JP5092226B2 - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
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Description
図4には、この製造方法で用いられている製造装置100が示されている。この製造装置100では、反応容器であるチャンバー101内に出発部材102を軸周りに回転可能に備えており、この出発部材102に向かって火炎103を噴き付けるバーナ104が出発部材102の長手方向(図4において紙面直交方向)に移動可能に設けられている。出発部材102に対してバーナ104と反対側には、排気口105を有する排気管路106が設けられており、吸引ポンプ107によって吸引して排気するようになっている。
バーナ104からは、スート用原料ガスとしての例えばSiCl4等の珪素化合物および燃料ガスとしての例えば水素(H2)や酸素(O2)等が供給されるようになっている。
なお、ここでは1本のバーナ14を使用する場合を例示しているが、複数本のバーナ14を使用するようにしてもよい。
なお、チャンバー11には、排気管17が設けられており、チャンバー11内の排気を行うようになっている。
図2(B)には、最初A点位置にあった堆積面における特定の一点がA→B→C→D→A´と回転した際の温度の変化が示されており、図2(D)の実線で示されている。また、図2(C)は、図2(B)の回転速度に対し、1/4に遅くした回転速度で回転したとしたときの、堆積面の特定点の温度分布が示されており、図2(D)の点線で示されている。
なお、D×N2をゼロに近づけるに伴い回転速度Nが小さくなって、ガラス微粒子堆積体19は非常にゆっくり回転することになる。バーナからで出たガラス原料が時間あたりに堆積する速度は一定なので回転速度を遅くすると、1回転あたりの堆積厚さが厚くなる。回転ムラ、チャンバー内の空気の乱れなどの外乱があると、ガラス微粒子堆積体の外径に与える影響は、回転速度が速い場合に比べ大きくなる。このため、断面が非円形状になる恐れもあるが、例えば、半導体関連のガラス材料(フォトマスク、防塵ガラス、液晶用基板)等、ガラス母材の非円があまり問題とならないものには使用することができる。
ここで、非円度は、(長径−短径)÷平均径×100で求められる。また、平均径とは、(長径+短径)÷2である。
すなわち、図1において示した製造装置は一例であり、同等の作用を有するものであれば本発明を実施することが可能である。
図3には、参考例1〜2、実施例1〜2および比較例1〜3について、回転数N、外径Dの条件およびD×N2、嵩密度、使用水素量、外観等の結果が示されている。
(参考例1)
図1に示した製造装置10を用いてガラス微粒子を合成し、ガラス微粒子堆積体19の堆積面の中間での位置が一定となるように位置検出装置15でモニタし、回転引き上げ装置12を制御してガラス微粒子堆積体19の回転速度N=10(rpm)を保ちながらガラス微粒子堆積体19を上昇させた。そして、外径φ250(mm)、ガラス微粒子の嵩密度0.3(g/cc)のガラス微粒子堆積体19を製造した。このとき、上下両端を除いた定常部では燃料ガスである水素の使用量は300(リットル/分)であった。また、ガラス微粒子堆積体19の表面は、変形なく良好な外観であった。この場合、D×N2=25であり、非円度は0.12%であった。
(参考例2)
回転速度Nを5(rpm)として、参考例1と同様にしてガラス微粒子堆積体19を製造した。その結果、水素の使用量は285(リットル/分)であり、実施例1の場合よりも水素使用量が減少した。また、ガラス微粒子堆積体19の表面は、変形なく良好な外観であった。この場合、D×N2=6.3であり、非円度は0.16%であった。
(実施例1)
回転速度Nを15(rpm)として、参考例1および2と同様にしてガラス微粒子堆積体19を製造した。その結果、水素の使用量は303(リットル/分)となり、N=10およびN=5の場合よりも水素使用量が多くなった。また、ガラス微粒子堆積体19の表面は、変形なく良好な外観であった。この場合、D×N2=56.3であり、非円度は0.12%であった。
(実施例2)
回転速度Nを20(rpm)とし、参考例1〜2および実施例1と同様にしてガラス微粒子堆積体19を製造した。その結果、水素の使用量は308(リットル/分)となり、参考例1〜2および実施例1と比べ水素使用量が多くなった。また、ガラス微粒子堆積体19の表面は、変形なく良好な外観であった。この場合、D×N2=100であり、非円度は0.12%であった。
回転速度Nを22(rpm)として、参考例・実施例と同様にしてガラス微粒子堆積体19を製造した。その結果、ガラス微粒子堆積体19の表面は、変形なく外観は良好であったが、水素の使用量は310(リットル/分)となり、参考例・実施例と比べて使用量が多くなっているのがわかる。この場合、D×N2=121であり、本発明の条件である100よりも大きくなっており、非円度は0.12%であった。
(比較例2)
回転速度Nを3(rpm)として、参考例・実施例と同様にしてガラス微粒子堆積体19を製造した。その結果、水素の使用量は280(リットル/分)となり、最少量であったが、ガラス微粒子堆積体19の表面には0.6mmの凹凸状の変形がみられ、光ファイバには適さないといえる。このときの非円度は0.24%であった。この場合、D×N2=2.3であり、本発明の条件である5よりも小さくなっている。
(比較例3)
回転速度Nを4(rpm)として、参考例・実施例と同様にしてガラス微粒子堆積体19を製造した。その結果、水素の使用量は282(リットル/分)と少なかった。しかしながら、ガラス微粒子堆積体19の表面には凹凸状の変形がみられ、光ファイバには適さないといえる。このときの非円度は0.20%であった。この場合、D×N2=4.0であり、本発明の条件である5よりも小さくなっている。
18 火炎
19 ガラス微粒子堆積体
D 外径
N 回転速度
Claims (1)
- バーナにより形成される火炎中で合成したガラス微粒子を軸方向に堆積させるVAD法によるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記ガラス微粒子堆積体の外径が0.2m〜0.4mであるとともに、前記ガラス微粒子堆積体の非円度が0.2%未満であり、かつ、前記ガラス微粒子堆積体の外径をD(m)とし、ガラス微粒子を合成するときの回転速度をN(rpm)としたとき、56.3≦D×N2≦100の範囲内で制御して前記ガラス微粒子堆積体を製造することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
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