JPH02289439A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPH02289439A JPH02289439A JP11073089A JP11073089A JPH02289439A JP H02289439 A JPH02289439 A JP H02289439A JP 11073089 A JP11073089 A JP 11073089A JP 11073089 A JP11073089 A JP 11073089A JP H02289439 A JPH02289439 A JP H02289439A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
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Classifications
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、光ファイバ母材を製造する方法に関し、と
くに外付は法の改良に関する。
くに外付は法の改良に関する。
従来より、光ファイバ母材を製造する方法として、外付
は法が知られている。この方法は、後にコアとなるガラ
ス棒のロッドなどからなるターゲット部材の周囲に、後
にクラッドとなるスー１− （ガラス微粒子）を堆積さ
せるもので、回転させられているターゲット部材の長手
方向に、スート発生用バーナを移動（トラバース）させ
、このトラバースを適当な回数繰り返すというものであ
る。 この場合、スート堆積量の、ターゲット部材長さ方向で
の制御は、通常、スートを発生するバーナに供給するガ
ラス原料ガス（ＳｉＣＩ２４）や燃料ガス（１１□、０
２）の流量の調整と、チャンバからの排気流量の調整と
によっており、これらの流量を１トラバースの期間は一
定に保つことにより長さ方向の堆積量を一定に保つよう
にしている。
は法が知られている。この方法は、後にコアとなるガラ
ス棒のロッドなどからなるターゲット部材の周囲に、後
にクラッドとなるスー１− （ガラス微粒子）を堆積さ
せるもので、回転させられているターゲット部材の長手
方向に、スート発生用バーナを移動（トラバース）させ
、このトラバースを適当な回数繰り返すというものであ
る。 この場合、スート堆積量の、ターゲット部材長さ方向で
の制御は、通常、スートを発生するバーナに供給するガ
ラス原料ガス（ＳｉＣＩ２４）や燃料ガス（１１□、０
２）の流量の調整と、チャンバからの排気流量の調整と
によっており、これらの流量を１トラバースの期間は一
定に保つことにより長さ方向の堆積量を一定に保つよう
にしている。
しかしながら、このような従来の側群方法では、スート
堆ｆｌａｘのトラバース方向での制御はかならずしも十
分でないという問題がある。すなわち、光ファイバ母材
を製造する部屋は、高いクリーン度が要求されるため常
にクリーンエアが流され、陽圧に保たれている。そのた
め、室内にはエアの流れが形成される。また、スートは
トラバース方向両端でテーパ状に堆積されるものである
。これらの種々の要因により、従来のように原料ガス・
燃料ガスの流星や排気量を一定に保つだけではスートの
堆積量のターゲット部材長さ方向での精度の高い制御が
困難となる。 この発明は、ターゲラ）・部材長さ方向でのガラス微粒
子堆ｖＩ量を均一に制御できる、光ファイバｎ村の製造
方法を提供することを目的とする。
堆ｆｌａｘのトラバース方向での制御はかならずしも十
分でないという問題がある。すなわち、光ファイバ母材
を製造する部屋は、高いクリーン度が要求されるため常
にクリーンエアが流され、陽圧に保たれている。そのた
め、室内にはエアの流れが形成される。また、スートは
トラバース方向両端でテーパ状に堆積されるものである
。これらの種々の要因により、従来のように原料ガス・
燃料ガスの流星や排気量を一定に保つだけではスートの
堆積量のターゲット部材長さ方向での精度の高い制御が
困難となる。 この発明は、ターゲラ）・部材長さ方向でのガラス微粒
子堆ｖＩ量を均一に制御できる、光ファイバｎ村の製造
方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、この発明によれば、回転する
ターゲット部材に対し、ガラス微粒子発生器を該ターゲ
ット部材の長さ方向にトラバースさせて、上記のターゲ
ット部材の周囲にガラス微粒子を堆積させる光ファイバ
母材の製造方法において、上記のガラス微粒子発生器の
トラバース速度を１回のＩ・ラバース期間で、ガラス微
粒子発生器の長さ方向位置に応じて変イヒさせることが
特徴となっている。
ターゲット部材に対し、ガラス微粒子発生器を該ターゲ
ット部材の長さ方向にトラバースさせて、上記のターゲ
ット部材の周囲にガラス微粒子を堆積させる光ファイバ
母材の製造方法において、上記のガラス微粒子発生器の
トラバース速度を１回のＩ・ラバース期間で、ガラス微
粒子発生器の長さ方向位置に応じて変イヒさせることが
特徴となっている。
外ｆ寸は法によってターゲット部材の周囲にガラス微粒
子を堆積させる場合、同じクリーンルームにおいてガラ
ス原料ガス及び燃料ガスの流量と排気量とを一定とし、
且つスート発生器の１−ラバース速度を一定とするとき
、ターゲット部材長さ方向でのスート堆積量を測定して
みると、その変動傾向は大体一定のらのとなることが判
明した。これは、ターゲット部材長さ方向でのスート堆
積量に対する変動要因が、上記の条件の中では同一に作
用するためと思われる。 そこで、スート堆積量の長さ方向での実際の変動を、あ
らかじめ行なう実験によって求めておき、その結果に基
づいてガラス微粒子発生器のトラバース速度を１回の）
〜ラバース期間で、ガラス微粒子発生器の長さ方向位置
に応じて変化させることとすれば、堆積量の少ない位置
ではより遅くして堆積量を増やし、逆に多い位置ではよ
り速くして堆積量を減少させることができ、長さ方向で
の堆積量を一定にできる。
子を堆積させる場合、同じクリーンルームにおいてガラ
ス原料ガス及び燃料ガスの流量と排気量とを一定とし、
且つスート発生器の１−ラバース速度を一定とするとき
、ターゲット部材長さ方向でのスート堆積量を測定して
みると、その変動傾向は大体一定のらのとなることが判
明した。これは、ターゲット部材長さ方向でのスート堆
積量に対する変動要因が、上記の条件の中では同一に作
用するためと思われる。 そこで、スート堆積量の長さ方向での実際の変動を、あ
らかじめ行なう実験によって求めておき、その結果に基
づいてガラス微粒子発生器のトラバース速度を１回の）
〜ラバース期間で、ガラス微粒子発生器の長さ方向位置
に応じて変化させることとすれば、堆積量の少ない位置
ではより遅くして堆積量を増やし、逆に多い位置ではよ
り速くして堆積量を減少させることができ、長さ方向で
の堆積量を一定にできる。
つぎにこの発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。外付は法においては、第２図のように、後に
光ファイバとされたときにコアとなるガラス棒のロッド
などのターゲット部材１の両端を、図示しないガラス旋
磐のチャックなどによって把持してその中心軸を回転軸
として回転させておいて、スート発生用バーナ２を、こ
の回転するターゲット部材１の長さ方向にトラバースさ
せ、スートをターゲット部材ｌの周囲に付着させて、円
柱状のスート堆積体３を形成させる。 この実施例では、トラバース範囲Ａを９２０１１ＩＩＴ
＋としてスートを堆積するものとした。この場合、両端
の部分Ｂ、Ｄ（ともに約１５０＋ｕｍ）を除いた中央部
の６２０１１１１１１の範囲がスート堆積に関しての有
効部Ｃとなる。 まず、通常の夕〜リーンルームにおいてスート堆積して
、ターデフ１〜部材１の長さ方向でのスート堆積量を測
定した。このときバーナ２に送るガラス原料ガス及び燃
料ガスの流量と排気量とは代表的な条件とし、且つバー
ナ２のトラバース速度も代表的なものとした。このよう
な条ｒトを一定に保ってバーナ２を１回？−ラバースし
てスート堆積体３を成長させ、その径を有効部Ｃの各位
置で測定した結果が第１図に示されている。 そこで、この実施例では、トラバース長Ａ（９２０１Ｉ
ＩＩ１１）を、両端の長さ２５０鴫の区間Ｅ、Ｇと、中
央の長さ４２０１ＩＩＩ＋１の区間Ｆとに３分割し、こ
れら区間Ｅ、Ｆ、Ｇの各々でのトラバース速度を、区間
Ｅでは区間Ｆの４％減少させたもの、区間Ｇでは区間Ｆ
の２％減少させたものに設定して、再度同一条件でスー
ト堆積させた。その結果得られたスート堆積体３の外径
の変動を有効長Ｃ（６２０帥）の各位置にわたって測定
したところ、第３図のようなデータが得られた。 この第３図から、トラバース長Ａの両端の区間Ｅ、Ｇで
トラバース速度を落としたことにより、その部分で堆積
量が増えて、第２図に示すような両端での堆積量不足を
補うことができたことが分かる。その結果、有効、１％
Ａの全長にわたり、スート堆積体３の外径の変動を±１
％以内に納めることができた。 このように外付けしたスート堆積体３の外径の変動か抑
えられ、スートが高精度に均一に付着されるので、後に
、このスート堆積体３を焼結・透明ガラス化し、さらに
紡糸して細線化することによ−）て１斗られる光ファイ
バのカットオフ波長は長さ方向に高精度に均一なものと
なる。つまり、従来では通常、有効長のうちで１５％程
度の長さの部分が±１，５９６の変動中から外れ（第１
図参照）、そのため光ファイバとしたときのカットオフ
波長の長さ方向での均一度を高くすることができなかっ
たが、この不都合が解消できる。
説明する。外付は法においては、第２図のように、後に
光ファイバとされたときにコアとなるガラス棒のロッド
などのターゲット部材１の両端を、図示しないガラス旋
磐のチャックなどによって把持してその中心軸を回転軸
として回転させておいて、スート発生用バーナ２を、こ
の回転するターゲット部材１の長さ方向にトラバースさ
せ、スートをターゲット部材ｌの周囲に付着させて、円
柱状のスート堆積体３を形成させる。 この実施例では、トラバース範囲Ａを９２０１１ＩＩＴ
＋としてスートを堆積するものとした。この場合、両端
の部分Ｂ、Ｄ（ともに約１５０＋ｕｍ）を除いた中央部
の６２０１１１１１１の範囲がスート堆積に関しての有
効部Ｃとなる。 まず、通常の夕〜リーンルームにおいてスート堆積して
、ターデフ１〜部材１の長さ方向でのスート堆積量を測
定した。このときバーナ２に送るガラス原料ガス及び燃
料ガスの流量と排気量とは代表的な条件とし、且つバー
ナ２のトラバース速度も代表的なものとした。このよう
な条ｒトを一定に保ってバーナ２を１回？−ラバースし
てスート堆積体３を成長させ、その径を有効部Ｃの各位
置で測定した結果が第１図に示されている。 そこで、この実施例では、トラバース長Ａ（９２０１Ｉ
ＩＩ１１）を、両端の長さ２５０鴫の区間Ｅ、Ｇと、中
央の長さ４２０１ＩＩＩ＋１の区間Ｆとに３分割し、こ
れら区間Ｅ、Ｆ、Ｇの各々でのトラバース速度を、区間
Ｅでは区間Ｆの４％減少させたもの、区間Ｇでは区間Ｆ
の２％減少させたものに設定して、再度同一条件でスー
ト堆積させた。その結果得られたスート堆積体３の外径
の変動を有効長Ｃ（６２０帥）の各位置にわたって測定
したところ、第３図のようなデータが得られた。 この第３図から、トラバース長Ａの両端の区間Ｅ、Ｇで
トラバース速度を落としたことにより、その部分で堆積
量が増えて、第２図に示すような両端での堆積量不足を
補うことができたことが分かる。その結果、有効、１％
Ａの全長にわたり、スート堆積体３の外径の変動を±１
％以内に納めることができた。 このように外付けしたスート堆積体３の外径の変動か抑
えられ、スートが高精度に均一に付着されるので、後に
、このスート堆積体３を焼結・透明ガラス化し、さらに
紡糸して細線化することによ−）て１斗られる光ファイ
バのカットオフ波長は長さ方向に高精度に均一なものと
なる。つまり、従来では通常、有効長のうちで１５％程
度の長さの部分が±１，５９６の変動中から外れ（第１
図参照）、そのため光ファイバとしたときのカットオフ
波長の長さ方向での均一度を高くすることができなかっ
たが、この不都合が解消できる。
この発明の光ファイバ母材の製造方法によれば、ガラス
微粒子が長さ方向に均一に堆積したガラス母材を容易に
得ることができる。そのため、この母材から作られる光
ファ・イバのカットオフ波長の制御にきわめて有効であ
る。
微粒子が長さ方向に均一に堆積したガラス母材を容易に
得ることができる。そのため、この母材から作られる光
ファ・イバのカットオフ波長の制御にきわめて有効であ
る。
第１図はこの発明の一実施例にかかる、ガラス原料ガス
及び燃料ガスの流量と排気量とを一定とし、且つスーＩ
・発生器の１−ラバース速度を一定とした場合のスート
径の変動の測定結果を表わすグラフ、第２図は同実施例
における位置関係を表わす模式的な斜視図、第３図はト
ラバース速度を制御したときのスート径の変動の測定結
果を表わすグラフである。 １・・・ターゲット部材、２・・・バーナ、３・・・ス
ーＩ・堆情木。
及び燃料ガスの流量と排気量とを一定とし、且つスーＩ
・発生器の１−ラバース速度を一定とした場合のスート
径の変動の測定結果を表わすグラフ、第２図は同実施例
における位置関係を表わす模式的な斜視図、第３図はト
ラバース速度を制御したときのスート径の変動の測定結
果を表わすグラフである。 １・・・ターゲット部材、２・・・バーナ、３・・・ス
ーＩ・堆情木。
Claims (1)
- （１）回転するターゲット部材に対し、ガラス微粒子発
生器を該ターゲット部材の長さ方向にトラバースさせて
、上記のターゲット部材の周囲にガラス微粒子を堆積さ
せる光ファイバ母材の製造方法において、上記のガラス
微粒子発生器のトラバース速度を１回のトラバース期間
で、ガラス微粒子発生器の長さ方向位置に応じて変化さ
せることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11073089A JPH02289439A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11073089A JPH02289439A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02289439A true JPH02289439A (ja) | 1990-11-29 |
Family
ID=14543054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11073089A Pending JPH02289439A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02289439A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6889529B2 (en) * | 2000-10-30 | 2005-05-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing optical fiber preform |
| WO2005049515A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材及びその製造方法 |
| US7451623B2 (en) * | 2001-06-28 | 2008-11-18 | Asi/Silica Machinery, Llc | Particle deposition system and method |
| JP2011020887A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材製造方法 |
| JP2015091751A (ja) * | 2014-11-21 | 2015-05-14 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170223A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP11073089A patent/JPH02289439A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170223A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
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| WO2005049515A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材及びその製造方法 |
| KR101226785B1 (ko) * | 2003-11-19 | 2013-01-25 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유 모재 및 그 제조 방법 |
| JP2011020887A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材製造方法 |
| JP2015091751A (ja) * | 2014-11-21 | 2015-05-14 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材製造方法 |
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