JPH03109221A - ガラス微粒子堆積装置 - Google Patents
ガラス微粒子堆積装置Info
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- JPH03109221A JPH03109221A JP24779389A JP24779389A JPH03109221A JP H03109221 A JPH03109221 A JP H03109221A JP 24779389 A JP24779389 A JP 24779389A JP 24779389 A JP24779389 A JP 24779389A JP H03109221 A JPH03109221 A JP H03109221A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、ＶＡＤ法によりバーナから生成されたガラ
ス微粒子を堆積させて光フアイバ母材などを作製するた
めの、ガラス微粒子堆積装置に関する。
ス微粒子を堆積させて光フアイバ母材などを作製するた
めの、ガラス微粒子堆積装置に関する。
光フアイバ母材を作製するためのＶＡＤ法は、バーナの
酸水素火炎中に５ｉＣＱ４などのガラス原料ガスを導入
し、火炎加水分解反応によりガラス（Ｓｉ０２）微粒子
を生成し、これをターゲットである種棒に堆積するもの
である６通常、この堆積は、外気から遮断されたデポジ
ションボックス内で行われ、堆積しなかったガラス微粒
子は排気ダクトを通じて排気処理装置（以下スクラバと
いう）に吸引され、そこで処理される。この場合、母材
が成長して行くにしたがってスクラバの処理能力が低下
したり、デポジションボックスとスクラバとを結ぶ排気
ダクト内にガラス微粒子が貯ったりして排気能力が変化
し、その結果デボジションボックス内の圧力が変化する
。すると、ガラス微粒子の堆積率が変化してその均一な
堆積が損なわれ、種棒の長平方向での堆積量が変化し、
光フアイバ母材として特性が長手方向に変動してしまう
。 そこで、従来より、デポジションボックスの排気口より
吸引されるガスの量を一定にして安定な条件で堆積を行
い、それによって均一な堆積を行うことが提案されてい
る（特開昭５４−９４０４９号公報）。 ［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の、デポジションボックスの排気口
よりの吸引量を一定にしたガラス微粒子堆積装置では、
コア部分における屈折率プロファイルの形成に支障が生
じるという問題がある。 この発明は、ガラス微粒子堆積体のコア部分において所
望の屈折率プロファイルを形成することが容易なガラス
微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
酸水素火炎中に５ｉＣＱ４などのガラス原料ガスを導入
し、火炎加水分解反応によりガラス（Ｓｉ０２）微粒子
を生成し、これをターゲットである種棒に堆積するもの
である６通常、この堆積は、外気から遮断されたデポジ
ションボックス内で行われ、堆積しなかったガラス微粒
子は排気ダクトを通じて排気処理装置（以下スクラバと
いう）に吸引され、そこで処理される。この場合、母材
が成長して行くにしたがってスクラバの処理能力が低下
したり、デポジションボックスとスクラバとを結ぶ排気
ダクト内にガラス微粒子が貯ったりして排気能力が変化
し、その結果デボジションボックス内の圧力が変化する
。すると、ガラス微粒子の堆積率が変化してその均一な
堆積が損なわれ、種棒の長平方向での堆積量が変化し、
光フアイバ母材として特性が長手方向に変動してしまう
。 そこで、従来より、デポジションボックスの排気口より
吸引されるガスの量を一定にして安定な条件で堆積を行
い、それによって均一な堆積を行うことが提案されてい
る（特開昭５４−９４０４９号公報）。 ［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の、デポジションボックスの排気口
よりの吸引量を一定にしたガラス微粒子堆積装置では、
コア部分における屈折率プロファイルの形成に支障が生
じるという問題がある。 この発明は、ガラス微粒子堆積体のコア部分において所
望の屈折率プロファイルを形成することが容易なガラス
微粒子堆積装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明によるガラス微粒子
堆積装置においては、コア用のガラス微粒子を生成する
ためのバーナと、クラッド用のガラス微粒子を生成する
ためのバーナと、これら生成されたガラス微粒子がその
下端に堆積され、堆積とともに上方に引き上げられるタ
ーゲットと、このクラッド用ガラス微粒子の堆積部を覆
うクラッド用デポジションボックスと、コア用ガラス微
粒子の堆積部を覆う、上記クラッド用デポジションボッ
クスとは実質的に分離されたコア用デポジションボック
スと、上記クラッド用デポジションボックスに設けられ
た排気口と、該排気口から強制的に吸引・排気し排気処
理を行うスクラバと、上記クラッド用デポジションボッ
クス内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器か
らの信号に基づいて上記排気口からの吸引量を調整する
吸引量調整器とが備えられている。
堆積装置においては、コア用のガラス微粒子を生成する
ためのバーナと、クラッド用のガラス微粒子を生成する
ためのバーナと、これら生成されたガラス微粒子がその
下端に堆積され、堆積とともに上方に引き上げられるタ
ーゲットと、このクラッド用ガラス微粒子の堆積部を覆
うクラッド用デポジションボックスと、コア用ガラス微
粒子の堆積部を覆う、上記クラッド用デポジションボッ
クスとは実質的に分離されたコア用デポジションボック
スと、上記クラッド用デポジションボックスに設けられ
た排気口と、該排気口から強制的に吸引・排気し排気処
理を行うスクラバと、上記クラッド用デポジションボッ
クス内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器か
らの信号に基づいて上記排気口からの吸引量を調整する
吸引量調整器とが備えられている。
デポジションボックスをクラッド用とコア用とに分けて
、それらの間を実■的に分離し、クラッド用デポジショ
ンボックス内の圧力変動や空気流の変動がコア用デポジ
ションボックス内に影響しないようにしている。 そして、クラッド用デポジションボックスのみ排気する
ようにしており、この排気量（吸引量）をクラッド用デ
ポジションボックス内の検出した圧力に応じて制御し、
クラッド用デポジションボックス内の圧力が一定になる
ようにし、クラッド部分のガラス微粒子堆積を安定に行
う。 コア用デポジションボックス内では、クラッド用デポジ
ションボックスにおける排気量の変動等の影響を受けず
にガラス微粒子の均一な堆積ができるので、ガラス微粒
子堆積体のコア部分において所望の屈折率プロファイル
を再現性高く形成することが容易にできる。
、それらの間を実■的に分離し、クラッド用デポジショ
ンボックス内の圧力変動や空気流の変動がコア用デポジ
ションボックス内に影響しないようにしている。 そして、クラッド用デポジションボックスのみ排気する
ようにしており、この排気量（吸引量）をクラッド用デ
ポジションボックス内の検出した圧力に応じて制御し、
クラッド用デポジションボックス内の圧力が一定になる
ようにし、クラッド部分のガラス微粒子堆積を安定に行
う。 コア用デポジションボックス内では、クラッド用デポジ
ションボックスにおける排気量の変動等の影響を受けず
にガラス微粒子の均一な堆積ができるので、ガラス微粒
子堆積体のコア部分において所望の屈折率プロファイル
を再現性高く形成することが容易にできる。
つぎにこの発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。第１図に示すように、複数のクラッド用バー
ナ３が上下方向に配列されるとともにコア用バーナ４が
最下端に配置されており、これらのそれぞれによりガラ
ス微粒子が生成される。このガラス微粒子は、上から吊
されたターゲツト棒１の下端に付着させられ、ターゲツ
ト棒１が回転しながら引き上げられていくとガラス微粒
子堆積体２が円柱状に形成される。このガラス微粒子堆
積体２の中心部分はコア用バーナ４により堆積されたガ
ラス微粒子からなり、後に光ファイバとされたときにコ
アとなる部分である。またガラス微粒子堆積体２の周囲
の部分はクラッド用バーナにより堆積されたガラス微粒
子がらなっていて、後に光ファイバとされたときにクラ
ッドとなる部分である。 これらクラッド及びコアのそれぞれについての堆積部周
囲がクラッド用のデポジションボックス５及びコア用の
デポジションボックス６によって覆われる。このクラッ
ド用デポジションボックス５には、排気ロアが設けられ
ており、この各排気ロアには排気ダクト８が接続されて
いて図示しないスクラバに導かれる。排気ダクト８には
スクラバによる吸引量を調整するためのダンパー１２が
設けられる。スクラバは排気ダクト８を通じて排気ロア
よりこのクラッド用デポジションボックス５を所定の負
圧で吸引し、ターゲット棒１に付着しなかったガラス微
粒子や未反応のガスを吸引・排気して処理する。 これらクラッド用及びコア用デポジションボックス５．
６は、堆積部周囲の空気流を整えて安定な堆積を確保す
るためであるとともに、ガラス微粒子堆積体２に塵埃等
が付着しないようにするためでもある。デポジションボ
ックス５の排気ロアが設けられている側とは反対側の壁
に多数の小さな空気流入孔（図示しない）が設けられて
おり、空気がボックス５内に取り入れられるようになっ
ている。 そして、クラッド用デポジションボックス５内には、そ
の内部の圧力を検出するための圧力センサ９が取り付け
られている。この圧力センサ９からの圧力検出信号がコ
ントローラ１０に送られ、制御信号が駆動装置１１に出
力されて、ダンパー１２の開度が調整される。このよう
なフィードバック制御により、クラッド用デポジション
ボックス５内の圧力が一定に保たれるよう、排気ダクト
８からの吸引量が調整されることになる。このような吸
引量〈排気量）のフィードバック制御を常時行い、スク
ラバの処理能力を十分大きなものとしておけば、ガラス
微粒子堆積体２の成長等に影響されずに、クラッド用デ
ポジションボックス５内の圧力を一定に保ち、安定なガ
ラス微粒子堆積を行って均一なガラス微粒子堆積体２を
作ることができ、長手方向に安定した特性を有する光フ
アイバ母材を形成できる。 一方、コア用デポジションボックス６はクラッド用デポ
ジションボックス５とは実質的に分離・独立するよう、
クラッド用デポジションボックス５の底部に取り付けら
れている。すなわち、クラッド用デポジションボックス
５の底面には、ガラス微粒子堆積体２のコア部を通過さ
せるための孔が設けられているが、その孔の径は、その
コア部よりもやや大きい程度とし、コア部との隙間が１
０Ｍ程度となるようにして、両ボックス５．６間の独立
性を保つようにしている。このように両ボックス５．６
間の実質的な独立性が確保されるため、コア用デポジシ
ョンボックス６内では、クラッド用デポジションボック
ス５内の空気流や内圧の変動の影響が及ばないようにす
ることができる。 したがって、コア用バーナ４は、クラッド用バーナ３が
配置されたボックス５とは分離されたボックス６内に配
置され、それらバーナ３の影響を受けることを避けるこ
とができるとともに、クラッド用デポジションボックス
５内の圧力や空気流の変動等による影響をも避けること
ができる。そのため、このコア用デポジションボックス
６内ではより安定したガラス微粒子の堆積を行うことが
でき、コア部分での微妙な屈折率プロファイルの形成が
容易にできる。
説明する。第１図に示すように、複数のクラッド用バー
ナ３が上下方向に配列されるとともにコア用バーナ４が
最下端に配置されており、これらのそれぞれによりガラ
ス微粒子が生成される。このガラス微粒子は、上から吊
されたターゲツト棒１の下端に付着させられ、ターゲツ
ト棒１が回転しながら引き上げられていくとガラス微粒
子堆積体２が円柱状に形成される。このガラス微粒子堆
積体２の中心部分はコア用バーナ４により堆積されたガ
ラス微粒子からなり、後に光ファイバとされたときにコ
アとなる部分である。またガラス微粒子堆積体２の周囲
の部分はクラッド用バーナにより堆積されたガラス微粒
子がらなっていて、後に光ファイバとされたときにクラ
ッドとなる部分である。 これらクラッド及びコアのそれぞれについての堆積部周
囲がクラッド用のデポジションボックス５及びコア用の
デポジションボックス６によって覆われる。このクラッ
ド用デポジションボックス５には、排気ロアが設けられ
ており、この各排気ロアには排気ダクト８が接続されて
いて図示しないスクラバに導かれる。排気ダクト８には
スクラバによる吸引量を調整するためのダンパー１２が
設けられる。スクラバは排気ダクト８を通じて排気ロア
よりこのクラッド用デポジションボックス５を所定の負
圧で吸引し、ターゲット棒１に付着しなかったガラス微
粒子や未反応のガスを吸引・排気して処理する。 これらクラッド用及びコア用デポジションボックス５．
６は、堆積部周囲の空気流を整えて安定な堆積を確保す
るためであるとともに、ガラス微粒子堆積体２に塵埃等
が付着しないようにするためでもある。デポジションボ
ックス５の排気ロアが設けられている側とは反対側の壁
に多数の小さな空気流入孔（図示しない）が設けられて
おり、空気がボックス５内に取り入れられるようになっ
ている。 そして、クラッド用デポジションボックス５内には、そ
の内部の圧力を検出するための圧力センサ９が取り付け
られている。この圧力センサ９からの圧力検出信号がコ
ントローラ１０に送られ、制御信号が駆動装置１１に出
力されて、ダンパー１２の開度が調整される。このよう
なフィードバック制御により、クラッド用デポジション
ボックス５内の圧力が一定に保たれるよう、排気ダクト
８からの吸引量が調整されることになる。このような吸
引量〈排気量）のフィードバック制御を常時行い、スク
ラバの処理能力を十分大きなものとしておけば、ガラス
微粒子堆積体２の成長等に影響されずに、クラッド用デ
ポジションボックス５内の圧力を一定に保ち、安定なガ
ラス微粒子堆積を行って均一なガラス微粒子堆積体２を
作ることができ、長手方向に安定した特性を有する光フ
アイバ母材を形成できる。 一方、コア用デポジションボックス６はクラッド用デポ
ジションボックス５とは実質的に分離・独立するよう、
クラッド用デポジションボックス５の底部に取り付けら
れている。すなわち、クラッド用デポジションボックス
５の底面には、ガラス微粒子堆積体２のコア部を通過さ
せるための孔が設けられているが、その孔の径は、その
コア部よりもやや大きい程度とし、コア部との隙間が１
０Ｍ程度となるようにして、両ボックス５．６間の独立
性を保つようにしている。このように両ボックス５．６
間の実質的な独立性が確保されるため、コア用デポジシ
ョンボックス６内では、クラッド用デポジションボック
ス５内の空気流や内圧の変動の影響が及ばないようにす
ることができる。 したがって、コア用バーナ４は、クラッド用バーナ３が
配置されたボックス５とは分離されたボックス６内に配
置され、それらバーナ３の影響を受けることを避けるこ
とができるとともに、クラッド用デポジションボックス
５内の圧力や空気流の変動等による影響をも避けること
ができる。そのため、このコア用デポジションボックス
６内ではより安定したガラス微粒子の堆積を行うことが
でき、コア部分での微妙な屈折率プロファイルの形成が
容易にできる。
この発明のガラス微粒子堆積装置によれば、デポジショ
ンボックスをクラッド用とコア用とに分けて、クラッド
用のデポジションボックスのみ排気するようにしている
ため、コア用デポジションボックス内では排気量の変動
等による圧力変動の影響を受けずにガラス微粒子の均一
な堆積ができるので、ガラス微粒子堆積体のコア部分に
おいて所望の屈折率プロファイルを形成することが容易
である。
ンボックスをクラッド用とコア用とに分けて、クラッド
用のデポジションボックスのみ排気するようにしている
ため、コア用デポジションボックス内では排気量の変動
等による圧力変動の影響を受けずにガラス微粒子の均一
な堆積ができるので、ガラス微粒子堆積体のコア部分に
おいて所望の屈折率プロファイルを形成することが容易
である。
第１図はこの発明の一実施例を模式的に示す断面図であ
る。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・クラッド用バーナ、４・・・コア用バーナ、５
・・・クラッド用デポジションボックス、６・・・コア
用デポジションボックス、７・・・排気口、８・・・排
気ダクト、９・・・圧力センサ、１０・・・コントロー
ラ、１１・・・駆動装置、１２・・・ダンパー
る。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・クラッド用バーナ、４・・・コア用バーナ、５
・・・クラッド用デポジションボックス、６・・・コア
用デポジションボックス、７・・・排気口、８・・・排
気ダクト、９・・・圧力センサ、１０・・・コントロー
ラ、１１・・・駆動装置、１２・・・ダンパー
Claims (1)
- （１）コア用のガラス微粒子を生成するためのバーナと
、クラッド用のガラス微粒子を生成するためのバーナと
、これら生成されたガラス微粒子がその下端に堆積され
、堆積とともに上方に引き上げられるターゲットと、こ
のクラッド用ガラス微粒子の堆積部を覆うクラッド用デ
ポジションボックスと、コア用ガラス微粒子の堆積部を
覆う、上記クラッド用デポジションボックスとは実質的
に分離されたコア用デポジションボックスと、上記クラ
ッド用デポジションボックスに設けられた排気口と、該
排気口から強制的に吸引・排気し排気処理を行う排気処
理装置と、上記クラッド用デポジションボックス内の圧
力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器からの信号に
基づいて上記排気口からの吸引量を調整する吸引量調整
器とを備えることを特徴とするガラス微粒子堆積装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24779389A JPH03109221A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ガラス微粒子堆積装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24779389A JPH03109221A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ガラス微粒子堆積装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109221A true JPH03109221A (ja) | 1991-05-09 |
Family
ID=17168736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24779389A Pending JPH03109221A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ガラス微粒子堆積装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03109221A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004161606A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-06-10 | Kobe Steel Ltd | 光ファイバ母材製造装置 |
| WO2008105102A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP24779389A patent/JPH03109221A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004161606A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-06-10 | Kobe Steel Ltd | 光ファイバ母材製造装置 |
| WO2008105102A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
| US8656743B2 (en) | 2007-02-28 | 2014-02-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Porous glass preform production apparatus |
| US9038423B2 (en) | 2007-02-28 | 2015-05-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Porous glass preform production apparatus |
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