JP3512027B2 - 多孔質母材の製造方法 - Google Patents
多孔質母材の製造方法Info
- Publication number
- JP3512027B2 JP3512027B2 JP2001286326A JP2001286326A JP3512027B2 JP 3512027 B2 JP3512027 B2 JP 3512027B2 JP 2001286326 A JP2001286326 A JP 2001286326A JP 2001286326 A JP2001286326 A JP 2001286326A JP 3512027 B2 JP3512027 B2 JP 3512027B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- base material
- glass
- porous base
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/66—Relative motion
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスロッドとガ
ラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させなが
ら、ロッド上に径方向にガラス微粒子を堆積させる多孔
質母材の製造方法に関し、特に有効部を長く、両端に形
成されるテーパ部が少ない多孔質母材が得られる多孔質
母材の製造方法に関する。
ラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させなが
ら、ロッド上に径方向にガラス微粒子を堆積させる多孔
質母材の製造方法に関し、特に有効部を長く、両端に形
成されるテーパ部が少ない多孔質母材が得られる多孔質
母材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】大型の多孔質ガラス母材を高速で製造す
る方法として、反応容器内のガラスロッドに対向させて
複数のガラス微粒子合成用バーナを一定間隔で配置し、
回転するガラスロッドと前記バーナの列を相対的に往復
移動させ、ガラスロッドの表面にガラス微粒子を層状に
堆積させてガラス微粒子堆積体（多孔質母材）を得る方
法（多層付け法）がある。
る方法として、反応容器内のガラスロッドに対向させて
複数のガラス微粒子合成用バーナを一定間隔で配置し、
回転するガラスロッドと前記バーナの列を相対的に往復
移動させ、ガラスロッドの表面にガラス微粒子を層状に
堆積させてガラス微粒子堆積体（多孔質母材）を得る方
法（多層付け法）がある。
【０００３】このような多孔質母材の製造方法において
は、品質向上の観点から多孔質母材の長手方向にわたっ
て外径変動を少くすること、生産性の観点から多孔質母
材の端部に形成されるテーパ部（非有効部）の長さをで
きるだけ短くすること、などが主要な課題であり、種々
の方法が提案されている。例えば、ガラスロッドとバー
ナとの相対運動（トラバース）ごとにトラバースの折り
返し位置を移動させていき、所定の位置まで移動した後
は逆方向へ移動させて最初のトラバース開始位置に戻す
ことで、実質的にガラス微粒子の堆積時間が長くなった
り、バーナ火炎等のガラス微粒子堆積体への当たり方が
変動するトラバースの折り返し位置を多孔質母材全体に
分散させることでガラス微粒子の堆積量を長手方向に等
しくし、外径変動を低減する方法が提案されている（特
許第２６１２９４９号公報）。
は、品質向上の観点から多孔質母材の長手方向にわたっ
て外径変動を少くすること、生産性の観点から多孔質母
材の端部に形成されるテーパ部（非有効部）の長さをで
きるだけ短くすること、などが主要な課題であり、種々
の方法が提案されている。例えば、ガラスロッドとバー
ナとの相対運動（トラバース）ごとにトラバースの折り
返し位置を移動させていき、所定の位置まで移動した後
は逆方向へ移動させて最初のトラバース開始位置に戻す
ことで、実質的にガラス微粒子の堆積時間が長くなった
り、バーナ火炎等のガラス微粒子堆積体への当たり方が
変動するトラバースの折り返し位置を多孔質母材全体に
分散させることでガラス微粒子の堆積量を長手方向に等
しくし、外径変動を低減する方法が提案されている（特
許第２６１２９４９号公報）。
【０００４】この方法の場合、多孔質母材の長手方向の
外径変動を低減させる効果はあるが、トラバースの折り
返し位置を移動させるので端部のバーナで合成されるガ
ラス微粒子の堆積する領域が長くなり、その結果、折り
返し位置を変化さない場合に比較して非有効部の長さが
長くなり、同時に本来有効部となるべき部分も非有効部
となってしまい有効部の長さが短くなるという問題があ
る。多孔質母材は透明ガラス化し、火炎研磨処理工程を
経て形状を整えた後、線引きして光ファイバとする。多
孔質母材の非有効部のうち、外径の小さい部分は火炎研
磨工程で除去できるが、外径の太い部分を除去するため
には、抵抗炉延伸機などの太い母材のガラスを溶融さ
せ、引きちぎりができる設備を用いる必要があり、工程
が増えて煩雑となり、コスト高となる。あるいは非有効
部の外径の太い部分は、後工程である線引き工程でファ
イバ化しつつ消費することになるが、非有効部が長い場
合には線引き工程で有効部に到達するまでの時間が長く
なりコスト高の原因となる。また、有効部が短くなると
歩留りが低下し、生産性が悪くなるという問題もある。
外径変動を低減させる効果はあるが、トラバースの折り
返し位置を移動させるので端部のバーナで合成されるガ
ラス微粒子の堆積する領域が長くなり、その結果、折り
返し位置を変化さない場合に比較して非有効部の長さが
長くなり、同時に本来有効部となるべき部分も非有効部
となってしまい有効部の長さが短くなるという問題があ
る。多孔質母材は透明ガラス化し、火炎研磨処理工程を
経て形状を整えた後、線引きして光ファイバとする。多
孔質母材の非有効部のうち、外径の小さい部分は火炎研
磨工程で除去できるが、外径の太い部分を除去するため
には、抵抗炉延伸機などの太い母材のガラスを溶融さ
せ、引きちぎりができる設備を用いる必要があり、工程
が増えて煩雑となり、コスト高となる。あるいは非有効
部の外径の太い部分は、後工程である線引き工程でファ
イバ化しつつ消費することになるが、非有効部が長い場
合には線引き工程で有効部に到達するまでの時間が長く
なりコスト高の原因となる。また、有効部が短くなると
歩留りが低下し、生産性が悪くなるという問題もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従
来技術の実状に鑑み、ガラスロッドとガラス微粒子合成
用バーナとを相対的に往復運動させ、ガラスロッドの外
周に一層ずつガラス微粒子を堆積させる多孔質母材の製
造方法において、有効部の長さが長く、端部に形成され
る非有効部が短い多孔質母材を得ることができる多孔質
母材の製造方法を提供することを目的とする。
来技術の実状に鑑み、ガラスロッドとガラス微粒子合成
用バーナとを相対的に往復運動させ、ガラスロッドの外
周に一層ずつガラス微粒子を堆積させる多孔質母材の製
造方法において、有効部の長さが長く、端部に形成され
る非有効部が短い多孔質母材を得ることができる多孔質
母材の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
する手段として、次の（１）〜（７）に示す構成を採る
ものである。 （１）回転するガラスロッドに対向させて３本以上のガ
ラス微粒子合成用バーナを配置し、前記ガラスロッドと
ガラス微粒子合成用バーナとを平行に相対的にほぼバー
ナ間隔の距離ずつ往復運動させ、往復運動の折り返し位
置を一定の幅で一定方向に移動させ、折り返し位置がほ
ぼバーナ間隔分移動したところで折り返し位置を逆方向
に移動させるようにし、順次この操作を繰り返してバー
ナで合成されるガラス微粒子をガラスロッドの表面に順
次堆積させて多孔質母材を製造する方法において、両端
に配置したバーナの移動範囲内の一部又は全部における
該バーナのガラス微粒子合成条件を、他のバーナよりも
単位時間当たりのガラス微粒子堆積量が多い条件に変更
することを特徴とする多孔質母材の製造方法。（２）前
記両端に配置したバーナとガラスロッドとの相対位置を
検出し、その位置に応じて該バーナのガラス微粒子合成
条件を変更することを特徴とする前記（１）の多孔質母
材の製造方法。
する手段として、次の（１）〜（７）に示す構成を採る
ものである。 （１）回転するガラスロッドに対向させて３本以上のガ
ラス微粒子合成用バーナを配置し、前記ガラスロッドと
ガラス微粒子合成用バーナとを平行に相対的にほぼバー
ナ間隔の距離ずつ往復運動させ、往復運動の折り返し位
置を一定の幅で一定方向に移動させ、折り返し位置がほ
ぼバーナ間隔分移動したところで折り返し位置を逆方向
に移動させるようにし、順次この操作を繰り返してバー
ナで合成されるガラス微粒子をガラスロッドの表面に順
次堆積させて多孔質母材を製造する方法において、両端
に配置したバーナの移動範囲内の一部又は全部における
該バーナのガラス微粒子合成条件を、他のバーナよりも
単位時間当たりのガラス微粒子堆積量が多い条件に変更
することを特徴とする多孔質母材の製造方法。（２）前
記両端に配置したバーナとガラスロッドとの相対位置を
検出し、その位置に応じて該バーナのガラス微粒子合成
条件を変更することを特徴とする前記（１）の多孔質母
材の製造方法。
【０００７】（３）前記両端に配置したバーナのガラス
微粒子合成条件の変更を、該バーナへ供給する原料、可
燃性ガス又は支燃性ガスのうちの１種以上の供給量を変
化させることによって行うことを特徴とする前記（１）
又は（２）の多孔質母材の製造方法。 （４）前記ガラス微粒子合成条件の変更を、原料の供給
量を多くすることによって行うことを特徴とする前記
（３）の多孔質母材の製造方法。 （５）前記両端に配置したバーナのガラス微粒子合成条
件の変更を、該バーナへの原料供給量を、他のバーナへ
の原料供給量の１倍を超え、１．１５倍以下とすること
によって行うことを特徴とする前記（４）の多孔質母材
の製造方法。
微粒子合成条件の変更を、該バーナへ供給する原料、可
燃性ガス又は支燃性ガスのうちの１種以上の供給量を変
化させることによって行うことを特徴とする前記（１）
又は（２）の多孔質母材の製造方法。 （４）前記ガラス微粒子合成条件の変更を、原料の供給
量を多くすることによって行うことを特徴とする前記
（３）の多孔質母材の製造方法。 （５）前記両端に配置したバーナのガラス微粒子合成条
件の変更を、該バーナへの原料供給量を、他のバーナへ
の原料供給量の１倍を超え、１．１５倍以下とすること
によって行うことを特徴とする前記（４）の多孔質母材
の製造方法。
【０００８】（６）前記両端に配置したバーナの移動範
囲内の一部又は全部において、該バーナへの原料供給量
を他のバーナへの供給量に比較して多くする区間と少な
くする区間とを設けることを特徴とする前記（１）〜
（５）のいずれか１つの多孔質母材の製造方法。 （７）前記原料供給量を少なくする区間を、多孔質母材
の非有効部側に設定することを特徴とする前記（６）の
多孔質母材の製造方法。
囲内の一部又は全部において、該バーナへの原料供給量
を他のバーナへの供給量に比較して多くする区間と少な
くする区間とを設けることを特徴とする前記（１）〜
（５）のいずれか１つの多孔質母材の製造方法。 （７）前記原料供給量を少なくする区間を、多孔質母材
の非有効部側に設定することを特徴とする前記（６）の
多孔質母材の製造方法。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の方
法を詳細に説明する。図１は本発明の実施態様の１例と
して、等間隔に配置された５本のガラス微粒子合成用バ
ーナ（２本の端部バーナ１と３本の中間バーナ２）を使
用し、バーナとガラスロッド４との相対位置をバーナ間
隔の距離ずつ往復運動させて多孔質母材３を製造する際
の、有効部（外径定常部）５と非有効部（外径非定常
部）６の形成状況を模式的に示す説明図である。なお、
説明の簡略化のため図１では折り返し位置の移動は省略
した形としている。
法を詳細に説明する。図１は本発明の実施態様の１例と
して、等間隔に配置された５本のガラス微粒子合成用バ
ーナ（２本の端部バーナ１と３本の中間バーナ２）を使
用し、バーナとガラスロッド４との相対位置をバーナ間
隔の距離ずつ往復運動させて多孔質母材３を製造する際
の、有効部（外径定常部）５と非有効部（外径非定常
部）６の形成状況を模式的に示す説明図である。なお、
説明の簡略化のため図１では折り返し位置の移動は省略
した形としている。
【００１０】両端に取り付けられている端部バーナ１で
合成されるガラス微粒子が計算どおりの量で堆積する場
合には図１の（ａ）に示したように、それぞれの端部バ
ーナ１のトラバース範囲の中心位置までの範囲が多孔質
母材の有効部５になり、この長さはバーナ設置範囲の長
さと一致するはずである。また、上部、下部にトラバー
スを行うので、バーナ設置範囲の外側へのトラバース分
は非有効部６となる。ところが実際には、バーナにより
合成されるガラス微粒子の堆積範囲は広がりを持ってい
ることから、図１の（ｂ）のように本来有効部５になる
べき位置が非有効部となり、また、ガラス微粒子の堆積
範囲も外側に広がってしまう。
合成されるガラス微粒子が計算どおりの量で堆積する場
合には図１の（ａ）に示したように、それぞれの端部バ
ーナ１のトラバース範囲の中心位置までの範囲が多孔質
母材の有効部５になり、この長さはバーナ設置範囲の長
さと一致するはずである。また、上部、下部にトラバー
スを行うので、バーナ設置範囲の外側へのトラバース分
は非有効部６となる。ところが実際には、バーナにより
合成されるガラス微粒子の堆積範囲は広がりを持ってい
ることから、図１の（ｂ）のように本来有効部５になる
べき位置が非有効部となり、また、ガラス微粒子の堆積
範囲も外側に広がってしまう。
【００１１】本発明者らはこのような問題を解決すべく
鋭意検討を行い、両端のバーナ（端部バーナ１）の移動
範囲内の一部又は全部における該バーナのガラス微粒子
合成条件を、他のバーナ（中間バーナ２）よりも単位時
間当たりのガラス微粒子堆積量が多い条件に変更するこ
とによって、両端の細くなる部分を太くし、有効部の長
さを減少させることなく、非有効部の長さを減少させる
こができることを見出した。なお、本発明において有効
部とは、多孔質母材の目標外径に対して、±５％の変化
までの範囲とする。この範囲であればガラスロッドにコ
ア材を用いた場合のファイバ特性には問題がない。
鋭意検討を行い、両端のバーナ（端部バーナ１）の移動
範囲内の一部又は全部における該バーナのガラス微粒子
合成条件を、他のバーナ（中間バーナ２）よりも単位時
間当たりのガラス微粒子堆積量が多い条件に変更するこ
とによって、両端の細くなる部分を太くし、有効部の長
さを減少させることなく、非有効部の長さを減少させる
こができることを見出した。なお、本発明において有効
部とは、多孔質母材の目標外径に対して、±５％の変化
までの範囲とする。この範囲であればガラスロッドにコ
ア材を用いた場合のファイバ特性には問題がない。
【００１２】端部バーナ１のガラス微粒子合成条件の変
更方法としては、該バーナへ供給する原料、可燃性ガス
又は支燃性ガスのうちの１種以上の供給量を変化させる
方法が一般的であり、特に原料供給量を変化させるのが
効果的である。なお、端部バーナ１への原料供給量の増
減を行う際にはその原料流量に合わせて、可燃性ガス、
支燃性ガスの流量を変更して堆積面温度が略同一になる
ように条件を変更するのが好ましい。
更方法としては、該バーナへ供給する原料、可燃性ガス
又は支燃性ガスのうちの１種以上の供給量を変化させる
方法が一般的であり、特に原料供給量を変化させるのが
効果的である。なお、端部バーナ１への原料供給量の増
減を行う際にはその原料流量に合わせて、可燃性ガス、
支燃性ガスの流量を変更して堆積面温度が略同一になる
ように条件を変更するのが好ましい。
【００１３】原料供給量の変更によってガラス微粒子合
成条件の変更を行う場合、単位時間当たりのガラス微粒
子堆積量を多くするためには、原料供給量を増加させる
（原料流量を上げる）が、流量を上げすぎると外径が細
くなかった範囲が逆に太くなるという現象が見られたた
め、適正な範囲を調べたところ、端部バーナ１への原料
供給量の増加割合が中間バーナ２への原料供給量の１５
％以下であれば、原料供給量増加により外径が太くなる
割合を許容範囲内（外径変動が±５％以内）に抑えられ
ることがわかった。
成条件の変更を行う場合、単位時間当たりのガラス微粒
子堆積量を多くするためには、原料供給量を増加させる
（原料流量を上げる）が、流量を上げすぎると外径が細
くなかった範囲が逆に太くなるという現象が見られたた
め、適正な範囲を調べたところ、端部バーナ１への原料
供給量の増加割合が中間バーナ２への原料供給量の１５
％以下であれば、原料供給量増加により外径が太くなる
割合を許容範囲内（外径変動が±５％以内）に抑えられ
ることがわかった。
【００１４】原料供給量の変更のパターンは種々のケー
スが考えられるが、端部バーナ１の移動範囲内の少なく
とも一部において原料流量を中間バーナ２よりも多くす
る。原料流量を多くした位置よりも外側の範囲では、直
ちにあるいは所定範囲を同じ流量とし、該所定範囲の外
側は原料供給を停止するか流量が少なくなるようにする
のが望ましい。最外側での原料流量を少なくする理由
は、非有効部６での堆積量を減らし、原料の無駄をなく
すため及び不必要なところにガラス微粒子を堆積させな
いためである。原料流量の減量は段階的でもよいし、徐
々に減らしていくパターンでもよく、最終的には中間バ
ーナ２の流量よりも少なくする（停止を含む）のが好ま
しい。
スが考えられるが、端部バーナ１の移動範囲内の少なく
とも一部において原料流量を中間バーナ２よりも多くす
る。原料流量を多くした位置よりも外側の範囲では、直
ちにあるいは所定範囲を同じ流量とし、該所定範囲の外
側は原料供給を停止するか流量が少なくなるようにする
のが望ましい。最外側での原料流量を少なくする理由
は、非有効部６での堆積量を減らし、原料の無駄をなく
すため及び不必要なところにガラス微粒子を堆積させな
いためである。原料流量の減量は段階的でもよいし、徐
々に減らしていくパターンでもよく、最終的には中間バ
ーナ２の流量よりも少なくする（停止を含む）のが好ま
しい。
【００１５】また、端部バーナ１がガラスロッド４のど
の位置に対向しているかを検出し、その位置情報に基づ
いて端部バーナ１への原料供給パターンを変更すること
によって、すなわち、ガラス微粒子が堆積中の多孔質母
材３の外径変動に応じて原料供給量のパターンを変更す
ることにより、太くなりすぎる部分や外側の無駄になる
部分での堆積量を減らし、必要な部分では堆積量を増や
すようにすることによって、効果的に本来有効部となる
べき部分の外径を太く保つことができる。
の位置に対向しているかを検出し、その位置情報に基づ
いて端部バーナ１への原料供給パターンを変更すること
によって、すなわち、ガラス微粒子が堆積中の多孔質母
材３の外径変動に応じて原料供給量のパターンを変更す
ることにより、太くなりすぎる部分や外側の無駄になる
部分での堆積量を減らし、必要な部分では堆積量を増や
すようにすることによって、効果的に本来有効部となる
べき部分の外径を太く保つことができる。
【００１６】端部バーナ１への原料供給量を変化させる
パターンの好ましい例を図２の（ａ）及び（ｂ）に示
す。図２の（ａ）は、端部バーナ１の移動範囲の中央を
挟んだ適当な範囲において原料供給量を増加させ、それ
より多孔質母材３の端部側では原料の供給を停止するパ
ターンであり、図２の（ｂ）は、端部バーナ１の移動範
囲の中央より多孔質母材３の中央側の適当な位置で原料
供給量を増加させ、それより多孔質母材３の端部側では
原料供給量を徐々に減量していくパターンである。図２
の（ａ）及び（ｂ）の右側にバーナ間隔が２００ｍｍの
場合の上下の端部バーナ１の位置を座標で示した（ｘ＝
２００が端部バーナ１の移動範囲の中央となる）。
パターンの好ましい例を図２の（ａ）及び（ｂ）に示
す。図２の（ａ）は、端部バーナ１の移動範囲の中央を
挟んだ適当な範囲において原料供給量を増加させ、それ
より多孔質母材３の端部側では原料の供給を停止するパ
ターンであり、図２の（ｂ）は、端部バーナ１の移動範
囲の中央より多孔質母材３の中央側の適当な位置で原料
供給量を増加させ、それより多孔質母材３の端部側では
原料供給量を徐々に減量していくパターンである。図２
の（ａ）及び（ｂ）の右側にバーナ間隔が２００ｍｍの
場合の上下の端部バーナ１の位置を座標で示した（ｘ＝
２００が端部バーナ１の移動範囲の中央となる）。
【００１７】これらの条件では端部の有効部長を長くす
ることができ、無駄な部分には原料を供給しないか又は
供給量を少なくするので、原料使用量に対する歩留りが
向上し好ましい実施形態である。これらの場合の良好な
原料増加範囲は１５％以下とし、更にガラス微粒子堆積
部の割れ防止の観点から、端部で原料を減らす場合の原
料供給量は他のバーナへの供給量よりも少なくするのが
好ましい。
ることができ、無駄な部分には原料を供給しないか又は
供給量を少なくするので、原料使用量に対する歩留りが
向上し好ましい実施形態である。これらの場合の良好な
原料増加範囲は１５％以下とし、更にガラス微粒子堆積
部の割れ防止の観点から、端部で原料を減らす場合の原
料供給量は他のバーナへの供給量よりも少なくするのが
好ましい。
【００１８】
【実施例】以下、実施例により本発明の方法をさらに具
体的に説明するが、本発明はこれらの例に限定されるも
のではない。 （実施例１）図１のようにガラス微粒子合成用バーナを
５本用い、バーナ間隔を２００ｍｍに設置し多孔質母材
３の製造試験を行った。バーナとガラスロッド４との相
対移動はガラスロッド４を上下方向に往復運動させるこ
とによって行い、１回の１方向への移動距離はバーナ間
隔とし、折り返し位置を２０ｍｍずつ移動させて折り返
し位置が２００ｍｍずれたところで折り返し位置を反対
方向に移動させ始め、折り返し位置が最初の位置に戻っ
たところで折り返し位置を反対方向に移動させることを
繰り返すことによって、ガラス微粒子の堆積を行った。
体的に説明するが、本発明はこれらの例に限定されるも
のではない。 （実施例１）図１のようにガラス微粒子合成用バーナを
５本用い、バーナ間隔を２００ｍｍに設置し多孔質母材
３の製造試験を行った。バーナとガラスロッド４との相
対移動はガラスロッド４を上下方向に往復運動させるこ
とによって行い、１回の１方向への移動距離はバーナ間
隔とし、折り返し位置を２０ｍｍずつ移動させて折り返
し位置が２００ｍｍずれたところで折り返し位置を反対
方向に移動させ始め、折り返し位置が最初の位置に戻っ
たところで折り返し位置を反対方向に移動させることを
繰り返すことによって、ガラス微粒子の堆積を行った。
【００１９】中間バーナ２には原料としてＳｉＣｌ4 を
３リットル／分、水素を５０〜１００リットル／分（初
期は５０リットル／分とし、多孔質母材３の成長に従っ
て増量し、最終的に１００リットル／分とした）、酸素
は８０リットル／分供給した。端部バーナ１には、それ
ぞれ原料としてＳｉＣｌ4 を３．３リットル／分、水素
と酸素は堆積面温度が他のバーナと同じになるように調
整して供給した。
３リットル／分、水素を５０〜１００リットル／分（初
期は５０リットル／分とし、多孔質母材３の成長に従っ
て増量し、最終的に１００リットル／分とした）、酸素
は８０リットル／分供給した。端部バーナ１には、それ
ぞれ原料としてＳｉＣｌ4 を３．３リットル／分、水素
と酸素は堆積面温度が他のバーナと同じになるように調
整して供給した。
【００２０】この状態で多孔質母材３を作製したが、こ
のときの有効部長は７００ｍｍで、有効部の外形変動は
±５％以内であり良好であった。更に同様にして端部バ
ーナに供給する原料流量を変更して有効長、非有効部長
（テーパ長、片方についての長さ）を調べた。結果を図
４、５に示す。その結果、１５％を超えて増加させた場
合、多孔質母材３の内側に外径の大きくなりすぎる部分
が発生し、有効部長は短くなり、非有効部長が長くなる
が、原料をわずかでも増やした場合には有効部を長く、
非有効部長を短くできる効果があることがわかった。
のときの有効部長は７００ｍｍで、有効部の外形変動は
±５％以内であり良好であった。更に同様にして端部バ
ーナに供給する原料流量を変更して有効長、非有効部長
（テーパ長、片方についての長さ）を調べた。結果を図
４、５に示す。その結果、１５％を超えて増加させた場
合、多孔質母材３の内側に外径の大きくなりすぎる部分
が発生し、有効部長は短くなり、非有効部長が長くなる
が、原料をわずかでも増やした場合には有効部を長く、
非有効部長を短くできる効果があることがわかった。
【００２１】（比較例１）端部バーナ１への原料、水
素、酸素の供給量を中間バーナ２と同じとした他は実施
例１と同様に操作し、多孔質母材３を作製したところ、
有効部長は６００ｍｍ、非有効部長は３５０ｍｍであっ
た。
素、酸素の供給量を中間バーナ２と同じとした他は実施
例１と同様に操作し、多孔質母材３を作製したところ、
有効部長は６００ｍｍ、非有効部長は３５０ｍｍであっ
た。
【００２２】（実施例２）端部バーナ１の流量を図３
（ａ）のパターンでＱ０＝３リットル／分、Ｑ１＝３．
３リットル／分、Ｑ２＝０リットル／分、ｘ２＝４００
ｍｍとしてｘ１を０〜４００ｍｍの間で変化させた（図
２の座標で０〜４００の間で変化させた）他は実施例１
と同様に操作し、多孔質母材３を作製して有効部長、非
有効部長を調べた。その結果を図６、７に示す。全ての
条件で有効部長は７００ｍｍ以上となり、有効部長を伸
ばすことができることがわかった。また非有効部長につ
いても全ての条件で２７５ｍｍ以下となり、全体として
の多孔質母材の有効部歩留りが向上することがわかっ
た。
（ａ）のパターンでＱ０＝３リットル／分、Ｑ１＝３．
３リットル／分、Ｑ２＝０リットル／分、ｘ２＝４００
ｍｍとしてｘ１を０〜４００ｍｍの間で変化させた（図
２の座標で０〜４００の間で変化させた）他は実施例１
と同様に操作し、多孔質母材３を作製して有効部長、非
有効部長を調べた。その結果を図６、７に示す。全ての
条件で有効部長は７００ｍｍ以上となり、有効部長を伸
ばすことができることがわかった。また非有効部長につ
いても全ての条件で２７５ｍｍ以下となり、全体として
の多孔質母材の有効部歩留りが向上することがわかっ
た。
【００２３】（実施例３）端部バーナ１の流量を図３
（ａ）のパターンでＱ０＝３リットル／分、Ｑ１＝３．
３リットル／分、Ｑ２＝０リットル／分、ｘ１＝２００
ｍｍとし、ｘ２を２００〜４００ｍｍの間で変化させた
他は実施例１と同様に操作し、多孔質母材３を作製して
有効部長、非有効部長を調べた。その結果は図８、９に
示すようになり、有効部長は７１０ｍｍ前後でほとんど
変化しなかった。また、非有効部長は全ての条件で２７
５ｍｍ以下であった。
（ａ）のパターンでＱ０＝３リットル／分、Ｑ１＝３．
３リットル／分、Ｑ２＝０リットル／分、ｘ１＝２００
ｍｍとし、ｘ２を２００〜４００ｍｍの間で変化させた
他は実施例１と同様に操作し、多孔質母材３を作製して
有効部長、非有効部長を調べた。その結果は図８、９に
示すようになり、有効部長は７１０ｍｍ前後でほとんど
変化しなかった。また、非有効部長は全ての条件で２７
５ｍｍ以下であった。
【００２４】（実施例４）端部バーナ１の流量を図３
（ｂ）のパターンでＱ０＝３リットル／分、Ｑ１＝３．
６リットル／分、Ｑ２＝０リットル／分とし、ｘ１を０
〜４００ｍｍの間で変化させた他は実施例１と同様に操
作し、多孔質母材３を作製して有効部長、非有効部長を
調べた。その結果は図１０、１１に示すようになり、全
ての条件で有効長が長くなり良好であった。また、非有
効部長は全ての条件で３５０ｍｍ以下であった。
（ｂ）のパターンでＱ０＝３リットル／分、Ｑ１＝３．
６リットル／分、Ｑ２＝０リットル／分とし、ｘ１を０
〜４００ｍｍの間で変化させた他は実施例１と同様に操
作し、多孔質母材３を作製して有効部長、非有効部長を
調べた。その結果は図１０、１１に示すようになり、全
ての条件で有効長が長くなり良好であった。また、非有
効部長は全ての条件で３５０ｍｍ以下であった。
【００２５】
【発明の効果】本発明の方法によれば、端部バーナにお
けるガラス微粒子合成条件を換えることにより、有効部
の長さが長く、端部に形成される非有効部が短い多孔質
母材を、効率的に製造することができる。
けるガラス微粒子合成条件を換えることにより、有効部
の長さが長く、端部に形成される非有効部が短い多孔質
母材を、効率的に製造することができる。
【図１】本発明の実施態様の１例における有効部と非有
効部の形成状況を模式的に示す説明図。
効部の形成状況を模式的に示す説明図。
【図２】本発明における端部バーナへの原料供給量を変
化させるパターンの好ましい例を示す説明図。
化させるパターンの好ましい例を示す説明図。
【図３】実施例２〜４における端部バーナへの原料供給
量の変更パターンを示す説明図。
量の変更パターンを示す説明図。
【図４】実施例１における原料増加率と有効部長との関
係を示す図。
係を示す図。
【図５】実施例１における原料増加率とテーパ長との関
係を示す図。
係を示す図。
【図６】実施例２におけるｘ１と有効部長との関係を示
す図。
す図。
【図７】実施例２におけるｘ１と非有効部長との関係を
示す図。
示す図。
【図８】実施例３におけるｘ２と有効部長との関係を示
す図。
す図。
【図９】実施例３におけるｘ２と非有効部長との関係を
示す図。
示す図。
【図１０】実施例４におけるｘ１と有効部長との関係を
示す図。
示す図。
【図１１】実施例４におけるｘ１と非有効部長との関係
を示す図。
を示す図。
１ 端部バーナ ２ 中間バーナ ３多孔質母材
４ ガラスロッド ５ 有効部 ６ 非有効部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−310745（ＪＰ，Ａ)
特開2000−44276（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−228845（ＪＰ，Ａ)
特表2001−504426（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03B 8/04
C03B 20/00
C03B 37/00 - 37/16
Claims (7)
- 【請求項１】 回転するガラスロッドに対向させて３本
以上のガラス微粒子合成用バーナを配置し、前記ガラス
ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを平行に相対的に
ほぼバーナ間隔の距離ずつ往復運動させ、往復運動の折
り返し位置を一定の幅で一定方向に移動させ、折り返し
位置がほぼバーナ間隔分移動したところで折り返し位置
を逆方向に移動させるようにし、順次この操作を繰り返
してバーナで合成されるガラス微粒子をガラスロッドの
表面に順次堆積させて多孔質母材を製造する方法におい
て、両端に配置したバーナの移動範囲内の一部又は全部
における該バーナのガラス微粒子合成条件を、他のバー
ナよりも単位時間当たりのガラス微粒子堆積量が多い条
件に変更することを特徴とする多孔質母材の製造方法。 - 【請求項２】 前記両端に配置したバーナとガラスロッ
ドとの相対位置を検出し、その位置に応じて該バーナの
ガラス微粒子合成条件を変更することを特徴とする請求
項１に記載の多孔質母材の製造方法。 - 【請求項３】 前記両端に配置したバーナのガラス微粒
子合成条件の変更を、該バーナへ供給する原料、可燃性
ガス又は支燃性ガスのうちの１種以上の供給量を変化さ
せることによって行うことを特徴とする請求項１又は２
に記載の多孔質母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記ガラス微粒子合成条件の変更を、原
料の供給量を多くすることによって行うことを特徴とす
る請求項３に記載の多孔質母材の製造方法。 - 【請求項５】 前記両端に配置したバーナのガラス微粒
子合成条件の変更を、該バーナへの原料供給量を、他の
バーナへの原料供給量の１倍を超え、１．１５倍以下と
することによって行うことを特徴とする請求項４に記載
の多孔質母材の製造方法。 - 【請求項６】 前記両端に配置したバーナの移動範囲内
の一部又は全部において、該バーナへの原料供給量を他
のバーナへの供給量に比較して多くする区間と少なくす
る区間とを設けることを特徴とする請求項１〜５のいず
れか１項に記載の多孔質母材の製造方法。 - 【請求項７】 前記原料供給量を少なくする区間を、多
孔質母材の非有効部側に設定することを特徴とする請求
項６に記載の多孔質母材の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001286326A JP3512027B2 (ja) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | 多孔質母材の製造方法 |
| CNB021425442A CN1215002C (zh) | 2001-09-20 | 2002-09-20 | 用于生产粉尘体的方法 |
| EP02021324A EP1295854A3 (en) | 2001-09-20 | 2002-09-20 | Method for producing a glass soot preform for optical fibres by vapour phase deposition |
| US10/247,514 US6837077B2 (en) | 2001-09-20 | 2002-09-20 | Method for producing soot body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001286326A JP3512027B2 (ja) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | 多孔質母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003095664A JP2003095664A (ja) | 2003-04-03 |
| JP3512027B2 true JP3512027B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=19109332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001286326A Expired - Fee Related JP3512027B2 (ja) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | 多孔質母材の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6837077B2 (ja) |
| EP (1) | EP1295854A3 (ja) |
| JP (1) | JP3512027B2 (ja) |
| CN (1) | CN1215002C (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4836371B2 (ja) | 2001-09-13 | 2011-12-14 | パナソニック株式会社 | 正極活物質およびこれを含む非水電解質二次電池 |
| US8658125B2 (en) | 2001-10-25 | 2014-02-25 | Panasonic Corporation | Positive electrode active material and non-aqueous electrolyte secondary battery containing the same |
| DE60209775D1 (de) * | 2001-11-01 | 2006-05-04 | Sumitomo Electric Industries | Verfahren zur herstellung von grundmaterial für lichtleitfasern |
| JP4370798B2 (ja) * | 2002-04-18 | 2009-11-25 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
| JP4554911B2 (ja) | 2003-11-07 | 2010-09-29 | パナソニック株式会社 | 非水電解質二次電池 |
| JP4140839B2 (ja) * | 2003-11-19 | 2008-08-27 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP2005225702A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| KR100606053B1 (ko) * | 2004-11-24 | 2006-07-31 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 모재 제조 장치 |
| US8230701B2 (en) * | 2008-05-28 | 2012-07-31 | Corning Incorporated | Method for forming fused silica glass using multiple burners |
| JP4926164B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2012-05-09 | 信越化学工業株式会社 | 高周波誘導熱プラズマトーチを用いた光ファイバプリフォームの製造方法及び装置 |
| JP5190966B2 (ja) * | 2009-07-27 | 2013-04-24 | 信越化学工業株式会社 | 高周波誘導熱プラズマトーチを用いた光ファイバプリフォームの製造方法 |
| RU2579860C2 (ru) * | 2011-02-09 | 2016-04-10 | Эй.Си.Эн 166 970 627 Пти Лтд | Демпфирующее устройство для демпфирования вибраций |
| JP6409405B2 (ja) * | 2014-08-21 | 2018-10-24 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| US10464838B2 (en) * | 2015-01-13 | 2019-11-05 | Asi/Silica Machinery, Llc | Enhanced particle deposition system and method |
| CN112777929A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-05-11 | 浙江富通光纤技术有限公司 | 预制棒沉积方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63310745A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-19 | Fujikura Ltd | ガラス母材の製造装置 |
| JPH0686300B2 (ja) * | 1987-07-01 | 1994-11-02 | 信越石英株式会社 | すす状シリカ体及びその製造方法 |
| JP2612941B2 (ja) * | 1989-09-22 | 1997-05-21 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 |
| JPH03126633A (ja) | 1989-10-09 | 1991-05-29 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP2612949B2 (ja) * | 1990-02-01 | 1997-05-21 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバプリフォーム母材の製造方法 |
| JP2622182B2 (ja) * | 1990-03-29 | 1997-06-18 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバプリフォーム母材の製造方法 |
| JPH07126031A (ja) | 1993-10-27 | 1995-05-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法 |
| DE19628958C2 (de) * | 1996-07-18 | 2000-02-24 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern |
| JP3521681B2 (ja) * | 1996-08-13 | 2004-04-19 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP3131162B2 (ja) * | 1996-11-27 | 2001-01-31 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバプリフォームの製造方法 |
| EP1044931A4 (en) * | 1997-12-26 | 2005-03-09 | Sumitomo Electric Industries | METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING OPTICAL FIBER BASE MATERIAL |
| JP3396430B2 (ja) * | 1998-07-23 | 2003-04-14 | 信越化学工業株式会社 | 光ファィバ母材の製造方法および光ファィバ母材を製造する装置 |
| KR100651146B1 (ko) * | 1999-07-02 | 2006-11-28 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 유리 모재를 제조하는 장치 및 그 방법 |
| JP2002338258A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-11-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置 |
-
2001
- 2001-09-20 JP JP2001286326A patent/JP3512027B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-09-20 EP EP02021324A patent/EP1295854A3/en not_active Withdrawn
- 2002-09-20 CN CNB021425442A patent/CN1215002C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-09-20 US US10/247,514 patent/US6837077B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6837077B2 (en) | 2005-01-04 |
| EP1295854A2 (en) | 2003-03-26 |
| JP2003095664A (ja) | 2003-04-03 |
| CN1408662A (zh) | 2003-04-09 |
| EP1295854A3 (en) | 2004-01-07 |
| CN1215002C (zh) | 2005-08-17 |
| US20030070450A1 (en) | 2003-04-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3512027B2 (ja) | 多孔質母材の製造方法 | |
| JP2612949B2 (ja) | 光ファイバプリフォーム母材の製造方法 | |
| EP2583952B1 (en) | Method and burner for producing a porous glass preform | |
| JP3521681B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP2002338258A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置 | |
| JP4614782B2 (ja) | 光ファイバ用石英ガラス母材の製造方法 | |
| KR100496449B1 (ko) | 광섬유모재 제조를 위한 외부기상 증착장치 및 이를 이용한 광섬유모재 제조방법 | |
| JP2019064897A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 | |
| JP4196700B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造法 | |
| JP3510425B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP4495070B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| WO2003037809A1 (fr) | Procede d'obtention d'un materiau de base pour fibre optique | |
| JP3917022B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| US20020189298A1 (en) | Apparatus for manufacturing an optical fiber soot, and method for manufacturing an optical fiber soot using the same | |
| JP2002338256A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置 | |
| JPH0777968B2 (ja) | 光ファイバープリフォーム母材の製造方法 | |
| JP2003040623A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JP4140839B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP3521898B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH1121143A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP3587032B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP2001048550A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造装置及び方法 | |
| JP4398114B2 (ja) | 凹凸の少ない光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JPS60260433A (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| JP2003081645A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法及びその製造方法で得られたガラス微粒子堆積体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031229 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3512027 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090116 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090116 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100116 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110116 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110116 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140116 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |