明性に優れた透明石英ガラスを容
易に製造することができる。
ば、四塩化珪素が加水分解、重縮合反応されてシリカ粉
末と塩素ガスを生成し、シリカ粉末は、天然石英ガラス
に混在する合成石英ガラスとなる一方、塩素ガスは、天
然石英粉末中の不純物と反応し塩化物となって不純物を
除去し、かつ、炉壁からの石英ガラスインゴットへのア
ルカリ成分汚染を低減する成分として機能するので、高
純度で、耐熱性及び透明性に優れた透明石英ガラスを容
易に製造することができる。
【図１】本発明に係る透明石英ガラスの製造方法の実施
に供される加熱炉の模式図である。
に供される加熱炉の模式図である。
【図２】図１の加熱炉における石英ガラス製バーナの模
式的な横断面図である。
式的な横断面図である。
１ 炉体
２ 石英ガラス製バーナ
２ａ 酸素ノズル
２ｂ 酸素ノズル
２ｃ 水素フード
３ 石英ガラスインゴット
４ 昇降回転軸
５ 耐熱性ターゲット
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 栢原 雅光
山口県徳山市大字徳山字江口開作8231−５
徳山東芝セラミックス株式会社内
Ｆターム(参考） 4G014 AH00 AH15
4G062 AA01 BB02 CC04 CC07 DA08
DB01 DC01 DD01 DE01 DF01
EA01 EA10 EB02 EC02 ED01
EE01 EF01 EG01 FA01 FA10
FB01 FC01 FD01 FE01 FF01
FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01
GA01 GA10 GB01 GC01 GD01
GE01 HH01 HH03 HH05 HH07
HH09 HH12 HH13 HH15 HH17
HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07
JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07
KK10 MM27 NN29 NN31 NN33
NN34 NN40
Claims (3)
- 【請求項１】 天然石英ガラスと合成石英ガラスの混合
物からなり、Ｆｅ、Ｎａ及びＫの各濃度が０．１０ｐｐ
ｍ以下であることを特徴とする透明石英ガラス。 - 【請求項２】 １２００℃の温度での粘度が１０12〜１
０14ポアズであることを特徴とする請求項１記載の透明
石英ガラス。 - 【請求項３】 回転する耐熱性ターゲット上に、天然石
英粉末を酸水素火炎により堆積・溶融しながら、堆積方
向へ四塩化珪素を、天然石英ガラスと合成石英ガラスの
割合が３：１〜１：１となるように連続供給することを
特徴とする透明石英ガラスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001372941A JP2003176140A (ja) | 2001-12-06 | 2001-12-06 | 透明石英ガラスとその製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| CN101983179A (zh) * | 2008-04-03 | 2011-03-02 | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 | 用于制备合成石英玻璃的方法 |
| CN102652036A (zh) * | 2009-12-11 | 2012-08-29 | 住友电气工业株式会社 | 石英类氢分离材料及其制造方法、包括该氢分离材料的氢分离模块及氢制造装置 |
| JP2014240127A (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-25 | Hoya株式会社 | インプリント用モールド、パターンドメディア作製用基板およびパターンドメディア、並びにこれらの製造方法 |
-
2001
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