JP6700307B2 - 改良された粒子蒸着システムと方法 - Google Patents
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Description
第二ステップにおいて、原料ロッドにクラッドが積層される。このステップの結果、コアとクラッドとを有する母材が得られる。慣習的にこの母材は、直径約160mm、長さ約1メートル、である。
第三ステップはファイバ線引で、母材が加熱延伸され、典型的には長さ約400kmの光ファイバが製造される。
SiCl4+O2=SiO2+2Cl2 (I)
ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための第一のバーナーセットと、
ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための第二のバーナーセットと、
ワークピースを保持し、第一および第二のバーナーセットに対してワークピースを回転させるための旋盤と、を含む。
ワークピースの第一および第二の部分は、互いにオーバーラップしてオーバーラップ部分を形成する。好ましくは、同一のセットに属する隣接するいずれの蒸着バーナー間の最長距離も、異なるセットに属するバーナー間の最短距離より短い。
ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための第一のバーナーセットと、
ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための第二のバーナーセットと、
ワークピースの第三の部分にシリカ粒子を蒸着するための第三のバーナーセットと、
ワークピースを保持し、第一、第二、および、第三、のバーナーセットに対してワークピースを回転させるための旋盤と、を含む。
ワークピースの第一および第二の部分は、好ましくは、互いにオーバーラップして、第一のオーバーラップ部分を形成するが、第一のオーバーラップ部分に、第一のバーナーセットに属する一つ目のバーナーと、第二のバーナーセットに属する二つ目のバーナーが、実質的にシリカ粒子を蒸着する。同様に、ワークピースの第二および第三の部分は、好ましくは、互いにオーバーラップして、第二のオーバーラップ部分を形成するが、第二のオーバーラップ部分に、第二および第三のバーナーセットの各々からのバーナーが、実質的にシリカ粒子を蒸着する。この構造において、同一のセットに属する隣接するいずれの蒸着バーナー間の最長距離も、異なるセットに属するバーナー間の最短距離より短い。
Claims (21)
- ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第一のバーナーと第二のバーナーを有する第一の化学蒸着バーナーセットと;
ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第三のバーナーと第四のバーナーを有する第二の化学蒸着バーナーセットと;
ワークピースを保持し、第一および第二のバーナーセットに対してワークピースを回転させるための旋盤と、を含み;
第一の化学蒸着バーナーセットおよび第二の化学蒸着バーナーセットは、ワークピースに対向してワークピース長手方向に並ぶように、一定の間隔を空くようにして設けられ、
各化学蒸着バーナーセットによってワークピース長手方向において部分的にシリカ粒子が蒸着されるように、第一の化学蒸着バーナーセットおよび第二の化学蒸着バーナーセットとワークピースとは相対的に移動され、
ワークピースの第一および第二の部分は、ワークピースの両端部ではない中央部において、異なる化学蒸着バーナーセットにそれぞれ属する一個ずつのバーナーからシリカ粒子が蒸着されるオーバーラップ部分を有し、
同一のセットに属する隣接するいずれの蒸着バーナー間の最長距離も、異なるセットに属するバーナー間の最短距離より短い、ワークピー上にシリカ粒子を蒸着するための蒸着システム。 - 第一および第二のバーナーが、互いにほぼ距離dを隔てて配置され、
第三および第四のバーナーが、互いにほぼ距離dを隔てて配置され、
第一のバーナーセットと第二のバーナーセットとの間の平均距離Tが3×dを超え、
オーバーラップ部分が約dの幅を有する請求項1に記載の蒸着システム。 - ワークピースLの長さが約80cm超であり、dが約80mmと約150mmとの間である請求項1に記載の蒸着システム。
- Lが第一のバーナーセットと第二のバーナーセットとの間の平均距離Tの2倍を超える請求項3に記載の蒸着システム。
- 蒸着のあいだ、第一、第二、第三、および、第四、のバーナーが、共通の原料源から化学物質を受け取り、ほぼ同じ率でスートを放出する請求項1に記載の蒸着システム。
- 化学蒸着バーナーの総数が四個である請求項1に記載の蒸着システム。
- 原料ロッドを得るステップと;
光ファイバ母材を製造するために原料ロッドに溶融シリカを蒸着するステップと、を含み;
蒸着するステップが:
互いに約dの距離を隔てた第一のバーナー対をワークピースと相対的に移動させることで原料ロッドの第一の部分にシリカを蒸着するステップと、
第一のバーナー対とワークピースの長手方向に一定の間隔を空けて設けられた互いに約dの距離を隔てた第二のバーナー対をワークピースと相対的に移動させることで原料ロッドの第二の部分にシリカを蒸着するステップと、を含み、
第一および第二の部分は、ワークピースの両端部ではない中央部において、第一のバーナー対および第二のバーナー対にそれぞれ属する一個ずつのバーナーからシリカ粒子が蒸着されるオーバーラップ部分を有し、当該オーバーラップ部分は約dの幅を有し、第一のバーナー対と第二のバーナー対とが距離Tで隔てられ、Tがdの三倍を超える光ファイバを製造する方法。 - 光ファイバ母材を焼結するステップと、光ファイバ母材を光ファイバへと線引するステップと、をさらに含む請求項7に記載の方法。
- 光ファイバに保護コーティングを形成し、保護された光ファイバを形成するステップをさらに含む請求項8に記載の方法。
- 保護された光ファイバを管に配置し、光ファイバケーブルを形成するステップをさらに含む請求項9に記載の方法。
- 前記dが約80mmを超える請求項10に記載の方法。
- ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための第一のバーナーセットと;
ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための第二のバーナーセットと;
ワークピースの第三の部分にシリカ粒子を蒸着するための第三のバーナーセットと;
ワークピースを保持し、第一、第二、および、第三、のバーナーセットに対してワークピースを回転させるための旋盤と、を含み;
第一の化学蒸着バーナーセット、第二の化学蒸着バーナーセット、および第三の化学蒸着バーナーセットは、ワークピースに対向してワークピース長手方向に並ぶように、一定の間隔を空くようにして設けられ、
第一の化学蒸着バーナーセット、第二の化学蒸着バーナーセット、および第三の化学蒸着バーナーセットとワークピースとを相対的に移動させることで各化学蒸着バーナーセットによってワークピース長手方向において部分的にシリカ粒子を蒸着し、
ワークピースの第一および第二の部分は、ワークピースの両端部ではない中央部において、異なる化学蒸着バーナーセットにそれぞれ属する一個ずつのバーナーからシリカ粒子が蒸着される第一のオーバーラップ部分を形成し、
ワークピースの第二および第三の部分は、ワークピースの両端部ではない中央部において、異なる化学蒸着バーナーセットにそれぞれ属する一個ずつのバーナーからシリカ粒子が蒸着される第二のオーバーラップ部分を形成し、
同一のセットに属する隣接するいずれの蒸着バーナー間の最長距離も、異なるセットに属するバーナー間の最短距離より短い、ワークピース上にシリカ粒子を蒸着するための蒸着システム。 - 第一のバーナーセットが第一と第二のバーナーを含み、
第二のバーナーセットが第三と第四のバーナーを含み、および、
第三のバーナーセットが第五と第六のバーナーを含み、
各セットのバーナー間の間隔がほぼ距離dであり、
第一のバーナーセットと第二のバーナーセットとの間の平均距離T、および、第二のバーナーセットと第三のバーナーセットとの間の平均距離T、が3×dを超え、
オーバーラップ部分が約dの幅を有する請求項12に記載の蒸着システム。 - ワークピースLの長さが約80cm超であり、dが約80mmと約150mmとの間である請求項12に記載の蒸着システム。
- Lが第一のバーナーセットと第二のバーナーセットとの間の平均距離Tの3倍を超える請求項14に記載の蒸着システム。
- 蒸着のあいだ、第一、第二、第三、第四、第五、および、第六、のバーナーが共通の原料源から化学物質を受け取り、ほぼ同じ率でスートをワークピースに放出する請求項12に記載の蒸着システム。
- 原料ロッドを得るステップと;
光ファイバ母材を製造するために原料ロッドに溶融シリカを蒸着するステップと、を含み;
蒸着するステップが:
互いに約dの距離を隔てた第一のバーナー対をワークピースと相対的に移動させることで原料ロッドの第一の部分にシリカを蒸着するステップと、
第一のバーナー対とワークピースの長手方向に一定の間隔を空けて設けられた互いに約dの距離を隔てた第二のバーナー対をワークピースと相対的に移動させることで原料ロッドの第二の部分にシリカを蒸着するステップと、
第二のバーナー対とワークピースの長手方向の第一のバーナー対と反対側に一定の間隔を空けて互いに約dの距離を隔てた第三のバーナー対をワークピースと相対的に移動させることで原料ロッドの第三の部分にシリカを蒸着するステップと、を含み、
第一および第二の部分は、ワークピースの両端部ではない中央部において、第一のバーナー対および第二のバーナー対にそれぞれ属する一個ずつのバーナーからシリカ粒子が蒸着される第一オーバーラップ部分を有し、当該第一オーバーラップ部分は約dの幅を有し、
第二および第三の部分は、ワークピースの両端部ではない中央部において、第二のバーナー対および第三のバーナー対にそれぞれ属する一個ずつのバーナーからシリカ粒子が蒸着される第二オーバーラップ部分を有し、当該第二オーバーラップ部分は約dの幅を有し、
第一のバーナー対の一個のバーナーと第二のバーナー対の一個のバーナーとの間の最短距離はdより大きく、
第二のバーナー対の一個のバーナーと第三のバーナー対の一個のバーナーとの間の最短距離はdより大きい光ファイバを製造する方法。 - 光ファイバ母材を焼結するステップと、光ファイバ母材を光ファイバへと線引するステップと、をさらに含む請求項17に記載の方法。
- 光ファイバに保護コーティングを形成し、保護された光ファイバを形成するステップをさらに含む請求項18に記載の方法。
- 保護された光ファイバを管に配置し、光ファイバケーブルを形成するステップをさらに含む請求項19に記載の方法。
- 前記dが約80mmを超える、請求項20に記載の方法。
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