JP2002121046A - ガラス母材研削装置及びガラス母材製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】堆積比分布が均一のガラス母材を製造するこ
と。 【解決手段】光ファイバの原材料として使用されるガラ
ス母材を製造する装置であって、ガラス母材の出発母材
の長手方向に沿って出発母材の全体の長さに対して一部
の区間を往復しながら出発母材にガラス微粒子を堆積す
ることによってガラス母材の母材となる堆積体を形成す
る、出発母材の長手方向に沿って一列に所定の間隔で配
列された複数のバーナと、複数のバーナのそれぞれに少
なくとも１つが接続された、ガラス微粒子の原料ガスを
バーナへ供給する流量を調節する流量調節器と、複数の
流量調節器のそれぞれに接続された、複数の流量調節器
のそれぞれを個別に制御する制御部とを更に備えたこと
を特徴とするガラス母材製造装置

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス母材製造装
置及びガラス母材製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１は、従来のガラス母材製造装置の構
成を示す。ガラス母材製造装置は、チャック１２と、バ
ーナ２２Ａ〜２２Ｄとを有する。チャック１２は、出発
母材２の両端を把持する。更に、チャック１２は、出発
母材２の軸を中心にして出発母材２を回転する。バーナ
２２Ａ〜２２Ｄは、出発母材２の長手方向に沿って一列
に等間隔に配置される。原料ガス、燃料ガス、及び助燃
ガスが、バーナ２２Ａ〜２２Ｄに供給される。バーナ２
２Ａ〜２２Ｄは、出発母材２の長手方向に沿って往復移
動しながら供給された原料ガスを加水分解して出発母材
２に対してガラス微粒子を噴出する。バーナ２２Ａ〜２
２Ｄによって出発母材２の周囲にガラス微粒子が堆積さ
れることにより堆積体１０が形成される。

【０００３】出発母材２の周囲に堆積されたガラス微粒
子を、熱処理して透明ガラス化することにより光ファイ
バの原材料として使用されるガラス母材が製造される。
ガラス母材を線引きに適した形状に延伸及び縮径するこ
とにより光ファイバプリフォームが得られ、プリフォー
ムを線引きすることにより光ファイバが製造される。

【０００４】図２は、全域トラバース法によるバーナ２
２Ａ〜２２Ｄのガラス微粒子の堆積量を示す。全域トラ
バース法の場合、全てのバーナ２２Ａ〜２２Ｄが、ガラ
ス母材製品として有効に使用できる有効部を越えて、ガ
ラス微粒子を堆積する領域の一方の端から他方の端まで
往復移動する。更に、有効部の範囲内においては、それ
ぞれのバーナ２２Ａ〜２２Ｄが固有の堆積量で均一の厚
さに堆積する。そのため、各バーナ２２Ａ〜２２Ｄのガ
ラス微粒子の堆積量がそれぞれ異なっている場合におい
ても、堆積されたガラス微粒子の全体の厚さは、バーナ
２２Ａ〜２２Ｄの移動方向に沿ってほぼ均一となる。

【０００５】図３は、部分トラバース法によるバーナ２
２Ａ〜２２Ｆのガラス微粒子の堆積量を示す。部分トラ
バース法の場合、バーナ２２Ａ〜２２Ｆは、出発母材２
の全体の長さに対して一部の区間を往復移動しながら出
発母材２にガラス微粒子を堆積する。例えば、バーナ２
２Ａ〜２２Ｆの往復移動の開始位置を順次部分的に移動
して出発母材２にガラス微粒子を堆積する（特開平３−
２２８８４５号公報参照）。

【０００６】部分トラバース法は、図２に示した全域ト
ラバース法と比較して、ガラス母材製品として使用でき
ない不要部を増加せずにバーナの本数を増加できるの
で、ガラス微粒子を堆積する速度を飛躍的に増加するこ
とができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、部分ト
ラバース法では、それぞれのバーナ２２Ａ〜２２Ｆが、
有効部全体の長さに対して一部分の区間を往復移動す
る。そのため、図３に示すように、それぞれのバーナの
ガラス微粒子堆積量が異なる場合、堆積されたガラス微
粒子の全体の厚さが、有効部の長手方向に沿って不均一
となる。

【０００８】出発母材２の長手方向におけるガラス微粒
子の堆積量が不均一であると、堆積体１０を透明ガラス
化して生成したガラス母材は、コアの周囲に積層された
クラッドの厚さが変動する。そのため、クラッドの厚さ
が不均一なガラス母材を延伸縮径してプリフォームを製
造し、そのプリフォームを線引きして最終製品の光ファ
イバを製造すると、光ファイバのコア径が変動する。光
はコア内を伝播するので、コア径が変動すると光ファイ
バに必要な所定の特性を得ることができない。したがっ
て、有効部の長手方向に沿ってガラス微粒子の堆積量が
不均一である場合、堆積量の厚みの大きい箇所を削って
一様な厚さとする工程が必要となり、製造コストが増加
する。

【０００９】そこで本発明は、上記の課題を解決するこ
とのできるガラス母材製造装置及びガラス母材製造方法
を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範
囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成
される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規
定する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第１の形
態によると、光ファイバの原材料として使用されるガラ
ス母材を製造する装置であって、ガラス母材の出発母材
の長手方向に沿って出発母材の全体の長さに対して一部
の区間を往復しながら出発母材にガラス微粒子を堆積す
ることによってガラス母材の母材となる堆積体を形成す
る、出発母材の長手方向に沿って一列に所定の間隔で配
列された複数のバーナと、複数のバーナのそれぞれに少
なくとも１つが接続された、ガラス微粒子の原料ガスを
バーナへ供給する流量を調節する流量調節器と、複数の
流量調節器のそれぞれに接続された、複数の流量調節器
のそれぞれを個別に制御する制御部とを備える。

【００１１】制御部は、基本の流量の原料ガスを、複数
のバーナに供給するように複数の流量調節器を制御する
第１の制御手段と、基本の流量に対して複数のバーナの
それぞれについて算出されたバーナに供給される原料ガ
スの流量の補正値に応じて複数の流量調節器のそれぞれ
を制御する第２の制御手段とを有することが好ましい。
更に、第２の制御手段は、複数のバーナによって実際に
堆積された堆積体を透明ガラス化したガラス母材の堆積
比に基づいて複数の流量調節器のそれぞれについて前期
補正値を算出することが好ましい。

【００１２】更に、第２の制御手段が、複数のバーナの
それぞれの位置に対応する、第１の制御手段を用いて流
量調節器を制御することによって形成した堆積体を透明
ガラス化した第１のガラス母材の堆積比と、第１の制御
手段及び第２の制御手段を用いて流量調節器を制御する
ことによって形成した堆積体を透明ガラス化した第２の
ガラス母材の堆積比との比率に応じて複数の流量調節器
のそれぞれについて補正値を調整することが好ましい。

【００１３】また、制御部が、ガラス母材の外径及びコ
ア径を測定するプリフォームアナライザに接続されても
よい。第２の制御手段は、基本の流量の５０％以下とな
るように補正値を算出することが好ましい。バーナへ供
給する原料ガスの量が時間の経過に伴って変化するよう
に第１の制御手段が、流量調節器を制御してもよい。ま
た、１つのバーナに対して複数の流量調節器が接続され
てもよい。更に、複数の流量調節器が、異なった種類の
原料ガスの流量をそれぞれ制御してもよい。ガラス母材
製造装置は、出発母材の長手方向に沿って複数のバーナ
を第１の周期で往復させる第１の移動機構と、第１の移
動機構を第１の周期より長い第２の周期で往復させる第
２の移動機構とを更に備えることが好ましい。

【００１４】本発明の第２の形態による光ファイバの原
材料として使用されるガラス母材を製造する方法は、ガ
ラス母材の出発母材の長手方向に沿って複数のバーナ
を、出発母材の全体の長さに対して一部の区間を往復さ
せながら複数のバーナからガラス微粒子を出発母材に噴
出することで出発母材にガラス微粒子を堆積する堆積ス
テップと、ガラス微粒子の原料ガスを複数のバーナへ供
給する流量を、複数のバーナのそれぞれについて個別に
制御する流量制御ステップとを備えることが好ましい。

【００１５】ガラス母材製造方法は、堆積ステップにお
いて堆積されたガラス微粒子の堆積体を透明ガラス化す
ることによりガラス母材を生成するガラス化ステップを
更に備え、流量制御ステップが、ガラス化ステップにお
いて生成されたガラス母材の堆積比に基づいて原料ガス
の流量を複数のバーナのそれぞれについて個別に制御す
ることが好ましい。

【００１６】更に、堆積ステップが、基本の流量の原料
ガスを、複数のバーナに供給することによりガラス微粒
子を出発母材に堆積して第１バッチの堆積体を生成する
第１バッチの堆積ステップを有し、ガラス化ステップ
が、第１バッチの堆積体を透明ガラス化して第１バッチ
のガラス母材を生成する第１バッチのガラス化ステップ
を有し、第１バッチのガラス化ステップによって生成さ
れた第１バッチのガラス母材の堆積比に基づいて基本の
流量に対するバーナに供給する原料ガスの流量の補正値
を、複数のバーナのそれぞれについて算出する補正値算
出ステップを更に備えることが好ましい。

【００１７】更に、堆積ステップは、前記補正置算出ス
テップにおいて算出された前記補正値を前記基本の流量
に対して補正した値に従って、原料ガスを複数のバーナ
にそれぞれ供給することによりガラス微粒子を出発母材
に堆積して第２バッチの堆積体を生成する第２バッチの
堆積ステップを更に有することが好ましい。更に、流量
制御ステップは、第１バッチの堆積ステップにおいて基
本の流量の原料ガスを、複数のバーナに供給するように
原料ガスの流量を制御する第１バッチの制御ステップ
と、第２バッチの堆積ステップにおいて基本の流量に対
して補正値を補正した値に従って複数のバーナのそれぞ
れに供給する原料ガスの流量を、それぞれ個別に制御す
る第２バッチの制御ステップとを有することが好まし
い。また、補正値算出ステップは、第１バッチのガラス
化ステップにより生成された第１のガラス母材の堆積比
に基づいて複数のバーナのそれぞれについて前期補正値
を算出することが好ましい。

【００１８】更に、ガラス母材製造方法において、ガラ
ス化ステップが、第２バッチの堆積ステップにより生成
された第２バッチの堆積体を透明ガラス化して第２バッ
チのガラス母材を生成する第２バッチのガラス化ステッ
プを更に有し、複数のバーナのそれぞれの位置に対応す
る、第１バッチのガラス化ステップにおいて生成された
第１バッチのガラス母材の堆積比と、第２バッチのガラ
ス化ステップにおいて生成された第２バッチのガラス母
材の堆積比との比率に基づいて複数のバーナのそれぞれ
について補正値を算出する補正値算出ステップを更に備
えることが好ましい。

【００１９】更に、ガラス母材製造方法において、堆積
ステップが、補正値算出ステップにおいて算出された補
正値を基本の流量に対して補正した値に基づいて、原料
ガスを複数のバーナにそれぞれ供給することによりガラ
ス微粒子を出発母材に堆積して第３バッチの堆積体を生
成する第３バッチの堆積ステップを更に有し、流量制御
ステップが、算出された補正値を基本の流量に対して補
正した値に基づいて複数のバーナのそれぞれに供給する
原料ガスの流量をそれぞれ個別に制御する第３バッチの
制御ステップを更に有し、ガラス化ステップが、第３バ
ッチの堆積ステップにより生成された第３バッチの堆積
体を透明ガラス化して第３バッチのガラス母材を生成す
る第３バッチのガラス化ステップを更に有することが好
ましい。

【００２０】また、補正値算出ステップは、基本の流量
の５０％以下となるように補正値を算出することが好ま
しい。第１バッチの制御ステップは、バーナへ供給する
原料ガスの流量が時間の経過に伴って変化するように制
御してもよい。第１バッチの堆積ステップ及び第２バッ
チの堆積ステップが、１つのバーナに対して複数の種類
の原料ガスを供給し、第１バッチの制御ステップ及び第
２バッチの制御ステップが、複数の種類の原料ガスのそ
れぞれの流量を個別に制御してもよい。

【００２１】なお上記の発明の概要は、本発明の必要な
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又発明となりうる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、発明の実施形態を通じて本
発明を説明するが、実施形態はクレームにかかる発明を
限定するものではなく、また実施形態の中で説明されて
いる特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須で
あるとは限らない。

【００２３】図４は、本発明のガラス母材製造装置２０
０の一実施形態を示す。ガラス母材製造装置２００は、
チャック１２と、モータ１４、２０、及び１１８と、バ
ーナ２２Ａ〜２２Ｋと、ガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋ
と、原料ガス供給源８８Ａ〜８８Ｇと、制御部１０２
と、第１の移動機構４８と、第２の移動機構５０と、反
応容器２１０とを有する。

【００２４】チャック１２は、出発母材２を把持する。
モータ１４は、出発母材２の軸を中心としてチャック１
２を回転することにより出発母材２を回転する。

【００２５】バーナ２２Ａ〜２２Ｋは、台１５上に出発
母材２の長手方向に沿って一列に所定の間隔で配置され
る。バーナ２２Ａ〜２２Ｋは、出発母材２の長手方向に
沿って折り返し位置を移動しつつ出発母材２の全体の長
さに対して一部の区間を往復移動する。すなわち、本実
施形態のバーナ２２Ａ〜２２Ｋは、部分トラバース法に
よって往復移動する。バーナ２２Ａ〜２２Ｋは、出発母
材２にガラス微粒子を堆積することにより堆積体１０を
形成する。

【００２６】第１の移動機構４８は、出発母材２の長手
方向に平行に配置された第１の移動軸１６を有する。第
１の移動軸１６をモータ１１８によって回転することに
より、第１の移動機構４８は、出発母材の長手方向に平
行に台１５を第１の周期で往復させる。ここでいう周期
とは、バーナ２２Ａ〜２２Ｋを一往復するのに要する時
間間隔をいう。第２の移動機構５０は、第１の移動機構
４８の下部に設けられ、第１の移動機構４８を往復移動
する。第２の移動機構５０は、第１の移動軸１６の長手
方向に対して平行に配置された第２の移動軸１８を有す
る。

【００２７】第２の移動軸１８を、モータ２０を用いて
回転することにより、第２の移動機構５０は、第１の周
期より長い第２の周期で第１の移動機構４８を往復移動
させる。したがって、第１の移動機構４８は、速い速度
でバーナ２２Ａ〜２２Ｅを往復移動させ、第２の移動機
構５０は、第１の移動機構よりも遅い速度で第１の移動
機構４８を往復移動させる。

【００２８】ガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋは、対応す
るバーナ２２Ａ〜２２Ｋにそれぞれ接続され、原料ガス
をバーナ２２Ａ〜２２Ｋへそれぞれ供給する。原料ガス
として、ガラス微粒子の原料となるガス、燃焼ガス、及
び支燃ガスがバーナに供給される。原料ガス供給源８８
Ａ〜８８Ｇは、それぞれ異なった７種類の原料ガスをガ
ス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋのそれぞれに供給する。図
４に示すように原料ガス供給源８８Ａ〜８８Ｇは、全て
のガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋにそれぞれ接続される
ので、全てのガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋに対して異
なった７種類の原料ガスをそれぞれ供給する。

【００２９】ガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋは、それぞ
れ複数の流量調節器７４、７６、７８、８０、８２、８
４、及び８６を有する。例えば、ガス流量制御部５２Ａ
は、流量調節器７４Ａ、７６Ａ、７８Ａ、８０Ａ、８２
Ａ、８４Ａ、及び８６Ａを有する。流量調整器７４Ａ、
７６Ａ、７８Ａ、８０Ａ、８２Ａ、８４Ａ、及び８６Ａ
は、対応する原料ガス供給源８８Ａ〜８８Ｇにそれぞれ
接続される。そのため、流量調整器７４Ａ、７６Ａ、７
８Ａ、８０Ａ、８２Ａ、８４Ａ、及び８６Ａは、対応す
る原料ガス供給源８８Ａ〜８８Ｇから供給された、異な
った種類の原料ガスの流量をそれぞれ制御する。

【００３０】流量がそれぞれ流量調整器７４Ａ、７６
Ａ、７８Ａ、８０Ａ、８２Ａ、８４Ａ、及び８６Ａによ
って制御された、原料ガス供給源８８Ａ〜８８Ｇから供
給された原料ガスの一部が合流してバーナ２２Ａへ供給
される。燃料ガス及び支燃ガス等の合流しない原料ガス
は、バーナ２２Ａが有する複数のノズルのそれぞれに供
給される。図４に示す例では、流量調整器８２Ａ、８４
Ａ、及び８６Ａから供給された原料ガスが合流してバー
ナ２２Ａのノズルに供給され、流量調整器７４Ａ、７６
Ａ、７８Ａ、及び８０Ａから供給された各原料ガスが、
合流せずにバーナ２２Ａの対応するノズルのそれぞれに
供給される。原料ガスをバーナ２２に供給する形態は、
図４に示す例に限られず他の形態を用いてもよい。

【００３１】ガス流量制御部５２Ｂ〜５２Ｋは、それぞ
れガス流量制御部５２Ａと同様の構成を有するので、説
明を省略する。また、図４において、ガス流量制御部５
２Ｂ〜５２Ｋの内部構成は、ガス流量制御部５２Ａと同
様であるので図示しない。

【００３２】なお、各バーナ２２Ａ〜２２Ｋに供給する
原料ガスの量を、図４に示すような流量調節器７４、７
６、７８、８０、８２、８４、及び８６を用いずに、他
の手段を用いて制御してもよい。例えば、原料ガスの供
給配管上に分配器を配置し、更に分配器を介して各バー
ナ２２Ａ〜２２Ｋに至るまでの配管上に調整可能なバル
ブ又はオリフィスを配置し、バルブ又はオリフィスの圧
力損失を増減させることにより、原料ガスの各バーナ２
２Ａ〜２２Ｋへの供給量を調整してもよい。

【００３３】制御部１０２は、ガス流量制御部５２Ａ〜
５２Ｋが有する流量調節器７４、７６、７８、８０、８
２、８４、及び８６のそれぞれに接続される。例えば、
ガス流量制御部５２Ａ内において、制御部１０２は、流
量調節器７４Ａ、７６Ａ、７８Ａ、８０Ａ、８２Ａ、８
４Ａ、及び８６Ａのそれぞれに接続される。制御部１０
２は、流量調節器７４、７６、７８、８０、８２、８
４、及び８６における流量をそれぞれ個別に制御する。
制御部１０２は、全ての流量調節器７４、７６、７８、
８０、８２、８４、及び８６を制御しなくともよく、一
部の流量調節器を制御してもよい。

【００３４】制御部１０２は、バーナ２２Ａ〜２２Ｋに
供給する原料ガスの量が時間の経過に伴って変化するよ
うに、流量調節器７４、７６、７８、８０、８２、８
４、及び８６を制御してもよい。例えば、ガラス微粒子
の堆積の成長に合わせて、堆積初期、堆積中期、及び堆
積後期のそれぞれの段階において供給する原料ガスの流
量を変化させてもよい。制御部１０２は、更にモータ１
４、２０、及び１１８に接続され、チャック１２、第１
の移動軸１６、及び第２の移動軸１８の回転速度を制御
する。

【００３５】反応容器２１０は、チャック１２とバーナ
２２Ａ〜２２Ｋとを収容する。反応容器２１０は、原料
ガスの反応時に発生する熱から第１の移動機構４８、第
２の移動装置５０、ガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋ等の
ガラス母材製造装置２００の構成要素を隔離することに
よってガラス母材製造装置２００の構成要素を防護す
る。反応容器２１０は、上記の全ての構成を収容する必
要はなく、上記の構成のうち一部の構成を収容してもよ
い。

【００３６】更に、ガラス母材製造装置２００は、ガラ
ス母材の外径及びコア径を測定するプリフォームアナラ
イザ１００に接続されてもよい。ガラス母材製造装置２
００によって製造された堆積体１０は、ガラス母材製造
装置２００とは、別体の焼結装置によって焼結されてガ
ラス母材へと形成される。ガラス母材は、ガラス母材製
造装置２００とは別体のプリフォームアナライザ１００
によって外径及びコア径が測定される。プリフォームア
ナライザ１００を制御部１０２に接続することによって
プリフォームアナライザ１００からガラス母材の外径及
びコア径に関するデータを制御部１０２に入力すること
ができる。プリフォームアナライザ１００から入力した
ガラス母材の外径及びコア径に関するデータに基づいて
制御部１０２は、流量調節器７４、７６、７８、８０、
８２、８４、及び８６のそれぞれの流量を制御してもよ
い。

【００３７】図５は、バーナ２２Ａの往復移動による軌
跡を示す。図４に示すガラス母材製造装置２００は、１
１本のバーナ２２Ａ〜２２Ｋを有する。しかし、説明を
簡単にするため、１本のバーナ２２Ａの移動軌跡のみを
示す。縦軸は、時間の経過を示し、横軸は、バーナ２２
Ａの移動距離を示す。

【００３８】第１の移動機構４８は、バーナ２２Ａを実
線で示す第１の周期で往復させる。第１の移動周期によ
る移動幅は、出発母材２の全体の長さに対して一部の区
間である。第２の移動機構５０は、第１の移動機構４８
を破線で示す第２の周期で往復させる。第２の移動周期
による移動幅も、出発母材２の全体の長さに対して一部
の区間である。第１の移動機構４８の移動幅及び第２の
移動機構５０の移動幅の少なくとも一方は、バーナ設置
間隔の整数倍であることが好ましい。第２の移動周期の
移動幅は、バーナ２２Ａ〜２２Ｋ同士の間隔の整数倍で
あることが好ましい。例えば、バーナ２２Ａ〜２２Ｋ同
士の間隔の１〜２倍であってもよい。図５では、第１の
移動周期による移動幅が、第２の移動周期による移動幅
よりも小さいが、、第１の移動周期による移動幅が、第
２の移動周期による移動幅と等しくてもよい。バーナ２
２Ａの移動の軌跡は、破線で示す第２の周期の軌跡上
に、実線で示す第１の周期の軌跡を重ねた軌跡となる。
したがって、本実施形態のガラス母材製造装置２００
は、第1の移動機構４８及び第２の移動機構５０を有す
るのでバーナ２２Ａ〜２２Ｋの往復移動の折り返し位置
を移動することができる。

【００３９】図６は、図４に示したガラス母材製造装置
２００を用いてガラス母材を製造する工程を示す。ま
ず、基本の流量の原料ガスを、バーナ２２Ａ〜２２Ｋの
それぞれに供給することによりガラス微粒子を出発母材
に堆積して第１バッチの堆積体を生成する（Ｓ１０）。
基本の流量とは、各バーナ２２Ａ〜２２Ｋへ供給する原
料ガスの供給量を、バーナ２２Ａ〜２２Ｋごとに異なる
圧力損失を無視して同一にした流量である。したがっ
て、バーナ２２Ａ〜２２Ｋごとに圧力損失が異なる場合
であっても、制御部１０２は、各ガス流量制御部５２Ａ
〜５２Ｋに対して同一の出力信号を与える。そのため、
各ガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｋからバーナ２２Ａ〜２
２Ｋに対して同一の流量の原料ガスが、それぞれ供給さ
れる。

【００４０】次に、ガラス母材製造装置２００とは別体
の不図示の焼結装置を用いて第１バッチの堆積（Ｓ１
０）によって生成された第１バッチの堆積体を熱処理し
て透明ガラス化することによって第１バッチのガラス母
材を生成する（Ｓ１２）。

【００４１】堆積体１０の厚みと透明ガラス化された後
のガラス母材の厚みとの関係は、堆積体の嵩密度によっ
て変化する。したがって、堆積体１０を透明ガラス化す
る前の段階において、堆積体１０の堆積量が出発母材２
の長手方向に均一であるかどうかを判定することは困難
である。

【００４２】更に、ガラス母材製造装置２００とは別体
のプリフォームアナライザ１００を用いてガラス母材へ
レーザ光等を透過させ、透過させた光の位置のずれを測
定することによりガラス母材内部の屈折率分布を求め
る。求められた屈折率分布からガラス母材の外径を求め
ることができる。そのため、プリフォームアナライザ１
００は、透明ガラス化される前の段階で白色の多孔質で
ある堆積体１０に対しては、光が透過できないので利用
することができない。したがって、プリフォームアナラ
イザ１００を用いて堆積体１０の堆積量が出発母材２の
長手方向に均一であるかどうかを判定するためには、堆
積体１０を焼結して透明ガラス化する必要がある。

【００４３】次に、第１バッチのガラス母材の外径及び
コア径を測定する（Ｓ１４）。例えば、第１バッチのガ
ラス母材の外径と第１バッチの出発母材２の外径又はコ
ア径とをプリフォームアナライザ１００を用いて測定す
る。この測定によって第１バッチのガラス母材の外径と
第１バッチの出発母材２の外径又はコア径との比の分
布、すなわち堆積比分布を測定する。測定された堆積比
分布を各バーナ２２Ａ〜２２Ｋの堆積範囲に対応させる
ことによって、各バーナ２２Ａ〜２２Ｋのガラス微粒子
の堆積特性を知ることができる。

【００４４】堆積比分布は、以下の式に基づいて算出さ
れる。

【００４５】（式１） コアロッド率＝（出発母材外
径）／（ガラス母材外径） （式２） 堆積比＝（１／測定位置のコアロッド率）／
（１／基準位置のコアロッド率） ここで、コアロッドとは、出発母材２のことをいう。

【００４６】次に、算出された堆積比分布から得られた
各バーナ２２Ａ〜２２Ｋの堆積特性に基づいて、基本の
流量に対するバーナ２２Ａ〜２２Ｋに供給する原料ガス
の流量の補正値を、バーナ２２Ａ〜２２Ｋのそれぞれに
ついて算出する（Ｓ１６）。原料ガスの流量の補正値
は、出発母材２の長手方向に沿ってガラス微粒子の堆積
分布が均一となるように算出される。補正値算出ステッ
プ（Ｓ１６）では、調整範囲が基本の流量の５０％以下
となるように補正値を算出する。調整範囲が５０％を超
えると、あるバーナと隣接するバーナとの間で原料ガス
の供給量が違う場合、ガラス母材を焼結する時に欠陥を
生じやすい。

【００４７】次に、補正置算出ステップ（Ｓ１６）にお
いて算出された補正値を基本の流量に対して補正した値
に従って、原料ガスをバーナ２２Ａ〜２２Ｋにそれぞれ
供給することによりガラス微粒子を出発母材２に堆積し
て第２バッチの堆積体を生成する（Ｓ１８）。ここで第
２バッチの堆積（Ｓ１８）を実施している間、基本の流
量は、時間の経過に従って変化してもよい。しかし、第
２バッチの堆積（Ｓ１８）を実施している間、各バーナ
へ供給する原料ガスの流量の補正値は、時間に対して変
化させない。すなわち、一旦補正値が、各流量調節器７
４、７６、７８、８０、８２、８４、及び８６に設定さ
れると、第２バッチの堆積（Ｓ１８）が終了するまで補
正値は変更しない。

【００４８】次に、第２バッチの堆積（Ｓ１８）によっ
て生成された第２の堆積体を、焼結装置を用いて透明ガ
ラス化することによって第２バッチのガラス母材を生成
する（Ｓ２０）。次に、第２バッチのガラス母材の直径
及びコア径を測定し、堆積比分布を計算する（Ｓ２
２）。

【００４９】次に、バーナ２２Ａ〜２２Ｋそれぞれの位
置に対応する第１バッチのガラス母材の堆積比と第２バ
ッチのガラス母材の堆積比との比率に基づいて補正値
を、バーナ２２Ａ〜２２Ｋのそれぞれについて算出する
（Ｓ２４）。まず、第１バッチのガラス母材の堆積比と
第２バッチのガラス母材の堆積比との比率が、バーナ２
２Ａ〜２２Ｋのそれぞれの位置において変化する率を算
出する。この堆積比の比率の変化率は、第１のガラス母
材におけるガラス微粒子堆積量と第２のガラス母材にお
けるガラス微粒子堆積量との比率が、バーナ２２Ａ〜２
２Ｋのそれぞれの位置において変化する率を示す。以下
にガラス微粒子堆積量の比率の変化率を算出する式を示
す。

【００５０】（式３） 堆積比の変化率＝（第２のガラ
ス母材の堆積比）／（第１のガラス母材の堆積比） 次に、算出した堆積比の変化率に基づいて、出発母材２
の長手方向に沿ってガラス微粒子の堆積分布が均一とな
るように、バーナ２２Ａ〜２２Ｋに供給する原料ガスの
流量の補正値を調整する。

【００５１】次に、補正値算出ステップ（Ｓ２４）にお
いて算出された補正値を基本の流量に対して補正した値
に基づいて、原料ガスを複数のバーナにそれぞれ供給す
ることによりガラス微粒子を出発母材に堆積して第３バ
ッチの堆積体を生成する（Ｓ２６）。ここで第３バッチ
の堆積（Ｓ２６）を実施している間、基本の流量は、時
間の経過に従って変化してもよい。しかし、第３バッチ
の堆積（Ｓ２６）を実施している間、各バーナへの原料
ガス供給量の補正値は、時間に対して変化させない。す
なわち、一旦補正値が、各流量調節器７４、７６、７
８、８０、８２、８４、及び８６に設定されると、第３
バッチの堆積（Ｓ２６）が終了するまで補正値は変更し
ない。

【００５２】次に、第３バッチの堆積（Ｓ２６）によっ
て製造された第３バッチの堆積体を、焼結装置を用いて
透明ガラス化することによって第３バッチのガラス母材
を生成する（Ｓ２８）。第３バッチの堆積（Ｓ２６）、
第３バッチのガラス化（Ｓ２８）、及び補正値算出（Ｓ
２４）で説明した堆積焼結、補正値算出工程を複数バッ
チ繰り返すことによって、ガラス微粒子の堆積分布が均
一なガラス母材を製造することができる。また、第３バ
ッチの堆積（Ｓ２６）、第３バッチのガラス化（Ｓ２
８）、補正値算出（Ｓ２４）で説明した堆積、焼結、及
び補正値算出工程でなく、第２バッチの堆積（Ｓ１
８）、第２バッチのガラス化（Ｓ２０）、及び補正値算
出（Ｓ１６）工程で説明した堆積、焼結、及び補正値算
出工程を繰り返してもよい。

【００５３】以上に述べたように、ガラス母材を実際に
数バッチ製造するたびに、出発母材２の長手方向に沿っ
てガラス微粒子の堆積分布が均一となる条件を推定し、
調整することで、ガラス微粒子の堆積分布が均一なガラ
ス母材を製造することができる。

【００５４】（実施例１）図４に示すガラス母材製造装
置２００を用いて堆積体１０を製造した。ただし、用い
るバーナの本数を１１本でなく、１０本とした。バーナ
を、１５０ｍｍの間隔に配置した。したがって、図４に
示すバーナ２２Ａ〜２２Ｋのうち、バーナ２２Ａ〜２２
Ｊを用いた。外径４０ｍｍの出発母材２にガラス微粒子
を堆積することにより外径が平均１８０ｍｍの堆積体１
０を生成した。

【００５５】各バーナ２２Ａ〜２２Ｊへのガス供給量
を、堆積体１０の外径の増加に合わせて変化した。例え
ば、堆積初期においては、Ｈ_２：５０Ｎｌ／ｍｉｎ、Ｏ
_２：３０Ｎｌ／ｍｉｎ、原料ガス（ＳｉＣｌ_４）：３．
５Ｎｌ／ｍｉｎとなるようにガス供給量を制御し、堆積
終了時においては、ガス供給量が、Ｈ_２：１００Ｎｌ／
ｍｉｎ、Ｏ_２：５０Ｎｌ／ｍｉｎ、原料ガス（ＳｉＣｌ
_４）：２３Ｎｌ／ｍｉｎとなるように制御した。

【００５６】バーナ２２Ａ〜２２Ｊの移動速度は、第１
の移動機構４８の移動速度が１、０００ｍｍ／ｍｉｎ、
第２の移動機構５０の移動速度が２０ｍｍ／ｍｉｎとな
るように設定した。また、第１の移動機構４８及び第２
の移動機構５０の移動幅を共に１５０ｍｍに設定した。
ガラス微粒子を出発母材２に堆積している間、バーナ２
２Ａ〜２２Ｊと堆積体１０との距離が一定となるように
設定した。

【００５７】更に、ガス流量制御部５２Ａ〜５２Ｊが有
する全ての流量調節器７４〜８６に対して、同一の信号
を出力することにより、全てのバーナ２２Ａ〜２２Ｊに
対して同一の流量の原料ガスを供給した。

【００５８】更に、出発母材２の回転数を堆積体１０の
外径の増加に合わせて制御した。例えば、堆積開始時に
おいて回転数が１１０ｒｐｍとなるように制御し、堆積
終了時において回転数が３０ｒｐｍとなるように制御し
た。

【００５９】上記の設定条件に基づき、堆積体１０を製
造し、製造した堆積体１０を透明ガラス化することによ
りガラス母材を製造した。

【００６０】（実施例２）実施例１の堆積比分布を、プ
リフォームアナライザ１００を用いて測定した結果、図
７に示すように２本の矢印で示した左から３番目のバー
ナ２２Ｃと７番目のバ−ナ２２Ｇに対応する位置の堆積
比が、他の位置の堆積比より低いことが分かった。そこ
で、ガラス母材の長手方向に沿った堆積比分布が均一と
なるよう、バーナ２２Ｃ及び２２Ｇに対する原料ガスの
供給条件を以下のように調整した。

【００６１】すなわち、１０本のバーナ２２Ａ〜２２Ｊ
のうち左から３番目のバーナ２２Ｃと７番目のバ−ナ２
２Ｇが他のバーナのそれぞれ１．２０倍及び１．１０倍
となるように、各流量調節器７４〜８６をそれぞれ設定
した。ガラス微粒子を堆積している間、この流量比が一
定に保たれた。バーナ２２Ｃ及び２２Ｇに対する原料ガ
スの供給条件以外の条件については、全て実施例１と同
様の条件に設定した。

【００６２】上記の設定条件に基づき、外径４０ｍｍの
出発母材２にガラス微粒子を堆積することにより外径が
平均１８０ｍｍの堆積体１０を製造した。更に、製造し
た堆積体１０を透明ガラス化することによりガラス母材
を製造した。

【００６３】（実施例３）実施例２の堆積比分布を測定
した結果、図７に示すように２本の矢印で示した左から
３番目のバーナ２２Ｃと７番目のバ−ナ２２Ｇに対応す
る位置を中心とした領域の堆積比が、他の位置の堆積比
より低いことが分かった。そこで、ガラス母材の長手方
向に沿った堆積比分布が均一となるようバーナ２２Ａ〜
２２Ｊに対する原料ガスの供給条件を下記のように調整
した。

【００６４】すなわち、バーナ２２Ａ〜２２Ｊの供給条
件を、基本の供給量を１として、バーナ２２Ａが１．０
４倍、バーナ２２Ｂが１．０４倍、バーナ２２Ｃが１．
０８倍、バーナ２２Ｄが０．９７倍、バーナ２２Ｅが
０．９０倍、バーナ２２Ｆが０．９７倍、バーナ２２Ｇ
が１．１８倍、バーナ２２Ｈが１．００倍、バーナ２２
Ｉが０．９３倍、バーナ２２Ｊが０．９０倍となるよう
に各バーナ２２Ａ〜２２Ｊに対応する流量調節器をそれ
ぞれ調整した。ガラス微粒子を堆積している間、この流
量比が一定に保たれた。原料ガスの供給条件以外の条件
は、全て実施例２と同様の条件に設定した。

【００６５】上記の設定条件に基づき、外径４０ｍｍの
出発母材２にガラス微粒子を堆積することにより外径が
平均１８０ｍｍの堆積体１０を製造した。更に、製造し
た堆積体１０を透明ガラス化することによりガラス母材
を製造した。

【００６６】図７は、実施例１及び実施例２の各堆積比
の変化を示す。図７のうち四角のポイントで示された線
は、実施例２で製造されたガラス母材をプリフォームア
ナライザ１００で測定することにより得られた堆積比分
布を示す。一方、三角のポイントで示された線は、実施
例１で製造されたガラス母材をプリフォームアナライザ
１００で測定することにより得られた堆積比分布を示
す。図中の矢印は、それぞれ左から３番目及び７番目の
バーナ２２Ｃ及び２２Ｇの位置に対応する。

【００６７】図７に示すように実施例１では、矢印で示
した左から３番目のバーナ２２Ｃ及び７番目のバーナ２
２Ｇの位置に対応する範囲の堆積比が低いので、ガラス
母材の長手方向に沿って、ガラス微粒子の堆積量が均一
でない。

【００６８】そのため、実施例２では、ガス流量制御部
５２Ｃ及び５２Ｇが有する流量調整器７４Ｃ〜８６Ｃ及
び７４Ｇ〜８６Ｇを調整することにより、左から３番目
のバーナ２２Ｃ及び７番目のバーナ２２Ｇに対する原料
ガス供給量を増加した。そのため、矢印で示すバーナ２
２Ｃ及び２２Ｇの位置において比較すると、実施例２の
堆積比が、実施例１の堆積比と比べて増加したことが分
かる。すなわち、バーナ２２Ｃ及び２２Ｇの位置に対応
する範囲では、実施例２のガラス微粒子の堆積量が、実
施例１のガラス微粒子の堆積量と比べて増加したことが
分かる。バーナ２２Ｃ及び２２Ｇのガラス微粒子の堆積
量が増加したので、実施例２の堆積比分布は、実施例１
の堆積比分布に比べガラス母材の長手方向に均一となっ
た。

【００６９】図８は、実施例１の堆積比と実施例２の堆
積比との変化率を示す。すなわち、図８は、実施例２の
部分的な堆積比の増加が実施例１の堆積比に対してどの
程度増えたのかを示す。堆積比の変化率を得るために、
バーナ２２Ａ〜２２Ｊのそれぞれの位置に対応させて実
施例２の堆積比が、実施例１の堆積比に対して変化した
比率を求めた。図８に示すように３番目のバーナ２２Ｃ
及び７番目のバーナ２２Ｇに対応する矢印で示した箇所
の変化率が高くなった。

【００７０】図９は、実施例３及び実施例１の各堆積比
の変化を示す。図９のうち四角のポイントで示された線
は、実施例３で製造されたガラス母材をプリフォームア
ナライザ１００で測定することにより得られた堆積比分
布を示す。一方、三角のポイントで示された線は、実施
例１で製造されたガラス母材をプリフォームアナライザ
１００で測定することにより得られた堆積比分布を示
す。実施例３は、実施例２の結果に基づいて、各バーナ
２２Ａ〜２２Ｇへの原料ガス供給量が調整された。その
ため、図９に示すように、実施例３の堆積比分布は、ガ
ラス母材の長手方向に対して実質的に均一となった。

【００７１】図１０は、実施例３の堆積比と実施例１の
堆積比との変化率を示す。すなわち、図１０は、実施例
３の部分的な堆積比の増加が実施例１の堆積比に対して
どの程度増えたのかを示す。上記堆積比の変化率を得る
ために、バーナ２２Ａ〜２２Ｊのそれぞれの位置に対応
させて実施例３の堆積比が、実施例１の堆積比に対して
変化した比率を求めた。図１０に示すようにバーナ２２
Ｃ及びバーナ２２Ｇを中心として実施例３の各バーナ２
２Ａ〜２２Ｊの変化率が増加したことが分かる。

【００７２】以上説明した実施例１、実施例２、及び実
施例３を、図６のフローチャートに対応させると、実施
例１は、第１バッチの堆積（Ｓ１０）及び第１バッチの
ガラス化（Ｓ１２）によって第１バッチのガラス母材を
製造することに対応する。更に、実施例２は、第１バッ
チのガラス母材の外径及びコア径の測定（Ｓ１４）、補
正値算出（Ｓ１６）、第２バッチの堆積（Ｓ１８）、及
び第２バッチのガラス化（Ｓ２０）によって第２バッチ
のガラス母材を製造することに対応する。更に、実施例
３は、第２バッチのガラス母材の外径及びコア径測定
（Ｓ２２）、補正値算出（Ｓ２４）、第３バッチの堆積
（Ｓ２６）、及び第３バッチのガラス化（Ｓ２８）によ
って第３バッチのガラス母材を製造することに対応す
る。

【００７３】したがって、実施例１、実施例２、及び実
施例３と補正値を調整するたびに図７及び図９に示すよ
うにガラス微粒子の堆積比分布がより均一となることが
分かる。したがって、図４から図６に示す本実施形態に
よって、堆積比分布が均一のガラス母材を製造すること
ができる。

【００７４】以上、本発明を実施形態を用いて説明した
が、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲に
は限定されない。上記実施形態に、多様な変更または改
良を加えることができる。そのような変更または改良を
加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、
特許請求の範囲の記載から明らかである。

【００７５】

【発明の効果】上記説明から明らかなように、本発明に
よれば堆積比分布が均一のガラス母材を製造することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のガラス母材製造装置の構成を示す。

【図２】全域トラバース法によるバーナ２２Ａ〜２２Ｄ
のガラス微粒子の堆積量を示す。

【図３】部分トラバース法によるバーナ２２Ａ〜２２Ｆ
のガラス微粒子の堆積量を示す。

【図４】本発明のガラス母材製造装置２００の一実施形
態を示す。

【図５】バーナ２２Ａ〜２２Ｅの往復移動による軌跡を
示す。

【図６】図４に示したガラス母材製造装置２００を用い
たガラス母材を製造する工程を示す。

【図７】実施例１及び実施例２の各堆積比の変化を示
す。

【図８】実施例１の堆積比と実施例２の堆積比との変化
率を示す。

【図９】実施例３及び実施例１の各堆積比の変化を示
す。

【図１０】実施例３の堆積比と実施例１の堆積比との変
化率を示す。

【符号の説明】

２・・・出発母材、１０・・・堆積体、１２・・・チャ
ック、１４、２０、１１８・・・モータ、１５・・・
台、１６・・・第１の移動軸、１８・・・第２の移動
軸、２２・・・バーナ、４８・・・第１の移動機構、５
０・・・第２の移動機構、５２・・・ガス流量制御部、
７４、７６、７８、８０、８２、８４、８６・・・流量
調節器、８８・・・原料ガス供給源、１００・・・プリ
フォームアナライザ １０２・・・制御部、２００・・・ガラス母材製造装
置、２１０・・・反応容器

フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA03 EB06 EB14

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ファイバの原材料として使用されるガ
   ラス母材を製造する装置であって、 前記ガラス母材の出発母材の長手方向に沿って前記出発
   母材の全体の長さに対して一部の区間を往復しながら前
   記出発母材にガラス微粒子を堆積することによって前記
   ガラス母材の母材となる堆積体を形成する、前記出発母
   材の長手方向に沿って一列に所定の間隔で配列された複
   数のバーナと、 前記複数のバーナのそれぞれに少なくとも１つが接続さ
   れた、前記ガラス微粒子の原料ガスを前記バーナへ供給
   する流量を調節する流量調節器と、 複数の前記流量調節器のそれぞれに接続された、前記複
   数の流量調節器のそれぞれを個別に制御する制御部とを
   備えたことを特徴とするガラス母材製造装置。
2. 【請求項２】 前記制御部は、 基本の流量の前記原料ガスを、前記複数のバーナに供給
   するように前記複数の流量調節器を制御する第１の制御
   手段と、 前記基本の流量に対して前記複数のバーナのそれぞれに
   ついて算出された前記バーナに供給される前記原料ガス
   の流量の補正値に応じて前記複数の流量調節器のそれぞ
   れを制御する第２の制御手段とを有することを特徴とす
   る請求項１に記載のガラス母材製造装置。
3. 【請求項３】 前記第２の制御手段が、前記複数のバー
   ナによって実際に堆積された前記堆積体を透明ガラス化
   した前記ガラス母材の堆積比に基づいて前記複数の流量
   調節器のそれぞれについて前期補正値を算出することを
   特徴とする請求項２に記載のガラス母材製造装置。
4. 【請求項４】 前記第２の制御手段が、前記複数のバー
   ナのそれぞれの位置に対応する、前記第１の制御手段を
   用いて前記流量調節器を制御することによって形成した
   前記堆積体を透明ガラス化した第１のガラス母材の堆積
   比と、前記第１の制御手段及び前記第２の制御手段を用
   いて前記流量調節器を制御することによって形成した前
   記堆積体を透明ガラス化した第２のガラス母材の堆積比
   との比率に応じて前記複数の流量調節器のそれぞれにつ
   いて前記補正値を調整することを特徴とする請求項３に
   記載のガラス母材製造装置。
5. 【請求項５】 前記制御部が、前記ガラス母材の外径及
   びコア径を測定するプリフォームアナライザに接続され
   たことを特徴とする請求項３に記載のガラス母材製造装
   置。
6. 【請求項６】 前記第２の制御手段が、前記基本の流量
   の５０％以下となるように前記補正値を算出することを
   特徴とする請求項２に記載のガラス母材製造装置。
7. 【請求項７】 前記バーナへ供給する前記原料ガスの量
   が時間の経過に伴って変化するように前記第１の制御手
   段が、前記流量調節器を制御することを特徴とする請求
   項２に記載のガラス母材製造装置。
8. 【請求項８】 １つの前記バーナに対して複数の前記流
   量調節器が接続されたことを特徴とする請求項１に記載
   のガラス母材製造装置。
9. 【請求項９】 前記複数の流量調節器が、異なった種類
   の前記原料ガスの流量をそれぞれ制御することを特徴と
   する請求項８に記載のガラス母材製造装置。
10. 【請求項１０】 前記出発母材の長手方向に沿って前記
    複数のバーナを第１の周期で往復させる第１の移動機構
    と、 前記第１の移動機構を前記第１の周期より長い第２の周
    期で往復させる第２の移動機構とを更に備えたことを特
    徴とする請求項１に記載のガラス母材製造装置。
11. 【請求項１１】 光ファイバの原材料として使用される
    ガラス母材を製造する方法であって、 前記ガラス母材の出発母材の長手方向に沿って複数のバ
    ーナを、前記出発母材の全体の長さに対して一部の区間
    を往復させながら前記複数のバーナからガラス微粒子を
    前記出発母材に噴出することで前記出発母材に前記ガラ
    ス微粒子を堆積する堆積ステップと、 前記ガラス微粒子の原料ガスを前記複数のバーナへ供給
    する流量を、前記複数のバーナのそれぞれについて個別
    に制御する流量制御ステップとを備えたことを特徴とす
    るガラス母材製造方法。
12. 【請求項１２】 前記堆積ステップにおいて堆積された
    前記ガラス微粒子の堆積体を透明ガラス化することによ
    りガラス母材を生成するガラス化ステップを更に備え、 前記流量制御ステップが、前記ガラス化ステップにおい
    て生成された前記ガラス母材の堆積比に基づいて前記原
    料ガスの流量を前記複数のバーナのそれぞれについて個
    別に制御することを特徴とする請求項１１に記載のガラ
    ス母材製造方法。
13. 【請求項１３】 前記堆積ステップが、基本の流量の前
    記原料ガスを、前記複数のバーナに供給することにより
    前記ガラス微粒子を前記出発母材に堆積して第１バッチ
    の堆積体を生成する第１バッチの堆積ステップを有し、 前記ガラス化ステップが、前記第１バッチの堆積体を透
    明ガラス化して第１バッチのガラス母材を生成する第１
    バッチのガラス化ステップを有し、 前記第１バッチのガラス化ステップによって生成された
    前記第１バッチのガラス母材の堆積比に基づいて前記基
    本の流量に対する前記バーナに供給する前記原料ガスの
    流量の補正値を、前記複数のバーナのそれぞれについて
    算出する補正値算出ステップを更に備えたことを特徴と
    する請求項１２に記載のガラス母材製造方法。
14. 【請求項１４】 前記堆積ステップが、前記補正置算出
    ステップにおいて算出された前記補正値を前記基本の流
    量に対して補正した値に従って、前記原料ガスを前記複
    数のバーナにそれぞれ供給することにより前記ガラス微
    粒子を前記出発母材に堆積して第２バッチの堆積体を生
    成する第２バッチの堆積ステップを更に有することを特
    徴とする請求項１３に記載のガラス母材製造方法。
15. 【請求項１５】 前記流量制御ステップが、 前記第１バッチの堆積ステップにおいて前記基本の流量
    の前記原料ガスを、前記複数のバーナに供給するように
    前記原料ガスの流量を制御する第１バッチの制御ステッ
    プと、 前記第２バッチの堆積ステップにおいて前記基本の流量
    に対して前記補正値を補正した値に従って前記複数のバ
    ーナのそれぞれに供給する前記原料ガスの流量を、それ
    ぞれ個別に制御する第２バッチの制御ステップとを有す
    ることを特徴とする請求項１４に記載のガラス母材製造
    方法。
16. 【請求項１６】 前記補正値算出ステップが、前記第１
    バッチのガラス化ステップにより生成された前記第１の
    ガラス母材の堆積比に基づいて前記複数のバーナのそれ
    ぞれについて前期補正値を算出することを特徴とする請
    求項１３に記載のガラス母材製造方法。
17. 【請求項１７】 前記ガラス化ステップが、前記第２バ
    ッチの堆積ステップにより生成された前記第２バッチの
    堆積体を透明ガラス化して第２バッチのガラス母材を生
    成する第２バッチのガラス化ステップを更に有し、 前記複数のバーナのそれぞれの位置に対応する、前記第
    １バッチのガラス化ステップにおいて生成された前記第
    １バッチのガラス母材の堆積比と、前記第２バッチのガ
    ラス化ステップにおいて生成された前記第２バッチのガ
    ラス母材の堆積比との比率に基づいて前記複数のバーナ
    のそれぞれについて前記補正値を算出する補正値算出ス
    テップを更に備えたことを特徴とする請求項１４に記載
    のガラス母材製造方法。
18. 【請求項１８】 前記堆積ステップが、前記補正値算出
    ステップにおいて算出された前記補正値を前記基本の流
    量に対して補正した値に基づいて、前記原料ガスを前記
    複数のバーナにそれぞれ供給することにより前記ガラス
    微粒子を前記出発母材に堆積して第３バッチの堆積体を
    生成する第３バッチの堆積ステップを更に有し、 前記流量制御ステップが、前記算出された前記補正値を
    前記基本の流量に対して補正した値に基づいて前記複数
    のバーナのそれぞれに供給する前記原料ガスの流量をそ
    れぞれ個別に制御する第３バッチの制御ステップを更に
    有し、 前記ガラス化ステップが、前記第３バッチの堆積ステッ
    プにより生成された前記第３バッチの堆積体を透明ガラ
    ス化して第３バッチのガラス母材を生成する第３バッチ
    のガラス化ステップを更に有することを特徴とする請求
    項１３に記載のガラス母材製造方法。
19. 【請求項１９】 前記補正値算出ステップが、前記基本
    の流量の５０％以下となるように前記補正値を算出する
    ことを特徴とする請求項１３に記載のガラス母材製造方
    法。
20. 【請求項２０】 前記第１バッチの制御ステップが、前
    記バーナへ供給する前記原料ガスの流量が時間の経過に
    伴って変化するように制御することを特徴とする請求項
    １５に記載のガラス母材製造方法。
21. 【請求項２１】 前記第１バッチの堆積ステップ及び前
    記第２バッチの堆積ステップが、１つの前記バーナに対
    して複数の種類の前記原料ガスを供給し、 前記第１バッチの制御ステップ及び前記第２バッチの制
    御ステップが、前記複数の種類の原料ガスのそれぞれの
    流量を個別に制御することを特徴とする請求項１５に記
    載のガラス母材製造方法。