JP4499025B2 - 石英ガラス多孔質母材の製造方法 - Google Patents
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Description
複数のバーナを用いて、石英ガラス多孔質層を何層にも重ねるOVD法の場合、母材大型化に伴い、焼結後の石英ガラス母材中での剥離(石英ガラス多孔質層の層間が剥がれ、空洞になった状態)が生じやすい。
特許文献1に開示された方法は、以下の点で問題があった。
特許文献1には、所定の堆積層のかさ密度が全て同じ値の場合も開示されているが(例えば、かさ密度を0.9g/cm3で一定とする)、石英ガラス多孔質層のかさ密度が一定か又はかさ密度勾配が緩やかな場合、剥離が発生しやすい。
特許文献1では、外周部のかさ密度が0.5g/cm3以上の母材を想定していない。この場合、石英ガラス多孔質層の全層が0.5g/cm3でも請求項には含まれるが、実際にはこの条件では剥離が発生する。石英ガラス母材を大型化する場合、元の石英ガラス多孔質母材の全体のかさ密度を上げて、サイズを小さくすることが考えられる。この場合、得られる石英ガラス母材は大型化できるが、石英ガラス多孔質母材自体は従来サイズに抑えることができるため、装置の小型化等の面で有利となる。そのため、石英ガラス多孔質母材のかさ密度が高い場合についての検討が必要となる。
特許文献1では、堆積層の層数を目安にしているが、ガス流量条件と、最終母材径によって石英ガラス多孔質層の数は変化するため、実質的に重要なのは石英ガラス多孔質体の外径(石英ガラス多孔質層の厚さ)とかさ密度との関係であり、層数でかさ密度を管理するためには製造条件が著しく制限されてしまう。
α=(d1−d0)/(80−D0) ・・・(1)
で求められるかさ密度勾配αが、α<−0.0026の関係を満たすとともに、前記1層目から最外層に至る石英ガラス多孔質層のかさ密度が0.5以上の範囲となるようにガス流量を調整して石英ガラス多孔質母材を製造することを特徴とする石英ガラス多孔質母材の製造方法を提供する。
α=(d1−d0)/(80−D0) ・・・(1)
で求められるかさ密度勾配αが、α<−0.0026の関係を満たすようにガス流量を調整して石英ガラス多孔質母材を製造することによって、大型の石英ガラス多孔質母材を長手方向にわたり均質に製造することができ、透明ガラス化後に剥離等を生じることがなく、歩留まり良く光ファイバを紡糸でき、低コストで光ファイバを提供することができる。
α=(d1−d0)/(80−D0) ・・・(1)
で表されるかさ密度勾配αが、α<−0.0026の関係を満たしていれば、焼結後に剥離を生じない石英ガラス多孔質母材を製造し得ることを見出した。
この製造装置は、ターゲットの両端部以外の中央部分の表面に多数の石英ガラス多孔質層を堆積して得られる石英ガラス多孔質母材1のターゲット両端部を回転可能に保持する回転保持部5と、該回転保持部5に保持された石英ガラス多孔質母材1の質量を測定するロードセル2と、ガラス原料ガス、水素ガス、酸素ガス等のガスが所定流量で供給され、回転保持部5に保持された石英ガラス多孔質母材1(又はターゲット)の表面に向けて石英ガラス微粒子を含む酸水素火炎を噴出するバーナ3と、石英ガラス多孔質母材1の外径を測定するレーザ外径測定機5とを備えて構成されている。前記バーナ3は、石英ガラス多孔質母材1の長手方向に沿って所望の移動速度で移動可能に設けられている。
本発明の石英ガラス多孔質母材の製造方法は、石英ガラス多孔質母材の1層目の石英ガラス多孔質層のかさ密度をd0、1層目の石英ガラス多孔質層の外径をD0、石英ガラス多孔質母材の外径が80mmの時のかさ密度をd1としたときに、次式(1)
α=(d1−d0)/(80−D0) ・・・(1)
で求められるかさ密度勾配αが、α<−0.0026の関係を満たすようにガス流量を調整して石英ガラス多孔質母材を製造することによって、大型の石英ガラス多孔質母材を長手方向にわたり均質に製造することができ、透明ガラス化後の石英ガラス母材に剥離等の欠陥を生じることがなく、歩留まり良く光ファイバを紡糸でき、低コストで光ファイバを提供することができる。
複数のバーナを用いて、経時的にガラス微粒子を複数層堆積させ、直径230mm×長さ1800mmの石英ガラス多孔質母材を作製した。
石英ガラス多孔質母材の作製中は、2層毎にかさ密度を算出した。
石英ガラス多孔質母材作製後、焼結炉に投入し透明ガラス化した。
各ガスの流量を調整してかさ密度勾配αの異なる多数の石英ガラス多孔質母材を作製し、焼結した時の剥離の有無と剥離の程度を肉眼で観測し、かさ密度勾配αと剥離の発生との関係を調べた。結果を表1に示す。
また、図3は、表1に示す実施例と比較例の代表例として、実施例1(かさ密度勾配α=−0.0046)と比較例3(かさ密度勾配α=−0.0026)の石英ガラス多孔質母材外径とかさ密度との関係を示すグラフである。
Claims (5)
- 少なくともガラス原料ガスと水素ガスと酸素ガスとをバーナに供給し、酸水素火炎中でガラス微粒子を生成させ、生成したガラス微粒子を回転するターゲットの表面に複数層堆積させて石英ガラス多孔質母材を製造する方法において、
前記ターゲットの外周に最初に堆積する1層目の石英ガラス多孔質層のかさ密度をd0、1層目が堆積された石英ガラス多孔質層の外径をD0、石英ガラス多孔質層の外径が80mmの時のかさ密度をd1としたときに、次式(1)
α=(d1−d0)/(80−D0) ・・・(1)
で求められるかさ密度勾配αが、α<−0.0026の関係を満たすとともに、前記1層目から最外層に至る石英ガラス多孔質層のかさ密度が0.5以上の範囲となるようにガス流量を調整して石英ガラス多孔質母材を製造することを特徴とする石英ガラス多孔質母材の製造方法。 - 石英ガラス多孔質母材の各層のかさ密度を母材径方向の内側から外側に向けて漸次小さくし、且つ各層のかさ密度を0.5〜1.2g/cm3の範囲とすることを特徴とする請求項1に記載の石英ガラス多孔質母材の製造方法。
- 石英ガラス多孔質母材の製造中に連続的にかさ密度を測定し、得られたかさ密度に応じて、次の任意の石英ガラス多孔質層を形成する際のガス流量を調整することを特徴とする請求項1又は2に記載の石英ガラス多孔質母材の製造方法。
- かさ密度の測定を石英ガラス多孔質層の1層毎又は複数層毎に行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の石英ガラス多孔質母材の製造方法。
- ガス流量の調整をガラス原料ガス、水素ガス及び酸素ガスを用いて行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の石英ガラス多孔質母材の製造方法。
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