JP6916023B2 - 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 - Google Patents
光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6916023B2 JP6916023B2 JP2017070699A JP2017070699A JP6916023B2 JP 6916023 B2 JP6916023 B2 JP 6916023B2 JP 2017070699 A JP2017070699 A JP 2017070699A JP 2017070699 A JP2017070699 A JP 2017070699A JP 6916023 B2 JP6916023 B2 JP 6916023B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- burner
- gas
- flow rate
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
まず、本発明の一実施形態によるVAD装置について説明する。図1は、この一実施形態に用いるVAD装置を示す。
次に、以上のように構成された一実施形態によるVAD装置1を用いたVAD法による光ファイバ多孔質母材の製造方法について説明する。
2 多孔質母材
2a 内側堆積スート
2b 外側堆積スート
3 ターゲットロッド
4 引上機構
11 反応室
11A 第1反応室
11B 第2反応室
12 仕切り板
12a 開口
14,15 バーナー
17 ガス供給部
18 制御部
19 第1給気口
20 第2給気口
21 第1排気ダクト
22 第2排気ダクト
31 第1流量調整部
31a,32a 配管
32 第2流量調整部
34 外部排気管
41a,41b 空気
42a,42b ガス
Claims (3)
- 反応室と、
前記反応室内に設けられたバーナーと、
前記バーナーに原料ガス及び可燃ガスを含むガスを供給するガス供給部と、を備え、
前記反応室内において、前記バーナーから前記ガスを出発材に供給して、前記出発材の外周に前記ガスの反応によって生じる微粒子を堆積させて多孔質母材を形成する光ファイバ多孔質母材の製造装置であって、
前記反応室内に前記多孔質母材が通過可能な仕切り板が設けられ、
前記仕切り板によって、前記反応室内は、前記バーナーが存在する反応室と前記バーナーが存在しない反応室とに略仕切られ、
前記バーナーが存在する反応室に、第1流量調整部によって排気流量を制御可能な第1排気部が設けられているとともに、前記バーナーが存在しない反応室に、第2流量調整部によって排気流量を制御可能な第2排気部が設けられ、
前記第1流量調整部によって制御される前記第1排気部の排気流量と、前記第2排気部の排気流量によって制御される前記第2排気部の排気流量とは、それぞれ独立して制御され、
前記バーナーが存在する反応室に設けられた外部から気体を導入可能な給気部と、前記バーナーが存在しない反応室に設けられた外部から気体を導入可能な給気部とが、互いに独立して設けられ、
前記反応室内は、前記バーナーが存在する反応室及び前記バーナーが存在しない反応室のそれぞれにおいて気流が形成されるように構成された
ことを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造装置。 - 前記仕切り板が複数設けられ、前記バーナーが存在しない反応室がさらに少なくとも2つの反応室に仕切られている
ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ多孔質母材の製造装置。 - 反応室内において、バーナーから原料ガス及び可燃ガスを含むガスを出発材に供給して、前記出発材の外周に前記ガスの反応によって生じる微粒子を堆積させて多孔質母材を形成する光ファイバ多孔質母材の製造方法であって、
前記反応室内を、前記多孔質母材が通過可能な仕切り板によって、前記バーナーが存在する反応室と前記バーナーが存在しない反応室とに略仕切った状態で、前記バーナーが存在する反応室に設けられた、排気流量を第1流量調整部により制御可能な第1排気部によって、前記バーナーが存在する反応室内のガスを排気するとともに、前記バーナーが存在しない反応室に設けられた、排気流量を第2流量調整部により制御可能な第2排気部によって、前記バーナーが存在しない反応室内のガスを排気し、
前記第1流量調整部によって制御される前記第1排気部の排気流量と、前記第2排気部の排気流量によって制御される前記第2排気部の排気流量とを、それぞれ独立して制御し、
前記反応室内において、互いに独立して設けられた、前記バーナーが存在する反応室に設けられた外部から気体を導入可能な給気部と、前記バーナーが存在しない反応室に設けられた外部から気体を導入可能な給気部とのそれぞれによって気流を形成する
ことを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017070699A JP6916023B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017070699A JP6916023B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018172229A JP2018172229A (ja) | 2018-11-08 |
JP6916023B2 true JP6916023B2 (ja) | 2021-08-11 |
Family
ID=64107882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017070699A Active JP6916023B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6916023B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2804094B2 (ja) * | 1989-07-07 | 1998-09-24 | 株式会社フジクラ | ガラス微粒子堆積装置 |
WO2000023385A1 (fr) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dispositif et procede de production de matiere de base de verre poreuse |
KR100817195B1 (ko) * | 2000-10-18 | 2008-03-27 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 광섬유모재의 제조장치 |
JP4454992B2 (ja) * | 2002-10-23 | 2010-04-21 | 株式会社神戸製鋼所 | 光ファイバ母材製造装置 |
JP2005162573A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-06-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法 |
JP4424232B2 (ja) * | 2005-03-14 | 2010-03-03 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
JP5598872B2 (ja) * | 2012-05-30 | 2014-10-01 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP5762374B2 (ja) * | 2012-09-20 | 2015-08-12 | 信越化学工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
-
2017
- 2017-03-31 JP JP2017070699A patent/JP6916023B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018172229A (ja) | 2018-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20060059936A (ko) | 유리 모재를 제조하는 장치 및 그 방법 | |
JP7021286B2 (ja) | 改良された粒子蒸着システムと方法 | |
JP6916023B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 | |
JP2803510B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置 | |
KR101261095B1 (ko) | 다공질 유리 모재의 제조 장치 | |
EP1925600B1 (en) | Manufacturing apparatus for porous glass base material | |
JP2008179517A (ja) | ガラス母材の製造装置及び製造方法 | |
JP3567574B2 (ja) | 多孔質ガラス母材合成用バーナ | |
JP2009091194A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
JP5762374B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造装置 | |
JP5651675B2 (ja) | ガラス多孔質体の製造装置及び製造方法、並びに光ファイバ母材の製造方法 | |
JP7399835B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 | |
JP4449272B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
JP5793853B2 (ja) | ガラス母材の製造方法 | |
JP2020090427A (ja) | 多孔質体合成用バーナー及び多孔質体の製造方法 | |
US11981595B2 (en) | Burner for producing glass fine particle deposited body, and device and method for producing glass fine particle deposited body | |
JP5168772B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
JP4110893B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 | |
JP4993337B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造装置 | |
JP2022019240A (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 | |
JP5092226B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
JP2008174445A (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置及び製造方法 | |
JP2005162573A (ja) | ガラス母材の製造方法 | |
JP2015059055A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
JPH04160026A (ja) | ガラス微粒子生成用バーナ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200721 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210615 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210715 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6916023 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |