JPH01242431A - ガラス微粒子堆積装置 - Google Patents
ガラス微粒子堆積装置Info
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- JPH01242431A JPH01242431A JP6767988A JP6767988A JPH01242431A JP H01242431 A JPH01242431 A JP H01242431A JP 6767988 A JP6767988 A JP 6767988A JP 6767988 A JP6767988 A JP 6767988A JP H01242431 A JPH01242431 A JP H01242431A
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- Japan
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- chamber
- glass particles
- fine glass
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title abstract description 21
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 6
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、バーナにより生成されたガラス微粒子を堆
積させて光フアイバ母材などを作製するための、ガラス
微粒子堆積装置に関する。
積させて光フアイバ母材などを作製するための、ガラス
微粒子堆積装置に関する。
光フアイバ母材を作製するためのＶＡＤ法や外付は法な
どでは、バーナの酸水素火炎中に５ｉＣＱ４などのガラ
ス原料ガスを導入し、火炎加水分解反応によりガラス（
５ｉＯｚ ）微粒子を生成し、これをターゲットである
種棒やコアとなる中心部材に堆積するようにしている。 従来のＶＡＤ法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第３図に示すように、複数のバー
ナ３によりガラス微粒子を生成してこれをターゲツト棒
１の下端に付着させる。ターゲツト棒１を回転させなが
ら引き上げていくとカラス微粒子堆積体２が円柱状に形
成される。このとき、付着しなかったガラス微粒子や未
反応のガスを拡散させずに排気口５より排気するため、
あるいは塵埃等が付着しないようにするため、この堆積
部周囲がチャンバ４によって覆われる。
どでは、バーナの酸水素火炎中に５ｉＣＱ４などのガラ
ス原料ガスを導入し、火炎加水分解反応によりガラス（
５ｉＯｚ ）微粒子を生成し、これをターゲットである
種棒やコアとなる中心部材に堆積するようにしている。 従来のＶＡＤ法で用いられているガラス微粒子堆積装置
について説明すると、第３図に示すように、複数のバー
ナ３によりガラス微粒子を生成してこれをターゲツト棒
１の下端に付着させる。ターゲツト棒１を回転させなが
ら引き上げていくとカラス微粒子堆積体２が円柱状に形
成される。このとき、付着しなかったガラス微粒子や未
反応のガスを拡散させずに排気口５より排気するため、
あるいは塵埃等が付着しないようにするため、この堆積
部周囲がチャンバ４によって覆われる。
しかしながら、従来のガラス微粒子堆積装置は上記のよ
うに単に堆積部周囲をチャンバで覆うだけの構造である
ため、チャンバ内の空気流か乱れ、これにより次のよう
な問題が生じている。まず、チャンバ内の不要な空気の
対流が生じ、そのためバーナの炎が乱れ、ガラス微粒子
の流れも一定とならないことから、ガラス微粒子堆積体
２の軸方向での堆積量がばらつく。また、チャンバ内の
空気の対流は、ターゲツト棒１の下端に付着しなかった
ガラス微粒子をチャンバ内で対流させたり、滞留させる
部分を生じる。このように対流・滞留したガラス微粒子
はきわめて不安定にガラス微粒子堆積体２の上に付着し
てその堆積量（堆積厚さ）をばらつかせる。さらに、こ
のようなガラス微粒子はチャンバ４の壁に付着すること
もあり、これが壁からはがれて再びガラス微粒子堆積体
２に付着したり、あるいははがれてとんできたガラス微
粒子の塊がガラス微粒子堆積体２の表面に傷をつける。 ガラス微粒子堆積体２の表面の傷は、透明ガラス化して
プリフォームとした後も傷となって残れば、その後の線
引き・紡糸工程で直径の変動や断線を引き起こす。 この発明は、チャンバ内の空気の流れを調整して安定に
ガラス微粒子の堆積を行なうことができるように改善し
た、ガラス微粒子堆積装置を提供することを目的とする
。
うに単に堆積部周囲をチャンバで覆うだけの構造である
ため、チャンバ内の空気流か乱れ、これにより次のよう
な問題が生じている。まず、チャンバ内の不要な空気の
対流が生じ、そのためバーナの炎が乱れ、ガラス微粒子
の流れも一定とならないことから、ガラス微粒子堆積体
２の軸方向での堆積量がばらつく。また、チャンバ内の
空気の対流は、ターゲツト棒１の下端に付着しなかった
ガラス微粒子をチャンバ内で対流させたり、滞留させる
部分を生じる。このように対流・滞留したガラス微粒子
はきわめて不安定にガラス微粒子堆積体２の上に付着し
てその堆積量（堆積厚さ）をばらつかせる。さらに、こ
のようなガラス微粒子はチャンバ４の壁に付着すること
もあり、これが壁からはがれて再びガラス微粒子堆積体
２に付着したり、あるいははがれてとんできたガラス微
粒子の塊がガラス微粒子堆積体２の表面に傷をつける。 ガラス微粒子堆積体２の表面の傷は、透明ガラス化して
プリフォームとした後も傷となって残れば、その後の線
引き・紡糸工程で直径の変動や断線を引き起こす。 この発明は、チャンバ内の空気の流れを調整して安定に
ガラス微粒子の堆積を行なうことができるように改善し
た、ガラス微粒子堆積装置を提供することを目的とする
。
上記目的を達成するため、この発明によるガラス微粒子
堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するバーナと
、生成されたガラス微粒子が堆積されるターゲットと、
この堆積部を覆うチャンバと、チャンバに設けられた排
気口と、排気口に向けて強制的に空気を送る送風機とか
らなる。 そして、この送風機は排気口とは反対側のチャンバ壁に
設けられた複数の小さな送風機とすることができる。 また、チャンバ内に、送風機からの空気流を整流するた
めの整流板を設けることもできる。
堆積装置においては、ガラス微粒子を生成するバーナと
、生成されたガラス微粒子が堆積されるターゲットと、
この堆積部を覆うチャンバと、チャンバに設けられた排
気口と、排気口に向けて強制的に空気を送る送風機とか
らなる。 そして、この送風機は排気口とは反対側のチャンバ壁に
設けられた複数の小さな送風機とすることができる。 また、チャンバ内に、送風機からの空気流を整流するた
めの整流板を設けることもできる。
チャンバの排気口に向けて強制的に空気を送る送風機を
設けたので、チャンバ内の空気の流れがこの送風機から
の風によって安定し、排気口へ向かう安定な空気流が形
成される。そのため、バーナの炎やガラス微粒子の流れ
が安定し、ガラス微粒子のターゲットへの堆積を安定に
行なうことができる。また、不要な対流なども解消でき
、ターゲットに付着しなかったガラス微粒子を淀ませる
ことなく排気できる。 そして、複数の小さな送風機を排気口とは反対側のチャ
ンバ壁に設けて送風すれば、より安定した層流状態の空
気流を形成できる。 さらに、チャンバ内に、送風機からの空気流を整流する
ための整流板を設ければ、排気口に向かう層流状態の安
定した空気流を形成できる。
設けたので、チャンバ内の空気の流れがこの送風機から
の風によって安定し、排気口へ向かう安定な空気流が形
成される。そのため、バーナの炎やガラス微粒子の流れ
が安定し、ガラス微粒子のターゲットへの堆積を安定に
行なうことができる。また、不要な対流なども解消でき
、ターゲットに付着しなかったガラス微粒子を淀ませる
ことなく排気できる。 そして、複数の小さな送風機を排気口とは反対側のチャ
ンバ壁に設けて送風すれば、より安定した層流状態の空
気流を形成できる。 さらに、チャンバ内に、送風機からの空気流を整流する
ための整流板を設ければ、排気口に向かう層流状態の安
定した空気流を形成できる。
この発明の一実施例について図面を参照しながら説明す
ると、第１図に示すように、複数のバーナ３によりガラ
ス微粒子が生成される。このガラス微粒子はターゲツト
棒１の下端に付着させられ、ターゲツト棒１が回転しな
がら引き上げられていくとガラス微粒子堆積体２が円柱
状に形成される。 そしてこの堆積部周囲かチャンバ４によって覆われる。 このチャンバ４には排気口５が設けられており、この排
気口５から所定の負圧で吸引され、ターゲツト棒１の下
端に付着しなかったガラス微粒子や未反応のガスを排気
口５より排気する。このチャンバ４はガラス微粒子堆積
体２に塵埃等が付着しないようにするためでもある。そ
して、チャンバ４の排気口５が設けられている側とは反
対側の壁に多数の小さな送風機６が取り付けられており
、それぞれから空気をチャンバ４内に送ることにより、
排気口５に向けて強制的に送風している。 このように多数の送風機６で排気口５に向けて強制的に
送風しているため、バーナ３側から排気口５側へと安定
な層流状態の空気流が形成され、バーナ３の火炎やガラ
ス微粒子の流れが安定する。 そのため、ターゲツト棒１の下端へのガラス微粒子の堆
積がきわめて安定に行なわれる。また、ターゲツト棒１
へ付着しなかったガラス微粒子等は淀むことなく排気口
５より排気される。これによりカラス微粒子の堆積量（
堆積厚さ）は軸方向に安定し、コアとクラッドとの比か
安定する。 第２図は第２の実施例を表わす。この第２の実施例では
、１個の大きな送風機７がチャンバ４の外部に置かれ、
これから送風管８を経て空気がチャンバ４内に送り込ま
れている。この場合、送風口が小さければチャンバ４の
全体に排気口５へ向かう層流状態、の空気流を形成でき
ないため、整流板９をチャンバ４内に設け、これによっ
て層流状態を作るようにしている。この整流板９はたと
えば図示のように多数の穴を設けたものを使用できる。 他の構成は第１図と同じである。 なお、これらの実施例において、送風機６．７により外
気をそのままチャンバ４内に送風してもよいが、フィル
タを設けてそれにより清浄化した空気を送り込むことが
望ましい。送風量は５〜１０ｍ゛／分程度とする。 上記の各実施例ではＶＡＤ法を実施するためのガラス微
粒子堆積装置について説明したが、これに限らず外付は
法などにも適用できる。また、上記の各実施例では縦型
にガラス微粒子を堆積しているが、横型（ターゲツト棒
を水平に配置する）に堆積する場合にも適用できる。
ると、第１図に示すように、複数のバーナ３によりガラ
ス微粒子が生成される。このガラス微粒子はターゲツト
棒１の下端に付着させられ、ターゲツト棒１が回転しな
がら引き上げられていくとガラス微粒子堆積体２が円柱
状に形成される。 そしてこの堆積部周囲かチャンバ４によって覆われる。 このチャンバ４には排気口５が設けられており、この排
気口５から所定の負圧で吸引され、ターゲツト棒１の下
端に付着しなかったガラス微粒子や未反応のガスを排気
口５より排気する。このチャンバ４はガラス微粒子堆積
体２に塵埃等が付着しないようにするためでもある。そ
して、チャンバ４の排気口５が設けられている側とは反
対側の壁に多数の小さな送風機６が取り付けられており
、それぞれから空気をチャンバ４内に送ることにより、
排気口５に向けて強制的に送風している。 このように多数の送風機６で排気口５に向けて強制的に
送風しているため、バーナ３側から排気口５側へと安定
な層流状態の空気流が形成され、バーナ３の火炎やガラ
ス微粒子の流れが安定する。 そのため、ターゲツト棒１の下端へのガラス微粒子の堆
積がきわめて安定に行なわれる。また、ターゲツト棒１
へ付着しなかったガラス微粒子等は淀むことなく排気口
５より排気される。これによりカラス微粒子の堆積量（
堆積厚さ）は軸方向に安定し、コアとクラッドとの比か
安定する。 第２図は第２の実施例を表わす。この第２の実施例では
、１個の大きな送風機７がチャンバ４の外部に置かれ、
これから送風管８を経て空気がチャンバ４内に送り込ま
れている。この場合、送風口が小さければチャンバ４の
全体に排気口５へ向かう層流状態、の空気流を形成でき
ないため、整流板９をチャンバ４内に設け、これによっ
て層流状態を作るようにしている。この整流板９はたと
えば図示のように多数の穴を設けたものを使用できる。 他の構成は第１図と同じである。 なお、これらの実施例において、送風機６．７により外
気をそのままチャンバ４内に送風してもよいが、フィル
タを設けてそれにより清浄化した空気を送り込むことが
望ましい。送風量は５〜１０ｍ゛／分程度とする。 上記の各実施例ではＶＡＤ法を実施するためのガラス微
粒子堆積装置について説明したが、これに限らず外付は
法などにも適用できる。また、上記の各実施例では縦型
にガラス微粒子を堆積しているが、横型（ターゲツト棒
を水平に配置する）に堆積する場合にも適用できる。
この発明のガラス微粒子堆積装置によれば、チャンバ内
の空気の流れを安定化し、バーナの火炎やバーナからの
ガラス微粒子の流れを安定にしてカラス微粒子の安定な
堆積を行なうことができる。 また、排気口へ向けて安定な空気流が形成されるため、
ターゲットに付着しなかったガラス微粒子等を淀ませる
ことなく排気でき、チャンバの内壁にガラス微粒子が付
着しなくなるため、内壁に付着したガラス微粒子の塊が
はがれてガラス微粒子堆積体に付着したりこれを傷つけ
たりすることがなくなり、この点でも安定なガラス微粒
子堆積を行なうことができる。さらに堆積終了後チャン
バの内壁に付着したガラス微粒子を掃除しなくてもよい
という利点もある。
の空気の流れを安定化し、バーナの火炎やバーナからの
ガラス微粒子の流れを安定にしてカラス微粒子の安定な
堆積を行なうことができる。 また、排気口へ向けて安定な空気流が形成されるため、
ターゲットに付着しなかったガラス微粒子等を淀ませる
ことなく排気でき、チャンバの内壁にガラス微粒子が付
着しなくなるため、内壁に付着したガラス微粒子の塊が
はがれてガラス微粒子堆積体に付着したりこれを傷つけ
たりすることがなくなり、この点でも安定なガラス微粒
子堆積を行なうことができる。さらに堆積終了後チャン
バの内壁に付着したガラス微粒子を掃除しなくてもよい
という利点もある。
第１図はこの発明の第１の実施例を切り欠いて示す模式
的な斜視図、第２図はこの発明の第２の実施例を切り欠
いて示す模式的な斜視図、第３図は従来例を切り欠いて
示す模式的な斜視図である。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・バーナ、４・・・チャンバ、５・・・排気口、
６．７・・・送風機、８・・・送風管、９・・・整流板
。
的な斜視図、第２図はこの発明の第２の実施例を切り欠
いて示す模式的な斜視図、第３図は従来例を切り欠いて
示す模式的な斜視図である。 １・・・ターゲツト棒、２・・・ガラス微粒子堆積体、
３・・・バーナ、４・・・チャンバ、５・・・排気口、
６．７・・・送風機、８・・・送風管、９・・・整流板
。
Claims (3)
- （１）ガラス微粒子を生成するバーナと、生成されたガ
ラス微粒子が堆積されるターゲットと、この堆積部を覆
うチャンバと、チャンバに設けられた排気口と、排気口
に向けて強制的に空気を送る送風機とからなるガラス微
粒子堆積装置。 - （２）送風機は排気口とは反対側のチャンバ壁に設けら
れた複数の小さな送風機であることを特徴とする請求項
１記載のガラス微粒子堆積装置。 - （３）チャンバ内に、送風機からの空気流を整流するた
めの整流板を設けたことを特徴とする請求項１記載のガ
ラス微粒子堆積装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6767988A JPH01242431A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | ガラス微粒子堆積装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6767988A JPH01242431A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | ガラス微粒子堆積装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01242431A true JPH01242431A (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=13351924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6767988A Pending JPH01242431A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | ガラス微粒子堆積装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01242431A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6012305A (en) * | 1997-03-06 | 2000-01-11 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for producing an optical fiber porous glass preform |
| EP1046617A2 (en) * | 1999-04-21 | 2000-10-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Synthetic quartz glass manufacturing process |
| US6619074B1 (en) | 1999-04-02 | 2003-09-16 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for production of a porous optical fiber preform |
| CN1318332C (zh) * | 2002-10-21 | 2007-05-30 | 富通集团有限公司 | 一种光纤预制件的制造方法及其装置 |
| JP2012062203A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置および多孔質ガラス母材の製造方法 |
-
1988
- 1988-03-22 JP JP6767988A patent/JPH01242431A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6012305A (en) * | 1997-03-06 | 2000-01-11 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for producing an optical fiber porous glass preform |
| US6619074B1 (en) | 1999-04-02 | 2003-09-16 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for production of a porous optical fiber preform |
| EP1046617A2 (en) * | 1999-04-21 | 2000-10-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Synthetic quartz glass manufacturing process |
| EP1046617A3 (en) * | 1999-04-21 | 2001-03-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Synthetic quartz glass manufacturing process |
| CN1318332C (zh) * | 2002-10-21 | 2007-05-30 | 富通集团有限公司 | 一种光纤预制件的制造方法及其装置 |
| JP2012062203A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置および多孔質ガラス母材の製造方法 |
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