JP2012006800A - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転する出発ロッド11に対向した複数本のガラス微粒子合成用バーナ13を略均等間隔に配置し、ガラス微粒子合成用バーナ13を出発ロッド11と相対移動なガラス微粒子合成用バーナ13で合成されるガラス微粒子を出発ロッド11の周囲に順次堆積させるガラス微粒子堆積体19の製造方法であって、出発ロッド11とガラス微粒子合成用バーナ13との相対トラバース速度が0となる場合を除いたときのトラバース速度に合わせてガラス微粒子合成用バーナ13に供給する少なくとも原料ガスのガス流量を、トラバース毎のガラス微粒子堆積体19の堆積量が長手方向で一定になるように制御する。
【選択図】図1
Description
(1) 回転する出発ロッドに対向した複数本のガラス微粒子合成用バーナを略均等間隔に配置し、前記ガラス微粒子合成用バーナを前記出発ロッドと相対移動させて該ガラス微粒子合成用バーナで合成されるガラス微粒子を前記出発ロッドの周囲に順次堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記出発ロッドと前記ガラス微粒子合成用バーナとの相対トラバース速度が0となる場合を除き、前記相対トラバース速度に合わせて該ガラス微粒子合成用バーナに供給する少なくとも原料ガスのガス流量を、トラバース毎のガラス微粒子の堆積量が長手方向で一定になるように制御しつつ前記ガラス微粒子を堆積させることを特徴とする、ガラス微粒子堆積体の製造方法。
前回製造時の前記トラバース速度と前記原料ガスのガス流量とを記憶し、
前回製造したガラス微粒子堆積体の外径変動の大きさに応じて前記記憶したトラバース速度に対する原料ガスのガス流量の値を補正して今回製造時のガラス微粒子堆積体のトラバース速度に対する原料ガスのガス流量を決定することを特徴とする、ガラス微粒子堆積体の製造方法。
図1は本発明に係る製造方法に用いられる装置の概念を模式的に表した構成図、図2は図1に示した反応容器の内部を模式的に表した平面図である。
ガラス母材製造装置21の主要部は、複数本(この例では8本)のガラス微粒子合成用バーナ(バーナ)13からなるバーナ列と排気管23(この例では3本)を有する反応容器25で構成されている。このガラス母材製造装置21において出発ロッド11の上下を支持棒27,27で保持して、トラバース装置29,29により回転させつつ上下に往復移動させながら、周囲にバーナ13で生成されるガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体19を製造する。バーナ13にはガス供給装置31が接続され、ガス供給装置31はバーナ13に原料ガス(SiCl4など)や可燃性・助燃性ガス(H2、O2)、不活性ガス、などのガス17を供給する。排気管23からは所定量のガスの排気を行い、反応容器25内に浮遊するガラス微粒子堆積体19に堆積しなかったガラス微粒子を排出しながら堆積を行うようになされている。
図3は比較例におけるトラバース速度・原料流量・堆積量を表した作用説明図、図4は本発明におけるトラバース速度・原料流量・堆積量を表した作用説明図である。
ガラス母材製造装置21では、回転する出発ロッド11に対向した複数本のバーナ13を略均等間隔に配置し、このバーナ13を出発ロッド11と繰り返し相対移動させる。そして、バーナ13で合成されるガラス微粒子45を出発ロッド11の周囲に順次堆積させて行く。
13 ガラス微粒子合成用バーナ
19 ガラス微粒子堆積体
Claims (2)
- 回転する出発ロッドに対向した複数本のガラス微粒子合成用バーナを略均等間隔に配置し、前記ガラス微粒子合成用バーナを前記出発ロッドと相対移動させて該ガラス微粒子合成用バーナで合成されるガラス微粒子を前記出発ロッドの周囲に順次堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記出発ロッドと前記ガラス微粒子合成用バーナとの相対トラバース速度が0となる場合を除き、前記相対トラバース速度に合わせて該ガラス微粒子合成用バーナに供給する少なくとも原料ガスのガス流量を、トラバース毎のガラス微粒子の堆積量が長手方向で一定になるように制御しつつ前記ガラス微粒子を堆積させることを特徴とする、ガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 請求項1記載のガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前回製造時の前記トラバース速度と前記原料ガスのガス流量とを記憶し、
前回製造したガラス微粒子堆積体の外径変動の大きさに応じて前記記憶したトラバース速度に対する原料ガスのガス流量の値を補正して今回製造時のガラス微粒子堆積体のトラバース速度に対する原料ガスのガス流量を決定することを特徴とする、ガラス微粒子堆積体の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014006037A1 (de) * | 2012-07-03 | 2014-01-09 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung von zylindern aus quarzglas |
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