JPH0570168A - 光フアイバ母材の製造装置 - Google Patents
光フアイバ母材の製造装置Info
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- JPH0570168A JPH0570168A JP26268791A JP26268791A JPH0570168A JP H0570168 A JPH0570168 A JP H0570168A JP 26268791 A JP26268791 A JP 26268791A JP 26268791 A JP26268791 A JP 26268791A JP H0570168 A JPH0570168 A JP H0570168A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、堆積速度および付着効率に優れた
光ファイバ母材の製造装置を提供することを目的とす
る。 【構成】 本発明は、かゝる目的を達成するため、チャ
ンバ11内の回転するターゲット部材12の外周にトラ
バースする酸水素バーナ13によりガラス微粒子を吹き
つけて堆積させ、ガラス微粒子堆積体を得る光ファイバ
母材の製造装置において、チャンバ11内に浮遊するガ
ラス微粒子を排気する排気系統を少なくとも2系統と
し、その第1の排気系統の排気口16は、酸水素バーナ
13およびターゲット部材12の延長線L上の前方に設
けると共に、第2の排気系統の排気口17は、当該延長
線L上の前方下方で斜めに設けたものであって、上記排
気口17の排気流により、酸水素バーナ13の火炎13
aをスートに良好に巻き込ませて、堆積速度および付着
効率の向上を図ったものである。
光ファイバ母材の製造装置を提供することを目的とす
る。 【構成】 本発明は、かゝる目的を達成するため、チャ
ンバ11内の回転するターゲット部材12の外周にトラ
バースする酸水素バーナ13によりガラス微粒子を吹き
つけて堆積させ、ガラス微粒子堆積体を得る光ファイバ
母材の製造装置において、チャンバ11内に浮遊するガ
ラス微粒子を排気する排気系統を少なくとも2系統と
し、その第1の排気系統の排気口16は、酸水素バーナ
13およびターゲット部材12の延長線L上の前方に設
けると共に、第2の排気系統の排気口17は、当該延長
線L上の前方下方で斜めに設けたものであって、上記排
気口17の排気流により、酸水素バーナ13の火炎13
aをスートに良好に巻き込ませて、堆積速度および付着
効率の向上を図ったものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ターゲット部材の外周
にガラス微粒子を堆積させて、母材用のガラス微粒子堆
積体(以下、スートという)を得るにおいて、ガラス微
粒子の堆積効率のよい光ファイバ母材の製造装置に関す
るものである。
にガラス微粒子を堆積させて、母材用のガラス微粒子堆
積体(以下、スートという)を得るにおいて、ガラス微
粒子の堆積効率のよい光ファイバ母材の製造装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、光ファイバ母材を得るには、例え
ばCVD法などの外付け工程において、図3に示したよ
うにチャンバ1内にターゲット部材2を納め、このター
ゲット部材2を回転させながら、この外周に、当該ター
ゲット部材2の軸方向に複数回トラバース(往復動)す
る酸水素バーナ3によりガラス微粒子を吹きつけて堆積
させ、スートを得ている。そして、その際、チャンバ1
内に浮遊するガラス微粒子や不要燃焼排ガスなどは、当
該チャンバ1の酸水素バーナ3とは反対側で、当該酸水
素バーナ3およびターゲット部材2の延長線L上の部分
に設けた排気口4、またはこの延長線Lに対して直交す
る下方に設けた排気口5などから排気している。
ばCVD法などの外付け工程において、図3に示したよ
うにチャンバ1内にターゲット部材2を納め、このター
ゲット部材2を回転させながら、この外周に、当該ター
ゲット部材2の軸方向に複数回トラバース(往復動)す
る酸水素バーナ3によりガラス微粒子を吹きつけて堆積
させ、スートを得ている。そして、その際、チャンバ1
内に浮遊するガラス微粒子や不要燃焼排ガスなどは、当
該チャンバ1の酸水素バーナ3とは反対側で、当該酸水
素バーナ3およびターゲット部材2の延長線L上の部分
に設けた排気口4、またはこの延長線Lに対して直交す
る下方に設けた排気口5などから排気している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
に酸水素バーナ3からの火炎3aをターゲット部材2に
衝突させてガラス微粒子を堆積させる方法では、衝突し
た火炎3aが跳ね返り易く、火炎3aのスート表面への
接触面積が小さくなり、堆積速度および付着効率が上が
らないという問題があった。また、この火炎3aの跳ね
返りがあると、火炎3a自体が乱れ易く、スート表面温
度にバラツキが生じること、あるいはスート表面温度が
思い通りに上がらないなどといった問題もあった。
に酸水素バーナ3からの火炎3aをターゲット部材2に
衝突させてガラス微粒子を堆積させる方法では、衝突し
た火炎3aが跳ね返り易く、火炎3aのスート表面への
接触面積が小さくなり、堆積速度および付着効率が上が
らないという問題があった。また、この火炎3aの跳ね
返りがあると、火炎3a自体が乱れ易く、スート表面温
度にバラツキが生じること、あるいはスート表面温度が
思い通りに上がらないなどといった問題もあった。
【0004】さらに、上記酸水素バーナ3から吹き出さ
れる火炎3aには、それ自体に浮力があって、バーナ軸
を例えば地表を基準にして水平に設置した場合、上向き
に流れ易く、当該酸水素バーナ3に流れている燃料、助
燃ガスの流量調整を行った際には、それらのガス流量の
変化によって、スートへの火炎3aの当たり方が異なっ
てくる。例えば図4に示したように燃料、助燃ガスの流
量が多いときに、酸水素バーナ3の火炎3aが丁度スー
トの中央に当たるように設定してあっても、図5に示し
たように燃料、助燃ガスの流量を調整して少なくする
と、火炎3aが浮き上がって、スートの中央に当たらな
いようになるなどの現象が起こる。このため、酸水素バ
ーナ3から出る燃料、助燃ガスの流量をスート外径に応
じてバーナトラバース毎に変化させている光ファイバ母
材の製法においては、終始酸水素バーナ3とスートとの
関係を最適に保持して、効率のよい堆積を得ることは、
結構困難であった。
れる火炎3aには、それ自体に浮力があって、バーナ軸
を例えば地表を基準にして水平に設置した場合、上向き
に流れ易く、当該酸水素バーナ3に流れている燃料、助
燃ガスの流量調整を行った際には、それらのガス流量の
変化によって、スートへの火炎3aの当たり方が異なっ
てくる。例えば図4に示したように燃料、助燃ガスの流
量が多いときに、酸水素バーナ3の火炎3aが丁度スー
トの中央に当たるように設定してあっても、図5に示し
たように燃料、助燃ガスの流量を調整して少なくする
と、火炎3aが浮き上がって、スートの中央に当たらな
いようになるなどの現象が起こる。このため、酸水素バ
ーナ3から出る燃料、助燃ガスの流量をスート外径に応
じてバーナトラバース毎に変化させている光ファイバ母
材の製法においては、終始酸水素バーナ3とスートとの
関係を最適に保持して、効率のよい堆積を得ることは、
結構困難であった。
【0005】本発明は、このような従来の実情に鑑みて
なされたものである。
なされたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】かゝる本発明の特徴とす
る点は、チャンバ内の回転するターゲット部材の外周に
当該ターゲット部材の軸方向にトラバースする酸水素バ
ーナによりガラス微粒子を吹きつけて堆積させ、ガラス
微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造装置におい
て、前記チャンバ内に浮遊するガラス微粒子を排気する
排気系統を少なくとも2系統とし、その第1の排気系統
の排気口は、前記酸水素バーナおよびターゲット部材の
延長線上の前方に設けると共に、第2の排気系統の排気
口は、当該延長線上の前方下方で斜めに設けた光ファイ
バ母材の製造装置にある。
る点は、チャンバ内の回転するターゲット部材の外周に
当該ターゲット部材の軸方向にトラバースする酸水素バ
ーナによりガラス微粒子を吹きつけて堆積させ、ガラス
微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造装置におい
て、前記チャンバ内に浮遊するガラス微粒子を排気する
排気系統を少なくとも2系統とし、その第1の排気系統
の排気口は、前記酸水素バーナおよびターゲット部材の
延長線上の前方に設けると共に、第2の排気系統の排気
口は、当該延長線上の前方下方で斜めに設けた光ファイ
バ母材の製造装置にある。
【0007】
【作用】このように少なくとも2系統の排気系統があっ
て、特に、第2の排気系統の排気口は、自らの下向きの
排気流により、浮き上がろうとする酸水素バーナの火炎
を下向きに吸引して、スートへの巻き込みをよくする。
これにより、スートと火炎との接触面積が増大され、堆
積速度および付着効率の改善が図られる。
て、特に、第2の排気系統の排気口は、自らの下向きの
排気流により、浮き上がろうとする酸水素バーナの火炎
を下向きに吸引して、スートへの巻き込みをよくする。
これにより、スートと火炎との接触面積が増大され、堆
積速度および付着効率の改善が図られる。
【0008】
【実施例】図1は、本発明に係る光ファイバ母材の製造
装置の一実施例を示したものである。この装置におい
て、11はチャンバ、12はチャンバ11内に納めら
れ、回転させられるターゲット部材、13はターゲット
部材12の軸方向に複数回トラバース(往復動)させら
れて、当該ターゲット部材12の外周にガラス微粒子を
吹きつけて堆積させるための酸水素バーナである。
装置の一実施例を示したものである。この装置におい
て、11はチャンバ、12はチャンバ11内に納めら
れ、回転させられるターゲット部材、13はターゲット
部材12の軸方向に複数回トラバース(往復動)させら
れて、当該ターゲット部材12の外周にガラス微粒子を
吹きつけて堆積させるための酸水素バーナである。
【0009】上記チャンバ11には、その内部に浮遊す
るガラス微粒子を排気する排気系統が少なくとも2系統
あって、その第1の排気系統の排気口16は、酸水素バ
ーナ13およびターゲット部材12の延長線L上の前方
に設けてある。この排気口16がメイン排気口として機
能する。もう一方の第2の排気系統の排気口17は、上
記延長線L上の前方下方で、当該延長線Lに対して角度
θを有する斜めに設け、かつ、その内部の吸込部17a
はターゲット部材12に比較的近接して配置してある。
るガラス微粒子を排気する排気系統が少なくとも2系統
あって、その第1の排気系統の排気口16は、酸水素バ
ーナ13およびターゲット部材12の延長線L上の前方
に設けてある。この排気口16がメイン排気口として機
能する。もう一方の第2の排気系統の排気口17は、上
記延長線L上の前方下方で、当該延長線Lに対して角度
θを有する斜めに設け、かつ、その内部の吸込部17a
はターゲット部材12に比較的近接して配置してある。
【0010】したがって、この装置では、ガラス微粒子
の堆積工程において、酸水素バーナ13から吹き出され
た火炎13aは、スート(ガラス微粒子の堆積前はター
ゲット部材12自体)に衝突して、従来と同様、跳ね返
ったり、あるいは燃料、助燃ガスの流量によっては上向
きに浮き上がろうとするわけであるが、上述した第2の
排気系統の排気口17が、その吸込部17aをターゲッ
ト部材12に近接して位置させ、しかも、斜め下方に当
該排気口17自体による排気流を作るため、火炎13a
を下向きに吸引して引っ張っる。このため、火炎13a
は、図示の如く、良好にスート外周に巻き込まれる。つ
まり、スートに対する火炎13aの最適接触領域の拡大
が図られ、多少の火炎13aの変化にあまり影響される
ことなく、当該火炎13aとスートとの安定した接触が
得られる。結果として、火炎13aとスートとの接触面
積の増大が図られ、堆積速度および付着効率の大幅な改
善が得られる。
の堆積工程において、酸水素バーナ13から吹き出され
た火炎13aは、スート(ガラス微粒子の堆積前はター
ゲット部材12自体)に衝突して、従来と同様、跳ね返
ったり、あるいは燃料、助燃ガスの流量によっては上向
きに浮き上がろうとするわけであるが、上述した第2の
排気系統の排気口17が、その吸込部17aをターゲッ
ト部材12に近接して位置させ、しかも、斜め下方に当
該排気口17自体による排気流を作るため、火炎13a
を下向きに吸引して引っ張っる。このため、火炎13a
は、図示の如く、良好にスート外周に巻き込まれる。つ
まり、スートに対する火炎13aの最適接触領域の拡大
が図られ、多少の火炎13aの変化にあまり影響される
ことなく、当該火炎13aとスートとの安定した接触が
得られる。結果として、火炎13aとスートとの接触面
積の増大が図られ、堆積速度および付着効率の大幅な改
善が得られる。
【0011】もちろん、上述した第1の排気系統の排気
口16からは、従来と同様のメイン排気が行われる。
口16からは、従来と同様のメイン排気が行われる。
【0012】また、上記第2の排気系統の排気口17に
おいて、その斜設具合、すなわち延長線Lに対する角度
θの最適値を求めるべく、本発明者等が、種々の角度θ
に対する堆積速度のデータを試験的に求めたことろ、図
2に示した如きグラフが得られた。この結果からする
と、角度θが40°前後で最高の堆積速度が得られるこ
とが判る。したがって、本発明では、排気口17の斜設
具合としては、40°前後に設定するものとする。
おいて、その斜設具合、すなわち延長線Lに対する角度
θの最適値を求めるべく、本発明者等が、種々の角度θ
に対する堆積速度のデータを試験的に求めたことろ、図
2に示した如きグラフが得られた。この結果からする
と、角度θが40°前後で最高の堆積速度が得られるこ
とが判る。したがって、本発明では、排気口17の斜設
具合としては、40°前後に設定するものとする。
【0013】なお、上記実施例では排気系統を2系統と
した場合であったが、本発明は、これに限定されず、さ
らに多くすることも可能である。例えば、第2の排気系
統の排気口17を2系統に分割し、この2系統の排気口
17,17の吸込部17a,17aを例えばスリット状
などに絞り込み、その一方には主としてスートの前方側
の吸い込みを分担させ、他方にはスートの下方側の吸い
込みを分担させるなどして、さらに、その吸込効果を向
上させ、より優れた火炎のスートへの巻き込み効果を達
成することも可能である。
した場合であったが、本発明は、これに限定されず、さ
らに多くすることも可能である。例えば、第2の排気系
統の排気口17を2系統に分割し、この2系統の排気口
17,17の吸込部17a,17aを例えばスリット状
などに絞り込み、その一方には主としてスートの前方側
の吸い込みを分担させ、他方にはスートの下方側の吸い
込みを分担させるなどして、さらに、その吸込効果を向
上させ、より優れた火炎のスートへの巻き込み効果を達
成することも可能である。
【0014】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る光ファイバ母材の製造装置によれば、少なくとも
2系統の排気系統があって、特に、第2の排気系統の排
気口は、自らの下向きの排気流により、浮き上がろうと
する酸水素バーナの火炎を下向きに吸引して、スートへ
の巻き込みをよくするため、スートに対する火炎の最適
接触領域の拡大が図られ、多少の火炎の変化にあまり影
響されることなく、火炎とスートとの安定した接触が得
られる。結果として、火炎とスートとの接触面積の増大
が図られ、堆積速度および付着効率の大幅な改善が得ら
れる。
に係る光ファイバ母材の製造装置によれば、少なくとも
2系統の排気系統があって、特に、第2の排気系統の排
気口は、自らの下向きの排気流により、浮き上がろうと
する酸水素バーナの火炎を下向きに吸引して、スートへ
の巻き込みをよくするため、スートに対する火炎の最適
接触領域の拡大が図られ、多少の火炎の変化にあまり影
響されることなく、火炎とスートとの安定した接触が得
られる。結果として、火炎とスートとの接触面積の増大
が図られ、堆積速度および付着効率の大幅な改善が得ら
れる。
【0015】この堆積速度および付着効率の大幅な改善
により、使用原料の無駄が低減され、かつ、不要排気ガ
スの量を減少するため、このような無駄の除去によるコ
ストダウンが可能となる。また、この無駄の除去により
後処理が容易となり、処理設備の軽減などによるコスト
ダウンも可能となる。
により、使用原料の無駄が低減され、かつ、不要排気ガ
スの量を減少するため、このような無駄の除去によるコ
ストダウンが可能となる。また、この無駄の除去により
後処理が容易となり、処理設備の軽減などによるコスト
ダウンも可能となる。
【0016】また、従来装置においては、堆積工程の進
行に従ってその外径が成長するスートに対して、酸水素
バーナの火炎状態を終始最適の関係に保持するには、跳
ね返りや浮き上がり易い火炎や、スート外径成長に伴う
燃料、助燃ガスの流量調整などを考慮して、複雑かつ微
妙な制御が必要とされたわけであるが、本発明の装置の
場合、上述したようにスートに対する火炎の良好な巻き
込み効果により、火炎の最適接触領域が拡大されるた
め、これらの制御が容易で、シテスム設計が楽るなるな
どの利点も得られる。
行に従ってその外径が成長するスートに対して、酸水素
バーナの火炎状態を終始最適の関係に保持するには、跳
ね返りや浮き上がり易い火炎や、スート外径成長に伴う
燃料、助燃ガスの流量調整などを考慮して、複雑かつ微
妙な制御が必要とされたわけであるが、本発明の装置の
場合、上述したようにスートに対する火炎の良好な巻き
込み効果により、火炎の最適接触領域が拡大されるた
め、これらの制御が容易で、シテスム設計が楽るなるな
どの利点も得られる。
【図1】本発明に係る光ファイバ母材の製造装置の一実
施例を示した概略説明図である。
施例を示した概略説明図である。
【図2】本発明装置の第2の排気系統の排気口の斜設角
度θと堆積速度との関係を示したグラフである。
度θと堆積速度との関係を示したグラフである。
【図3】従来の光ファイバ母材の製造装置を示した概略
説明図である。
説明図である。
【図4】従来装置での酸水素バーナとスートとの衝突状
態を示した説明図である。
態を示した説明図である。
【図5】同じく従来装置での酸水素バーナとスートとの
衝突状態を示した説明図である。
衝突状態を示した説明図である。
11 チャンバ 12 ターゲット部材 13 酸水素バーナ 16 第1の排気系統の排気口 17 第2の排気系統の排気口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 亮二 千葉県佐倉市六崎1440番地 藤倉電線株式 会社佐倉工場内
Claims (1)
- 【請求項1】 チャンバ内の回転するターゲット部材の
外周に当該ターゲット部材の軸方向にトラバースする酸
水素バーナによりガラス微粒子を吹きつけて堆積させ、
ガラス微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造装置に
おいて、前記チャンバ内に浮遊するガラス微粒子を排気
する排気系統を少なくとも2系統とし、その第1の排気
系統の排気口は、前記酸水素バーナおよびターゲット部
材の延長線上の前方に設けると共に、第2の排気系統の
排気口は、当該延長線上の前方下方で斜めに設けたこと
を特徴とする光ファイバ母材の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26268791A JPH0570168A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26268791A JPH0570168A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0570168A true JPH0570168A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17379202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26268791A Pending JPH0570168A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0570168A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5879428A (en) * | 1995-11-07 | 1999-03-09 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
US6672112B2 (en) * | 1999-07-02 | 2004-01-06 | Shin-Etsu Chemical Co. | OVD apparatus including air-regulating structure |
-
1991
- 1991-09-13 JP JP26268791A patent/JPH0570168A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5879428A (en) * | 1995-11-07 | 1999-03-09 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
US6672112B2 (en) * | 1999-07-02 | 2004-01-06 | Shin-Etsu Chemical Co. | OVD apparatus including air-regulating structure |
US7055345B2 (en) | 1999-07-02 | 2006-06-06 | Yuuji Tobisaka | Glass base material manufacturing apparatus and glass base material manufacturing method |
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