JP7021286B2 - 改良された粒子蒸着システムと方法 - Google Patents
改良された粒子蒸着システムと方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7021286B2 JP7021286B2 JP2020079942A JP2020079942A JP7021286B2 JP 7021286 B2 JP7021286 B2 JP 7021286B2 JP 2020079942 A JP2020079942 A JP 2020079942A JP 2020079942 A JP2020079942 A JP 2020079942A JP 7021286 B2 JP7021286 B2 JP 7021286B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- vapor deposition
- chemical vapor
- workpiece
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01853—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
- C03B37/027—Fibres composed of different sorts of glass, e.g. glass optical fibres
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
- C03C25/10—Coating
- C03C25/104—Coating to obtain optical fibres
- C03C25/105—Organic claddings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
- C03C25/10—Coating
- C03C25/24—Coatings containing organic materials
- C03C25/26—Macromolecular compounds or prepolymers
- C03C25/28—Macromolecular compounds or prepolymers obtained by reactions involving only carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C03C25/285—Acrylic resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/66—Relative motion
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
第二ステップにおいて、原料ロッドにクラッドが積層される。このステップの結果、コアとクラッドとを有する母材が得られる。慣習的にこの母材は、直径約160mm、長さ約1メートル、である。
第三ステップはファイバ線引で、母材が加熱延伸され、典型的には長さ約400kmの光ファイバが製造される。
SiCl4+O2=SiO2+2Cl2 (I)
ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための第一のバーナーセットと、
ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための第二のバーナーセットと、
ワークピースを保持し、第一および第二のバーナーセットに対してワークピースを回転させるための旋盤と、を含む。
ワークピースの第一および第二の部分は、互いにオーバーラップしてオーバーラップ部分を形成する。好ましくは、同一のセットに属する隣接するいずれの蒸着バーナー間の最長距離も、異なるセットに属するバーナー間の最短距離より短い。
ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための第一のバーナーセットと、
ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための第二のバーナーセットと、
ワークピースの第三の部分にシリカ粒子を蒸着するための第三のバーナーセットと、
ワークピースを保持し、第一、第二、および、第三、のバーナーセットに対してワークピースを回転させるための旋盤と、を含む。
ワークピースの第一および第二の部分は、好ましくは、互いにオーバーラップして、第一のオーバーラップ部分を形成するが、第一のオーバーラップ部分に、第一のバーナーセットに属する一つ目のバーナーと、第二のバーナーセットに属する二つ目のバーナーが、実質的にシリカ粒子を蒸着する。同様に、ワークピースの第二および第三の部分は、好ましくは、互いにオーバーラップして、第二のオーバーラップ部分を形成するが、第二のオーバーラップ部分に、第二および第三のバーナーセットの各々からのバーナーが、実質的にシリカ粒子を蒸着する。この構造において、同一のセットに属する隣接するいずれの蒸着バーナー間の最長距離も、異なるセットに属するバーナー間の最短距離より短い。
さらに、好ましくは、蒸着システム200は、蒸着工程に使用される材料のガス流を制御するためのコンピューター210、ガスパネル212、予熱器214、および、蒸発器216、を有する。
本発明に係るワークピース上にシリカ粒子を蒸着するための第一の蒸着システムは、ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第一のバーナーと第二のバーナーを有する第一の化学蒸着バーナーセットと、ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第三のバーナーと第四のバーナーを有する第二の化学蒸着バーナーセットと、ワークピースを保持し、第一および第二のバーナーセットに対してワークピースを回転させるための旋盤と、を含み、ワークピースの第一および第二の部分はオーバーラップ部分において互いにオーバーラップし、オーバーラップ部分上に、各セットに属する一個のバーナーが、実質的に、シリカ粒子を蒸着し、同一のセットに属する隣接するいずれの蒸着バーナー間の最長距離も、異なるセットに属するバーナー間の最短距離より短い、ワークピース上にシリカ粒子を蒸着するための蒸着システムでありうる。
Claims (18)
- ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第一の化学蒸着バーナーと第二の化学蒸着バーナーを有する第一のバーナーセットと、
前記第一のバーナーセットから距離Tを隔てて設けられた、前記ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第三の化学蒸着バーナーと第四の化学蒸着バーナーを有する第二のバーナーセットと、
第一、第二、第三、および第四の前記化学蒸着バーナーが前記ワークピースに面するように、第一および第二の前記バーナーセットに対して前記ワークピースを保持および回転させるように構成された旋盤と、
前記旋盤に接続され、前記バーナーセットに対する前記ワークピースの位置を制御するコンピューターと、を含み、
それぞれの前記バーナーセットに含まれる二つの前記化学蒸着バーナーの間の長手方向の最長距離は、異なる前記バーナーセットに含まれる二つの前記化学蒸着バーナーの間の最短距離より短く、
前記コンピューターは、前記旋盤を駆動して、前記ワークピースの長さに基づいて、前記ワークピースと前記バーナーセットとの間の長手方向の相対往復運動を生じさせるあいだ、前記ワークピースを回転させるように構成され、
前記相対往復運動は、各方向の長手方向の経路に沿って、
前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つのみが、第一端部分にトラバースし、
前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記第一の部分と前記第二の部分とがオーバーラップするオーバーラップ部分にトラバースし、
前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記オーバーラップ部分にトラバースし、
前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーの両方が、前記第一端部分から前記オーバーラップ部分まで延びる前記第一の部分の第一中間部分にトラバースし、
前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーの両方が、前記オーバーラップ部分から前記ワークピースの第二端部分に向けて延びる前記第二の部分の第二中間部分にトラバースする、
ように構成される
ワークピース上にシリカ粒子を蒸着するための蒸着システム。 - 第一および第二の前記化学蒸着バーナー間の距離は、およそ距離dであり、
第三および第四の前記化学蒸着バーナー間の距離は、およそ距離dであり、
第一および第二の前記バーナーセット間の前記距離Tは、前記距離dの三倍より大きく、
前記オーバーラップ部分は、前記距離dとおよそ等しい幅を有する請求項1に記載の蒸着システム。 - 前記ワークピースの長さLは、約80cmより大きく、
前記距離dは、約80~約150mmである請求項2に記載の蒸着システム。 - 前記長さLは、第一および第二の前記バーナーセット間の前記距離Tの二倍より大きい請求項3に記載の蒸着システム。
- 蒸着のあいだの一部分で、第一、第二、第三、および、第四の前記化学蒸着バーナーが、共通の原料源から化学物質を受け取り、ほぼ同じ率でスートを放出する請求項1に記載の蒸着システム。
- 前記化学蒸着バーナーの総数は四つである請求項1に記載の蒸着システム。
- 前記ワークピースと前記バーナーセットとの間の長手方向の前記相対往復運動は、各方向の長手方向の経路に沿って、
前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つのみが、前記第二端部分にトラバースする、
ように構成される
請求項2に記載の蒸着システム。 - ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第一の化学蒸着バーナーと第二の化学蒸着バーナーを有する第一のバーナーセットと、
前記第一のバーナーセットから距離Tを隔てて設けられた、前記ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第三の化学蒸着バーナーと第四の化学蒸着バーナーを有する第二のバーナーセットと、
前記第二のバーナーセットから距離Tを隔てて設けられた、前記ワークピースの第三の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第五の化学蒸着バーナーと第六の化学蒸着バーナーを有する第三のバーナーセットと、
第一、第二、第三、第四、第五、および第六の前記化学蒸着バーナーが前記ワークピースに面するように、第一、第二、および第三の前記バーナーセットに対して前記ワークピースを保持および回転させるように構成された旋盤と、
前記旋盤に接続され、前記バーナーセットに対する前記ワークピースの位置を制御するコンピューターと、を含み、
それぞれの前記バーナーセットに含まれる二つの前記化学蒸着バーナーの間の長手方向の最長距離は、異なる前記バーナーセットに含まれる二つの前記化学蒸着バーナーの間の最短距離より短く、
前記コンピューターは、前記旋盤を駆動して、前記ワークピースの長さに基づいて、前記ワークピースと前記バーナーセットとの間の長手方向の相対往復運動を生じさせるあいだ、前記ワークピースを回転させるように構成され、
前記相対往復運動は、各方向の長手方向の経路に沿って、
前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つのみが、第一端部分にトラバースし、
前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記第一の部分と前記第二の部分とがオーバーラップする第一オーバーラップ部分にトラバースし、
前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーの両方が、前記第一端部分から前記第一オーバーラップ部分まで延びる前記第一の部分の第一中間部分にトラバースし、
前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記第一オーバーラップ部分にトラバースし、
前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記第二の部分と前記第三の部分とがオーバーラップする第二オーバーラップ部分にトラバースし、
前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーの両方が、前記第一オーバーラップ部分から前記第二オーバーラップ部分に向けて延びる前記第二の部分の第二中間部分にトラバースし、
前記第三のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記第二オーバーラップ部分にトラバースし、
前記第三のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーの両方が、前記第二オーバーラップ部分から前記ワークピースの第二端部分に向けて延びる前記第三の部分の第三中間部分にトラバースする、
ように構成される
ワークピース上にシリカ粒子を蒸着するための蒸着システム。 - 前記ワークピースと前記バーナーセットとの間の長手方向の前記相対往復運動は、各方向の長手方向の経路に沿って、
前記第三のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つのみが、前記第二端部分にトラバースする、
ように構成される
請求項8に記載の蒸着システム。 - 第一、第二、および第三の前記バーナーセットのそれぞれにおける前記化学蒸着バーナー間の距離は、およそ距離dであり、
前記距離Tは、前記距離dの三倍より大きく、
前記オーバーラップ部分および前記第二オーバーラップ部分は、前記距離dとおよそ等しい幅を有する請求項9に記載の蒸着システム。 - 前記ワークピースの長さLは、第一および第二の前記バーナーセット間の前記距離Tの三倍より大きい請求項10に記載の蒸着システム。
- 長手方向の前記相対往復運動のあいだの少なくとも一部分で、第一、第二、第三、第四、第五、および、第六、の前記化学蒸着バーナーが、共通の原料源から化学物質を受け取り、ほぼ同じ率でスートを前記ワークピースに放出する請求項8に記載の蒸着システム。
- ワークピースと、第一および第二のバーナーセットとの間の長手方向の相対往復運動を生じさせることによって、回転する前記ワークピース上にシリカ粒子を蒸着して、光ファイバ母材を製造するステップを有する、光ファイバを製造する方法であって、
前記相対往復運動は、各方向の長手方向の経路に沿って、
第一の前記バーナーセットが、前記ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着し、ここで、第一の前記バーナーセットは、第一の化学蒸着バーナーと、前記第一の化学蒸着バーナーからおよそ距離dを隔てて設けられた第二の化学蒸着バーナーと、を有し、
第二の前記バーナーセットが、前記ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着し、ここで、第二の前記バーナーセットは、第三の化学蒸着バーナーと、前記第三の化学蒸着バーナーからおよそ距離dを隔てて設けられた第四の化学蒸着バーナーと、を有し、
第二および第三の前記化学蒸着バーナーが、前記第一の部分と前記第二の部分とがオーバーラップするオーバーラップ部分にシリカ粒子を蒸着し、
前記第二のバーナーセットは、前記第一のバーナーセットから距離Tを隔てて設けられており、ここで、前記距離Tは前記距離dの三倍より大きい
ように構成される、
光ファイバを製造する方法。 - 前記ワークピースと、第三のバーナーセットとの間の長手方向の相対往復運動は、各方向の長手方向の経路に沿って、
前記第三のバーナーセットが、前記ワークピースの第三の部分にシリカ粒子を蒸着し、ここで、前記第三のバーナーセットは、第五の化学蒸着バーナーと、前記第五の化学蒸着バーナーからおよそ距離dを隔てて設けられた第六の化学蒸着バーナーと、を有し、
第四および第五の前記化学蒸着バーナーが、前記第二の部分と前記第三の部分とがオーバーラップする第二オーバーラップ部分にシリカ粒子を蒸着する、
ように構成され、
前記第三のバーナーセットは、前記第二のバーナーセットから距離Tを隔てて設けられており、ここで、前記距離Tは前記距離dの三倍より大きい
請求項13に記載の方法。 - 前記光ファイバ母材を焼結するステップと、
前記光ファイバ母材を線引して光ファイバにするステップと、をさらに有する請求項13または14に記載の方法。 - 光ファイバに保護コーティングを施して保護された光ファイバを形成するステップをさらに有する請求項13~15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記保護された光ファイバを管に入れて光ファイバケーブルを形成するステップをさらに有する請求項16に記載の方法。
- 前記距離dは、約80mmより大きい請求項13~17のいずれか一項に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022015573A JP2022048348A (ja) | 2015-01-13 | 2022-02-03 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/595,871 US10464838B2 (en) | 2015-01-13 | 2015-01-13 | Enhanced particle deposition system and method |
US14/595,871 | 2015-01-13 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556514A Division JP6700307B2 (ja) | 2015-01-13 | 2016-01-13 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022015573A Division JP2022048348A (ja) | 2015-01-13 | 2022-02-03 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020114801A JP2020114801A (ja) | 2020-07-30 |
JP7021286B2 true JP7021286B2 (ja) | 2022-02-16 |
Family
ID=56367042
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556514A Active JP6700307B2 (ja) | 2015-01-13 | 2016-01-13 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
JP2020079942A Active JP7021286B2 (ja) | 2015-01-13 | 2020-04-30 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
JP2022015573A Withdrawn JP2022048348A (ja) | 2015-01-13 | 2022-02-03 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556514A Active JP6700307B2 (ja) | 2015-01-13 | 2016-01-13 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022015573A Withdrawn JP2022048348A (ja) | 2015-01-13 | 2022-02-03 | 改良された粒子蒸着システムと方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US10464838B2 (ja) |
EP (1) | EP3245011B1 (ja) |
JP (3) | JP6700307B2 (ja) |
KR (1) | KR20170103840A (ja) |
CN (2) | CN107107102B (ja) |
WO (1) | WO2016115227A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10464838B2 (en) * | 2015-01-13 | 2019-11-05 | Asi/Silica Machinery, Llc | Enhanced particle deposition system and method |
JP6694915B2 (ja) * | 2018-06-12 | 2020-05-20 | 株式会社フジクラ | 多孔質ガラス微粒子体の製造方法および光ファイバ母材の製造方法 |
WO2020167426A1 (en) * | 2019-02-13 | 2020-08-20 | Corning Incorporated | Vaporizers and apparatuses for forming glass optical fiber preforms comprising the same |
KR102388688B1 (ko) * | 2020-10-23 | 2022-04-20 | 비씨엔씨 주식회사 | 합성 쿼츠 제조 방법 |
KR102612252B1 (ko) * | 2023-03-14 | 2023-12-11 | 비씨엔씨 주식회사 | 예비 버너를 이용한 대구경 실리카 수트의 크랙을 제어할 수 있는 장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002220235A (ja) | 2000-11-24 | 2002-08-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造方法及び装置 |
JP2003226545A (ja) | 2002-02-01 | 2003-08-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法と光ファイバ母材の製造装置 |
US20050166641A1 (en) | 2004-02-02 | 2005-08-04 | Nextrom Holding, S.A. | Apparatus for deposition by flame hydrolysis |
JP2011095507A (ja) | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | イメージファイバの製造方法 |
Family Cites Families (65)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4314837A (en) | 1979-03-01 | 1982-02-09 | Corning Glass Works | Reactant delivery system method |
US4378985A (en) * | 1981-06-04 | 1983-04-05 | Corning Glass Works | Method and apparatus for forming an optical waveguide fiber |
US4388094A (en) * | 1981-12-21 | 1983-06-14 | Corning Glass Works | Method and apparatus for producing tubular glass article |
US4486212A (en) * | 1982-09-29 | 1984-12-04 | Corning Glass Works | Devitrification resistant flame hydrolysis process |
US4568370A (en) * | 1982-09-29 | 1986-02-04 | Corning Glass Works | Optical fiber preform and method |
JPS5978945U (ja) | 1982-11-19 | 1984-05-28 | ア−スニクス株式会社 | レデイミクスドコンクリ−トプラントの計量装置 |
EP0150247B1 (en) * | 1984-01-31 | 1988-10-19 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Method of fabricating optical fiber preforms |
US4599098A (en) | 1984-02-13 | 1986-07-08 | Lightwave Technologies, Inc. | Optical fiber and method of producing same |
JPS60191028A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高純度ガラス体の製造方法 |
US4636239A (en) * | 1985-01-02 | 1987-01-13 | Gte Laboratories Incorporated | Method of fluidic support of a heat softened glass tube |
JPH0692670B2 (ja) | 1986-10-24 | 1994-11-16 | 株式会社竹中工務店 | 端部src造,中央部s造梁 |
JP2622182B2 (ja) | 1990-03-29 | 1997-06-18 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバプリフォーム母材の製造方法 |
US5211732A (en) * | 1990-09-20 | 1993-05-18 | Corning Incorporated | Method for forming a porous glass preform |
US5116400A (en) * | 1990-09-20 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | Apparatus for forming a porous glass preform |
JP2928618B2 (ja) | 1990-10-23 | 1999-08-03 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造装置 |
JPH0692670A (ja) | 1992-09-11 | 1994-04-05 | Fujikura Ltd | ガラス母材の製造装置 |
GB9312634D0 (en) * | 1993-06-18 | 1993-08-04 | Tsl Group Plc | Improvements in vitreous silica manufacture |
US5894537A (en) | 1996-01-11 | 1999-04-13 | Corning Incorporated | Dispersion managed optical waveguide |
DE19628958C2 (de) | 1996-07-18 | 2000-02-24 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern |
JP3131162B2 (ja) * | 1996-11-27 | 2001-01-31 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバプリフォームの製造方法 |
AU719475B2 (en) | 1997-03-27 | 2000-05-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for overcladding optical fiber preform rod and optical fiber drawing method |
US6018605A (en) | 1997-12-31 | 2000-01-25 | Siecor Operations | Photoinitiator--tuned optical fiber and optical fiber ribbon and method of making the same |
US6215092B1 (en) * | 1999-06-08 | 2001-04-10 | Alcatel | Plasma overcladding process and apparatus having multiple plasma torches |
JP3730448B2 (ja) * | 1999-07-22 | 2006-01-05 | 信越化学工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の製造方法と製造装置 |
DE60019029T2 (de) * | 1999-07-02 | 2006-02-16 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Verfahren und Vorrichtung zum herstellen einer Vorform aus Glas für optische Fasern mittels des Aussenabscheidungsverfahrens |
US6366353B1 (en) * | 1999-11-05 | 2002-04-02 | Corning Incorporated | Method to determine the identity of a material in an object |
CN100497220C (zh) * | 2000-07-31 | 2009-06-10 | 信越化学工业株式会社 | 玻璃母材制造装置及玻璃母材制造方法 |
JP3521891B2 (ja) | 2000-09-21 | 2004-04-26 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバプリフォームの製造方法 |
AU774859B2 (en) * | 2000-10-30 | 2004-07-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing optical fiber preform |
BR0107776A (pt) * | 2000-11-24 | 2002-11-12 | Sumitomo Electric Industries | Método de produção de depósito de partìculas de vidro e aparelho usado para este fim |
US6748769B2 (en) * | 2000-11-29 | 2004-06-15 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of producing glass particles deposit |
BRPI0116585B1 (pt) | 2000-12-28 | 2015-08-04 | Prysmian Cavi Sistemi Energia | Cabo óptico para telecomunicações, fibra óptica adequada para uso em um cabo óptico, e, método para confeccionar a mesma |
JP2002338258A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-11-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置 |
US6789401B1 (en) | 2001-06-28 | 2004-09-14 | Asi/Silica Machinery, Llc | Particle deposition system and method |
US20050199014A1 (en) * | 2001-07-18 | 2005-09-15 | Motonori Nakamura | Apparatus for producing glass particles deposit |
EP1279646B1 (en) * | 2001-07-26 | 2006-12-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method and apparatus for producing a glass preform for optical fibres |
JP2003048722A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
EP1284246A3 (en) * | 2001-08-09 | 2004-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method and apparatus for producing porous glass soot body |
JP3512027B2 (ja) * | 2001-09-20 | 2004-03-29 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質母材の製造方法 |
JP4370798B2 (ja) * | 2002-04-18 | 2009-11-25 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
KR100496449B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-06-20 | 엘에스전선 주식회사 | 광섬유모재 제조를 위한 외부기상 증착장치 및 이를 이용한 광섬유모재 제조방법 |
JP2005060148A (ja) * | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法及び光ファイバ用母材並びに光ファイバの製造方法及び光ファイバ |
US20050092030A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-05 | Jitendra Balakrishnan | Method and apparatus for depositing glass soot |
JP4140839B2 (ja) * | 2003-11-19 | 2008-08-27 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2005225702A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
US7404302B2 (en) * | 2004-05-27 | 2008-07-29 | Corning Incorporated | Method of depositing glass soot |
KR100606053B1 (ko) * | 2004-11-24 | 2006-07-31 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 모재 제조 장치 |
DE102005012232B4 (de) | 2005-03-15 | 2007-04-05 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Glaskörpers |
US7517561B2 (en) * | 2005-09-21 | 2009-04-14 | Ford Global Technologies, Llc | Method of coating a substrate for adhesive bonding |
KR101035432B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유 모재의 제조 방법 |
US8230701B2 (en) * | 2008-05-28 | 2012-07-31 | Corning Incorporated | Method for forming fused silica glass using multiple burners |
EP2226301A1 (en) * | 2009-02-22 | 2010-09-08 | Silitec Fibers SA | Method for producing and processing a preform, preform and optical fiber |
JP5793338B2 (ja) * | 2011-05-02 | 2015-10-14 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
DE102011119339A1 (de) * | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Zerstäubungsverfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas |
CA2864413A1 (en) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Corning Optical Communications LLC | Fiber optic cable sub-assemblies and methods of making said sub-assemblies |
DE102012008848B4 (de) * | 2012-04-17 | 2022-05-05 | J-Fiber Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Glasfaser-Preformen |
JP6006186B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-10-12 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 |
CN103951183A (zh) * | 2014-04-22 | 2014-07-30 | 上海大学 | 拉制与极化一体化的极化石英光纤制作装置 |
US9540272B2 (en) | 2014-05-22 | 2017-01-10 | Corning Incorporated | Burner shield to reduce soot buildup |
JP6245648B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2017-12-13 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
MX2016016461A (es) | 2014-06-23 | 2017-04-06 | Corning Optical Communications LLC | Cable de fibra optica. |
CN107207319B (zh) * | 2015-01-08 | 2020-10-09 | 古河电气工业株式会社 | 气体分流装置及使用气体分流装置的玻璃微粒堆积体的制造方法 |
US10464838B2 (en) * | 2015-01-13 | 2019-11-05 | Asi/Silica Machinery, Llc | Enhanced particle deposition system and method |
US20160266343A1 (en) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Ofs Fitel, Llc | Optical-Fiber Ribbon With Reduced-Diameter Optical Fibers |
JP6570489B2 (ja) * | 2016-08-16 | 2019-09-04 | 信越化学工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置 |
-
2015
- 2015-01-13 US US14/595,871 patent/US10464838B2/en active Active
-
2016
- 2016-01-13 KR KR1020177020740A patent/KR20170103840A/ko unknown
- 2016-01-13 CN CN201680005449.4A patent/CN107107102B/zh active Active
- 2016-01-13 CN CN202110598072.0A patent/CN113264671B/zh active Active
- 2016-01-13 JP JP2017556514A patent/JP6700307B2/ja active Active
- 2016-01-13 WO PCT/US2016/013210 patent/WO2016115227A1/en active Application Filing
- 2016-01-13 EP EP16737800.9A patent/EP3245011B1/en active Active
-
2019
- 2019-09-20 US US16/577,045 patent/US11993532B2/en active Active
- 2019-09-24 US US16/580,890 patent/US11370691B2/en active Active
-
2020
- 2020-04-30 JP JP2020079942A patent/JP7021286B2/ja active Active
-
2022
- 2022-02-03 JP JP2022015573A patent/JP2022048348A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002220235A (ja) | 2000-11-24 | 2002-08-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造方法及び装置 |
JP2003226545A (ja) | 2002-02-01 | 2003-08-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法と光ファイバ母材の製造装置 |
US20050166641A1 (en) | 2004-02-02 | 2005-08-04 | Nextrom Holding, S.A. | Apparatus for deposition by flame hydrolysis |
JP2011095507A (ja) | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | イメージファイバの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113264671A (zh) | 2021-08-17 |
US20200255322A1 (en) | 2020-08-13 |
JP2022048348A (ja) | 2022-03-25 |
JP6700307B2 (ja) | 2020-05-27 |
CN107107102A (zh) | 2017-08-29 |
KR20170103840A (ko) | 2017-09-13 |
EP3245011B1 (en) | 2021-04-07 |
EP3245011A4 (en) | 2018-08-22 |
CN107107102B (zh) | 2021-06-22 |
CN113264671B (zh) | 2023-05-23 |
US11370691B2 (en) | 2022-06-28 |
US10464838B2 (en) | 2019-11-05 |
US20200262737A1 (en) | 2020-08-20 |
US20160200622A1 (en) | 2016-07-14 |
JP2018503594A (ja) | 2018-02-08 |
JP2020114801A (ja) | 2020-07-30 |
WO2016115227A1 (en) | 2016-07-21 |
EP3245011A1 (en) | 2017-11-22 |
US11993532B2 (en) | 2024-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7021286B2 (ja) | 改良された粒子蒸着システムと方法 | |
US8635888B2 (en) | Particle deposition system and method | |
EP1001912B1 (en) | Apparatus and method for overcladding optical fiber preform rod and optical fiber drawing method | |
CN108017271B (zh) | Ovd带状喷灯装置和ovd制棒系统及其使用方法 | |
JP3137517B2 (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法および合成石英ガラス製造用バーナー | |
JP2003252635A (ja) | 多孔質母材の製造方法および製造装置 | |
US8065893B2 (en) | Process, apparatus, and material for making silicon germanium core fiber | |
KR100630117B1 (ko) | 기상 외부 증착 방법에 의한 광섬유 모재 제작 장치 | |
JPH10203842A (ja) | 光ファイバ母材製造方法 | |
JP7195703B2 (ja) | 多孔質体合成用バーナー及び多孔質体の製造方法 | |
JP6839586B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 | |
US20060185399A1 (en) | Apparatus for fabricating optical fiber preform through external vapor deposition process | |
CN1951849B (zh) | 用于制造烟灰预制棒的装置 | |
EP1343731B1 (en) | Multi-flame deposition burner and method for manufacturing optical fibre preforms | |
US20220017403A1 (en) | Burner for producing glass fine particle deposited body, and device and method for producing glass fine particle deposited body | |
JP3953855B2 (ja) | 多孔質母材の製造方法 | |
JP6746528B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造装置 | |
KR20180004347A (ko) | 멀티 버너가 구비된 석영 유리 잉곳 제조 방법 | |
JP2005154159A (ja) | 石英多孔質母材の製造方法、石英多孔質母材 | |
JP2006232665A (ja) | マルチモード光ファイバおよびそれを作製する方法 | |
JPS62252334A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
JP2010173923A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200529 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200529 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210406 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210706 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7021286 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |