JP3154768B2 - 光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/54—Multiple burner arrangements combined with means for heating the deposit, e.g. non-deposition burner
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ用プリフォー
ム母材の製造方法、特には異物や気泡が含まれていない
大型の光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法に関す
るものである。
ム母材の製造方法、特には異物や気泡が含まれていない
大型の光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用プリフォーム母材は一般に
ＶＡＤ法、ＯＶＤ法、ＭＣＶＤ法などの方法で多孔質ガ
ラス母材を作成し、ついでこれを焼結透明ガラス化する
という方法で製造されている。
ＶＡＤ法、ＯＶＤ法、ＭＣＶＤ法などの方法で多孔質ガ
ラス母材を作成し、ついでこれを焼結透明ガラス化する
という方法で製造されている。
【０００３】近年、大型のプリフォーム母材の製造には
ＯＶＤ法が用いられているが、ＯＶＤ法（外付法）によ
る多孔質ガラス母材の製造は例えば図２に示したよう
に、コア用ガラス棒11を回転させながら、これにその軸
方向左右に往復移動する四塩化けい素、酸素ガス、水素
ガスの送入されている酸水素火炎バーナー12からの酸水
素火炎13を吹きつけ、四塩化けい素の火炎加水分解で発
生したシリカガラス微粒子をコア用ガラス棒11の上に一
層づつ積層させて多孔質ガラス母材14を得るという方法
で行なわれている。
ＯＶＤ法が用いられているが、ＯＶＤ法（外付法）によ
る多孔質ガラス母材の製造は例えば図２に示したよう
に、コア用ガラス棒11を回転させながら、これにその軸
方向左右に往復移動する四塩化けい素、酸素ガス、水素
ガスの送入されている酸水素火炎バーナー12からの酸水
素火炎13を吹きつけ、四塩化けい素の火炎加水分解で発
生したシリカガラス微粒子をコア用ガラス棒11の上に一
層づつ積層させて多孔質ガラス母材14を得るという方法
で行なわれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来からのＯ
ＶＤ法で製造された多孔質ガラス母材は一般的に、その
製造時に空気中に浮遊している異物が付着したもの、ま
た気泡を含んだものとなる。この多孔質ガラス母材が前
記したような異物を含んだものであると、これを焼結、
透明ガラス化して得られる光ファイバ用プリフォーム母
材にこの異物を核として直径0.01〜１mm程度の気泡が発
生するために、これを線引き、または線引後の外力で光
ファイバはこの気泡部分で切断されてしまい、光ファイ
バを安定に製造することができないという問題が生じ
る。
ＶＤ法で製造された多孔質ガラス母材は一般的に、その
製造時に空気中に浮遊している異物が付着したもの、ま
た気泡を含んだものとなる。この多孔質ガラス母材が前
記したような異物を含んだものであると、これを焼結、
透明ガラス化して得られる光ファイバ用プリフォーム母
材にこの異物を核として直径0.01〜１mm程度の気泡が発
生するために、これを線引き、または線引後の外力で光
ファイバはこの気泡部分で切断されてしまい、光ファイ
バを安定に製造することができないという問題が生じ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような問題
点を解決した光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法
に関するものであり、これは外付法によりコア用ガラス
棒上に多孔質ガラス母材を堆積し、これを焼結し透明ガ
ラス化してなる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方
法において、コア用ガラス棒の全長に清浄なガス流をバ
ーナー炎ガス流の流速と同等以下の速度でエアカーテン
ガスとして吹きつけながらコア用ガラス棒の上にガラス
微粒子を堆積させてなることを特徴とするものである。
点を解決した光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法
に関するものであり、これは外付法によりコア用ガラス
棒上に多孔質ガラス母材を堆積し、これを焼結し透明ガ
ラス化してなる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方
法において、コア用ガラス棒の全長に清浄なガス流をバ
ーナー炎ガス流の流速と同等以下の速度でエアカーテン
ガスとして吹きつけながらコア用ガラス棒の上にガラス
微粒子を堆積させてなることを特徴とするものである。
【０００６】すなわち、本発明者らは、異物や気泡のな
い多孔質ガラス母材の製造方法、反応炉の密閉方法など
について種々検討した結果、外付法で多孔質ガラス母材
を製造する際、酸水素火炎バーナーで発生したシリカガ
ラス微粒子をコア用ガラス棒に堆積させるときに、この
コア用ガラス棒に酸水素火炎バーナーからの火炎とは別
に、異物が混入していない清浄なガス流をコア用ガラス
棒に吹きつけておけば反応炉を密閉化しなくてもコア用
ガラス棒に堆積されるシリカガラス微粒子に外部から異
物が入り込むことが防止されるだけでなく、内部で発生
する異物の付着も防ぐことができ、異物混入のない多孔
質ガラス母材を得ることができることを見出し、したが
ってこれから作られる光ファイバ用プリフォーム母材も
異物や気泡を含まないものとすることができるので、こ
れから作られたプリフォームを線引きすれば目的とする
光ファイバを安定に得ることができることを確認して本
発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
い多孔質ガラス母材の製造方法、反応炉の密閉方法など
について種々検討した結果、外付法で多孔質ガラス母材
を製造する際、酸水素火炎バーナーで発生したシリカガ
ラス微粒子をコア用ガラス棒に堆積させるときに、この
コア用ガラス棒に酸水素火炎バーナーからの火炎とは別
に、異物が混入していない清浄なガス流をコア用ガラス
棒に吹きつけておけば反応炉を密閉化しなくてもコア用
ガラス棒に堆積されるシリカガラス微粒子に外部から異
物が入り込むことが防止されるだけでなく、内部で発生
する異物の付着も防ぐことができ、異物混入のない多孔
質ガラス母材を得ることができることを見出し、したが
ってこれから作られる光ファイバ用プリフォーム母材も
異物や気泡を含まないものとすることができるので、こ
れから作られたプリフォームを線引きすれば目的とする
光ファイバを安定に得ることができることを確認して本
発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００７】
【作用】本発明は光ファイバを安定に製造することがで
きる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法に関する
ものである。
きる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法に関する
ものである。
【０００８】本発明による光ファイバ用プリフォーム母
材を作るための多孔質ガラス母材の製造はＯＶＤ法（外
付け法）で行なわれているが、このＯＶＤ法では前記し
たように回転しているコア用ガラス棒の上にその軸方向
にそって左右に往復運動している酸水素火炎バーナーか
らの火炎が吹き付けられ、四塩化けい素の火炎加水分解
で発生したシリカガラス微粒子がガラス棒上に堆積され
る。しかし、この反応炉を完全に密閉化することが難し
いことから、この場合にはチリや異物が外部から流入す
る。
材を作るための多孔質ガラス母材の製造はＯＶＤ法（外
付け法）で行なわれているが、このＯＶＤ法では前記し
たように回転しているコア用ガラス棒の上にその軸方向
にそって左右に往復運動している酸水素火炎バーナーか
らの火炎が吹き付けられ、四塩化けい素の火炎加水分解
で発生したシリカガラス微粒子がガラス棒上に堆積され
る。しかし、この反応炉を完全に密閉化することが難し
いことから、この場合にはチリや異物が外部から流入す
る。
【０００９】また、外部からの異物の流入を止めるよう
に反応炉の密閉化を進めたり、炉内の圧力を高めるなど
の手段を用いても、この炉内雰囲気中には火炎加水分解
されなかった四塩化けい素や火炎加水分解で発生した微
粒子、ガラス棒上に堆積できなかったシリカガラス微粒
子が多数浮遊しており、これらの異常粒子の付着により
発泡することが明らかになった。
に反応炉の密閉化を進めたり、炉内の圧力を高めるなど
の手段を用いても、この炉内雰囲気中には火炎加水分解
されなかった四塩化けい素や火炎加水分解で発生した微
粒子、ガラス棒上に堆積できなかったシリカガラス微粒
子が多数浮遊しており、これらの異常粒子の付着により
発泡することが明らかになった。
【００１０】そして、この雰囲気中に存在する異物は酸
水素火炎バーナー12からの火炎13がコア用ガラス棒11ま
たは母材14に吹付けられているとき、火炎の幅15には母
材14に反応シリカの付着はあるが、異物や浮遊シリカが
付着することはない。しかし、火炎の吹きつけのない範
囲16、17では反応シリカの付着はないが、外部からの異
物の付着と室内に飛散したシリカが凝集塊を作りながら
付着することが明らかになった。
水素火炎バーナー12からの火炎13がコア用ガラス棒11ま
たは母材14に吹付けられているとき、火炎の幅15には母
材14に反応シリカの付着はあるが、異物や浮遊シリカが
付着することはない。しかし、火炎の吹きつけのない範
囲16、17では反応シリカの付着はないが、外部からの異
物の付着と室内に飛散したシリカが凝集塊を作りながら
付着することが明らかになった。
【００１１】また、この酸水素火炎バーナー１２がガラ
ス棒１１に沿って左右に往復運動していることからこの
火炎１３が吹付けられない部分（１６、１７）の時間が
長く、この火炎が吹付けられない時間の長さに比例して
異物がガラス棒に付着し易い。異物の付着を防止する目
的で火炎の当たらない時間を少なくするために複数のバ
ーナーを使用することも考慮されているが、この場合で
も火炎の当たらない時間があり、異物付着範囲をゼロと
することができないので、異物の付着を完全に防止する
ことはできない。すなわち、気泡の発生は火炎などのガ
ス流が当たらない時間とその面積に比例することが判っ
た。
ス棒１１に沿って左右に往復運動していることからこの
火炎１３が吹付けられない部分（１６、１７）の時間が
長く、この火炎が吹付けられない時間の長さに比例して
異物がガラス棒に付着し易い。異物の付着を防止する目
的で火炎の当たらない時間を少なくするために複数のバ
ーナーを使用することも考慮されているが、この場合で
も火炎の当たらない時間があり、異物付着範囲をゼロと
することができないので、異物の付着を完全に防止する
ことはできない。すなわち、気泡の発生は火炎などのガ
ス流が当たらない時間とその面積に比例することが判っ
た。
【００１２】本発明はこのような不利を解決したもの
で、これは図１（ａ）、（ｂ）に示したようにコア用ガ
ラス棒１の全長にわたり、この軸方向に沿ってガス吹付
けノズル５を設置し、これからコア用ガラス棒１に向け
て清浄ガスを吹付けてここにエアカーテン６を設けるよ
うにすれば、酸水素バーナー２の火炎３からのシリカガ
ラス微粒子の堆積で多孔質ガラス母材４が作られるが、
この火炎３が吹付けられていない場合でも、このガラス
棒１には常時エアカーテン６によって清浄ガスが吹付け
られているので、このガラス棒にはこの雰囲気中に含ま
れている異物が全く付着することがなく、したがって異
物を全く含まない多孔質ガラス母材を容易に得ることが
できるという有利性が与えられる。
で、これは図１（ａ）、（ｂ）に示したようにコア用ガ
ラス棒１の全長にわたり、この軸方向に沿ってガス吹付
けノズル５を設置し、これからコア用ガラス棒１に向け
て清浄ガスを吹付けてここにエアカーテン６を設けるよ
うにすれば、酸水素バーナー２の火炎３からのシリカガ
ラス微粒子の堆積で多孔質ガラス母材４が作られるが、
この火炎３が吹付けられていない場合でも、このガラス
棒１には常時エアカーテン６によって清浄ガスが吹付け
られているので、このガラス棒にはこの雰囲気中に含ま
れている異物が全く付着することがなく、したがって異
物を全く含まない多孔質ガラス母材を容易に得ることが
できるという有利性が与えられる。
【００１３】本発明による多孔質ガラス母材の製造は上
記したように従来公知のＯＶＤ用装置にガス吹付けノズ
ルを設けることによって行なわれるが、このガス吹付け
用ノズルは例えば図１に示したように横型の長方形角型
５のものとすればよく、また他の例としてはこれは複数
のノズルを等間隔に並べたものでもよく、常時形成され
つつある多孔質ガラス母材全長にわたってエアカーテン
７を実質的に形成できるものであれば形状、構造はどの
ようなものであってもよい。
記したように従来公知のＯＶＤ用装置にガス吹付けノズ
ルを設けることによって行なわれるが、このガス吹付け
用ノズルは例えば図１に示したように横型の長方形角型
５のものとすればよく、また他の例としてはこれは複数
のノズルを等間隔に並べたものでもよく、常時形成され
つつある多孔質ガラス母材全長にわたってエアカーテン
７を実質的に形成できるものであれば形状、構造はどの
ようなものであってもよい。
【００１４】このガス流を効果的に流すには反応バーナ
ー炎を乱さないように、炎と同方向とすることが望まし
く、またこの当たる角度はコア用ガラス棒と直角である
ことが望ましい。なお、炎の安定性からは横型の場合に
は垂直上向きが最も安定するが、縦型の場合には水平に
衝突させることが効果的である。
ー炎を乱さないように、炎と同方向とすることが望まし
く、またこの当たる角度はコア用ガラス棒と直角である
ことが望ましい。なお、炎の安定性からは横型の場合に
は垂直上向きが最も安定するが、縦型の場合には水平に
衝突させることが効果的である。
【００１５】このガス流の流速はバーナー炎より高速で
あると堆積効率が低下するので、バーナー炎の流速と同
等とするか、これ以下とすることが望ましいが、これは
母材の大きさや気流反応条件により変えることが望まし
い。
あると堆積効率が低下するので、バーナー炎の流速と同
等とするか、これ以下とすることが望ましいが、これは
母材の大きさや気流反応条件により変えることが望まし
い。
【００１６】また、この噴出ガスバーナーの軸方向の長
さは少なくともコア用ガラス棒８より長く、幅は多孔質
母材の太さの 1／2 より大きいほうが望ましいが、幅を
必要以上に大きくすると、ガス量のみ多くなり無駄とな
る。しかし、いずれにしても異物が表面に到達するのを
妨げられるエアカーテンの膜厚があれば過剰の幅は必要
ではない。
さは少なくともコア用ガラス棒８より長く、幅は多孔質
母材の太さの 1／2 より大きいほうが望ましいが、幅を
必要以上に大きくすると、ガス量のみ多くなり無駄とな
る。しかし、いずれにしても異物が表面に到達するのを
妨げられるエアカーテンの膜厚があれば過剰の幅は必要
ではない。
【００１７】以上の点から、このガス吹付用ノズルから
流出されるガス量はチャンバーの構造、排気量、チャン
バー内の気体の流れ方、バーナー炎の向き、方向により
変るが、線速が0.5m／秒未満では効果がなく、 30m／秒
より大きくすると火炎バーナーからのシリカガラス微粒
子の堆積が乱れる。
流出されるガス量はチャンバーの構造、排気量、チャン
バー内の気体の流れ方、バーナー炎の向き、方向により
変るが、線速が0.5m／秒未満では効果がなく、 30m／秒
より大きくすると火炎バーナーからのシリカガラス微粒
子の堆積が乱れる。
【００１８】また、このガス吹付けノズルから流出させ
るガスはエアーフィルターなどでろ過した清浄なもので
あれば空気、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガスな
どの不活性ガス、水蒸気などのいずれでもよく、これら
のガスと水蒸気の混合ガスとすればガラス微粒子の帯電
を防止できるので異物の付着防止にさらにすぐれた効果
が与えられる。なお、本発明については多数本バーナ
ー、スリットバーナーなどを用いることもできるが、こ
れについてはその一例を原理的に示すのみに止めた。
るガスはエアーフィルターなどでろ過した清浄なもので
あれば空気、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガスな
どの不活性ガス、水蒸気などのいずれでもよく、これら
のガスと水蒸気の混合ガスとすればガラス微粒子の帯電
を防止できるので異物の付着防止にさらにすぐれた効果
が与えられる。なお、本発明については多数本バーナ
ー、スリットバーナーなどを用いることもできるが、こ
れについてはその一例を原理的に示すのみに止めた。
【００１９】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例、比較例 200 ×1,500mm の角型のガス吹付けノズル５から室温
（24.5℃）のエアーフィルターでろ過した空気を４m/秒
で噴出させ、形成されつつある多孔質ガラス母材に均一
に吹付けるようにした図１に示した装置を用い、窓部を
開放して、これに外径30mm、長さ 1,000mmのコア用に設
計された石英ガラス棒１をダミー棒を介してセットして
20rpm で回転させた。
（24.5℃）のエアーフィルターでろ過した空気を４m/秒
で噴出させ、形成されつつある多孔質ガラス母材に均一
に吹付けるようにした図１に示した装置を用い、窓部を
開放して、これに外径30mm、長さ 1,000mmのコア用に設
計された石英ガラス棒１をダミー棒を介してセットして
20rpm で回転させた。
【００２０】この石英ガラス棒１に沿ってその全長にわ
たり100mm/分の速度で往復運動する酸水素火炎バーナー
２にSiCl4 、水素ガス、酸素ガスを送り、堆積用バーナ
ーからのガス炎の線速を最大時に８m/秒となるように
し、この火炎加水分解で発生したガラス微粒子をガラス
棒１に吹付けると共に、上記したガス吹付けノズルから
の空気を常時吹きつけ、ガラス棒１の外周にガラス微粒
子を一層づつ積層させて外径168mm 、長さ1,200mm の多
孔質ガラス母材を製造した。
たり100mm/分の速度で往復運動する酸水素火炎バーナー
２にSiCl4 、水素ガス、酸素ガスを送り、堆積用バーナ
ーからのガス炎の線速を最大時に８m/秒となるように
し、この火炎加水分解で発生したガラス微粒子をガラス
棒１に吹付けると共に、上記したガス吹付けノズルから
の空気を常時吹きつけ、ガラス棒１の外周にガラス微粒
子を一層づつ積層させて外径168mm 、長さ1,200mm の多
孔質ガラス母材を製造した。
【００２１】このものは堆積面での炎の拡がりがスター
ト時は幅約30mmであったが、終了時にはバーナーガス量
の増加したこともあって約120mmに拡大した。
ト時は幅約30mmであったが、終了時にはバーナーガス量
の増加したこともあって約120mmに拡大した。
【００２２】ついで、この多孔質ガラス母材を電気炉中
において 1,510℃で焼結し、透明ガラス化して外径86m
m、長さ 880mmの光ファイバ用プリフォーム母材を作っ
たところ、これには肉眼で観察した範囲では特に気泡の
含有は見出されなかった。つぎに、これを 2,000℃に加
熱し、延伸して直径 125μm のガラスファイバを作った
ところ、断線もなく、安定に生産することができた。
において 1,510℃で焼結し、透明ガラス化して外径86m
m、長さ 880mmの光ファイバ用プリフォーム母材を作っ
たところ、これには肉眼で観察した範囲では特に気泡の
含有は見出されなかった。つぎに、これを 2,000℃に加
熱し、延伸して直径 125μm のガラスファイバを作った
ところ、断線もなく、安定に生産することができた。
【００２３】しかし、比較のために上記における角型の
ガス吹付けノズルからの空気の吹付けを行なわないほか
は上記と同様に反応炉の窓を開放して多孔質ガラス母材
を作ったのち、これから光ファイバ用プリフォーム母材
を作り、さらにこれを同様に延伸してガラスファイバを
作ったところ、これには気泡が大小 150ケ認められ、こ
れは線引き時にその気泡部から断線するので、これを安
定に生産することができなかった。
ガス吹付けノズルからの空気の吹付けを行なわないほか
は上記と同様に反応炉の窓を開放して多孔質ガラス母材
を作ったのち、これから光ファイバ用プリフォーム母材
を作り、さらにこれを同様に延伸してガラスファイバを
作ったところ、これには気泡が大小 150ケ認められ、こ
れは線引き時にその気泡部から断線するので、これを安
定に生産することができなかった。
【００２４】
【発明の効果】本発明は光ファイバを安定に製造するこ
とのできる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法に
関するもので、これは前記したように外付法によって多
孔質ガラス母材を製造し、これを焼結透明ガラス化して
なる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法におい
て、多孔質ガラス母材の形成をコア用ガラス棒の全長に
清浄なガス流をバーナー炎ガス流の流速と同等以下の速
度で吹きつけながらこのコア用ガラス棒上にガラス微粒
子を堆積させてなることを特徴とするものである。
とのできる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法に
関するもので、これは前記したように外付法によって多
孔質ガラス母材を製造し、これを焼結透明ガラス化して
なる光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法におい
て、多孔質ガラス母材の形成をコア用ガラス棒の全長に
清浄なガス流をバーナー炎ガス流の流速と同等以下の速
度で吹きつけながらこのコア用ガラス棒上にガラス微粒
子を堆積させてなることを特徴とするものである。
【００２５】これによればコア用ガラス棒ないし形成さ
れつつある多孔質ガラス母材の全長にわたり常時清浄な
ガス流が吹きつけられているので、この雰囲気中に含有
されている異物が多孔質ガラス母材に付着することがな
くなり、結果において異物を含まない多孔質ガラス母材
を得ることができ、したがってこれから作られる光ファ
イバ用プリフォーム母材も異物を含まないものとなり、
これから作られる光ファイバは気泡を含まないものとな
るので、これが切断したりすることがなく、安定に光フ
ァイバを得ることができるという有利性が与えられる。
れつつある多孔質ガラス母材の全長にわたり常時清浄な
ガス流が吹きつけられているので、この雰囲気中に含有
されている異物が多孔質ガラス母材に付着することがな
くなり、結果において異物を含まない多孔質ガラス母材
を得ることができ、したがってこれから作られる光ファ
イバ用プリフォーム母材も異物を含まないものとなり、
これから作られる光ファイバは気泡を含まないものとな
るので、これが切断したりすることがなく、安定に光フ
ァイバを得ることができるという有利性が与えられる。
【図１】（ａ）は本発明による多孔質ガラス母材の製造
装置の斜視図、（ｂ）その横断面図を示したものであ
る。
装置の斜視図、（ｂ）その横断面図を示したものであ
る。
【図２】従来公知の多孔質ガラス母材の製造装置の縦断
面図を示したものである。
面図を示したものである。
【符号の説明】 １、11 ・・・・ コア用ガラス棒、 ２、12 ・・・・ 酸水素火炎バーナー ３、13 ・・・・ バーナー火炎 ４、14 ・・・・ 多孔質ガラス母材 ５ ・・・・・・・・ ガス吹付け用ノズル ６ ・・・・・・・・ エアーカーテン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−187121（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−190232（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−242431（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−164735（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−27344（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−172838（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−54124（ＪＰ，Ａ) 実開 昭53−51453（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−119632（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−106534（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−108504（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 37/018 C03B 8/04
Claims (1)
- 【請求項１】 外付法によってコア用ガラス棒の外周に
多孔質ガラスを堆積し、これを焼結透明ガラス化してな
る光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法において、
堆積用バーナー噴出口およびエアーカーテンガス噴出口
を各々独立して設け、多孔質ガラス母材の形成と同時に
コア用ガラス棒の全長に清浄なガス流をバーナー炎ガス
流の流速と同等以下の速度で吹きつけながらガラス微粒
子を堆積させてなることを特徴とする光ファイバ用プリ
フォーム母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30974891A JP3154768B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | 光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30974891A JP3154768B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | 光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法 |
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Family Applications (1)
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