JPS62132740A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS62132740A JPS62132740A JP27227985A JP27227985A JPS62132740A JP S62132740 A JPS62132740 A JP S62132740A JP 27227985 A JP27227985 A JP 27227985A JP 27227985 A JP27227985 A JP 27227985A JP S62132740 A JPS62132740 A JP S62132740A
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- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
、〔概要〕
内付化学気相堆積法により光ファイバ母相を製造するに
あたり、クラッドとなる石英ガラス管の肉厚には、生産
ロッドによりバラツキがある。したがって石英ガラス管
の内壁にクラッド堆積層を生成して、このバラツキを無
くし、その後、コア堆積層を生成することにより、光フ
ァイバ母料を線引きして得られる光ファイバの屈折率、
及び屈折率分布のバラツキを無くする。
あたり、クラッドとなる石英ガラス管の肉厚には、生産
ロッドによりバラツキがある。したがって石英ガラス管
の内壁にクラッド堆積層を生成して、このバラツキを無
くし、その後、コア堆積層を生成することにより、光フ
ァイバ母料を線引きして得られる光ファイバの屈折率、
及び屈折率分布のバラツキを無くする。
本発明は、内付化学気相堆積法による石英系光ファイバ
母材の製造方法に関する。
母材の製造方法に関する。
石英系光ファイバ母材の製造方法としては、内付化学気
相堆積法が広く使用されている。
相堆積法が広く使用されている。
この内付化学気相堆積法とは、ガラスの原料である５ｊ
ＣＬｎ＋ ＧｅＣＬｌ、 ＰＯＣｌ２． Ｂａｒｎ
等の原料ガスを酸素と共に、加熱された石英ガラス管
内に送込み、クラッドとなる石英ガラス管よりも屈折率
の大きいコアとなるガラス層を、石英管の内壁面に堆積
合成する方法である。
ＣＬｎ＋ ＧｅＣＬｌ、 ＰＯＣｌ２． Ｂａｒｎ
等の原料ガスを酸素と共に、加熱された石英ガラス管
内に送込み、クラッドとなる石英ガラス管よりも屈折率
の大きいコアとなるガラス層を、石英管の内壁面に堆積
合成する方法である。
斯くして得られた光ファイバ母材は、２０００°Ｃ以上
に加熱し、線引きすることにより、所望の線径の光ファ
イバにすることができる。
に加熱し、線引きすることにより、所望の線径の光ファ
イバにすることができる。
第３図の光ファイバ母材の製造装置の構成図を参照して
、内付化学気相堆積法を詳述する。
、内付化学気相堆積法を詳述する。
第３図において、上は光ファイバのクラッドを形成する
、例えば外径が２０Ｒ１肉厚が１．７龍前後、長さ１０
００ｍｍの細長い中空の石英ガラス管である。
、例えば外径が２０Ｒ１肉厚が１．７龍前後、長さ１０
００ｍｍの細長い中空の石英ガラス管である。
石英ガラス管１の両端にはそれぞれ、石英ガラス管１を
ガラス旋盤４に装着して回転させるためのサポート管（
例えば外径３５ｎ＋、内径３０璽■、長ざ４００日の細
長い中空石英管）が融着されている。
ガラス旋盤４に装着して回転させるためのサポート管（
例えば外径３５ｎ＋、内径３０璽■、長ざ４００日の細
長い中空石英管）が融着されている。
この２つのサポート管のうら、ガラス旋盤４のベッド上
に装着された駆動側チャック５に支持される方を、排気
側サポート管３と呼称し、従動側チャック６に支持され
る他方を、投入側サポート管２と呼称している。
に装着された駆動側チャック５に支持される方を、排気
側サポート管３と呼称し、従動側チャック６に支持され
る他方を、投入側サポート管２と呼称している。
投入側サポート管２の端末を絞り、回転ジヨイント７を
介してガス供給装置ｌＯに連結し、コア層（場合によっ
てはクラッド層のこともある）の原料である５ｔＣＬ、
、 ＧｅＣＬ＊、 ＰＯＣＬｚ、等の原料ガス及び酸素
を蓄え、切り換えバルブ９を介してこれらのガスを選択
し、石英ガラス管１の内部に供給している。
介してガス供給装置ｌＯに連結し、コア層（場合によっ
てはクラッド層のこともある）の原料である５ｔＣＬ、
、 ＧｅＣＬ＊、 ＰＯＣＬｚ、等の原料ガス及び酸素
を蓄え、切り換えバルブ９を介してこれらのガスを選択
し、石英ガラス管１の内部に供給している。
酸水素バーナ−８は、ベッド上を石英ガラス管１の軸心
に平行して、往復運動する如く構成され、石英ガラス管
１を１３００℃乃至１６００℃に加熱し、原料ガスに石
英ガラス管ｌ内で熱酸化反応を起こさせるものである。
に平行して、往復運動する如く構成され、石英ガラス管
１を１３００℃乃至１６００℃に加熱し、原料ガスに石
英ガラス管ｌ内で熱酸化反応を起こさせるものである。
この酸水素バーナ−８の前進（投入側サポート管２側よ
り排気側サポート管３側への運動）速度は、例えば毎分
１８０ ｖｓ＊と比較的遅い速度であり、後退速度は、
例えば毎分１５０（ｈｔの速戻りである。
り排気側サポート管３側への運動）速度は、例えば毎分
１８０ ｖｓ＊と比較的遅い速度であり、後退速度は、
例えば毎分１５０（ｈｔの速戻りである。
この際、コアガラスの屈折率、屈折率分布の一定な光フ
ァイバ母材の要望が強い。
ァイバ母材の要望が強い。
従来の光ファイバ母相の製造方法は、第３図のような装
置を使用して、ガラス旋盤４を駆動し、石英ガラス管１
（投入側サポート管２．排気側サポート管３もともに
回転する）を回転しながら、ガス供給装置ＩＯより原料
ガスを石英ガラス管１内に送風し、且つ酸水素バーナ−
８に往復運動を与えて、石英ガラス管ｌを一様に加熱し
て、第２図の従来例の断面図の如くに、石英ガラス管１
の内壁に直接コア堆積層２０を生成させている。
置を使用して、ガラス旋盤４を駆動し、石英ガラス管１
（投入側サポート管２．排気側サポート管３もともに
回転する）を回転しながら、ガス供給装置ＩＯより原料
ガスを石英ガラス管１内に送風し、且つ酸水素バーナ−
８に往復運動を与えて、石英ガラス管ｌを一様に加熱し
て、第２図の従来例の断面図の如くに、石英ガラス管１
の内壁に直接コア堆積層２０を生成させている。
詳述すれば、コア堆積層の原料ガスであるところの５ｉ
ＣＬ４．ＧａＣｌ２． ＰＯＣＬｔ、を酸素とともに、
石英ガラス管ｌ内に送風、加熱すると、熱酸化反応によ
って、ドーパントとしてＧｅ、Ｐ等の酸化物を含んだＳ
ｉｎｇのガラス層が、石英ガラス管１の管内壁に堆積し
てコア堆積層２０を形成する。
ＣＬ４．ＧａＣｌ２． ＰＯＣＬｔ、を酸素とともに、
石英ガラス管ｌ内に送風、加熱すると、熱酸化反応によ
って、ドーパントとしてＧｅ、Ｐ等の酸化物を含んだＳ
ｉｎｇのガラス層が、石英ガラス管１の管内壁に堆積し
てコア堆積層２０を形成する。
なお、酸水素バーナ−８の１回の前進により、厚ざ５０
μｍ程度のコア膜が堆積されるので、堆積層が光ファイ
バの外径−コア径比に合った厚み、（例えば石英ガラス
管の外径が２０■ｌ、肉厚が１゜７鶴の場合０．５鶴の
厚ざのコア堆積層）に達するまで、この操作を繰り返す
。
μｍ程度のコア膜が堆積されるので、堆積層が光ファイ
バの外径−コア径比に合った厚み、（例えば石英ガラス
管の外径が２０■ｌ、肉厚が１゜７鶴の場合０．５鶴の
厚ざのコア堆積層）に達するまで、この操作を繰り返す
。
その後、原料ガスの供給を停止し、酸水素バーナ−８の
火力を増加して、石英ガラス管１を１７００°Ｃ前後に
加熱し軟化させ、表面張力の作用で中空の石Ｍを中実化
している。
火力を増加して、石英ガラス管１を１７００°Ｃ前後に
加熱し軟化させ、表面張力の作用で中空の石Ｍを中実化
している。
しかしながら上記従来手段により得られた光ファイバ母
相は、石英ガラス管の肉厚ｄ、が、ロッドによりバラツ
キ（例えばＯ〜−０，３重量 ）がある。
相は、石英ガラス管の肉厚ｄ、が、ロッドによりバラツ
キ（例えばＯ〜−０，３重量 ）がある。
このため、石英ガラス管の外側を酸水素バーナーで所定
の温度に加熱しても、内壁側のコア堆積層部分の温度が
異なる。このことに起因して、生成されるコア堆積層（
コアガラス）の屈折率を増加するＧｅ０ｚの含装置に増
減がある。
の温度に加熱しても、内壁側のコア堆積層部分の温度が
異なる。このことに起因して、生成されるコア堆積層（
コアガラス）の屈折率を増加するＧｅ０ｚの含装置に増
減がある。
したがって、得られた光ファイバ母材を線引きした光フ
ァイバは、コアの屈折率、及び屈折率分布がバラツクと
いう問題点がある。
ァイバは、コアの屈折率、及び屈折率分布がバラツクと
いう問題点がある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記従来の問題点を解決するため本発明方法は、内付化
学気相堆積法により光ファイバ母材を製造するにあたり
、第１図のように〈ロット生産されたそれぞれのクラッ
ド層となる石英ガラス管ｌの内壁に、石英ガラス管１の
肉厚ｄ１と、クラッド堆積層１１の厚ざの和りが、常に
一定となるように、クラッド堆積層１１を調整生成し、
その後、石英ガラス管１の内面に、所望の厚ざのコア堆
積層２０を生成して、コア堆積時の温度が一定になるよ
うにしたものである。
学気相堆積法により光ファイバ母材を製造するにあたり
、第１図のように〈ロット生産されたそれぞれのクラッ
ド層となる石英ガラス管ｌの内壁に、石英ガラス管１の
肉厚ｄ１と、クラッド堆積層１１の厚ざの和りが、常に
一定となるように、クラッド堆積層１１を調整生成し、
その後、石英ガラス管１の内面に、所望の厚ざのコア堆
積層２０を生成して、コア堆積時の温度が一定になるよ
うにしたものである。
上記本発明方法によれば、ロッド毎に異なる石英ガラス
管１の肉厚ｄ、は、クラッド堆積層１１により調整され
て、その厚ざの和りは、常に一定である。
管１の肉厚ｄ、は、クラッド堆積層１１により調整され
て、その厚ざの和りは、常に一定である。
したがって、コア堆積時において、石英ガラス管１の外
側を酸水素バーナーで所定の温度に加熱すると、熱伝達
量が一定となり、内壁側のコア堆積層部分の温度をＧｅ
０ｚの含有量が最大となる所定温度に一定とすることが
できる。
側を酸水素バーナーで所定の温度に加熱すると、熱伝達
量が一定となり、内壁側のコア堆積層部分の温度をＧｅ
０ｚの含有量が最大となる所定温度に一定とすることが
できる。
即ち、生成されるコア堆積ＩＪ２０は、Ｇｅ０ｔの含有
量が一定となり、得られた光ファイバ母材を線引きした
光ファイバは、コアの屈折率、及び屈折率分布が一定と
なり安定する。
量が一定となり、得られた光ファイバ母材を線引きした
光ファイバは、コアの屈折率、及び屈折率分布が一定と
なり安定する。
以下図示実施例により、本発明方法を具体的に説明する
。なお、企図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
。なお、企図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
第１図は本発明方法の１実施例の光ファイバ母材の断面
図である。
図である。
本発明方法は、まず石英ガラス管ｌの肉厚ｄ１を予め測
定した後に、石英ガラス管１の両端に投入側サポート管
２と排気側サポート管３を接続し、第３図に示す装置を
使用して、ガラス旋盤４を駆動し、石英ガラス管１を回
転しながら、ガス供給装置１０より、クラッド堆積層１
１の原料ガスであるところの５ＩＣＬ４１ＰＯＣＬ３１
を酸素とともに、石英ガラス管ｌ内に送風、加熱して、
（Ｄ−ｃｔ、）の厚さのクラッド堆積層１１を生成する
。このＤは、各ロットの石英ガラス管ｌの肉厚の最大の
ものより、わずかに大きい寸法である。
定した後に、石英ガラス管１の両端に投入側サポート管
２と排気側サポート管３を接続し、第３図に示す装置を
使用して、ガラス旋盤４を駆動し、石英ガラス管１を回
転しながら、ガス供給装置１０より、クラッド堆積層１
１の原料ガスであるところの５ＩＣＬ４１ＰＯＣＬ３１
を酸素とともに、石英ガラス管ｌ内に送風、加熱して、
（Ｄ−ｃｔ、）の厚さのクラッド堆積層１１を生成する
。このＤは、各ロットの石英ガラス管ｌの肉厚の最大の
ものより、わずかに大きい寸法である。
例えば、石英ガラス管１の肉厚ｄ、が、１．４鶴の場合
は、５ｉＣＬ、の流量を５００ｃｃ／分、酸水素バーナ
ー８の速度を２００ｍ／分で、１０回往復させ、石英ガ
ラス管１の外側温度を１３５０℃で加熱して、厚さが０
．５０ｍｍのクラッド堆積層１１を生成する。
は、５ｉＣＬ、の流量を５００ｃｃ／分、酸水素バーナ
ー８の速度を２００ｍ／分で、１０回往復させ、石英ガ
ラス管１の外側温度を１３５０℃で加熱して、厚さが０
．５０ｍｍのクラッド堆積層１１を生成する。
また、石英ガラス管ｌの肉厚ｄ、が、１．５ｆｉの場合
は、５ｉＣＬ４の流量を５００ｃｃ／分、酸水素バーナ
ー８の速度を２００ｗｍ／分で、８回往復させ、石英ガ
ラス管１の外側温度を１３５０°Ｃで加熱して、厚ざが
０．４０ｍｍのクラッド堆積層１１を生成する。
は、５ｉＣＬ４の流量を５００ｃｃ／分、酸水素バーナ
ー８の速度を２００ｗｍ／分で、８回往復させ、石英ガ
ラス管１の外側温度を１３５０°Ｃで加熱して、厚ざが
０．４０ｍｍのクラッド堆積層１１を生成する。
このようにして、石英ガラス管ｌの肉厚ｄ、と、クラッ
ド堆積層１１の厚ざの和りを、例えば、１．９龍とする
。
ド堆積層１１の厚ざの和りを、例えば、１．９龍とする
。
このようにクラッド堆積層１１を生成後、切り換えバル
ブ９を切換え、コア堆積層２０の原料ガスであるところ
の５ｉＣＬ、、 ＧａＣｌ２．ｐｏｃｔ、ｆｆ、を酸素
とともに、石英ガラス管ｌ内に送風し、酸水素バーナ−
８で加熱し、例えば５０回往復運動させ、０．５鶴のコ
ア堆積層２０を生成する。
ブ９を切換え、コア堆積層２０の原料ガスであるところ
の５ｉＣＬ、、 ＧａＣｌ２．ｐｏｃｔ、ｆｆ、を酸素
とともに、石英ガラス管ｌ内に送風し、酸水素バーナ−
８で加熱し、例えば５０回往復運動させ、０．５鶴のコ
ア堆積層２０を生成する。
その後原料ガスの供給を停止し、酸水素バーナ−８の火
力を増加して、石英ガラス管１を１７００°Ｃ上述のよ
うに、石英ガラス管１の肉厚ｄ１と、クラッド堆積層１
１の厚ざの和りを、各ロッドについて一定にし、コア堆
積層２０の生成時に、石英ガラス管ｌの外側を酸水素バ
ーナーで所定の温度に加熱すると、熱伝達量が一定とな
るので、内壁側のコア堆積層部分の温度をＧｅＯ□の含
有量が最大となる所定温度に一定とすることができる。
力を増加して、石英ガラス管１を１７００°Ｃ上述のよ
うに、石英ガラス管１の肉厚ｄ１と、クラッド堆積層１
１の厚ざの和りを、各ロッドについて一定にし、コア堆
積層２０の生成時に、石英ガラス管ｌの外側を酸水素バ
ーナーで所定の温度に加熱すると、熱伝達量が一定とな
るので、内壁側のコア堆積層部分の温度をＧｅＯ□の含
有量が最大となる所定温度に一定とすることができる。
したがって、生成されるコア堆積層２０はＧｅ０２の含
有量が一定となり、得られた光ファイバ母材を線引きし
た光ファイバは、コアの屈折率５及び屈折率分布が一定
となる安定する。
有量が一定となり、得られた光ファイバ母材を線引きし
た光ファイバは、コアの屈折率５及び屈折率分布が一定
となる安定する。
以上説明したように本発明方法は、内付化学気相堆積法
により光ファイバ母材を製造するにあたり、石英ガラス
管の肉厚の生産ロッド毎のハラツる方法であって、光フ
ァイバ母材を線引きして得られる光ファイバの屈折率、
及び屈折率分布のハラッキをなくなり、安定した特性が
得られるという、実用上で優れた効果がある。
により光ファイバ母材を製造するにあたり、石英ガラス
管の肉厚の生産ロッド毎のハラツる方法であって、光フ
ァイバ母材を線引きして得られる光ファイバの屈折率、
及び屈折率分布のハラッキをなくなり、安定した特性が
得られるという、実用上で優れた効果がある。
第１図は本発明方法の１実施例の光ファイバ母ある。
図において、
■は石英ガラス管、
２は投入側サポート管、
３は排気側サポート管、
４はガラス旋盤、
８は酸水素バーナ−，
１０はガス供給装置、
１１はクラッド堆積層、
２０はコア堆積層を示す。
、・、′、１
代理人 弁理士 井桁 貞−１″°−
く
千２図
茅３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内付化学気相堆積法により光ファイバ母材を製造するに
あたり、 ロッド生産されたそれぞれのクラッド層となる石英ガラ
ス管（１）の肉厚と、該石英ガラス管（１）の内壁に形
成するクラッド堆積層（１１）の厚さの和を、常に一定
とすべく、該クラッド堆積層（１１）を調整生成し、 その後、該クラッド堆積層（１１）の内面に、コア堆積
層（２０）を生成することを特徴とする光ファイバ母材
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27227985A JPS62132740A (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27227985A JPS62132740A (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132740A true JPS62132740A (ja) | 1987-06-16 |
| JPH033618B2 JPH033618B2 (ja) | 1991-01-21 |
Family
ID=17511637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27227985A Granted JPS62132740A (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132740A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005014498A1 (ja) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバの製造方法、および、光ファイバ |
-
1985
- 1985-12-03 JP JP27227985A patent/JPS62132740A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005014498A1 (ja) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバの製造方法、および、光ファイバ |
| US7376316B2 (en) | 2003-08-11 | 2008-05-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Manufacturing method of optical fiber preform, manufacturing method of optical fiber, and optical fiber |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH033618B2 (ja) | 1991-01-21 |
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