JPH09118537A - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH09118537A JPH09118537A JP29930795A JP29930795A JPH09118537A JP H09118537 A JPH09118537 A JP H09118537A JP 29930795 A JP29930795 A JP 29930795A JP 29930795 A JP29930795 A JP 29930795A JP H09118537 A JPH09118537 A JP H09118537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- clad
- chamber
- exhaust
- burner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＶＡＤ法で大型のコア／クラッド型の光ファ
イバ用多孔質母材を安定したコア成長の下に作製する方
法を提供する。 【解決手段】 ＶＡＤ法に用いるバーナとしてコア用バ
ーナＢ１と２本のクラッド用バーナＢ２、Ｂ３を用意す
る。コア用バーナＢ１にはＧｅＣｌ4 とＳｉＣｌ4 のガ
ラス原料ガスをＨ2 とＯ2 とともに供給して、出発部材
の先端にコアとなるＧｅＯ2 −ＳｉＯ2 ガラス微粒子を
ロッド状に堆積させる。２本のクラッド用バーナＢ２，
Ｂ３には、ＳｉＣｌ4 をＨ2 とＯ2 と共に供給して、コ
ア用ロッドの周りにＳｉＯ2 ガラス微粒子を層状に積層
させてクラッド層とする。その際、コア、クラッドの作
製を仕切りされたそれぞれのチャンバ内で行い、その排
気を独立して行なう。
イバ用多孔質母材を安定したコア成長の下に作製する方
法を提供する。 【解決手段】 ＶＡＤ法に用いるバーナとしてコア用バ
ーナＢ１と２本のクラッド用バーナＢ２、Ｂ３を用意す
る。コア用バーナＢ１にはＧｅＣｌ4 とＳｉＣｌ4 のガ
ラス原料ガスをＨ2 とＯ2 とともに供給して、出発部材
の先端にコアとなるＧｅＯ2 −ＳｉＯ2 ガラス微粒子を
ロッド状に堆積させる。２本のクラッド用バーナＢ２，
Ｂ３には、ＳｉＣｌ4 をＨ2 とＯ2 と共に供給して、コ
ア用ロッドの周りにＳｉＯ2 ガラス微粒子を層状に積層
させてクラッド層とする。その際、コア、クラッドの作
製を仕切りされたそれぞれのチャンバ内で行い、その排
気を独立して行なう。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、いわゆるＶＡＤ
法による光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関
するもので、大型母材の作製、母材の長さ方向の安定性
の向上を図ったものである。
法による光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関
するもので、大型母材の作製、母材の長さ方向の安定性
の向上を図ったものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用の多孔質ガラス母材の作製
方法としてＶＡＤ法は良く知られている。この方法は、
例えば、図２に示すようにコア用バーナＢ1 と複数のク
ラッド用バーナＢ2 、Ｂ3 を用いて、その軸の周りに回
転、かつ軸方向に移動可能な出発部材Ｓの先端に円柱状
のコア１とクラッド層（２、３）とからなる２層構造の
多孔質の光ファイバ母材を形成する方法である。なお、
コア用バーナＢ1 には、例えばＳｉＣｌ4 とＧｅＣｌ4
とＯ2 、Ｈ2 が供給されて、火炎加水分解および熱酸化
反応によって生成されたＧｅＯ2 −ＳｉＯ2 ガラス微粒
子が出発部材Ｓの先端に堆積されてコア１を形成する。
また、クラッド用バーナＢ2 、Ｂ3 には、例えばＳｉＣ
ｌ4 とＯ2 、Ｈ2 が供給されて同様に生成されたＳｉＯ
2 ガラス微粒子がコア１の周りに順次クラッド層２、３
として堆積される。
方法としてＶＡＤ法は良く知られている。この方法は、
例えば、図２に示すようにコア用バーナＢ1 と複数のク
ラッド用バーナＢ2 、Ｂ3 を用いて、その軸の周りに回
転、かつ軸方向に移動可能な出発部材Ｓの先端に円柱状
のコア１とクラッド層（２、３）とからなる２層構造の
多孔質の光ファイバ母材を形成する方法である。なお、
コア用バーナＢ1 には、例えばＳｉＣｌ4 とＧｅＣｌ4
とＯ2 、Ｈ2 が供給されて、火炎加水分解および熱酸化
反応によって生成されたＧｅＯ2 −ＳｉＯ2 ガラス微粒
子が出発部材Ｓの先端に堆積されてコア１を形成する。
また、クラッド用バーナＢ2 、Ｂ3 には、例えばＳｉＣ
ｌ4 とＯ2 、Ｈ2 が供給されて同様に生成されたＳｉＯ
2 ガラス微粒子がコア１の周りに順次クラッド層２、３
として堆積される。
【０００３】そして以上のガラス微粒子の生成、堆積
は、典型的にはチャンバＴ内で行なわれ、未反応ガスや
出発部材Ｓに付着しなかったガラス微粒子は、チャンバ
に設けられた排気口４から図示しないスクラバ（排気処
理装置）によって吸引され、そこで処理される。排気引
圧の程度は、チャンバＴ内に取付けられた圧力検出装置
５により検出され、その値が所定の値になるように排気
口４の途中に設けられた排気調製用ダンパ６をコンピュ
ータ７で制御している。
は、典型的にはチャンバＴ内で行なわれ、未反応ガスや
出発部材Ｓに付着しなかったガラス微粒子は、チャンバ
に設けられた排気口４から図示しないスクラバ（排気処
理装置）によって吸引され、そこで処理される。排気引
圧の程度は、チャンバＴ内に取付けられた圧力検出装置
５により検出され、その値が所定の値になるように排気
口４の途中に設けられた排気調製用ダンパ６をコンピュ
ータ７で制御している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の光ファイバ母材
の製造方法では、上述のように一つの排気口を用いて調
製を図っているが、この方式は余り大きくない母材（５
０〜１５０ｍｍφ）を作製するときには特に支障なく作
製できた。しかしながら、近年の光通信、マルチメディ
アの普及に向けた光ファイバの需要はめざましく、その
導入にあたってはさらに一層光ファイバの低コスト化が
要求され、それに伴なって光ファイバの製造には光ファ
イバ母材の大型化が望まれている。例えば、１５０〜３
００ｍｍφ程度の大型母材を作製するに当たっては、コ
ア用バーナの他にクラッド用バーナの本数を増やす必要
が生じたり、バーナ一本当たりに流すガラス生成原料ガ
ス量を多くする必要が生じてくる。すなわち、原料ガス
の投入量が増加した場合、堆積効率が変わらない限り堆
積しないガラス微粒子が増えることになる。そして、こ
の堆積しないガラス微粒子を旨く排気するには、それに
見合うだけの吸引量が必要となり、排気量を多く、実際
には排気引圧を高くせざるを得なくなる。しかし、排気
量の変化は未付着ガラス微粒子の排気の他にコア成長速
度と密接に係わっており、排気量が大きくなるとコア近
傍の吸引量にも影響を与え、コアの成長速度が変わって
しまったり、長手方向の成長速度の変動が大きくなった
りする。このことは、光ファイバ母材として特性が長手
方向に変動する原因となり大きな問題である。
の製造方法では、上述のように一つの排気口を用いて調
製を図っているが、この方式は余り大きくない母材（５
０〜１５０ｍｍφ）を作製するときには特に支障なく作
製できた。しかしながら、近年の光通信、マルチメディ
アの普及に向けた光ファイバの需要はめざましく、その
導入にあたってはさらに一層光ファイバの低コスト化が
要求され、それに伴なって光ファイバの製造には光ファ
イバ母材の大型化が望まれている。例えば、１５０〜３
００ｍｍφ程度の大型母材を作製するに当たっては、コ
ア用バーナの他にクラッド用バーナの本数を増やす必要
が生じたり、バーナ一本当たりに流すガラス生成原料ガ
ス量を多くする必要が生じてくる。すなわち、原料ガス
の投入量が増加した場合、堆積効率が変わらない限り堆
積しないガラス微粒子が増えることになる。そして、こ
の堆積しないガラス微粒子を旨く排気するには、それに
見合うだけの吸引量が必要となり、排気量を多く、実際
には排気引圧を高くせざるを得なくなる。しかし、排気
量の変化は未付着ガラス微粒子の排気の他にコア成長速
度と密接に係わっており、排気量が大きくなるとコア近
傍の吸引量にも影響を与え、コアの成長速度が変わって
しまったり、長手方向の成長速度の変動が大きくなった
りする。このことは、光ファイバ母材として特性が長手
方向に変動する原因となり大きな問題である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、以上の問題
の解決を図ったもので、その特徴とする請求項１記載の
発明は、チャンバ内で、コア用とクラッド用バーナを用
いて、出発部材の先端にガラス微粒子を積層させてコア
とクラッドからなる多孔質の光ファイバ母材を作製する
に際して、前記チャンバをコア用とクラッド用とに実質
的に分離し、かつ、両チャンバ内の排気引圧を個別に制
御する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法であ
る。また、その特徴とする請求項２記載の発明は、請求
項１記載の発明において、コア用とクラッド用チャンバ
内の排気引圧をそれぞれ０．８〜１．０ｍｍＨ2 Ｏ，
１．５〜２．０ｍｍＨ2 Ｏとすることにある。
の解決を図ったもので、その特徴とする請求項１記載の
発明は、チャンバ内で、コア用とクラッド用バーナを用
いて、出発部材の先端にガラス微粒子を積層させてコア
とクラッドからなる多孔質の光ファイバ母材を作製する
に際して、前記チャンバをコア用とクラッド用とに実質
的に分離し、かつ、両チャンバ内の排気引圧を個別に制
御する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法であ
る。また、その特徴とする請求項２記載の発明は、請求
項１記載の発明において、コア用とクラッド用チャンバ
内の排気引圧をそれぞれ０．８〜１．０ｍｍＨ2 Ｏ，
１．５〜２．０ｍｍＨ2 Ｏとすることにある。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の方法に用いられ
るＶＡＤ装置である。なお、図１、図２を通じて同一部
分には同一符号を付してある。図１において、１０はコ
ア用チャンバ、２０はクラッド用チャンバ、３０はコア
用チャンバ１０とクラッド用チャンバ２０との間を実質
的に分離する仕切り板である。また、１２、２２は両チ
ャンバ１０、２０に取付けられた排気口、１４、２４は
両排気口１２、２２に取付けられた排気調製用ダンパ、
１６、２６は両チャンバ１０、２０内の圧力を検出する
検出器で、各チャンバ１０、２０の排気口近傍に取付け
られて検出精度を高めている。
るＶＡＤ装置である。なお、図１、図２を通じて同一部
分には同一符号を付してある。図１において、１０はコ
ア用チャンバ、２０はクラッド用チャンバ、３０はコア
用チャンバ１０とクラッド用チャンバ２０との間を実質
的に分離する仕切り板である。また、１２、２２は両チ
ャンバ１０、２０に取付けられた排気口、１４、２４は
両排気口１２、２２に取付けられた排気調製用ダンパ、
１６、２６は両チャンバ１０、２０内の圧力を検出する
検出器で、各チャンバ１０、２０の排気口近傍に取付け
られて検出精度を高めている。
【０００７】以上の構成において、コア用バーナＢ1 を
用いて出発部材Ｓの先端にコア用の多孔質体１を成長さ
せ、クラッド用バーナＢ2 ，Ｂ3 を用いてこのコア用の
多孔質体１の周りにクラッドとなる多孔質層２、３を形
成させて母材とする。そして、両チャンバ内に生じた未
反応ガスや非付着ガラス微粒子は、それぞれ排気口１
２、２２を介して共通のスクラバで処理される。このと
き、コア用チャンバ１０とクラッド用チャンバ２０とは
仕切り板２０によって分離されて各チャンバ内の圧力は
実質的に独立しており、その値はそれぞれの検出器１
６、２６で検出されてその値が所定の値となるようにコ
ンピュータ１７、２７によって各ダンパ１４、２４が制
御される。このようにコアおよびクラッドの形成をそれ
ぞれ独立に制御することにより、仮に、クラッド用バー
ナに大量の原料ガスを投入し、それに伴って排気を強く
しても、その影響はコアの形成に何等影響を与えないな
いので特性変動の少ない母材とすることができる。
用いて出発部材Ｓの先端にコア用の多孔質体１を成長さ
せ、クラッド用バーナＢ2 ，Ｂ3 を用いてこのコア用の
多孔質体１の周りにクラッドとなる多孔質層２、３を形
成させて母材とする。そして、両チャンバ内に生じた未
反応ガスや非付着ガラス微粒子は、それぞれ排気口１
２、２２を介して共通のスクラバで処理される。このと
き、コア用チャンバ１０とクラッド用チャンバ２０とは
仕切り板２０によって分離されて各チャンバ内の圧力は
実質的に独立しており、その値はそれぞれの検出器１
６、２６で検出されてその値が所定の値となるようにコ
ンピュータ１７、２７によって各ダンパ１４、２４が制
御される。このようにコアおよびクラッドの形成をそれ
ぞれ独立に制御することにより、仮に、クラッド用バー
ナに大量の原料ガスを投入し、それに伴って排気を強く
しても、その影響はコアの形成に何等影響を与えないな
いので特性変動の少ない母材とすることができる。
【０００８】実施例１ 図１に示す構成で以下の条件で母材を作製した。 （１）バーナへのガス供給量は表１のとおり。 （２）コアチャンバ内の排気引圧： ０．８ｍｍＨ2 Ｏ （３）クラッドチャンバ内の排気引圧：１．５ｍｍＨ2 Ｏ （４）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐｍ，７０ｍｍ／分 得られた光ファイバ用多孔質ガラス母材は、コア径２５
ｍｍφ、クラッド径１５０ｍｍφ、長さ８００ｍｍで、
コア成長速度の変動は±３％以内と安定しており、か
つ、透明ガラス化しても泡がなく、屈折率分布も長さ方
向に安定したものであった。
ｍｍφ、クラッド径１５０ｍｍφ、長さ８００ｍｍで、
コア成長速度の変動は±３％以内と安定しており、か
つ、透明ガラス化しても泡がなく、屈折率分布も長さ方
向に安定したものであった。
【０００９】
【表１】
【００１０】実施例２ 図１に示す構成で以下の条件で母材を作製した。 （１）バーナへのガス供給量は表２のとおり。 （２）コアチャンバ内の排気引圧： ０．９ｍｍＨ2 Ｏ （３）クラッドチャンバ内の排気引圧：１．７ｍｍＨ2 Ｏ （４）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐｍ，６０ｍｍ／分 得られた光ファイバ用多孔質ガラス母材は、コア径３０
ｍｍφ、クラッド径２１０ｍｍφ、長さ８００ｍｍで、
コア成長速度の変動は±３％以内と安定しており、か
つ、透明ガラス化しても泡がなく、屈折率分布も長さ方
向に安定したものであった。
ｍｍφ、クラッド径２１０ｍｍφ、長さ８００ｍｍで、
コア成長速度の変動は±３％以内と安定しており、か
つ、透明ガラス化しても泡がなく、屈折率分布も長さ方
向に安定したものであった。
【００１１】
【表２】
【００１２】実施例３ 図１に示す構成で以下の条件で母材を作製した。 （１）バーナへのガス供給量は表３のとおり。 （２）コアチャンバ内の排気引圧： １．０ｍｍＨ2 Ｏ （３）クラッドチャンバ内の排気引圧：２．０ｍｍＨ2 Ｏ （４）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐｍ，５０ｍｍ／分 得られた光ファイバ用多孔質ガラス母材は、コア径４０
ｍｍφ、クラッド径２７０ｍｍφ、長さ８００ｍｍで、
コア成長速度の変動は±３％以内と安定しており、か
つ、透明ガラス化しても泡がなく、屈折率分布も長さ方
向に安定したものであった。
ｍｍφ、クラッド径２７０ｍｍφ、長さ８００ｍｍで、
コア成長速度の変動は±３％以内と安定しており、か
つ、透明ガラス化しても泡がなく、屈折率分布も長さ方
向に安定したものであった。
【００１３】
【表３】
【００１４】比較例１ 図２に示す構成で以下の条件で母材を作製した。 （１）バーナへのガス供給量は表４のとおり。 （２）チャンバ内の排気引圧： １．０ｍｍＨ2 Ｏ （３）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐ
ｍ，６０ｍｍ／分 得られた光ファイバ用多孔質ガラス母材は、コア径３０
ｍｍφ、クラッド径１８０ｍｍφ、長さ８００ｍｍと大
型であったが、未付着のガラス微粒子がチャンバ内に多
量に付着し、透明ガラス化した母材は泡が多く使用に耐
えるものではなかった。
ｍ，６０ｍｍ／分 得られた光ファイバ用多孔質ガラス母材は、コア径３０
ｍｍφ、クラッド径１８０ｍｍφ、長さ８００ｍｍと大
型であったが、未付着のガラス微粒子がチャンバ内に多
量に付着し、透明ガラス化した母材は泡が多く使用に耐
えるものではなかった。
【００１５】
【表４】
【００１６】比較例２ 図１に示す従来の装置を用いて以下の条件で母材を作製
した。 （１）バーナへのガス供給量は表５のとおり。 （２）チャンバ内の排気引圧： １．８ｍｍＨ2 Ｏ （３）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐ
ｍ，６０ｍｍ／分 この条件では排気引圧が強過ぎ、コアの成長速度が著し
く落ちてしまい作製中に母材が割れてしまった。
した。 （１）バーナへのガス供給量は表５のとおり。 （２）チャンバ内の排気引圧： １．８ｍｍＨ2 Ｏ （３）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐ
ｍ，６０ｍｍ／分 この条件では排気引圧が強過ぎ、コアの成長速度が著し
く落ちてしまい作製中に母材が割れてしまった。
【００１７】
【表５】
【００１８】比較例３ 図１に示す装置を用いて以下の条件で母材を作製した。 （１）バーナへのガス供給量は表６のとおり。 （２）コアチャンバの排気引圧： １．３ｍｍＨ2 Ｏ （３）クラッドチャンバ内の排気引圧： １．８ｍｍＨ2 Ｏ （４）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐｍ，６２ｍｍ／分 この条件ではコア長が４００ｍｍとなったところで割れ
てしまった。これはコアの排気引圧が強過ぎて柔らかい
コアロッドが堆積され、クラッドとの硬さのバランスが
崩れたためと思われる。
てしまった。これはコアの排気引圧が強過ぎて柔らかい
コアロッドが堆積され、クラッドとの硬さのバランスが
崩れたためと思われる。
【００１９】
【表６】
【００２０】比較例４ 図１に示す装置を用いて以下の条件で母材を作製した。 （１）バーナへのガス供給量は表７のとおり。 （２）コアチャンバの排気引圧： １．３ｍｍＨ2 Ｏ （３）クラッドチャンバ内の排気引圧： １．３ｍｍＨ2 Ｏ （４）出発部材の回転速度および引上げ速度：３０ｒｐｍ，６０ｍｍ／分 得られた母材は、コア径３０ｍｍφ、クラッド径２１５
ｍｍφ、長さ８００ｍｍであった。しかしながら、コア
の成長速度が遅く５０ｍｍ／分を切っており、また、コ
アの径変動も１０％程度であった。さらに透明ガラス化
した母材はクラッド部分に泡が多く見られた。
ｍｍφ、長さ８００ｍｍであった。しかしながら、コア
の成長速度が遅く５０ｍｍ／分を切っており、また、コ
アの径変動も１０％程度であった。さらに透明ガラス化
した母材はクラッド部分に泡が多く見られた。
【００２１】
【表７】
【００２２】比較例５ 図１に示す装置を用いて以下の条件で母材を作製した。 （１）バーナへのガス供給量は表８のとおり。 （２）コアチャンバの排気引圧： ０．９ｍｍＨ2 Ｏ （３）クラッドチャンバ内の排気引圧： ２．２ｍｍＨ2 Ｏ この条件においては、クラッドの排気が強過ぎるからか
バーナ火炎のばたつきが大きくガラス微粒子の付着堆積
が不安定であった。また、得られた母材の外径変動は１
０％程度であり、良好なものではなかった。
バーナ火炎のばたつきが大きくガラス微粒子の付着堆積
が不安定であった。また、得られた母材の外径変動は１
０％程度であり、良好なものではなかった。
【００２３】
【表８】
【００２４】
【発明の効果】この発明の方法は、ＶＡＤ法で大型のコ
ア／クラッド型の光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造
するに際して、コアとクラッド用チャンバを仕切りによ
って実質的に区分して、その内部の排気調製を独立して
制御するようにしたので、コアの成長速度を安定に保ち
ながら特性変動の少ない母材を得ることができるという
効果を奏する。
ア／クラッド型の光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造
するに際して、コアとクラッド用チャンバを仕切りによ
って実質的に区分して、その内部の排気調製を独立して
制御するようにしたので、コアの成長速度を安定に保ち
ながら特性変動の少ない母材を得ることができるという
効果を奏する。
【図１】この発明の方法に用いられる装置の概略説明図
【図２】従来の方法に用いられる装置の概略説明図
Ｂ1 コア用バーナ Ｂ2 ，Ｂ3 クラッド用バーナ １０ コア用チャンバ １２ コア用排気口 ２０ クラッド用チャンバ ２２ クラッド用排気口 ３０ 仕切り板
Claims (2)
- 【請求項１】 チャンバ内で、コア用と複数のクラッド
用バーナを用いて、出発部材の先端にガラス微粒子を積
層させてコアとクラッドとからなる多孔質の光ファイバ
母材を作製するに際して、前記チャンバをコア用とクラ
ッド用とに実質的に分離し、かつ、両チャンバ内の排気
引圧を個別に制御することを特徴とする光ファイバ用多
孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項２】 コア用およびクラッド用チャンバ内の排
気引圧をそれぞれ０．８〜１．０ｍｍＨ2 Ｏ，１．５〜
２．０ｍｍＨ2 Ｏとすることを特徴とする請求項１記載
の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29930795A JPH09118537A (ja) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29930795A JPH09118537A (ja) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09118537A true JPH09118537A (ja) | 1997-05-06 |
Family
ID=17870851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29930795A Pending JPH09118537A (ja) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09118537A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030012749A (ko) * | 2001-08-04 | 2003-02-12 | 화이콤(주) | 광섬유용 유리모재 제조방법 및 제조장치 |
| CN105271700A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-01-27 | 江苏通鼎光棒有限公司 | 一种vad反应腔体内环境气流的控制装置及其应用 |
| CN107986612A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-04 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种vad制备光纤母材的装置 |
| WO2022082338A1 (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-28 | 江苏亨通光纤科技有限公司 | 光纤预制棒的制备装置及方法 |
-
1995
- 1995-10-25 JP JP29930795A patent/JPH09118537A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030012749A (ko) * | 2001-08-04 | 2003-02-12 | 화이콤(주) | 광섬유용 유리모재 제조방법 및 제조장치 |
| CN105271700A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-01-27 | 江苏通鼎光棒有限公司 | 一种vad反应腔体内环境气流的控制装置及其应用 |
| CN107986612A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-04 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种vad制备光纤母材的装置 |
| WO2022082338A1 (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-28 | 江苏亨通光纤科技有限公司 | 光纤预制棒的制备装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0185106B1 (en) | Method of producing a rod containing fluorine | |
| US20060225464A1 (en) | Method for manufacturing optical fiber preform and burner apparatus for this method for manufacturing optical fiber preform | |
| JP3543537B2 (ja) | ガラス微粒子合成方法及びそのための焦点型バーナ | |
| AU776420B2 (en) | Burner for synthesizing glass particles and method for producing porous glass body | |
| JP2003226544A (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| JPH0380740B2 (ja) | ||
| JPH09118537A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| US5238479A (en) | Method for producing porous glass preform for optical fiber | |
| JP3953820B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| JP3567574B2 (ja) | 多孔質ガラス母材合成用バーナ | |
| JP4097982B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| AU643451B2 (en) | Method for producing porous glass preform for optical fiber | |
| JPH0986948A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH0777968B2 (ja) | 光ファイバープリフォーム母材の製造方法 | |
| JP3169503B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPS61183140A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPH059035A (ja) | 光フアイバ用スート母材の製造方法 | |
| JP4053305B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| JPH09301719A (ja) | ガラス微粒子合成用焦点型複合バーナ | |
| JPS6242865B2 (ja) | ||
| JPS58167442A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS63285129A (ja) | 光ファイバ母材製造方法 | |
| JP3758598B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法及び装置 | |
| JPH08157230A (ja) | 分散シフト光ファイバ用母材の製法 | |
| JPH0712951B2 (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 |