JPH0692670A - ガラス母材の製造装置 - Google Patents
ガラス母材の製造装置Info
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- JPH0692670A JPH0692670A JP26966192A JP26966192A JPH0692670A JP H0692670 A JPH0692670 A JP H0692670A JP 26966192 A JP26966192 A JP 26966192A JP 26966192 A JP26966192 A JP 26966192A JP H0692670 A JPH0692670 A JP H0692670A
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- Japan
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- burners
- traverse
- soot
- unit
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
-
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/66—Relative motion
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 指定された重量のスートを有するガラス母材
を安定に製造することができるように付着スート重量の
制御性を改善する。 【構成】 バーナ３１、３２を保持する保持台４１とバ
ーナ３３、３４を保持する保持台４２とを順次トラバー
スさせ、ターゲット部材１に対してスート２を堆積させ
る。各保持台がトラバース開始位置Ｐ１にきた各時点
で、スート２の堆積されたターゲット部材１の重量をロ
ードセル６で測定し、目標重量に近づいてきたとき、目
標重量と測定重量との差に応じて最後にトラバースさせ
る保持台のトラバース速度とその保持台において動作さ
せるバーナの本数とを制御する。
を安定に製造することができるように付着スート重量の
制御性を改善する。 【構成】 バーナ３１、３２を保持する保持台４１とバ
ーナ３３、３４を保持する保持台４２とを順次トラバー
スさせ、ターゲット部材１に対してスート２を堆積させ
る。各保持台がトラバース開始位置Ｐ１にきた各時点
で、スート２の堆積されたターゲット部材１の重量をロ
ードセル６で測定し、目標重量に近づいてきたとき、目
標重量と測定重量との差に応じて最後にトラバースさせ
る保持台のトラバース速度とその保持台において動作さ
せるバーナの本数とを制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、棒状のターゲット部
材の周囲にガラス微粒子を堆積させることによって、光
ファイバ用として好適なガラス母材を作る、いわゆる外
付け法によるガラス母材の製造装置の改良に関する。
材の周囲にガラス微粒子を堆積させることによって、光
ファイバ用として好適なガラス母材を作る、いわゆる外
付け法によるガラス母材の製造装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に外付け法と呼ばれる製造方法に基
づくガラス母材の製造装置では、棒状のターゲット部材
の両端をガラス旋盤などで保持して回転させ、その周囲
に、ガラス微粒子生成用燃焼バーナの火炎中で生成され
たガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体（スー
ト）を作る。光ファイバ用のガラス母材として製造する
ときは、このターゲット部材はＶＡＤ法により作ったも
のを使用し、このターゲット部材に対して所定の倍率で
スートを付着させる。所望の特性を有する光ファイバを
得るためには、この外付け工程において、指定された量
のスートをターゲット部材に対して的確に付着させるこ
とが必要である。
づくガラス母材の製造装置では、棒状のターゲット部材
の両端をガラス旋盤などで保持して回転させ、その周囲
に、ガラス微粒子生成用燃焼バーナの火炎中で生成され
たガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体（スー
ト）を作る。光ファイバ用のガラス母材として製造する
ときは、このターゲット部材はＶＡＤ法により作ったも
のを使用し、このターゲット部材に対して所定の倍率で
スートを付着させる。所望の特性を有する光ファイバを
得るためには、この外付け工程において、指定された量
のスートをターゲット部材に対して的確に付着させるこ
とが必要である。
【０００３】従来、この外付け法に基づくガラス母材の
製造装置では、スート付着量の制御は、堆積中のスート
重量をモニターし、目標重量近くになったときそのデポ
ジションを停止するという方式で、行なわれている。
製造装置では、スート付着量の制御は、堆積中のスート
重量をモニターし、目標重量近くになったときそのデポ
ジションを停止するという方式で、行なわれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ように目標重量近くになったときに単にスートデポジシ
ョンを停止するというだけの制御方式では、付着スート
重量の制御性が悪く、指定された重量のスートを有する
ガラス母材を安定に製造することが困難である。
ように目標重量近くになったときに単にスートデポジシ
ョンを停止するというだけの制御方式では、付着スート
重量の制御性が悪く、指定された重量のスートを有する
ガラス母材を安定に製造することが困難である。
【０００５】この発明は、上記に鑑み、指定された重量
のスートを有するガラス母材を安定に製造することがで
きるように付着スート重量の制御性を改善した、ガラス
母材の製造装置を提供することを目的とする。
のスートを有するガラス母材を安定に製造することがで
きるように付着スート重量の制御性を改善した、ガラス
母材の製造装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明によるガラス母材の製造装置では、ガラス
微粒子生成用バーナの複数本ずつをユニット化してター
ゲット部材の軸方向にトラバースさせ、バーナの各ユニ
ットについてのトラバース開始時点ごとにターゲット部
材の全体の重量を測定し、この測定された重量と目標重
量との差に応じて最後にトラバースさせるユニットのト
ラバース速度及び動作バーナ本数を制御することが特徴
となっている。
め、この発明によるガラス母材の製造装置では、ガラス
微粒子生成用バーナの複数本ずつをユニット化してター
ゲット部材の軸方向にトラバースさせ、バーナの各ユニ
ットについてのトラバース開始時点ごとにターゲット部
材の全体の重量を測定し、この測定された重量と目標重
量との差に応じて最後にトラバースさせるユニットのト
ラバース速度及び動作バーナ本数を制御することが特徴
となっている。
【０００７】
【作用】ガラス微粒子生成用バーナは、複数本ずつがユ
ニット化されてトラバースさせられるようになってお
り、そのうちの何本を動作させるかのバーナ本数制御
と、ユニットとしてのトラバース速度の制御とを組み合
わせることによって、１トラバースでのデポジション重
量を細かく制御できる。そこで、各ユニットのトラバー
ス開始時点での、スートの付着したターゲット部材全体
の重量を測定し、目標重量に近づいてきたことを判別
し、かつ、それまでの重量増加速度の変化傾向から次回
の増加重量を推定して、最後にトラバースさせるユニッ
トについてのバーナの動作本数とトラバース速度とを制
御することによって、正確に目標重量だけスートを付着
させたガラス母材を得ることができる。
ニット化されてトラバースさせられるようになってお
り、そのうちの何本を動作させるかのバーナ本数制御
と、ユニットとしてのトラバース速度の制御とを組み合
わせることによって、１トラバースでのデポジション重
量を細かく制御できる。そこで、各ユニットのトラバー
ス開始時点での、スートの付着したターゲット部材全体
の重量を測定し、目標重量に近づいてきたことを判別
し、かつ、それまでの重量増加速度の変化傾向から次回
の増加重量を推定して、最後にトラバースさせるユニッ
トについてのバーナの動作本数とトラバース速度とを制
御することによって、正確に目標重量だけスートを付着
させたガラス母材を得ることができる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の好ましい一実施例について
図面を参照しながら詳細に説明する。図１に示すよう
に、棒状のターゲット部材１の両端がガラス旋盤（図示
しない）のチャックにより保持されて回転させられるよ
うになっている。このターゲット部材１は、この実施例
では後に光ファイバとされたときにコア部となる石英系
ガラス棒よりなり、あらかじめＶＡＤ法によって作製さ
れたものである。このターゲット部材１の周囲に、この
実施例では４本のガラス微粒子生成用燃焼バーナ３１〜
３４が配置される。バーナ３１、３２は１つの保持台４
１によって保持されて１つのユニットを形成し、またバ
ーナ３３、３４は別の保持台４２によって保持されて１
つのユニットを形成している。これらバーナ３１〜３４
には燃焼ガス（水素）、助燃ガス（酸素）、ガラス原料
ガス（四塩化硅素）、不活性ガス（アルゴン）及びパー
ジガス（窒素）が供給される。
図面を参照しながら詳細に説明する。図１に示すよう
に、棒状のターゲット部材１の両端がガラス旋盤（図示
しない）のチャックにより保持されて回転させられるよ
うになっている。このターゲット部材１は、この実施例
では後に光ファイバとされたときにコア部となる石英系
ガラス棒よりなり、あらかじめＶＡＤ法によって作製さ
れたものである。このターゲット部材１の周囲に、この
実施例では４本のガラス微粒子生成用燃焼バーナ３１〜
３４が配置される。バーナ３１、３２は１つの保持台４
１によって保持されて１つのユニットを形成し、またバ
ーナ３３、３４は別の保持台４２によって保持されて１
つのユニットを形成している。これらバーナ３１〜３４
には燃焼ガス（水素）、助燃ガス（酸素）、ガラス原料
ガス（四塩化硅素）、不活性ガス（アルゴン）及びパー
ジガス（窒素）が供給される。
【０００９】保持台４１、４２は図示しないトラバース
装置により矢印で示すように、ターゲット部材１の軸に
沿った１方向（右から左への方向）に繰り返し移動させ
られる。２つの保持台４１、４２がそのトラバースの開
始点Ｐ１から終了点Ｐ３まで移動する行程において、バ
ーナ３１〜３４における火炎加水分解反応によって火炎
中でガラス微粒子の生成が行われ、このガラス微粒子が
ターゲット部材１の周囲に付着・堆積する。保持台４
１、４２の各々はトラバース終了点Ｐ３に達したとき、
後退してチャンバ５の外に出て開始点Ｐ１に戻される。
このようなプロセスが多数回繰り返されて、スート２が
多数層にわたり形成される。
装置により矢印で示すように、ターゲット部材１の軸に
沿った１方向（右から左への方向）に繰り返し移動させ
られる。２つの保持台４１、４２がそのトラバースの開
始点Ｐ１から終了点Ｐ３まで移動する行程において、バ
ーナ３１〜３４における火炎加水分解反応によって火炎
中でガラス微粒子の生成が行われ、このガラス微粒子が
ターゲット部材１の周囲に付着・堆積する。保持台４
１、４２の各々はトラバース終了点Ｐ３に達したとき、
後退してチャンバ５の外に出て開始点Ｐ１に戻される。
このようなプロセスが多数回繰り返されて、スート２が
多数層にわたり形成される。
【００１０】ロードセル６はスート２が形成されたター
ゲット部材１の全体の重量を測定するものである。ロー
ドセル６による重量測定データは図２に示すようにコン
ピュータ７に送られている。コンピュータ７は、保持台
４１、４２のそれぞれがトラバース開始のためにＰ１点
に位置する時点での測定データを取り込む。そして、コ
ンピュータ７は、重量測定データと目標重量との差を監
視し、最終トラバース（あるいはその１回前のトラバー
ス）について、バーナ３１〜３４に各々にガスを供給す
る系のバルブを制御するバルブ制御装置８に信号を送っ
てバーナ３１〜３４のいずれを停止させるかを決定する
とともに、トラバース速度を決定してその指令をトラバ
ース速度制御装置９に送る。
ゲット部材１の全体の重量を測定するものである。ロー
ドセル６による重量測定データは図２に示すようにコン
ピュータ７に送られている。コンピュータ７は、保持台
４１、４２のそれぞれがトラバース開始のためにＰ１点
に位置する時点での測定データを取り込む。そして、コ
ンピュータ７は、重量測定データと目標重量との差を監
視し、最終トラバース（あるいはその１回前のトラバー
ス）について、バーナ３１〜３４に各々にガスを供給す
る系のバルブを制御するバルブ制御装置８に信号を送っ
てバーナ３１〜３４のいずれを停止させるかを決定する
とともに、トラバース速度を決定してその指令をトラバ
ース速度制御装置９に送る。
【００１１】ここで、定常状態では各ユニットのトラバ
ース速度は一定の基準速度Ｖｏであり、１つのユニット
が開始点Ｐ１に位置しているとき他方のユニットがトラ
バース行程（Ｐ１からＰ３までの長さＬの行程）の半分
の位置Ｐ２に位置しているというように各ユニット間の
間隔が等間隔に定められているものとする。
ース速度は一定の基準速度Ｖｏであり、１つのユニット
が開始点Ｐ１に位置しているとき他方のユニットがトラ
バース行程（Ｐ１からＰ３までの長さＬの行程）の半分
の位置Ｐ２に位置しているというように各ユニット間の
間隔が等間隔に定められているものとする。
【００１２】保持台４１のユニットが開始点Ｐ１に位置
したときにｎ回目の重量測定が行なわれ、このときの重
量がＷｎであったとすると、次回の測定時（保持台４２
が開始点Ｐ１に位置した時）までの重量増加分の予測値
ΔＷｎは１ユニットのＰ１からＰ３までの１トラバース
によるものに相当する。すなわち、１つのユニット（２
つのバーナの合計）によるデポジション速度（単位時間
当たりのスート付着重量）をＤｏとすると、 ΔＷｎ＝Ｄｏ・{(Ｐ２→Ｐ３)／Ｖｏ}＋Ｄｏ・{(Ｐ１→Ｐ２)／Ｖｏ} ＝{(Ｄｏ・Ｌ)／２Ｖｏ}＋{(Ｄｏ・Ｌ)／２Ｖｏ} ＝(Ｄｏ・Ｌ)／Ｖｏ となるからである。
したときにｎ回目の重量測定が行なわれ、このときの重
量がＷｎであったとすると、次回の測定時（保持台４２
が開始点Ｐ１に位置した時）までの重量増加分の予測値
ΔＷｎは１ユニットのＰ１からＰ３までの１トラバース
によるものに相当する。すなわち、１つのユニット（２
つのバーナの合計）によるデポジション速度（単位時間
当たりのスート付着重量）をＤｏとすると、 ΔＷｎ＝Ｄｏ・{(Ｐ２→Ｐ３)／Ｖｏ}＋Ｄｏ・{(Ｐ１→Ｐ２)／Ｖｏ} ＝{(Ｄｏ・Ｌ)／２Ｖｏ}＋{(Ｄｏ・Ｌ)／２Ｖｏ} ＝(Ｄｏ・Ｌ)／Ｖｏ となるからである。
【００１３】そして、このｎ回目の重量測定を行なった
後、保持台４１のユニットによるデポジションは行なわ
ず、保持台４２のユニットによる点Ｐ２から点Ｐ３まで
のデポジションのみを継続するとすれば、トラバース終
了までに堆積する重量増加分はΔＷｎ／２と予測でき
る。
後、保持台４１のユニットによるデポジションは行なわ
ず、保持台４２のユニットによる点Ｐ２から点Ｐ３まで
のデポジションのみを継続するとすれば、トラバース終
了までに堆積する重量増加分はΔＷｎ／２と予測でき
る。
【００１４】他方、保持台４１、４２のトラバース速度
の可変範囲をＶｏ／２〜２Ｖｏとすると、保持台４１の
ユニットによる最後のトラバースについて最も遅い速度
Ｖｏ／２として２倍のデポジション速度２Ｄｏとした場
合でも、このユニットによる最大の重量増加分は２ΔＷ
ｎとなり、また最速の２Ｖｏとしてデポジション速度を
Ｄｏ／２とした場合このユニットによる重量増加分はΔ
Ｗｎ／２となって最小値となるがさらに２本のバーナ３
１、３２の一方を停止させればその半分つまりΔＷｎ／
４となる。
の可変範囲をＶｏ／２〜２Ｖｏとすると、保持台４１の
ユニットによる最後のトラバースについて最も遅い速度
Ｖｏ／２として２倍のデポジション速度２Ｄｏとした場
合でも、このユニットによる最大の重量増加分は２ΔＷ
ｎとなり、また最速の２Ｖｏとしてデポジション速度を
Ｄｏ／２とした場合このユニットによる重量増加分はΔ
Ｗｎ／２となって最小値となるがさらに２本のバーナ３
１、３２の一方を停止させればその半分つまりΔＷｎ／
４となる。
【００１５】そこで、この場合には、保持台４２のユニ
ットによる上記のΔＷｎ／２の重量増加分に、保持台４
１のユニットによるΔＷｎ／４〜２ΔＷｎの範囲の重量
増加分を加えたものが、上記のｎ回目の重量測定を行な
った後に加わる重量の制御可能範囲ということになる。
つまり、 (ΔＷｎ／２)＋(ΔＷｎ／４)≦Ｗ−Ｗｎ≦(ΔＷｎ／２)
＋２ΔＷｎ のときに、保持台４２のユニットによるＰ２からＰ３ま
でのデポジションは従前通り行ないつつ、保持台４１の
ユニットによるデポジションを、そのトラバース速度及
びバーナの動作本数制御を行なってＰ１からＰ３までの
最終の１トラバース行程で行なうことにより、全デポジ
ション行程を終了させて目標のスート重量を得ることが
できる。
ットによる上記のΔＷｎ／２の重量増加分に、保持台４
１のユニットによるΔＷｎ／４〜２ΔＷｎの範囲の重量
増加分を加えたものが、上記のｎ回目の重量測定を行な
った後に加わる重量の制御可能範囲ということになる。
つまり、 (ΔＷｎ／２)＋(ΔＷｎ／４)≦Ｗ−Ｗｎ≦(ΔＷｎ／２)
＋２ΔＷｎ のときに、保持台４２のユニットによるＰ２からＰ３ま
でのデポジションは従前通り行ないつつ、保持台４１の
ユニットによるデポジションを、そのトラバース速度及
びバーナの動作本数制御を行なってＰ１からＰ３までの
最終の１トラバース行程で行なうことにより、全デポジ
ション行程を終了させて目標のスート重量を得ることが
できる。
【００１６】これに対して、 Ｗ−Ｗｎ＜(ΔＷｎ／２)＋(ΔＷｎ／４) の場合は、ΔＷｎ／４以下の誤差が生じるが、その値は
小さいので無視できる。また、 Ｗ−Ｗｎ＞(ΔＷｎ／２)＋２ΔＷｎ の場合にはデポジションを継続する。このとき、次回ま
での重量増加分はΔＷｎであるので、次回までに目標重
量を越えることはない。
小さいので無視できる。また、 Ｗ−Ｗｎ＞(ΔＷｎ／２)＋２ΔＷｎ の場合にはデポジションを継続する。このとき、次回ま
での重量増加分はΔＷｎであるので、次回までに目標重
量を越えることはない。
【００１７】なお、上記ではユニット数を２、１ユニッ
ト当たりのバーナ数を２、トラバース速度の可変範囲を
Ｖｏ／２〜２Ｖｏとしているが、一般にユニット数を
ａ、１ユニット当たりのバーナ数をｂ、トラバース速度
の可変範囲をＶｏ／ｉ〜ｊＶｏとした場合、 [ΔWn・{(a-1)／2}]＋(ΔWn／ｂｊ)≦Ｗ−Ｗｎ≦[ΔWn・
{(a-1)／2}]＋ｉΔWn のときに最終トラバースを行なって目標重量を達成でき
る。
ト当たりのバーナ数を２、トラバース速度の可変範囲を
Ｖｏ／２〜２Ｖｏとしているが、一般にユニット数を
ａ、１ユニット当たりのバーナ数をｂ、トラバース速度
の可変範囲をＶｏ／ｉ〜ｊＶｏとした場合、 [ΔWn・{(a-1)／2}]＋(ΔWn／ｂｊ)≦Ｗ−Ｗｎ≦[ΔWn・
{(a-1)／2}]＋ｉΔWn のときに最終トラバースを行なって目標重量を達成でき
る。
【００１８】
【発明の効果】この発明のガラス母材の製造装置によれ
ば、デポジションの最終段階において複数本のバーナに
よって構成されるユニットのトラバース速度及び動作バ
ーナ本数を調整することにより、ターゲット部材に対す
るガラス微粒子の堆積量を所望の値に正確にコントロー
ルすることができ、光ファイバの特性安定化に寄与する
ことができる。
ば、デポジションの最終段階において複数本のバーナに
よって構成されるユニットのトラバース速度及び動作バ
ーナ本数を調整することにより、ターゲット部材に対す
るガラス微粒子の堆積量を所望の値に正確にコントロー
ルすることができ、光ファイバの特性安定化に寄与する
ことができる。
【図１】この発明の一実施例の模式図。
【図２】同実施例の制御系を示すブロック図。
１ ターゲット部材 ２ スート ３１〜３４ ガラス微粒子生成用燃焼バーナ ４１、４２ 保持台 ５ チャンバ ６ ロードセル ７ コンピュータ ８ バルブ制御装置 ９ トラバース速度制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】 棒状ターゲット部材を支持して回転させ
る支持機構と、ガラス微粒子生成用の複数本のバーナ
と、該バーナの複数本ずつをユニット化して上記ターゲ
ット部材の軸方向にトラバースさせるトラバース装置
と、上記バーナの各ユニットについてのトラバース開始
時点ごとに上記ターゲット部材の全体の重量を測定する
重量測定装置と、この測定された重量と目標重量との差
に応じて最後にトラバースさせるユニットのトラバース
速度及び動作バーナ本数を制御する制御装置とを備える
ことを特徴とするガラス母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26966192A JPH0692670A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ガラス母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26966192A JPH0692670A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ガラス母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0692670A true JPH0692670A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=17475458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26966192A Pending JPH0692670A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ガラス母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0692670A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1201613A3 (en) * | 2000-10-30 | 2004-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing optical fiber preform |
| EP3245011A4 (en) * | 2015-01-13 | 2018-08-22 | Asi/Silica Machinery, LLC | Enhanced particle deposition system and method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0354129A (ja) * | 1989-07-22 | 1991-03-08 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JPH04160028A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-03 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材の製造装置 |
-
1992
- 1992-09-11 JP JP26966192A patent/JPH0692670A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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| CN100366557C (zh) * | 2000-10-30 | 2008-02-06 | 住友电气工业株式会社 | 制造光纤预制棒的方法 |
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