JP2010285330A - ガラス多孔質体の製造方法及びガラス多孔質体の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応容器11の内面31に設けられた給気口13から気体を供給し、内面31に平行な他の対向内面に設けられた排気口15から気体を排気しながら、給気口13及び排気口15に挟まれる空間17に挿入されるターゲット21に、バーナ23から噴出したガラス微粒子を堆積させて多孔質母材を成長させるガラス多孔質体の製造方法であって、反応容器11内のターゲット21を挟んで排気口15と反対側のみの天井面35に、該天井面35から垂下する分割された円筒形状の仕切板25を設け、余剰となったススが天井面35に堆積するのを防ぎ、且つ壁面から剥離した余剰ススがガラス多孔質体に衝突するのを防ぎながら、前記ターゲット21にガラス微粒子を堆積させる。
【選択図】図1
Description
また、図4に示す例えば特許文献2に開示の製造装置500では、反応容器501内のターゲット503にバーナ505(505a,505b)から噴出されたガラス微粒子を堆積させてガラス多孔質体507を成長させるに際し、反応容器501内でバーナ505を挟んだ両側に、フローガイド壁をそれぞれ設け、これらフローガイド壁にガラス微粒子付着防止用ガスを反応室511内に吹出させる多数のガス吹出し口513を設けて、ガス吹出し口513から吹出すガラス微粒子付着防止用ガスにより、反応容器501の内壁側にガラス微粒子が付着堆積されるのを防止している。なお、図中符号、515は給気ブロア(給気手段)、517はフィルタ、519は整流板、521は排気口をそれぞれ示している。
また、後者の製造装置500では、フローガイド壁509に設けたガス吹出し口513から、ガラス微粒子付着防止用ガスを反応容器501内に取り入れているため、反応容器501の内壁側へのガラス微粒子の付着堆積は防止できたが、ガス吹出し口513からの吹き出させるガス流が、バーナ505からの高温ガスによる上昇気流とぶつかるため、乱流が発生し易い。そのため、バーナ505により吹き付けられたガラス微粒子はターゲット503に当たって堆積するが、ターゲット503に堆積されず反射した一部の余剰ススが乱流によって上昇し、天井面に付着、堆積する。堆積した余剰ススは厚くなると自重で剥離し、剥離した破片が製品に衝突すると製品不良を引き起こす。これに対し、天井に着く余剰ススが多くならないように、投入原料を抑えたり、排気を効率よくするため余剰空気を増やしたりすれば、堆積速度が減少し、生産性が落ちたり、ガラス多孔質体507が冷やされ割れるという弊害があった。
特に、コア部となるガラス体の表面に更にガラス微粒子を堆積させて大径のガラス多孔質体を得る、所謂ジャケット付けと呼ばれる製造工程では、ターゲットの表面にガラス微粒子を堆積させるだけのコア付けに比べ、バーナ火炎が強く火炎幅も倍近く広いため、余剰ススも増えて上記弊害等が顕在化した。
(1) 反応容器の内面に設けられた給気口から洗浄な気体を供給し、前記内面に対向する他の内面に設けられた排気口から前記気体を排気しながら、前記給気口及び該排気口に挟まれる空間に挿入されるターゲットに、前記反応容器下方から上方に向けられたバーナにより火炎中で合成されるガラス微粒子を堆積させて多孔質母材を成長させるガラス多孔質体の製造方法であって、
前記反応容器内の前記ターゲットを挟んで前記排気口と反対側のみの天井面に、該天井面から垂下する分割された円筒形状の仕切板を設け、余剰となったススが天井面に堆積するのを防ぎ、且つ壁面から剥離した余剰ススがガラス多孔質体に衝突するのを防ぎながら前記ターゲットに前記ガラス微粒子を堆積させることを特徴とするガラス多孔質体の製造方法。
前記反応容器内の前記ターゲットを挟んで前記排気口と反対側のみの天井面に、該天井面から垂下する分割された円筒形状の仕切板が設けられたことを特徴とするガラス多孔質体の製造装置。
前記仕切板と前記ターゲットの間に、前記ターゲットに沿って下向きに気体を流す下降流開口部が設けられていることを特徴とするガラス多孔質体の製造装置。
図1は本発明の実施の形態に係る製造装置の斜視図、図2は図1に示した製造装置を模式的に表した側面図、図3は図2のA−A矢視断面図である。
製造装置100は、反応容器11と、この反応容器11に設けられ気体を供給する給気口13及び反応容器11内の気体を排出する排気口15と、給気口13及び排気口15に挟まれる反応容器11内の空間17に挿入され多孔質母材19を堆積させるための出発ロッドであるターゲット21と、生成するガラス微粒子をターゲット21に堆積させるバーナ23と、仕切板25と、を備える。
先ず、反応容器11の挿入口32からターゲット21を挿入し、このターゲット21の下端部領域に向けられたバーナ23に、気相のガラス原料、酸素、水素、窒素等のガスを供給し、これらのガスの火炎加水分解反応によりバーナ火炎中で合成されるガラス微粒子をターゲット21に堆積させる。
とりわけ、本製造方法および製造装置は、ジャケット付けで有効となるものであるが、コア付けにおいても効果が期待できる。
13 給気口
15 排気口
17 空間
19 多孔質母材
21 ターゲット(出発ロッド)
23 バーナ
25 仕切板
31 内面
33 対向内面
35 排気口と反対側の天井面
37 下降流開口部
100 ガラス多孔質体の製造装置
Claims (3)
- 反応容器の内面に設けられた給気口から清浄な気体を供給し、前記内面に対向する他の内面に設けられた排気口から前記気体を排気しながら、前記給気口及び該排気口に挟まれる空間に挿入されるターゲットに、前記反応容器下方から上方に向けられたバーナにより火炎中で合成されるガラス微粒子を堆積させて多孔質母材を成長させるガラス多孔質体の製造方法であって、
前記反応容器内の前記ターゲットを挟んで前記排気口と反対側のみの天井面に、該天井面から垂下する分割された円筒形状の仕切板を設け、余剰となったススが天井面に堆積するのを防ぎ、且つ壁面から剥離した余剰ススがガラス多孔質体に衝突するのを防ぎながら前記ターゲットに前記ガラス微粒子を堆積させることを特徴とするガラス多孔質体の製造方法。 - 反応容器の内面に設けられ清浄な気体を供給する給気口と、前記反応容器の前記内面に対向する他の内面に設けられ前記反応容器内の気体を排出する排気口と、前記給気口及び該排気口に挟まれる反応容器内の空間に挿入されるターゲットと、前記反応容器下方から上方に向けられ、生成するガラス微粒子を該ターゲットに堆積させるバーナと、を備えたガラス多孔質体の製造装置であって、
前記反応容器内の前記ターゲットを挟んで前記排気口と反対側のみの天井面に、該天井面から垂下する分割された円筒形状の仕切板が設けられたことを特徴とするガラス多孔質体の製造装置。 - 請求項2記載のガラス多孔質体の製造装置であって、
前記仕切板と前記ターゲットの間に、前記ターゲットに沿って下向きに気体を流す下降流開口部が設けられていることを特徴とするガラス多孔質体の製造装置。
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CN105776844A (zh) * | 2016-05-06 | 2016-07-20 | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 | 一种疏松体沉积反应器及其操作方法 |
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WO2000023385A1 (fr) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dispositif et procede de production de matiere de base de verre poreuse |
-
2009
- 2009-06-15 JP JP2009142748A patent/JP2010285330A/ja active Pending
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