JP2000185930A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 堆積速度と堆積収率との両者のバランスを図
ることにより全体として生産性の向上を図る。 【解決手段】 原料ガスの酸水素火炎中での加水分解反
応により生じたガラス微粒子を出発材に堆積させる。堆
積初期には原料ガス噴出口から噴出させる原料ガスの流
量を大となるように流量調整して堆積速度を向上させ、
堆積終期には噴出させる原料ガスの流量を小となるよう
に流量調整して堆積収率を向上させる。
ることにより全体として生産性の向上を図る。 【解決手段】 原料ガスの酸水素火炎中での加水分解反
応により生じたガラス微粒子を出発材に堆積させる。堆
積初期には原料ガス噴出口から噴出させる原料ガスの流
量を大となるように流量調整して堆積速度を向上させ、
堆積終期には噴出させる原料ガスの流量を小となるよう
に流量調整して堆積収率を向上させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＯＶＤ（Outside
Vapour-phase Deposition）法等により光ファイバ用多
孔質母材を製造するために用いられる光ファイバ母材の
製造方法に関する。
Vapour-phase Deposition）法等により光ファイバ用多
孔質母材を製造するために用いられる光ファイバ母材の
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種の光ファイバ母材の製
造方法として、棒状の出発材をその長手方向に往復移動
させながら、その出発材に対し直交する方向からバーナ
により原料ガス、可燃ガス、助燃ガス等を噴出させ、こ
の原料ガスの酸水素火炎中での加水分解により生じたガ
ラス微粒子を上記出発材の周囲に対し順次堆積すること
により光ファイバ用多孔質母材を製造するものが知られ
ている（例えば、特開平６−２３４５３８号公報参
照）。
造方法として、棒状の出発材をその長手方向に往復移動
させながら、その出発材に対し直交する方向からバーナ
により原料ガス、可燃ガス、助燃ガス等を噴出させ、こ
の原料ガスの酸水素火炎中での加水分解により生じたガ
ラス微粒子を上記出発材の周囲に対し順次堆積すること
により光ファイバ用多孔質母材を製造するものが知られ
ている（例えば、特開平６−２３４５３８号公報参
照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光ファイバ
の生産性を評価する値として堆積収率と堆積速度とがあ
り、上記２つの値は次のように定義される。
の生産性を評価する値として堆積収率と堆積速度とがあ
り、上記２つの値は次のように定義される。
【０００４】 堆積収率＝堆積重量／理論合成重量＝反応効率×付着効率 （１） 堆積速度＝堆積重量／堆積時間＝理論合成速度×反応効率×付着効率 （２） そして、生産性を向上させるには、上記堆積速度を向上
させて短時間で多孔質母材を形成するようにし、かつ、
堆積収率を向上させて原料ガスの無駄を少なくすること
が必要となる。
させて短時間で多孔質母材を形成するようにし、かつ、
堆積収率を向上させて原料ガスの無駄を少なくすること
が必要となる。
【０００５】そこで、上記生産性を向上させるために、
原料ガスの流量を増大させることが考えられる。
原料ガスの流量を増大させることが考えられる。
【０００６】ところが、原料ガス流量を単に増大させて
も堆積収率は低下する傾向にある。加えて、図３によれ
ば、製造初期、すなわち母材が細径（例えば母材外径３
０ｍｍ）の時には、原料ガスの流量を４リットル／ｍｉ
ｎ（同図の黒丸参照）から８リットル／ｍｉｎ（同図の
黒三角参照）、８リットル／ｍｉｎから１２リットル／
ｍｉｎ（同図の黒四角参照）に増大させても堆積収率の
低下の割合はごく小さいが、製造終期、すなわち母材が
太径になれば上記原料ガスの流量を増大させるに従い堆
積収率は顕著に低下する傾向にある。
も堆積収率は低下する傾向にある。加えて、図３によれ
ば、製造初期、すなわち母材が細径（例えば母材外径３
０ｍｍ）の時には、原料ガスの流量を４リットル／ｍｉ
ｎ（同図の黒丸参照）から８リットル／ｍｉｎ（同図の
黒三角参照）、８リットル／ｍｉｎから１２リットル／
ｍｉｎ（同図の黒四角参照）に増大させても堆積収率の
低下の割合はごく小さいが、製造終期、すなわち母材が
太径になれば上記原料ガスの流量を増大させるに従い堆
積収率は顕著に低下する傾向にある。
【０００７】また、原料ガスの流量を増大させれば、上
記堆積速度の向上自体は図れるものの、その堆積速度の
向上割合は上記原料ガスの流量の増大ほどには大きくな
らず、さほどの堆積速度の向上は図れない。
記堆積速度の向上自体は図れるものの、その堆積速度の
向上割合は上記原料ガスの流量の増大ほどには大きくな
らず、さほどの堆積速度の向上は図れない。
【０００８】すなわち、単に原料ガスの流量を増大させ
たのでは、上記堆積速度と、堆積収率との双方を共に向
上させることができず、生産性を向上させるということ
が達成されないという問題がある。
たのでは、上記堆積速度と、堆積収率との双方を共に向
上させることができず、生産性を向上させるということ
が達成されないという問題がある。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、堆積速度と堆
積収率との双方のバランスを図ることにより母材製造工
程における生産性の向上を図ることにある。
たものであり、その目的とするところは、堆積速度と堆
積収率との双方のバランスを図ることにより母材製造工
程における生産性の向上を図ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明者は、出発材に堆積される母材が製造開始後
の間もない細径のときはガラス微粒子の付着効率が低
く、製造時間の経過と共に母材が太くなれば上記付着効
率が増大する傾向にある点に鑑み、上記母材が細径時に
は、原料ガスの流量を増大させれば堆積収率が僅かに減
少するものの、堆積速度は顕著に増大する一方、母材が
太径時には、原料ガスの流量を減少させれば堆積速度は
減少傾向となるものの、堆積収率が顕著に増大すること
に着目して本発明を完成するに至ったものである。
に、本発明者は、出発材に堆積される母材が製造開始後
の間もない細径のときはガラス微粒子の付着効率が低
く、製造時間の経過と共に母材が太くなれば上記付着効
率が増大する傾向にある点に鑑み、上記母材が細径時に
は、原料ガスの流量を増大させれば堆積収率が僅かに減
少するものの、堆積速度は顕著に増大する一方、母材が
太径時には、原料ガスの流量を減少させれば堆積速度は
減少傾向となるものの、堆積収率が顕著に増大すること
に着目して本発明を完成するに至ったものである。
【００１１】以下本願の発明を具体的に説明すると、本
発明は、バーナに設けられた原料ガス噴出口から原料ガ
スを出発材に向けて噴出させ、この原料ガスの酸水素火
炎中での加水分解反応により生じたガラス微粒子を上記
出発材に堆積させて光ファイバ母材を製造する光ファイ
バ母材の製造方法を対象とし、堆積初期には、上記原料
ガス噴出口から噴出させる原料ガスの流量を大となるよ
うに流量調整する一方、堆積終期には、上記噴出させる
原料ガスの流量を小となるように流量調整することを特
定事項とするものである。ここで、「堆積初期」とは、
出発材に対し、ガラス微粒子がほとんど堆積していない
ときをいい、光ファイバ母材の外径が比較的細径、具体
的には母材の外径が例えば２５ｍｍ（出発材の径）〜４
０ｍｍ程度のときをいい、「製造終期」とは、母材とし
て目標外径にまで成長するときをいい、具体的には、上
記光ファイバ母材の外径が例えば２００ｍｍ〜２５０ｍ
ｍ程度にまで成長したときをいう。
発明は、バーナに設けられた原料ガス噴出口から原料ガ
スを出発材に向けて噴出させ、この原料ガスの酸水素火
炎中での加水分解反応により生じたガラス微粒子を上記
出発材に堆積させて光ファイバ母材を製造する光ファイ
バ母材の製造方法を対象とし、堆積初期には、上記原料
ガス噴出口から噴出させる原料ガスの流量を大となるよ
うに流量調整する一方、堆積終期には、上記噴出させる
原料ガスの流量を小となるように流量調整することを特
定事項とするものである。ここで、「堆積初期」とは、
出発材に対し、ガラス微粒子がほとんど堆積していない
ときをいい、光ファイバ母材の外径が比較的細径、具体
的には母材の外径が例えば２５ｍｍ（出発材の径）〜４
０ｍｍ程度のときをいい、「製造終期」とは、母材とし
て目標外径にまで成長するときをいい、具体的には、上
記光ファイバ母材の外径が例えば２００ｍｍ〜２５０ｍ
ｍ程度にまで成長したときをいう。
【００１２】この場合、製造初期である母材が細径の時
には、原料ガスの流量を増大することにより、反応効率
は低下するが付着効率が低いため上記反応効率の低下が
堆積収率に与える影響は小さくなり、このため、堆積収
率は低下するもののその低下割合は小さくなると考えら
れる（式（１）参照）。一方、原料ガスの流量を増大さ
せることにより理論合成速度が著しく向上するため、た
とえ原料ガスの流量を増大させることにより反応効率が
低下したとしても、単位時間当たりのガラス微粒子の堆
積量、すなわち堆積速度は大幅に向上すると考えられる
（式（２）参照）。
には、原料ガスの流量を増大することにより、反応効率
は低下するが付着効率が低いため上記反応効率の低下が
堆積収率に与える影響は小さくなり、このため、堆積収
率は低下するもののその低下割合は小さくなると考えら
れる（式（１）参照）。一方、原料ガスの流量を増大さ
せることにより理論合成速度が著しく向上するため、た
とえ原料ガスの流量を増大させることにより反応効率が
低下したとしても、単位時間当たりのガラス微粒子の堆
積量、すなわち堆積速度は大幅に向上すると考えられる
（式（２）参照）。
【００１３】そして、製造後期である母材が太径の時に
は、原料ガス流量を減少させることにより、理論合成速
度は低下するが、付着効率が高く、かつ、反応効率が向
上するため堆積速度の低下の割合を小さくすることが可
能になる（式（２）参照）。一方、原料ガスの流量を減
少させて反応効率を向上させれば、付着効率が高いため
堆積効率が大幅に向上すると考えられる（式（１）参
照）。
は、原料ガス流量を減少させることにより、理論合成速
度は低下するが、付着効率が高く、かつ、反応効率が向
上するため堆積速度の低下の割合を小さくすることが可
能になる（式（２）参照）。一方、原料ガスの流量を減
少させて反応効率を向上させれば、付着効率が高いため
堆積効率が大幅に向上すると考えられる（式（１）参
照）。
【００１４】従って、製造初期には、原料ガスの流量を
増大させることにより堆積速度を向上させ短時間でガラ
ス微粒子を堆積させ得る一方、製造終期には、原料ガス
の流量を減少させることにより堆積収率を向上させ原料
ガスを効率良く堆積させ得ることになる。これにより、
上記堆積初期から堆積後期に亘って堆積速度と堆積収率
とのバランスが図られ、母材の製造工程における生産性
の向上が図られる。
増大させることにより堆積速度を向上させ短時間でガラ
ス微粒子を堆積させ得る一方、製造終期には、原料ガス
の流量を減少させることにより堆積収率を向上させ原料
ガスを効率良く堆積させ得ることになる。これにより、
上記堆積初期から堆積後期に亘って堆積速度と堆積収率
とのバランスが図られ、母材の製造工程における生産性
の向上が図られる。
【００１５】なお、本発明の技術は特にＯＶＤ法におい
て高い作用・効果を得ることができる。
て高い作用・効果を得ることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明における光
ファイバ母材の製造方法によれば、堆積初期には、原料
ガス流量を増大することにより堆積速度の増大を図るこ
とができる一方、堆積終期には原料ガス流量を低減する
ことにより堆積収率の増大を図ることができ、その結
果、光ファイバ母材の生産性を向上させることができ
る。
ファイバ母材の製造方法によれば、堆積初期には、原料
ガス流量を増大することにより堆積速度の増大を図るこ
とができる一方、堆積終期には原料ガス流量を低減する
ことにより堆積収率の増大を図ることができ、その結
果、光ファイバ母材の生産性を向上させることができ
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の製造方法を実施
するための光ファイバ母材の製造装置の一例を示し、１
は出発材２に対し堆積された光ファイバ母材（以下、単
に母材という）、３は上記出発材２に対し直交する方向
から火炎を吹き付けるバーナ、４は上記母材１を挟んで
バーナ３と相対向する排気管である。
するための光ファイバ母材の製造装置の一例を示し、１
は出発材２に対し堆積された光ファイバ母材（以下、単
に母材という）、３は上記出発材２に対し直交する方向
から火炎を吹き付けるバーナ、４は上記母材１を挟んで
バーナ３と相対向する排気管である。
【００１８】上記出発材２はその両端がそれぞれ把持手
段５により把持され、この両把持手段５，５は出発材２
を把持してその軸Ｘ回りに回転させながら軸Ｘ方向（同
図の左右方向）に往復移動可能に基台（図示省略）上に
配設されている。また、上記母材１を含み出発材２と、
バーナ３及び排気管４の各先端部とが反応容器（図示省
略）内に収容されている。
段５により把持され、この両把持手段５，５は出発材２
を把持してその軸Ｘ回りに回転させながら軸Ｘ方向（同
図の左右方向）に往復移動可能に基台（図示省略）上に
配設されている。また、上記母材１を含み出発材２と、
バーナ３及び排気管４の各先端部とが反応容器（図示省
略）内に収容されている。
【００１９】上記バーナ３は、原料ガス、可燃ガス、助
燃ガス及びシールガス等が供給されこれらのガスを先端
から噴出させて上記原料ガス中の原料を酸水素火炎中で
加水分解させることによりガラス微粒子を上記出発材２
に対し順次堆積させるものである。
燃ガス及びシールガス等が供給されこれらのガスを先端
から噴出させて上記原料ガス中の原料を酸水素火炎中で
加水分解させることによりガラス微粒子を上記出発材２
に対し順次堆積させるものである。
【００２０】上記原料ガスとしてはＳｉＣｌ4等のケイ
素化合物が用いられる。また、上記シールガスとしては
Ａｒ、可燃ガスとしてはＨ2、上記助燃ガスとしてはＯ2
がそれぞれ用いられる。この場合、酸水素火炎中で上記
原料ガスが加水分解され（ＳｉＣｌ4＋２Ｈ2Ｏ→ＳｉＯ
2＋４ＨＣｌ）、ＳｉＯ2のガラス微粒子がターゲット
（出発材２及び母材１）に対し堆積されることになる。
素化合物が用いられる。また、上記シールガスとしては
Ａｒ、可燃ガスとしてはＨ2、上記助燃ガスとしてはＯ2
がそれぞれ用いられる。この場合、酸水素火炎中で上記
原料ガスが加水分解され（ＳｉＣｌ4＋２Ｈ2Ｏ→ＳｉＯ
2＋４ＨＣｌ）、ＳｉＯ2のガラス微粒子がターゲット
（出発材２及び母材１）に対し堆積されることになる。
【００２１】上記バーナ３には、このバーナ３に対し少
なくとも上記原料ガスを供給する図示省略の供給装置が
接続されており、この供給装置には上記原料ガスについ
ての流量調整手段（例えば電磁式流量調整弁）が設けら
れている。そして、この流量調整手段が図示省略の流量
制御手段からの制御信号により作動制御されて堆積過程
に応じた所定流量の原料ガスが供給されるようになって
いる。すなわち、上記原料ガスは、流量調整手段及び流
量制御手段により、堆積初期（母材が細径のとき）には
流量が大となるようにされ、堆積終期（母材が太径のと
き）には流量が小となるように制御されるようになって
いる。この原料ガスの流量の制御としては、母材の堆積
初期（製造開始時）から母材が所定径になるまで大流量
値で一定としこの母材が所定径になった時点で流量を階
段状に減少させて小流量値にし、その後、堆積終期（製
造終了時）までその小流量値で一定となるように制御し
ても良いし、上記母材が所定径にまで増大する時点まで
大流量値で一定にした後に、上記所定値に到達してから
は上記大流量値から徐々に流量を小流量値まで減少させ
て、その後、製造終了時までその小流量値で一定となる
ように制御しても良い。また、製造開始時から製造終了
時まで徐々に流量を減少させるようにして大流量値から
小流量値となるように制御しても良い。
なくとも上記原料ガスを供給する図示省略の供給装置が
接続されており、この供給装置には上記原料ガスについ
ての流量調整手段（例えば電磁式流量調整弁）が設けら
れている。そして、この流量調整手段が図示省略の流量
制御手段からの制御信号により作動制御されて堆積過程
に応じた所定流量の原料ガスが供給されるようになって
いる。すなわち、上記原料ガスは、流量調整手段及び流
量制御手段により、堆積初期（母材が細径のとき）には
流量が大となるようにされ、堆積終期（母材が太径のと
き）には流量が小となるように制御されるようになって
いる。この原料ガスの流量の制御としては、母材の堆積
初期（製造開始時）から母材が所定径になるまで大流量
値で一定としこの母材が所定径になった時点で流量を階
段状に減少させて小流量値にし、その後、堆積終期（製
造終了時）までその小流量値で一定となるように制御し
ても良いし、上記母材が所定径にまで増大する時点まで
大流量値で一定にした後に、上記所定値に到達してから
は上記大流量値から徐々に流量を小流量値まで減少させ
て、その後、製造終了時までその小流量値で一定となる
ように制御しても良い。また、製造開始時から製造終了
時まで徐々に流量を減少させるようにして大流量値から
小流量値となるように制御しても良い。
【００２２】
【実施例】表１は原料ガス流量を４，８，１２リットル
／ｍｉｎと変えた場合の実験結果を示しており、この結
果は、外径２５ｍｍの出発材を２００ｒｐｍで回転させ
ながら、５００ｍｍの移動距離を２０００ｍｍ／ｍｉｎ
の速度で往復移動させて外径が４０ｍｍの母材となるま
でガラス微粒子を堆積した場合のものである。すなわ
ち、母材が２５ｍｍ〜４０ｍｍと比較的細径の堆積初期
における原料ガスの流量を各種変化させたものである。
／ｍｉｎと変えた場合の実験結果を示しており、この結
果は、外径２５ｍｍの出発材を２００ｒｐｍで回転させ
ながら、５００ｍｍの移動距離を２０００ｍｍ／ｍｉｎ
の速度で往復移動させて外径が４０ｍｍの母材となるま
でガラス微粒子を堆積した場合のものである。すなわ
ち、母材が２５ｍｍ〜４０ｍｍと比較的細径の堆積初期
における原料ガスの流量を各種変化させたものである。
【００２３】表１によれば、原料ガス流量を４から８さ
らに１２リットル／ｍｉｎと増大させることにより、堆
積収率は僅かに低減するもののほぼ同じ値となってい
る。一方、堆積速度は１．９から３．８さらに５．２ｇ
／ｍｉｎと著しく向上し、それに伴い堆積時間は２００
から１０２さらに７３分と大幅に短縮している。この堆
積時間は、原料ガスの流量が１２リットル／ｍｉｎとす
ることにより原料ガスの流量が８リットル／ｍｉｎの場
合に比べて３０％短縮され、４リットル／ｍｉｎの場合
に比べて６５％短縮している。
らに１２リットル／ｍｉｎと増大させることにより、堆
積収率は僅かに低減するもののほぼ同じ値となってい
る。一方、堆積速度は１．９から３．８さらに５．２ｇ
／ｍｉｎと著しく向上し、それに伴い堆積時間は２００
から１０２さらに７３分と大幅に短縮している。この堆
積時間は、原料ガスの流量が１２リットル／ｍｉｎとす
ることにより原料ガスの流量が８リットル／ｍｉｎの場
合に比べて３０％短縮され、４リットル／ｍｉｎの場合
に比べて６５％短縮している。
【００２４】
【表１】
【００２５】また、図２は、原料ガス流量と堆積収率及
び堆積速度との関係の実験結果を示している。
び堆積速度との関係の実験結果を示している。
【００２６】同図によれば、原料ガス流量を増大させる
ことにより堆積収率は減少するが、その減少の割合は極
めて小さい（同図の黒丸参照）。一方、堆積速度は原料
ガス流量を増大させることにより著しく増大している
（同図の黒四角参照）。
ことにより堆積収率は減少するが、その減少の割合は極
めて小さい（同図の黒丸参照）。一方、堆積速度は原料
ガス流量を増大させることにより著しく増大している
（同図の黒四角参照）。
【００２７】これにより、堆積初期における原料ガス流
量の増大が堆積速度の増大に大きく貢献することがわか
る。
量の増大が堆積速度の増大に大きく貢献することがわか
る。
【図１】本発明に母材製造装置の概要を示す平面図であ
る。
る。
【図２】原料ガス流量と堆積収率及び堆積速度との関係
図である。
図である。
【図３】母材外径と堆積収率との関係図である。
１ 母材（光ファイバ母材） ２ 出発材 ３ バーナ
フロントページの続き (72)発明者 下山 義夫 兵庫県伊丹市池尻４丁目３番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA03 EB06 EB11
Claims (1)
- 【請求項１】 バーナに設けられた原料ガス噴出口から
原料ガスを出発材に向けて噴出させ、この原料ガスの酸
水素火炎中での加水分解反応により生じたガラス微粒子
を上記出発材に堆積させて光ファイバ母材を製造する光
ファイバ母材の製造方法において、 堆積初期には、上記原料ガス噴出口から噴出させる原料
ガスの流量を大となるように流量調整する一方、 堆積終期には、上記噴出させる原料ガスの流量を小とな
るように流量調整することを特徴とする光ファイバ母材
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10366218A JP2000185930A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10366218A JP2000185930A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000185930A true JP2000185930A (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=18486226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10366218A Pending JP2000185930A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000185930A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002121046A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-04-23 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ガラス母材研削装置及びガラス母材製造方法 |
| WO2005049515A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材及びその製造方法 |
| US7823418B2 (en) | 2000-07-31 | 2010-11-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of making glass base material |
-
1998
- 1998-12-24 JP JP10366218A patent/JP2000185930A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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