JP3290559B2 - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法Info
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材の製造方法、特には出発コア部材にガラス微粒子
を外付け法により、効率よく、高速度で堆積させる光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関するものであ
る。
ス母材の製造方法、特には出発コア部材にガラス微粒子
を外付け法により、効率よく、高速度で堆積させる光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用多孔質ガラス母材は従来か
ら図８に示したように、石英ガラス棒などの出発コア部
材２１の外周に、複数の酸水素火炎バーナー２２、２
３、２４をこのコア部材の長手方向に平行に一列に配置
し、このバーナーに四塩化けい素などの原料ガスを供給
し、その火炎加水分解で発生したガラス微粒子をこの出
発コア部材２１の上に堆積させ、図９に示したように多
孔質ガラス母材２６を製造するのであるが、この場合、
バーナーに供給される原料ガス量は初期においては出発
コア部材２１の径が小さいので少量とされ、これはここ
に堆積される多孔質ガラス母材２６の径の増大に伴なっ
て増加されるので、このバーナーの火炎の範囲２５も図
８から図９に示したように次第に大きくなるが、これら
のバーナー２２、２３、２４は図１０に示したように多
孔質ガラス母材２６の径の増大にしたがって適宜の位置
まで移動後退させるという方法で行なわれている。
ら図８に示したように、石英ガラス棒などの出発コア部
材２１の外周に、複数の酸水素火炎バーナー２２、２
３、２４をこのコア部材の長手方向に平行に一列に配置
し、このバーナーに四塩化けい素などの原料ガスを供給
し、その火炎加水分解で発生したガラス微粒子をこの出
発コア部材２１の上に堆積させ、図９に示したように多
孔質ガラス母材２６を製造するのであるが、この場合、
バーナーに供給される原料ガス量は初期においては出発
コア部材２１の径が小さいので少量とされ、これはここ
に堆積される多孔質ガラス母材２６の径の増大に伴なっ
て増加されるので、このバーナーの火炎の範囲２５も図
８から図９に示したように次第に大きくなるが、これら
のバーナー２２、２３、２４は図１０に示したように多
孔質ガラス母材２６の径の増大にしたがって適宜の位置
まで移動後退させるという方法で行なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この場合にお
いて多孔質ガラス母材の生産量を増加させるために、こ
の酸水素火炎バーナーの数を増加してバーナーを多数本
化すると、最大ガス量になったときに火炎の干渉によっ
て効率が低下するので、これについてはシリカ微粉末を
効率よく発生するようにバーナーの間隔を適当な範囲に
設定する必要があり、このときにはバーナーを往復運動
させるときに発生する多孔質ガラス母材両端の不良部が
増大するおそれがある。
いて多孔質ガラス母材の生産量を増加させるために、こ
の酸水素火炎バーナーの数を増加してバーナーを多数本
化すると、最大ガス量になったときに火炎の干渉によっ
て効率が低下するので、これについてはシリカ微粉末を
効率よく発生するようにバーナーの間隔を適当な範囲に
設定する必要があり、このときにはバーナーを往復運動
させるときに発生する多孔質ガラス母材両端の不良部が
増大するおそれがある。
【０００４】また、これについてはこれらの酸水素火炎
バーナーの径を大きくした大口径バーナーを用いるとい
うことも考えられているが、このものはこのバーナーに
供給される酸素、水素などの原料ガスが多量に必要とさ
れるし、このバーナーでは堆積初期の効率が極めて悪
く、ガス流量が少ないと火炎線速が小さくなって火炎が
乱れ、ガラス微粒子の付着効率が悪くなるという欠点が
あり、このバーナーについてはバーナーを特殊な構造を
もつものとするということも提案されている（特開平4-
193729号公報参照）が、このものは構造が複雑で同一性
能のものが作り難く、それぞれの噴射ノズルのガス量調
整が難しいという問題点がある。
バーナーの径を大きくした大口径バーナーを用いるとい
うことも考えられているが、このものはこのバーナーに
供給される酸素、水素などの原料ガスが多量に必要とさ
れるし、このバーナーでは堆積初期の効率が極めて悪
く、ガス流量が少ないと火炎線速が小さくなって火炎が
乱れ、ガラス微粒子の付着効率が悪くなるという欠点が
あり、このバーナーについてはバーナーを特殊な構造を
もつものとするということも提案されている（特開平4-
193729号公報参照）が、このものは構造が複雑で同一性
能のものが作り難く、それぞれの噴射ノズルのガス量調
整が難しいという問題点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決した光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造方法に関するもので、これはガラス棒からなる出発
コア部材の外周に、酸水素火炎バーナーに原料を導入
し、その火炎加水分解によりガラス微粒子を発生させ堆
積させる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法にお
いて、出発コア部材の長手方向に往復運動する機構を取
り付けた一列に配列した複数のバーナーを、被堆積体の
径の増大に伴なって、二列以上に分割し、被堆積体の周
面に沿って再配列させてなることを特徴とするものであ
る。
利、問題点を解決した光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造方法に関するもので、これはガラス棒からなる出発
コア部材の外周に、酸水素火炎バーナーに原料を導入
し、その火炎加水分解によりガラス微粒子を発生させ堆
積させる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法にお
いて、出発コア部材の長手方向に往復運動する機構を取
り付けた一列に配列した複数のバーナーを、被堆積体の
径の増大に伴なって、二列以上に分割し、被堆積体の周
面に沿って再配列させてなることを特徴とするものであ
る。
【０００６】すなわち、本発明者らは従来法による光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材製造法の不利、欠点を解決す
る方法について種々検討した結果、この酸水素火炎バー
ナーにより発生したガラス微粒子を堆積させるとき、こ
の堆積初期では出発コア部材の径も小さく、原料ガス量
も少ないので、一列に配列した複数のガスバーナー相互
の火炎の干渉は起りにくく、したがってバーナー間隔が
小さくても問題が生ずることがない。しかし、ガラス微
粒子の堆積で多孔質ガラス母材の径が増大し、原料ガス
が増加すると複数のバーナーの火炎の干渉によってガラ
ス微粒子の堆積効率が悪くなり、多孔質ガラス母材両端
不良部が増大するという不利が生ずるが、この多孔質ガ
ラス母材の径が増大したときに、この径の増大にしたが
ってバーナーを二列以上に分割し、その位置を被堆積体
の周面に沿って再配列させると、原料ガスが増加しても
バーナー間の火炎の干渉が起りにくくなるので、ガラス
微粒子の堆積効率が悪くなることがなくなるということ
を見出し、この場合にはここに使用するバーナーも従来
使用されているものと同様のものが使用できるので原料
ガスのコントロールが容易であり、さらに多孔質ガラス
母材両端部の不良部が増加することもなくなるというこ
とを確認して本発明を完成させた。以下にこれをさらに
詳述する。
ァイバ用多孔質ガラス母材製造法の不利、欠点を解決す
る方法について種々検討した結果、この酸水素火炎バー
ナーにより発生したガラス微粒子を堆積させるとき、こ
の堆積初期では出発コア部材の径も小さく、原料ガス量
も少ないので、一列に配列した複数のガスバーナー相互
の火炎の干渉は起りにくく、したがってバーナー間隔が
小さくても問題が生ずることがない。しかし、ガラス微
粒子の堆積で多孔質ガラス母材の径が増大し、原料ガス
が増加すると複数のバーナーの火炎の干渉によってガラ
ス微粒子の堆積効率が悪くなり、多孔質ガラス母材両端
不良部が増大するという不利が生ずるが、この多孔質ガ
ラス母材の径が増大したときに、この径の増大にしたが
ってバーナーを二列以上に分割し、その位置を被堆積体
の周面に沿って再配列させると、原料ガスが増加しても
バーナー間の火炎の干渉が起りにくくなるので、ガラス
微粒子の堆積効率が悪くなることがなくなるということ
を見出し、この場合にはここに使用するバーナーも従来
使用されているものと同様のものが使用できるので原料
ガスのコントロールが容易であり、さらに多孔質ガラス
母材両端部の不良部が増加することもなくなるというこ
とを確認して本発明を完成させた。以下にこれをさらに
詳述する。
【０００７】
【作用】本発明は光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造
方法に関するものであり、これは前記したようにガラス
棒からなる出発コア部材に原料ガスを導入した酸水素火
炎バーナーから発生したガラス微粒子を堆積させ、この
ガラス微粒子の堆積で製造された多孔質ガラス母材の径
が増大したときに、一列に配列していた複数のバーナー
を二列以上に分割し、被堆積体の周面に沿って再配列さ
せることを特徴とするものである。
方法に関するものであり、これは前記したようにガラス
棒からなる出発コア部材に原料ガスを導入した酸水素火
炎バーナーから発生したガラス微粒子を堆積させ、この
ガラス微粒子の堆積で製造された多孔質ガラス母材の径
が増大したときに、一列に配列していた複数のバーナー
を二列以上に分割し、被堆積体の周面に沿って再配列さ
せることを特徴とするものである。
【０００８】これは例えばガラス微粒子を出発コア部材
に堆積させる堆積初期の酸水素火炎バーナーの配列状態
は図１に示したようにされる。酸水素火炎バーナー２、
３、４、５、６は出発コア部材１の長手方向に平行に一
列に配列されており、このバーナー２、３、４、５、６
からは図２に示したように火炎が出発コア部材１に向け
られており、ここに発生したガラス微粒子が出発コア部
材１に堆積されるようにされているが、このときはバー
ナー２、３、４、５、６に供給されるガス量が少なく、
出発コア部材１の径が小さいので、出発コア部材１に対
するガラス微粒子の付着効率もよく、火炎の広がり８も
小さく、したがってバーナー２、３、４、５、６間の炎
の干渉も少ない。
に堆積させる堆積初期の酸水素火炎バーナーの配列状態
は図１に示したようにされる。酸水素火炎バーナー２、
３、４、５、６は出発コア部材１の長手方向に平行に一
列に配列されており、このバーナー２、３、４、５、６
からは図２に示したように火炎が出発コア部材１に向け
られており、ここに発生したガラス微粒子が出発コア部
材１に堆積されるようにされているが、このときはバー
ナー２、３、４、５、６に供給されるガス量が少なく、
出発コア部材１の径が小さいので、出発コア部材１に対
するガラス微粒子の付着効率もよく、火炎の広がり８も
小さく、したがってバーナー２、３、４、５、６間の炎
の干渉も少ない。
【０００９】ガラス微粒子の堆積が進むにつれてこの堆
積により得られる多孔質ガラス母材11の径が増加してく
ると、一列に配列したバーナー２、３、４、５、６は例
えば図３、４に示したようにバーナー２、４、６とバー
ナー３、５との二列に分割して配列され、出発コア部材
１に堆積された被堆積体の周面に沿って再配列されて、
これによりバーナー間の火炎が干渉するおそれがなくな
り、ガラス微粒子の堆積効率が低下するおそれがなくな
る。
積により得られる多孔質ガラス母材11の径が増加してく
ると、一列に配列したバーナー２、３、４、５、６は例
えば図３、４に示したようにバーナー２、４、６とバー
ナー３、５との二列に分割して配列され、出発コア部材
１に堆積された被堆積体の周面に沿って再配列されて、
これによりバーナー間の火炎が干渉するおそれがなくな
り、ガラス微粒子の堆積効率が低下するおそれがなくな
る。
【００１０】本発明でのこのバーナー２、４、６および
バーナー３、５の多孔質ガラス母材の被堆積体の周面に
沿っての再配列方法は、例えば図５に示した方法で行え
ばよい。すなわち、これは図５に示したように、バーナ
ー２、４、６およびバーナー３、５及び排気フード１３
を備けた装置において、この装置内で図１、２のように
１列に配置されたバーナー２、４、６およびバーナー
３、５で発生したガラス微粒子の堆積により製造された
多孔質ガラス母材１１の重量をロードセル１５で測定
し、演算装置（ＣＰＵ）１６によりこの多孔質ガラス母
材１１の径を算出し、この径が所定の値に達した時点で
バーナー駆動部１４により多孔質ガラス母材１１の径に
最適なバーナー間隔まで例えば図３、４に示す配置にバ
ーナー２、４、６およびバーナー３、５を多孔質ガラス
母材１１の被堆積体の周面に沿って再配列させ、このと
きの原料ガス量は演算装置１６により算出された最適量
にコントロールするようにすればよい。
バーナー３、５の多孔質ガラス母材の被堆積体の周面に
沿っての再配列方法は、例えば図５に示した方法で行え
ばよい。すなわち、これは図５に示したように、バーナ
ー２、４、６およびバーナー３、５及び排気フード１３
を備けた装置において、この装置内で図１、２のように
１列に配置されたバーナー２、４、６およびバーナー
３、５で発生したガラス微粒子の堆積により製造された
多孔質ガラス母材１１の重量をロードセル１５で測定
し、演算装置（ＣＰＵ）１６によりこの多孔質ガラス母
材１１の径を算出し、この径が所定の値に達した時点で
バーナー駆動部１４により多孔質ガラス母材１１の径に
最適なバーナー間隔まで例えば図３、４に示す配置にバ
ーナー２、４、６およびバーナー３、５を多孔質ガラス
母材１１の被堆積体の周面に沿って再配列させ、このと
きの原料ガス量は演算装置１６により算出された最適量
にコントロールするようにすればよい。
【００１１】これによれば、ガス供給装置19から火炎の
干渉が小さく、かつガラス微粒子の付着効率の高い最適
なガス量が供給され、これらの操作はガラス微粒子の堆
積が終了するまで自動的に継続されるので、目的とする
光ファイバ用多孔質ガラス母材を容易に、かつ堆積効率
よく取得することができ、多孔質ガラス母材の有効成分
率も向上するという有利性が与えられる。
干渉が小さく、かつガラス微粒子の付着効率の高い最適
なガス量が供給され、これらの操作はガラス微粒子の堆
積が終了するまで自動的に継続されるので、目的とする
光ファイバ用多孔質ガラス母材を容易に、かつ堆積効率
よく取得することができ、多孔質ガラス母材の有効成分
率も向上するという有利性が与えられる。
【００１２】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例 図５、６に示したように、密閉型反応炉20の中に、外径
23mmφ、長さ 1,050mmの出発コア部材１としての石英ガ
ラス棒を回転させる駆動部18と、駆動部17により往復運
動する酸水素火炎バーナー２、３、４、５、６を設け、
上部に酸水素火炎バーナーから発生する排気ガスを排気
する排気フード13を設けた光ファイバ用多孔質ガラス母
材製造装置を用いて光ファイバ用多孔質ガラス母材を製
造した。
23mmφ、長さ 1,050mmの出発コア部材１としての石英ガ
ラス棒を回転させる駆動部18と、駆動部17により往復運
動する酸水素火炎バーナー２、３、４、５、６を設け、
上部に酸水素火炎バーナーから発生する排気ガスを排気
する排気フード13を設けた光ファイバ用多孔質ガラス母
材製造装置を用いて光ファイバ用多孔質ガラス母材を製
造した。
【００１３】この場合、バーナー２、４、６と３、５は
それぞれ同時に出発コア部材に堆積される被堆積体の周
面に沿って再配列させ得るように固定されており、各バ
ーナーは５重管構造の外径が４５ｍｍφのものとした
が、堆積初期には、これらは出発コア部材１と同軸方向
に図１、２に示したように１列に配してあり、バーナー
２、４、６とバーナー３、５のバーナー中心軸間隔は１
５０ｍｍとした。この出発コア部材１は駆動部１８によ
り４０ｒｐｍで回転させると共に、この酸水素火炎バー
ナー２、４、６およびバーナー３、５は図５に示した原
料供給装置から酸素ガス５０リットル／分、水素ガス１
００リットル／分、キャリーガスとしての酸素ガス６リ
ットル／分および四塩化けい素２５ｇ／分を導入した
が、このバーナーは駆動部１７により１５０ｍｍ／分の
速度で１，６００ｍｍの範囲で往復運動させ、このバー
ナーで発生したガラス微粒子は出発コア部材１の上に堆
積させた。
それぞれ同時に出発コア部材に堆積される被堆積体の周
面に沿って再配列させ得るように固定されており、各バ
ーナーは５重管構造の外径が４５ｍｍφのものとした
が、堆積初期には、これらは出発コア部材１と同軸方向
に図１、２に示したように１列に配してあり、バーナー
２、４、６とバーナー３、５のバーナー中心軸間隔は１
５０ｍｍとした。この出発コア部材１は駆動部１８によ
り４０ｒｐｍで回転させると共に、この酸水素火炎バー
ナー２、４、６およびバーナー３、５は図５に示した原
料供給装置から酸素ガス５０リットル／分、水素ガス１
００リットル／分、キャリーガスとしての酸素ガス６リ
ットル／分および四塩化けい素２５ｇ／分を導入した
が、このバーナーは駆動部１７により１５０ｍｍ／分の
速度で１，６００ｍｍの範囲で往復運動させ、このバー
ナーで発生したガラス微粒子は出発コア部材１の上に堆
積させた。
【００１４】この出発コア部材１へのガラス微粒子の堆
積により、この出発コア部材の上には多孔質ガラス母材
１１が作られ、この多孔質ガラス部材の径が増大された
ときには図５に示した重量検出機１５によりその重量を
計測し、演算装置１６により外径を算出し、これに基づ
いてバーナー駆動部１４により酸水素火炎バーナー２、
４、６とバーナー３、５をそれぞれ多孔質ガラス母材１
１の被堆積体の周面に沿って再配列させ、このガス量も
火炎が干渉しないようにコントロールしながら増量し
て、多孔質ガラス母材の生産を続行した。
積により、この出発コア部材の上には多孔質ガラス母材
１１が作られ、この多孔質ガラス部材の径が増大された
ときには図５に示した重量検出機１５によりその重量を
計測し、演算装置１６により外径を算出し、これに基づ
いてバーナー駆動部１４により酸水素火炎バーナー２、
４、６とバーナー３、５をそれぞれ多孔質ガラス母材１
１の被堆積体の周面に沿って再配列させ、このガス量も
火炎が干渉しないようにコントロールしながら増量し
て、多孔質ガラス母材の生産を続行した。
【００１５】なお、この堆積終了直前における原料供給
装置１９からの原料ガス供給量は酸素ガス１２５リット
ル／分、水素ガス２５０リットル／分、キャリヤーガス
としての酸素ガス１２リットル／分、四塩化けい素６０
ｇ／分とされており、酸水素火炎バーナー２、４、６と
バーナー３、５の多孔質ガラス母材１１の被堆積体の周
面に沿う再配列のための原点からの移動はそれぞれ上下
に４０ｍｍとされ、バーナー中心軸の上下間隔は８０ｃ
ｍとなっていた。この反応を３６時間継続したのちには
外径が２００ｍｍφの多孔質ガラス母材が得られ、この
ものの有効成分は７９％で、堆積時間と堆積重量につい
ては図７に示したとおりの結果が得られた。
装置１９からの原料ガス供給量は酸素ガス１２５リット
ル／分、水素ガス２５０リットル／分、キャリヤーガス
としての酸素ガス１２リットル／分、四塩化けい素６０
ｇ／分とされており、酸水素火炎バーナー２、４、６と
バーナー３、５の多孔質ガラス母材１１の被堆積体の周
面に沿う再配列のための原点からの移動はそれぞれ上下
に４０ｍｍとされ、バーナー中心軸の上下間隔は８０ｃ
ｍとなっていた。この反応を３６時間継続したのちには
外径が２００ｍｍφの多孔質ガラス母材が得られ、この
ものの有効成分は７９％で、堆積時間と堆積重量につい
ては図７に示したとおりの結果が得られた。
【００１６】比較例１ 実施例と同一の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置
を用いたが、この場合には酸水素火炎バーナーの配置を
図８に示したようにバーナー22、23、24をバーナー中心
軸間隔 150mmで出発コア部材21の長手方向に平行に一列
に配置し、これらのバーナーに酸素ガス60リットル／
分、水素ガス 120リットル／分、キャリヤーガスとして
の酸素ガス８リットル／分および四塩化けい素 30g／分
を導入し、これらのガスの火炎加水分解で発生したガラ
ス微粒子を出発コア部材21上に堆積させた。
を用いたが、この場合には酸水素火炎バーナーの配置を
図８に示したようにバーナー22、23、24をバーナー中心
軸間隔 150mmで出発コア部材21の長手方向に平行に一列
に配置し、これらのバーナーに酸素ガス60リットル／
分、水素ガス 120リットル／分、キャリヤーガスとして
の酸素ガス８リットル／分および四塩化けい素 30g／分
を導入し、これらのガスの火炎加水分解で発生したガラ
ス微粒子を出発コア部材21上に堆積させた。
【００１７】堆積終了直前のバーナー22、23、24の位置
と多孔質ガラス母材26の表面に当る火炎の範囲25は図９
に示したとおりであったが、この場合、ガラス微粒子の
堆積速度を上げるために原料ガス量を増加させたとこ
ろ、火炎の干渉が起こり、また火炎に乱れが発して堆積
速度が低下する結果となっているので、火炎の干渉が発
生しないようにガス量をコントロールしたところ、52時
間後に外径 200mmφの多孔質ガラス母材が得られたけれ
ども、このものの堆積時間と堆積重量については図７に
示したとおりの結果となった。
と多孔質ガラス母材26の表面に当る火炎の範囲25は図９
に示したとおりであったが、この場合、ガラス微粒子の
堆積速度を上げるために原料ガス量を増加させたとこ
ろ、火炎の干渉が起こり、また火炎に乱れが発して堆積
速度が低下する結果となっているので、火炎の干渉が発
生しないようにガス量をコントロールしたところ、52時
間後に外径 200mmφの多孔質ガラス母材が得られたけれ
ども、このものの堆積時間と堆積重量については図７に
示したとおりの結果となった。
【００１８】比較例２ 実施例と同一の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置
を使用し、ここに使用する酸水素火炎バーナーは出発コ
ア部材21の長手方向に平行に一列に配置し、バーナー中
心軸間隔は比較例１と同様の 150mmとしたが、この数を
５本とし、比較例１と同一の条件でガラス微粒子の堆積
を行ない、原料ガス量も火炎の干渉が発生しないように
コントロールしたところ、堆積速度は若干向上し、47時
間後には外径 200mmの多孔質ガラス母材が得られ、この
ものの堆積時間と堆積重量については図７に示した結果
が得られたが、この場合には図５に示した多孔質ガラス
母材両端部の不良堆積部12が増加してしまい、得られた
多孔質ガラス母材の有効成分が68％に低下した。
を使用し、ここに使用する酸水素火炎バーナーは出発コ
ア部材21の長手方向に平行に一列に配置し、バーナー中
心軸間隔は比較例１と同様の 150mmとしたが、この数を
５本とし、比較例１と同一の条件でガラス微粒子の堆積
を行ない、原料ガス量も火炎の干渉が発生しないように
コントロールしたところ、堆積速度は若干向上し、47時
間後には外径 200mmの多孔質ガラス母材が得られ、この
ものの堆積時間と堆積重量については図７に示した結果
が得られたが、この場合には図５に示した多孔質ガラス
母材両端部の不良堆積部12が増加してしまい、得られた
多孔質ガラス母材の有効成分が68％に低下した。
【００１９】
【発明の効果】本発明は光ファイバ用多孔質ガラス母材
の製造方法に関するものであるが、これによればガラス
微粒子の堆積によって多孔質ガラス母材の径が増大し、
原料ガス量が増大しても火炎の干渉が起りにくいので、
ガラス微粒子の堆積効率が悪くなることがなくなるし、
この場合にはここに使用するバーナーも従来使用されて
いるものと同様のものが使用できるので原料ガスのコン
トロールが容易であり、さらに多孔質ガラス母材両端部
の不良堆積部が減少し、光ファイバ用多孔質ガラス母材
を容易に、かつ効率よく製造することができるという有
利性が与えられる。
の製造方法に関するものであるが、これによればガラス
微粒子の堆積によって多孔質ガラス母材の径が増大し、
原料ガス量が増大しても火炎の干渉が起りにくいので、
ガラス微粒子の堆積効率が悪くなることがなくなるし、
この場合にはここに使用するバーナーも従来使用されて
いるものと同様のものが使用できるので原料ガスのコン
トロールが容易であり、さらに多孔質ガラス母材両端部
の不良堆積部が減少し、光ファイバ用多孔質ガラス母材
を容易に、かつ効率よく製造することができるという有
利性が与えられる。
【図１】本発明で使用される光ファイバ用多孔質ガラス
母材製造装置における、ガラス微粒子堆積初期の酸水素
火炎バーナーの配列状態の縦断面図を示したものであ
る。
母材製造装置における、ガラス微粒子堆積初期の酸水素
火炎バーナーの配列状態の縦断面図を示したものであ
る。
【図２】図１で示される酸水素火炎バーナー配列状態の
Ａ方向よりの側面図を示したものである。
Ａ方向よりの側面図を示したものである。
【図３】本発明で使用される光ファイバ用多孔質ガラス
母材製造装置における、ガラス微粒子堆積途中の酸水素
火炎バーナーの配列状態の縦断面図を示したものであ
る。
母材製造装置における、ガラス微粒子堆積途中の酸水素
火炎バーナーの配列状態の縦断面図を示したものであ
る。
【図４】図３で示される酸水素火炎バーナー配列状態の
Ｂ方向よりの側面図を示したものである。
Ｂ方向よりの側面図を示したものである。
【図５】本発明で使用される光ファイバ用多孔質ガラス
母材製造装置の側断面図を示したものである。
母材製造装置の側断面図を示したものである。
【図６】図５で示される光ファイバ用多孔質ガラス母材
製造装置における機材の配置図を示したものである。
製造装置における機材の配置図を示したものである。
【図７】本発明の実施例、比較例１、２により得られた
光ファイバ用多孔質ガラス母材の堆積時間と堆積重量と
の関係図を示したものである。
光ファイバ用多孔質ガラス母材の堆積時間と堆積重量と
の関係図を示したものである。
【図８】従来法による光ファイバ用多孔質ガラス母材製
造装置における、ガラス微粒子堆積初期の酸水素火炎バ
ーナーの配列状態の縦断面図を示したものである。
造装置における、ガラス微粒子堆積初期の酸水素火炎バ
ーナーの配列状態の縦断面図を示したものである。
【図９】従来法による光ファイバ用多孔質ガラス母材製
造装置における、ガラス微粒子堆積途中の酸水素火炎バ
ーナーの配列状態の縦断面図を示したものである。
造装置における、ガラス微粒子堆積途中の酸水素火炎バ
ーナーの配列状態の縦断面図を示したものである。
【図１０】図９で示される酸水素火炎バーナー配列状態
のＣ方向よりの側面図を示したものである。
のＣ方向よりの側面図を示したものである。
１，21…出発コア部材 ２，３，４，５，６，22，23，24…酸水素火炎バーナー ８，９，25…火炎の範囲 11，26…多孔質ガラス母材 12…ガラス微粒子不良堆積部 13…排気フード 14…バーナー駆動部 15…重量検出機 16…演算装置（ＣＰＵ） 17…バーナー台往復駆動部 18…出発コア部材回転駆動部 19…原料供給装置 20…密閉型反応炉
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 平４−160028（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−93642（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−186429（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−58652（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 37/018 C03B 8/04
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス棒からなる出発コア部材の外周
に、酸水素火炎バーナーに原料ガスを導入し、その火炎
加水分解によりガラス微粒子を発生させ堆積させる光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材の製造方法において、出発コ
ア部材の長手方向に往復運動する機構を取り付けた一列
に配列した複数のバーナーを、被堆積体の径の増大に伴
なって、二列以上に分割し、被堆積体の周面に沿って再
配列させてなることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12768395A JP3290559B2 (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12768395A JP3290559B2 (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08325029A JPH08325029A (ja) | 1996-12-10 |
| JP3290559B2 true JP3290559B2 (ja) | 2002-06-10 |
Family
ID=14966132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12768395A Expired - Fee Related JP3290559B2 (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3290559B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100314493B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2001-12-28 | 김진찬 | 광섬유 모재 가열장치 |
| DE10043031C2 (de) * | 2000-09-01 | 2002-10-31 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung eines Grünkörpers |
| JP2002338258A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-11-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置 |
| KR100507622B1 (ko) * | 2002-10-17 | 2005-08-10 | 엘에스전선 주식회사 | 외부기상증착법을 이용한 광섬유 프리폼의 제조방법 및 장치 |
-
1995
- 1995-05-26 JP JP12768395A patent/JP3290559B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08325029A (ja) | 1996-12-10 |
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