JPH09124334A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH09124334A JPH09124334A JP30359895A JP30359895A JPH09124334A JP H09124334 A JPH09124334 A JP H09124334A JP 30359895 A JP30359895 A JP 30359895A JP 30359895 A JP30359895 A JP 30359895A JP H09124334 A JPH09124334 A JP H09124334A
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- Japan
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- chamber
- optical fiber
- deposition
- glass fine
- flame
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、デポジションの開始時から終了に
至るまで、極めて安定したガラス微粉末の堆積を行うこ
とができる光ファイバ母材の製造方法を提供せんとする
ものである。 【解決手段】 かゝる本発明は、チャンバ内においてタ
ーゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末（スー
ト）を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、前
記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気引
圧を増大させることを特徴とする光ファイバ母材の製造
方法であり、この排気引圧の制御によって、デポジショ
ンの開始時から終了に至るまで、極めて安定したガラス
微粉末の堆積を行うことができる。
至るまで、極めて安定したガラス微粉末の堆積を行うこ
とができる光ファイバ母材の製造方法を提供せんとする
ものである。 【解決手段】 かゝる本発明は、チャンバ内においてタ
ーゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末（スー
ト）を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、前
記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気引
圧を増大させることを特徴とする光ファイバ母材の製造
方法であり、この排気引圧の制御によって、デポジショ
ンの開始時から終了に至るまで、極めて安定したガラス
微粉末の堆積を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターゲットとなる
中心部材の周囲にガラス微粉末（スート）を堆積させる
光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
中心部材の周囲にガラス微粉末（スート）を堆積させる
光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、中心部材の周囲にガラス微粉
末を堆積させるには、中心部材を、チャンバといわれる
当該中心部材の軸方向の上下を囲う装置の中に置き、当
該チャンバの左右の一方（チャンバ前部）に位置された
火炎バーナから、燃料ガスや原料ガスなどのガスを噴出
させて、火炎内でガラス微粉末を中心部材の周囲に生
成、これを堆積させると共に、チャンバの上記火炎バー
ナとは反対側の排気口（チャンバ後部）から、未反応の
ガスや反応生成ガス、未堆積のガラス微粉末などを排気
させている。
末を堆積させるには、中心部材を、チャンバといわれる
当該中心部材の軸方向の上下を囲う装置の中に置き、当
該チャンバの左右の一方（チャンバ前部）に位置された
火炎バーナから、燃料ガスや原料ガスなどのガスを噴出
させて、火炎内でガラス微粉末を中心部材の周囲に生
成、これを堆積させると共に、チャンバの上記火炎バー
ナとは反対側の排気口（チャンバ後部）から、未反応の
ガスや反応生成ガス、未堆積のガラス微粉末などを排気
させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来、排気
引圧（排気のため吸引する圧力）は、通常堆積中（デポ
ジション中）一定に保持している。しかし、デポジショ
ンの開始時には、中心部材の外径が細い（小さい）た
め、排気口側での排気による気流が容易に反対側の火炎
バーナ側に及び、当該火炎バーナの炎に大きな影響を与
え、炎をばたつかせたりすることとなる。このように炎
がばたつくと、ガラス微粉末の堆積（付着）効率が低下
すると同時に、均一な堆積も困難となり、得られる光フ
ァイバ母材の品質に悪影響を与える恐れがある。
引圧（排気のため吸引する圧力）は、通常堆積中（デポ
ジション中）一定に保持している。しかし、デポジショ
ンの開始時には、中心部材の外径が細い（小さい）た
め、排気口側での排気による気流が容易に反対側の火炎
バーナ側に及び、当該火炎バーナの炎に大きな影響を与
え、炎をばたつかせたりすることとなる。このように炎
がばたつくと、ガラス微粉末の堆積（付着）効率が低下
すると同時に、均一な堆積も困難となり、得られる光フ
ァイバ母材の品質に悪影響を与える恐れがある。
【０００４】一方、デポジションが進行し、特にその後
半に至ると、ガラス微粉末の堆積体が成長し、その外径
が太く（大きく）なるため、火炎バーナからの炎は、こ
のスート堆積体を包みきれず、当該ガラス微粉末のスー
ト堆積体自体が障害となって、上下に分かれて広がる傾
向をとる。したがって、炎中に含まれるガラス微粉末も
上下に広がり、排気の引圧が弱いと、スムーズな流れが
困難となって、上下に広がったガラス微粉末が、チャン
バ前部側に逆流したり、チャンバ内の上面側や底面側に
飛散して、中心部材に堆積されることなく、排気される
ことが多くなり、結果として、堆積効率が低下すると同
時に、均一な堆積も困難となる。
半に至ると、ガラス微粉末の堆積体が成長し、その外径
が太く（大きく）なるため、火炎バーナからの炎は、こ
のスート堆積体を包みきれず、当該ガラス微粉末のスー
ト堆積体自体が障害となって、上下に分かれて広がる傾
向をとる。したがって、炎中に含まれるガラス微粉末も
上下に広がり、排気の引圧が弱いと、スムーズな流れが
困難となって、上下に広がったガラス微粉末が、チャン
バ前部側に逆流したり、チャンバ内の上面側や底面側に
飛散して、中心部材に堆積されることなく、排気される
ことが多くなり、結果として、堆積効率が低下すると同
時に、均一な堆積も困難となる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような従
来の実情に鑑みてなされたもので、チャンバ内において
ターゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末（スー
ト）を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、前
記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気引
圧を増大させる光ファイバ母材の製造方法にある。
来の実情に鑑みてなされたもので、チャンバ内において
ターゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末（スー
ト）を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、前
記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気引
圧を増大させる光ファイバ母材の製造方法にある。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１〜図２は、本発明に係る光フ
ァイバ母材の製造方法の一つの実施の形態を示したもの
である。図において、１はターゲットとなる中心部材
で、これはチャンバ２内に回転自在に収納されると共
に、その両端は、チャック３，３などで保持され、その
周囲には、火炎バーナ４からの炎５が吹き付けられて、
生成されたガラス微粉末（スート）６が堆積されるよう
になっている。
ァイバ母材の製造方法の一つの実施の形態を示したもの
である。図において、１はターゲットとなる中心部材
で、これはチャンバ２内に回転自在に収納されると共
に、その両端は、チャック３，３などで保持され、その
周囲には、火炎バーナ４からの炎５が吹き付けられて、
生成されたガラス微粉末（スート）６が堆積されるよう
になっている。
【０００７】上記チャンバ２は、図２から明らかなよう
に、通常中心部材１の上方側を覆う上面部材２ａと中心
部材１の下方側を覆う底面部材２ｂとからなり、火炎バ
ーナ４は、このチャンバ２の前部側（図中左側）の開口
部２ｃを、中心部材１の軸方向に沿って往復動するよう
になっている。一方、チャンバ２の後部側（図中右側）
には、未反応のガスや反応生成ガス、未堆積のガラス微
粉末などを排気するための排気口２ｄが例えば複数（１
個も可）設けてある。この排気口２ｄには、排気管路７
が接続してあって、この排気管路７の途中などに組み込
んだ排気手段８、例えば吸引ポンプによって、チャンバ
２内を所定の吸引力（排気引圧）で吸引して、排気する
ようになっている。
に、通常中心部材１の上方側を覆う上面部材２ａと中心
部材１の下方側を覆う底面部材２ｂとからなり、火炎バ
ーナ４は、このチャンバ２の前部側（図中左側）の開口
部２ｃを、中心部材１の軸方向に沿って往復動するよう
になっている。一方、チャンバ２の後部側（図中右側）
には、未反応のガスや反応生成ガス、未堆積のガラス微
粉末などを排気するための排気口２ｄが例えば複数（１
個も可）設けてある。この排気口２ｄには、排気管路７
が接続してあって、この排気管路７の途中などに組み込
んだ排気手段８、例えば吸引ポンプによって、チャンバ
２内を所定の吸引力（排気引圧）で吸引して、排気する
ようになっている。
【０００８】本発明では、上記装置系において、先ず、
図示しない駆動手段によって、中心部材１を回転させる
と共に、火炎バーナ４からの炎５を、当該中心部材１の
周囲に吹き付けつつ、中心部材１の軸方向に沿って往復
動させて、生成されたガラス微粉末を中心部材１の外周
に堆積させると共に、排気手段８によって、未反応のガ
スや反応生成ガス、未堆積のガラス微粉末などの排気物
をチャンバ２の排気口２ｄから排気させる。このデポジ
ションの開始時には、中心部材１の外径が細く、デポジ
ションが進行すると、ガラス微粉末６の堆積体が成長
し、その外径が太くなるため、本発明の場合、このスー
ト堆積体の成長を検知して、コンピュータ内蔵のコント
ローラ９によって、例えば上記排気手段８を制御してい
る。
図示しない駆動手段によって、中心部材１を回転させる
と共に、火炎バーナ４からの炎５を、当該中心部材１の
周囲に吹き付けつつ、中心部材１の軸方向に沿って往復
動させて、生成されたガラス微粉末を中心部材１の外周
に堆積させると共に、排気手段８によって、未反応のガ
スや反応生成ガス、未堆積のガラス微粉末などの排気物
をチャンバ２の排気口２ｄから排気させる。このデポジ
ションの開始時には、中心部材１の外径が細く、デポジ
ションが進行すると、ガラス微粉末６の堆積体が成長
し、その外径が太くなるため、本発明の場合、このスー
ト堆積体の成長を検知して、コンピュータ内蔵のコント
ローラ９によって、例えば上記排気手段８を制御してい
る。
【０００９】つまり、デポジションの開始時で、未だ中
心部材１の外径が細い段階では、弱めの吸引力（排気引
圧）で、チャンバ２内の排気を行う。これによって、チ
ャンバ２内に必要以上（過度）に大きな気流が生じるこ
ともなく、火炎バーナ４からの炎５がばたつくこともな
くなる。したがって、安定した炎５が中心部材１に吹き
付けられ、効率的で、かつ、均一な堆積が行われる。
心部材１の外径が細い段階では、弱めの吸引力（排気引
圧）で、チャンバ２内の排気を行う。これによって、チ
ャンバ２内に必要以上（過度）に大きな気流が生じるこ
ともなく、火炎バーナ４からの炎５がばたつくこともな
くなる。したがって、安定した炎５が中心部材１に吹き
付けられ、効率的で、かつ、均一な堆積が行われる。
【００１０】一方、デポジションが進行し、特にその後
半に至ると、ガラス微粉末６の堆積が成長し、スート堆
積体の外径が太くなるため、この成長速度に合わせて、
上記コントローラ９を介して、上記排気手段８の排気引
圧を増強し、噴出ガスの排気量を増大させている。一般
に、スート堆積体が太くなると、火炎バーナ４からの炎
５は、スート堆積体を包みきれず、当該スート堆積体自
体が障害となって、上下に分かれて広がろうとする傾向
をとるが、チャンバ２の後部側の排気引圧が増強される
ため、上記炎５の上下方向への広がりが効果的に抑えら
れ、上記スート堆積体の上下を包み込む形で、チャンバ
２の後部側へ吸引される。したがって、チャンバ前部側
に逆流したり、チャンバ２内の上面側や底面側に飛散し
たりすることもなく、やはり安定した炎５が中心部材１
に吹き付けられ、効率的で、かつ、均一な堆積が行われ
る。この結果、デポジションの開始時から終了に至るま
で、極めて安定したガラス微粉末６の堆積が行われ、堆
積効率がよく、かつ、均一な堆積からなる高品質の光フ
ァイバ母材のスート堆積体が得られる。
半に至ると、ガラス微粉末６の堆積が成長し、スート堆
積体の外径が太くなるため、この成長速度に合わせて、
上記コントローラ９を介して、上記排気手段８の排気引
圧を増強し、噴出ガスの排気量を増大させている。一般
に、スート堆積体が太くなると、火炎バーナ４からの炎
５は、スート堆積体を包みきれず、当該スート堆積体自
体が障害となって、上下に分かれて広がろうとする傾向
をとるが、チャンバ２の後部側の排気引圧が増強される
ため、上記炎５の上下方向への広がりが効果的に抑えら
れ、上記スート堆積体の上下を包み込む形で、チャンバ
２の後部側へ吸引される。したがって、チャンバ前部側
に逆流したり、チャンバ２内の上面側や底面側に飛散し
たりすることもなく、やはり安定した炎５が中心部材１
に吹き付けられ、効率的で、かつ、均一な堆積が行われ
る。この結果、デポジションの開始時から終了に至るま
で、極めて安定したガラス微粉末６の堆積が行われ、堆
積効率がよく、かつ、均一な堆積からなる高品質の光フ
ァイバ母材のスート堆積体が得られる。
【００１１】上記スート堆積体の成長速度の検知は、例
えば中心部材１を支えているチャック３，３の外側に、
スート堆積体の成長に応じて増える重量を検知する検知
手段１０、例えばロードセルを設けて行うとよい。もち
ろん、このロードセルからの検出信号は、上記コントロ
ーラ９に入力させる。なお、スート堆積体の成長は、こ
の重量の検出に限定されない。例えば光学的手段を用い
て検知してもよい。例えば一方から平行光線をスート堆
積体に照射し、その反対側で、受光することによって、
スート堆積体の成長を捉えてもよい。あるいはＴＶカメ
ラなどで直接スート堆積体の成長を捉えてもよい。さら
には、上記実測の検知手段よりは、検出精度が低下する
ものの、スート堆積体の成長は、デポジションの経過時
間に比例するため、この経過時間によって、排気物の排
気引圧をシーケンス的に制御してもよい。
えば中心部材１を支えているチャック３，３の外側に、
スート堆積体の成長に応じて増える重量を検知する検知
手段１０、例えばロードセルを設けて行うとよい。もち
ろん、このロードセルからの検出信号は、上記コントロ
ーラ９に入力させる。なお、スート堆積体の成長は、こ
の重量の検出に限定されない。例えば光学的手段を用い
て検知してもよい。例えば一方から平行光線をスート堆
積体に照射し、その反対側で、受光することによって、
スート堆積体の成長を捉えてもよい。あるいはＴＶカメ
ラなどで直接スート堆積体の成長を捉えてもよい。さら
には、上記実測の検知手段よりは、検出精度が低下する
ものの、スート堆積体の成長は、デポジションの経過時
間に比例するため、この経過時間によって、排気物の排
気引圧をシーケンス的に制御してもよい。
【００１２】
【発明の効果】このように本発明は、チャンバ内におい
てターゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末（ス
ート）を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、
前記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気
引圧を増大させる光ファイバ母材の製造方法であるた
め、デポジションの開始時から終了に至るまで、極めて
安定したガラス微粉末の堆積を行うことができる。した
がって、堆積効率がよく、かつ、均一な堆積が可能とな
り、高品質のスート堆積体、すなわち高品質の光ファイ
バ母材用が得られる。
てターゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末（ス
ート）を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、
前記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気
引圧を増大させる光ファイバ母材の製造方法であるた
め、デポジションの開始時から終了に至るまで、極めて
安定したガラス微粉末の堆積を行うことができる。した
がって、堆積効率がよく、かつ、均一な堆積が可能とな
り、高品質のスート堆積体、すなわち高品質の光ファイ
バ母材用が得られる。
【図１】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するための装置系の一つの形態を示した部分省略平面図
である。
するための装置系の一つの形態を示した部分省略平面図
である。
【図２】図１の装置系の縦断面図である。
１ 中心部材 ２ チャンバ ４ 火炎バーナ ５ 火炎バーナの炎 ６ ガラス微粉末（スート） ７ 排気管路 ８ 排気手段 ９ コントローラ １０ 検知手段
Claims (1)
- 【請求項１】 チャンバ内においてターゲットとなる中
心部材の周囲にガラス微粉末（スート）を堆積させて光
ファイバ母材を製造すに際して、前記ガラス微粉末の堆
積成長につれてチャンバ内の排気引圧を増大させること
を特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30359895A JPH09124334A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30359895A JPH09124334A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09124334A true JPH09124334A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=17922934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30359895A Pending JPH09124334A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09124334A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1270520A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-02 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and device for manufacturing a preform for optical fibres |
| WO2005085146A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP30359895A patent/JPH09124334A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1270520A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-02 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and device for manufacturing a preform for optical fibres |
| WO2005085146A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041026 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051115 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060314 |