JP4567017B2 - 合成シリカガラス製造装置及び合成シリカガラス製造方法 - Google Patents
合成シリカガラス製造装置及び合成シリカガラス製造方法 Download PDFInfo
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Description
図1に示すような本発明の合成シリカガラス製造装置を用い、図2に示すように、バーナ中心から12mm離れた位置に同心円状に等間隔に3本の珪素化合物とキャリアガスの混合ガスを噴出するソースガスノズルを配置したバーナを用い、このバーナから四塩化珪素:40g/min、キャリアガス:酸素:0.6m3/min、支燃性ガス:酸素:0.17m3/min、可燃性ガス:水素:0.33m3/minを供給し、外径φ250mm、100kgの合成シリカガラスインゴットを製造した。この結果インゴット内部の欠陥は1点も検出されず、歩留も良好であった。
図3に示すように、バーナ中心から12mm離れた位置に同心円状に等間隔に4本の珪素化合物とキャリアガスの混合ガスを噴出するソースノズルを配置したバーナを用い、実施例1と同様な方法で外径φ250mm、100kgの合成シリカガラスインゴットを製造した。この結果インゴット内部の欠陥は1点も検出されず、実施例1と同等の歩留であった。
図4のように、バーナ中心に1本の珪素化合物とキャリアガスの混合ガスを噴出するノズル5を配したバーナを用い実施例1と同様な方法で合成シリカガラスインゴットを製造したが、中心部に気泡を多量に含んだインゴットとなり、歩留は0%であった。
比較例1と同様のバーナを用い、ターゲット中心軸から10mm偏倚した位置にバーナを設置して実施例1と同様な方法で外径φ250mm、100kgの合成シリカガラスインゴットを製造した。この結果、インゴット内部の欠陥は10点検出され、歩留は実施例1と同等であった。
2 炉体
3 ターゲット
4 昇降軸
5 バーナ
6 バーナ外管
7 ソースノズル
8a、8b、8c、8d 支燃ガスノズル
9 中空部
Claims (6)
- 炉体内部に設けられたインゴット形成用のターゲットと、
このターゲットを昇降させる昇降軸と、
前記ターゲットに対向して炉体の上方に設けられ、珪素化合物を酸素水素火炎中で加水分解するバーナを備えた合成シリカガラス製造装置において、
前記バーナはこのバーナの中心が前記ターゲット回転中心上に配され、かつ可燃性ガスが噴出する円筒状のバーナ外管を備え、
このバーナ外管中心を中心とする円周上に均等間隔に複数本配されたソースノズルと、
このソースノズル中心を中心とする円周上に均等間隔に複数本配された支燃ガスノズルと、
前記ソースノズルが配される円と同心円の円周上に均等間隔に複数本配された支燃ガスノズルを備えることを特徴とする合成シリカガラス製造装置。 - 前記バーナの中心に1本の支燃ガスノズルが配されることを特徴とする請求項1に記載の合成シリカガラス製造装置。
- 前記ソースノズルの周囲に配される支燃ガスノズルは、このソースノズルの鉛直線上に焦点を結ぶことを特徴とする請求項1または2に記載の合成シリカガラス製造装置。
- バーナを用いて珪素化合物を酸素水素火炎中で加水分解して、炉体内部に設けたターゲット上にシリカを堆積させる合成シリカガラス製造方法において、
バーナの中心をターゲット回転中心上に配し、かつ円筒状のバーナ外管から可燃性ガスを噴出し、
バーナ外管中心を中心とする円周上に均等間隔で複数本配したソースノズルから原料ガスを噴出し、
ソースノズルの中心を中心とする円周上に均等間隔で複数本配した支燃ガスノズルから支燃性ガスを噴出し、
ソースノズルの配される円と同心円の円周上に均等間隔で複数本配した支燃ガスノズルから支燃性ガスを噴出することを特徴とする合成シリカガラス製造方法。 - 支燃性ガスノズルをバーナの中心から噴出することを特徴とする請求項4に記載の合成シリカガラス製造方法。
- 支燃ガスノズルをソースノズルの鉛直線上に焦点を結ぶように噴出することを特徴とする請求項4または5に記載の合成シリカガラス製造方法。
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JP2006117476A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Nikon Corp | 合成石英ガラスの製造方法及び製造装置 |
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