JPH09241031A - 光ファイバ用母材の製造方法および製造装置 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造方法および製造装置Info
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- JPH09241031A JPH09241031A JP5356596A JP5356596A JPH09241031A JP H09241031 A JPH09241031 A JP H09241031A JP 5356596 A JP5356596 A JP 5356596A JP 5356596 A JP5356596 A JP 5356596A JP H09241031 A JPH09241031 A JP H09241031A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 未堆積反応物の排気効率を向上させ、未堆積
反応物の母材への再付着を防止することができる光ファ
イバ母材の製造方法および製造装置を提供する。 【解決手段】 排気口を有する気密反応容器１１内で、
その軸心を中心に回転するターゲット棒１３の下部先端
に、バーナ１２より、その火炎内に光ファイバ母材の原
料を供給することにより発生させた母材形成用微粒子を
吹付けて堆積させ、さらにその堆積の進行にともなって
ターゲット棒１３を引き上げることにより、母材形成用
微粒子をターゲット棒１３の軸方向下方に堆積させてい
くとともに、この間、排気口よりガスの排出を行うもの
であって、気密反応容器１１に設けた少なくとも 1以上
のガス導入口１６より気密反応容器１１内に不活性ガス
を導入し、排気口からのガスの排気風速を制御しつつ、
母材形成用微粒子を堆積させていく。
反応物の母材への再付着を防止することができる光ファ
イバ母材の製造方法および製造装置を提供する。 【解決手段】 排気口を有する気密反応容器１１内で、
その軸心を中心に回転するターゲット棒１３の下部先端
に、バーナ１２より、その火炎内に光ファイバ母材の原
料を供給することにより発生させた母材形成用微粒子を
吹付けて堆積させ、さらにその堆積の進行にともなって
ターゲット棒１３を引き上げることにより、母材形成用
微粒子をターゲット棒１３の軸方向下方に堆積させてい
くとともに、この間、排気口よりガスの排出を行うもの
であって、気密反応容器１１に設けた少なくとも 1以上
のガス導入口１６より気密反応容器１１内に不活性ガス
を導入し、排気口からのガスの排気風速を制御しつつ、
母材形成用微粒子を堆積させていく。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用母材
を製造する方法および装置に関する。
を製造する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光ファイバ用母材の製造方法
として、いわゆる内付法（MCVD法＝Modified Chemical
Vapor Deposition）、外付法（OVD 法＝Outside Vapor-
Phase Deposition）、気相軸付法（VAD 法＝Vapor-Phas
e Axial Deposition）などが知られているが、なかで
も、軸付法は、屈折率分布の精密な制御が可能なうえ、
母材内の含有OH基を 1ppb 以下にできるため低損失の光
ファイバを得ることができ、しかも、一連の作業を連続
的に行えるため外径が大きくかつ長尺な母材の製造が可
能で、生産性を高めることができることから広く用いら
れている。
として、いわゆる内付法（MCVD法＝Modified Chemical
Vapor Deposition）、外付法（OVD 法＝Outside Vapor-
Phase Deposition）、気相軸付法（VAD 法＝Vapor-Phas
e Axial Deposition）などが知られているが、なかで
も、軸付法は、屈折率分布の精密な制御が可能なうえ、
母材内の含有OH基を 1ppb 以下にできるため低損失の光
ファイバを得ることができ、しかも、一連の作業を連続
的に行えるため外径が大きくかつ長尺な母材の製造が可
能で、生産性を高めることができることから広く用いら
れている。
【０００３】この軸付法は、図３に示すように、回転す
るターゲット棒１の下方に酸水素バーナ２を配設し、こ
の酸水素バーナ２から、その酸水素火炎中に、原料のSi
Cl4、GeCl4 、POCl3 等を供給し火炎加水分解させるこ
とにより発生させた SiO2 や、 GeO2 等の酸化物のスー
ト（微粒子）を、ターゲット棒１の下部先端に向けて吹
付けて堆積させ、さらに、このスートの堆積とともにタ
ーゲット棒１を上方へ引上げることにより、スートの堆
積物を軸方向下方に成長させるものである（スート堆積
工程）。こうして形成されたスートの堆積体３は多孔質
母材と称し、この後、電気炉中で加熱焼結されて透明ガ
ラス化される（透明ガラス化工程）。
るターゲット棒１の下方に酸水素バーナ２を配設し、こ
の酸水素バーナ２から、その酸水素火炎中に、原料のSi
Cl4、GeCl4 、POCl3 等を供給し火炎加水分解させるこ
とにより発生させた SiO2 や、 GeO2 等の酸化物のスー
ト（微粒子）を、ターゲット棒１の下部先端に向けて吹
付けて堆積させ、さらに、このスートの堆積とともにタ
ーゲット棒１を上方へ引上げることにより、スートの堆
積物を軸方向下方に成長させるものである（スート堆積
工程）。こうして形成されたスートの堆積体３は多孔質
母材と称し、この後、電気炉中で加熱焼結されて透明ガ
ラス化される（透明ガラス化工程）。
【０００４】しかして、従来、上記のスート堆積工程
は、同図１に示すように、排気管４を接続した気密反応
容器５内で行われ、スートとしてターゲット棒１に付着
しなかった反応物、すなわち未堆積反応物が、気密反応
容器５から排気管４を通じて外部に吸引除去されるよう
になっている。
は、同図１に示すように、排気管４を接続した気密反応
容器５内で行われ、スートとしてターゲット棒１に付着
しなかった反応物、すなわち未堆積反応物が、気密反応
容器５から排気管４を通じて外部に吸引除去されるよう
になっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな排気管４を接続しただけでは、気密反応容器５内の
ガスの流れが複雑なこともあって、未堆積反応物を完全
に排出することは困難で、その一部が気密反応容器５の
内壁面、特にその上部内壁面や、排気管４の内壁面に付
着して、排気環境をさらに悪化させるとともに、気密反
応容器５の内壁面に付着した未堆積反応物６が脱落して
スート堆積体３の表面に再付着する結果、後の透明ガラ
ス化工程で母材内に気泡が発生するおそれがあった。
うな排気管４を接続しただけでは、気密反応容器５内の
ガスの流れが複雑なこともあって、未堆積反応物を完全
に排出することは困難で、その一部が気密反応容器５の
内壁面、特にその上部内壁面や、排気管４の内壁面に付
着して、排気環境をさらに悪化させるとともに、気密反
応容器５の内壁面に付着した未堆積反応物６が脱落して
スート堆積体３の表面に再付着する結果、後の透明ガラ
ス化工程で母材内に気泡が発生するおそれがあった。
【０００６】このため、気密反応容器５の内外の圧力差
を検出し、排気管４の途中に設けた吸気口からの大気の
吸入量を調節することにより、排気環境の悪化を防止す
る対策なども講じられているが、未堆積反応物の付着防
止にほとんど効果がないばかりか、吸入した大気中の水
分と未堆積反応物が反応して排気管に目詰まりを生じさ
せたり、あるいは、不規則、不安定な大気吸入によりバ
ーナ火炎に揺らぎが生じ、スートの堆積径の変動、ひい
ては母材の屈折率分布の揺らぎにより特性低下を招くお
それがあった。
を検出し、排気管４の途中に設けた吸気口からの大気の
吸入量を調節することにより、排気環境の悪化を防止す
る対策なども講じられているが、未堆積反応物の付着防
止にほとんど効果がないばかりか、吸入した大気中の水
分と未堆積反応物が反応して排気管に目詰まりを生じさ
せたり、あるいは、不規則、不安定な大気吸入によりバ
ーナ火炎に揺らぎが生じ、スートの堆積径の変動、ひい
ては母材の屈折率分布の揺らぎにより特性低下を招くお
それがあった。
【０００７】なお、排気効率のみ着目するなら、バーナ
２への供給ガス量を増やすことも一つの方法であるが、
スートの堆積に及ぼす影響が極めて大きいため非実用的
である。
２への供給ガス量を増やすことも一つの方法であるが、
スートの堆積に及ぼす影響が極めて大きいため非実用的
である。
【０００８】本発明はこのような従来の事情に対処して
なされたもので、反応容器でのスート堆積工程における
排気環境を向上、安定化させ、未堆積反応物の反応容器
内壁面などへの付着を防止することができるとともに、
安定したスートの堆積、さらには母材の品質の向上を図
ることのできる光ファイバ用母材の製造方法および製造
装置を提供することを目的とする。
なされたもので、反応容器でのスート堆積工程における
排気環境を向上、安定化させ、未堆積反応物の反応容器
内壁面などへの付着を防止することができるとともに、
安定したスートの堆積、さらには母材の品質の向上を図
ることのできる光ファイバ用母材の製造方法および製造
装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバ母材
の製造方法は、排気口を有する気密反応容器内で、その
軸心を中心に回転するターゲット棒の表面に、バーナよ
り、その火炎内に光ファイバ母材の原料を供給すること
により発生させた母材形成用微粒子を吹付けて堆積さ
せ、さらにその堆積の進行にともなって前記ターゲット
棒を軸方向に移動させることにより、前記母材形成用微
粒子を前記ターゲット棒の軸方向に堆積させていくとと
もに、この間、前記排気口よりガスの排出を行う方法で
あって、前記反応容器内に不活性ガスを導入し、前記排
気口からのガスの排気風速を制御しつつ、前記母材形成
用微粒子を堆積させていくことを特徴とする。
の製造方法は、排気口を有する気密反応容器内で、その
軸心を中心に回転するターゲット棒の表面に、バーナよ
り、その火炎内に光ファイバ母材の原料を供給すること
により発生させた母材形成用微粒子を吹付けて堆積さ
せ、さらにその堆積の進行にともなって前記ターゲット
棒を軸方向に移動させることにより、前記母材形成用微
粒子を前記ターゲット棒の軸方向に堆積させていくとと
もに、この間、前記排気口よりガスの排出を行う方法で
あって、前記反応容器内に不活性ガスを導入し、前記排
気口からのガスの排気風速を制御しつつ、前記母材形成
用微粒子を堆積させていくことを特徴とする。
【００１０】また、本発明の光ファイバ母材の製造装置
は、排気口を有する気密反応容器と、この反応容器内に
それ自身の軸心を中心に回動可能にかつ軸方向に移動可
能に挿着されたターゲット棒と、前記反応容器内に吹出
口を開口させて装着された、その火炎内に光ファイバ母
材の原料を供給することにより母材形成用微粒子を発生
させるバーナとを備え、前記ターゲット棒を回転させる
とともに、その表面に前記バーナより発生した母材形成
用微粒子が堆積するにともないこれを軸方向に移動させ
ることにより、ターゲット棒の表面に軸方向に伸びる母
材形成用微粒子の堆積体を形成するように構成してなる
光ファイバ用母材の製造装置であって、前記気密反応容
器に少なくとも 1以上のガス導入口を設けるとともに、
このガス導入口に前記反応容器内へ不活性ガスを導入す
る不活性ガス導入装置を接続したことを特徴とする。
は、排気口を有する気密反応容器と、この反応容器内に
それ自身の軸心を中心に回動可能にかつ軸方向に移動可
能に挿着されたターゲット棒と、前記反応容器内に吹出
口を開口させて装着された、その火炎内に光ファイバ母
材の原料を供給することにより母材形成用微粒子を発生
させるバーナとを備え、前記ターゲット棒を回転させる
とともに、その表面に前記バーナより発生した母材形成
用微粒子が堆積するにともないこれを軸方向に移動させ
ることにより、ターゲット棒の表面に軸方向に伸びる母
材形成用微粒子の堆積体を形成するように構成してなる
光ファイバ用母材の製造装置であって、前記気密反応容
器に少なくとも 1以上のガス導入口を設けるとともに、
このガス導入口に前記反応容器内へ不活性ガスを導入す
る不活性ガス導入装置を接続したことを特徴とする。
【００１１】本発明の光ファイバ用母材の製造方法およ
び製造装置においては、母材形成用微粒子の生成に関与
しない不活性ガスの導入によって排気口からのガスの排
気風速が制御され、これによって排気効率の向上、安定
化を図ることができるため、母材形成用微粒子の堆積に
影響を及ぼすことなく、未堆積反応物の反応容器内壁面
等への付着を防止ないし抑制することができ、特性の良
い高品質の母材を安定して製造することが可能となる。
び製造装置においては、母材形成用微粒子の生成に関与
しない不活性ガスの導入によって排気口からのガスの排
気風速が制御され、これによって排気効率の向上、安定
化を図ることができるため、母材形成用微粒子の堆積に
影響を及ぼすことなく、未堆積反応物の反応容器内壁面
等への付着を防止ないし抑制することができ、特性の良
い高品質の母材を安定して製造することが可能となる。
【００１２】なお、本発明の前記光ファイバ母材の製造
装置において、前記ガス導入口を複数設け、かつ、これ
らの各ガス導入口からの不活性ガスの導入量をそれぞれ
独立に調節可能に構成することにより、前記排気口にお
ける排気風速に加えて反応容器内のガスの流れを制御す
ることが可能になり、気密反応容器内壁面等への未堆積
反応物の付着をより確実に防止することが可能となる。
装置において、前記ガス導入口を複数設け、かつ、これ
らの各ガス導入口からの不活性ガスの導入量をそれぞれ
独立に調節可能に構成することにより、前記排気口にお
ける排気風速に加えて反応容器内のガスの流れを制御す
ることが可能になり、気密反応容器内壁面等への未堆積
反応物の付着をより確実に防止することが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。
を参照しつつ説明する。
【００１４】図１は、本発明の光ファイバ用母材の製造
装置の一例を概略的に示す構成図である。図１に示すよ
うに、この光ファイバ母材の製造装置は、気密反応容器
１１と、その下部側方にそれ自身の吹出口を開口させて
装着された、その火炎内に光ファイバ母材の原料、例え
ばSiCl4 、GeCl4 、POCl3 等を供給し、火炎加水分解さ
せることにより母材形成用微粒子、すなわち SiO2 や、
GeO2 等の酸化物のスートを発生させる酸水素バーナ１
２と、気密反応容器１１のほぼ中央に、その下部先端が
酸水素バーナ１２の吹出口近傍に達するように垂下され
た石英などからなるターゲット棒１３を具備する。
装置の一例を概略的に示す構成図である。図１に示すよ
うに、この光ファイバ母材の製造装置は、気密反応容器
１１と、その下部側方にそれ自身の吹出口を開口させて
装着された、その火炎内に光ファイバ母材の原料、例え
ばSiCl4 、GeCl4 、POCl3 等を供給し、火炎加水分解さ
せることにより母材形成用微粒子、すなわち SiO2 や、
GeO2 等の酸化物のスートを発生させる酸水素バーナ１
２と、気密反応容器１１のほぼ中央に、その下部先端が
酸水素バーナ１２の吹出口近傍に達するように垂下され
た石英などからなるターゲット棒１３を具備する。
【００１５】ターゲット棒１３は、それ自身の軸心を中
心に回転可能でかつ軸方向に引上げ可能とされており、
これを回転させつつ上方に引き上げることにより、酸水
素バーナ１２から吹き出されたスートがその下部先端か
ら軸方向下方に付着堆積していき、柱状のスートからな
る堆積体１４を形成するようになっている。
心に回転可能でかつ軸方向に引上げ可能とされており、
これを回転させつつ上方に引き上げることにより、酸水
素バーナ１２から吹き出されたスートがその下部先端か
ら軸方向下方に付着堆積していき、柱状のスートからな
る堆積体１４を形成するようになっている。
【００１６】また、気密反応容器１１の側方には、排気
ポンプに接続された排気管１５が挿着され、スートとし
てターゲット棒１３に付着しなかった反応物、すなわち
未堆積反応物が外部に吸引除去されるようになってい
る。
ポンプに接続された排気管１５が挿着され、スートとし
てターゲット棒１３に付着しなかった反応物、すなわち
未堆積反応物が外部に吸引除去されるようになってい
る。
【００１７】そして、この装置においては、さらに、気
密反応容器１１の上部側方に、上記の火炎加水分解反応
に関与しないガス、すなちわ N2 ガスやArガスなどの不
活性ガスを気密反応容器１１内に導入するためのガス導
入口１６が設けられており、可変バルブ１７を有するガ
ス導入管１８を介して不活性ガス源１９に接続されてい
る。また、排気管１５の入口部２０には、該部における
排気風速を測定する排気風速測定センサ２１が配設さ
れ、さらに、この排気風速測定センサ２１には、その検
出信号に応じて、可変バルブ１７を開閉し不活性ガス源
１９からの不活性ガスの導入量を制御するガス導入量制
御装置２２が接続されており、排気管１５の入口部２０
における排気風速に応じて、不活性ガス源１９から所定
量の不活性ガスが気密反応容器１１内に導入されるよう
になっている。
密反応容器１１の上部側方に、上記の火炎加水分解反応
に関与しないガス、すなちわ N2 ガスやArガスなどの不
活性ガスを気密反応容器１１内に導入するためのガス導
入口１６が設けられており、可変バルブ１７を有するガ
ス導入管１８を介して不活性ガス源１９に接続されてい
る。また、排気管１５の入口部２０には、該部における
排気風速を測定する排気風速測定センサ２１が配設さ
れ、さらに、この排気風速測定センサ２１には、その検
出信号に応じて、可変バルブ１７を開閉し不活性ガス源
１９からの不活性ガスの導入量を制御するガス導入量制
御装置２２が接続されており、排気管１５の入口部２０
における排気風速に応じて、不活性ガス源１９から所定
量の不活性ガスが気密反応容器１１内に導入されるよう
になっている。
【００１８】このような装置においては、酸水素バーナ
１２により酸化物のスートを発生させるとともに、ター
ゲット棒１３を回転させつつ引き上げることにより、そ
の下部先端に軸方向下方に向けて酸化物のスートを付着
堆積させていく一方、排気管１５の入口部２０における
排気風速に応じて、ガス導入口１６より不活性ガスを導
入し、堆積しなかった微粒子、すなわち未堆積反応物を
排気管１５から外部へ排出させる。しかして、不活性ガ
スの導入によって、未堆積反応物は排気管１５を通じて
外部にほぼ完全に排出されるため、未堆積反応物の気密
反応容器１１や排気管１５の内壁面への付着が防止さ
れ、後の気泡発生の要因となる未堆積反応物の混入のな
いスート堆積体１４を形成することができ、特性の良い
高品質の光ファバ母材を製造することができる。
１２により酸化物のスートを発生させるとともに、ター
ゲット棒１３を回転させつつ引き上げることにより、そ
の下部先端に軸方向下方に向けて酸化物のスートを付着
堆積させていく一方、排気管１５の入口部２０における
排気風速に応じて、ガス導入口１６より不活性ガスを導
入し、堆積しなかった微粒子、すなわち未堆積反応物を
排気管１５から外部へ排出させる。しかして、不活性ガ
スの導入によって、未堆積反応物は排気管１５を通じて
外部にほぼ完全に排出されるため、未堆積反応物の気密
反応容器１１や排気管１５の内壁面への付着が防止さ
れ、後の気泡発生の要因となる未堆積反応物の混入のな
いスート堆積体１４を形成することができ、特性の良い
高品質の光ファバ母材を製造することができる。
【００１９】なお、本発明において、上記の排気風速測
定センサ２１やガス導入量制御装置２２は、必ずしも必
須のものではなく、予備実験などにより求めた一定の流
量の不活性ガスを導入するようにしてもよい。
定センサ２１やガス導入量制御装置２２は、必ずしも必
須のものではなく、予備実験などにより求めた一定の流
量の不活性ガスを導入するようにしてもよい。
【００２０】また、以上説明した例は、ガス導入口１６
を 1ヶ所に設けた例であるが、本発明においては、複数
箇所に設けるようにしてもよく、この場合、特に、例え
ば図２に示すように、それぞれ独立に導入量を制御する
ことができるようにすることにより、排気風速のみなら
ず、気密反応容器１１内のガスの流れ方向を制御するこ
とができ、未堆積反応物を確実に排気管１５へと導くこ
とができるため、未堆積反応物の、気密反応容器１１や
排気管１５の内壁面への付着防止をさらに確実なものと
することができる。すなわち、図２に示す装置において
は、各ガス導入口１６，１６に接続されたガス導入管１
８、１８にはそれぞれに可変バルブ１７、１７が設けら
れており、それぞれ独立にガス導入量を調節できるよう
になっている。
を 1ヶ所に設けた例であるが、本発明においては、複数
箇所に設けるようにしてもよく、この場合、特に、例え
ば図２に示すように、それぞれ独立に導入量を制御する
ことができるようにすることにより、排気風速のみなら
ず、気密反応容器１１内のガスの流れ方向を制御するこ
とができ、未堆積反応物を確実に排気管１５へと導くこ
とができるため、未堆積反応物の、気密反応容器１１や
排気管１５の内壁面への付着防止をさらに確実なものと
することができる。すなわち、図２に示す装置において
は、各ガス導入口１６，１６に接続されたガス導入管１
８、１８にはそれぞれに可変バルブ１７、１７が設けら
れており、それぞれ独立にガス導入量を調節できるよう
になっている。
【００２１】さらに、以上説明した例は、本発明をいわ
ゆる軸付法に適用した例であるが、気密反応容器内でタ
ーゲット棒を回転させつつ軸方向に移動させることによ
り、ターゲット棒の外周面に母材形成用微粒子を付着堆
積させていく、いわゆる外付法にも適用可能なことはい
うまでもなく、未堆積反応物の反応容器内壁面などへの
付着を防止し、安定したスートの堆積、さらには母材の
品質の向上を図ることができる。
ゆる軸付法に適用した例であるが、気密反応容器内でタ
ーゲット棒を回転させつつ軸方向に移動させることによ
り、ターゲット棒の外周面に母材形成用微粒子を付着堆
積させていく、いわゆる外付法にも適用可能なことはい
うまでもなく、未堆積反応物の反応容器内壁面などへの
付着を防止し、安定したスートの堆積、さらには母材の
品質の向上を図ることができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造方法
および製造装置によれば、排気口における排気風速を制
御できるので、未堆積反応物の排気効率を向上させ、気
泡の原因となる未堆積反応物の再付着を防ぐことがで
き、しかも、母材形成用微粒子の堆積に影響を及ぼすこ
ともないので、特性の良い高品質の光ファイバ用母材を
安定して製造することができる。
および製造装置によれば、排気口における排気風速を制
御できるので、未堆積反応物の排気効率を向上させ、気
泡の原因となる未堆積反応物の再付着を防ぐことがで
き、しかも、母材形成用微粒子の堆積に影響を及ぼすこ
ともないので、特性の良い高品質の光ファイバ用母材を
安定して製造することができる。
【図１】本発明の光ファイバ用母材の製造装置の一例を
概略的に示す図。
概略的に示す図。
【図２】本発明の光ファイバ用母材の製造装置の他の例
を概略的に示す図。
を概略的に示す図。
【図３】従来の光ファイバ用母材の製造装置の一例を概
略的に示す図。
略的に示す図。
１１………気密反応容器 １２………酸水素バーナ １３………ターゲット棒 １４………スート堆積体 １５………排気管 １６………ガス導入口 １７………可変バルブ １８………ガス導入管 １９………不活性ガス源 ２１………排気風速測定センサ ２２………ガス導入量制御装置
Claims (4)
- 【請求項１】 排気口を有する気密反応容器内で、その
軸心を中心に回転するターゲット棒の表面に、バーナよ
り、その火炎内に光ファイバ母材の原料を供給すること
により発生させた母材形成用微粒子を吹付けて堆積さ
せ、さらにその堆積の進行にともなって前記ターゲット
棒を軸方向に移動させることにより、前記母材形成用微
粒子を前記ターゲット棒の軸方向に堆積させていくとと
もに、この間、前記排気口よりガスの排出を行う方法で
あって、 前記反応容器内に不活性ガスを導入し、前記排気口から
のガスの排気風速を制御しつつ、前記母材形成用微粒子
を堆積させていくことを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の光ファイバ用母材の製造
方法において、 反応容器に設けた少なくとも 1以上のガス導入口より不
活性ガスの導入を行うことを特徴とする光ファイバ用母
材の製造方法。 - 【請求項３】 排気口を有する気密反応容器と、この反
応容器内にそれ自身の軸心を中心に回動可能にかつ軸方
向に移動可能に挿着されたターゲット棒と、前記反応容
器内に吹出口を開口させて装着された、その火炎内に光
ファイバ母材の原料を供給することにより母材形成用微
粒子を発生させるバーナとを備え、前記ターゲット棒を
回転させるとともに、その表面に前記バーナより発生し
た母材形成用微粒子が堆積するにともないこれを軸方向
に移動させることにより、ターゲット棒の表面に軸方向
に伸びる母材形成用微粒子の堆積体を形成するように構
成してなる光ファイバ用母材の製造装置であって、 前記気密反応容器に少なくとも 1以上のガス導入口を設
けるとともに、このガス導入口に前記反応容器内へ不活
性ガスを導入する不活性ガス導入装置を接続したことを
特徴とする光ファイバ用母材の製造装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の光ファイバ用母材の製造
装置において、 前記ガス導入口が複数設けられており、かつ、これらの
各ガス導入口からの不活性ガスの導入量がそれぞれ独立
に調節可能に構成されていることを特徴とする光ファイ
バ用母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5356596A JPH09241031A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 光ファイバ用母材の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5356596A JPH09241031A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 光ファイバ用母材の製造方法および製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09241031A true JPH09241031A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=12946354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5356596A Withdrawn JPH09241031A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 光ファイバ用母材の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09241031A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013067561A (ja) * | 2012-12-12 | 2013-04-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| CN114735926A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-12 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英的装置和方法 |
-
1996
- 1996-03-11 JP JP5356596A patent/JPH09241031A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013067561A (ja) * | 2012-12-12 | 2013-04-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| CN114735926A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-12 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英的装置和方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |