JPH04160026A - ガラス微粒子生成用バーナ - Google Patents
ガラス微粒子生成用バーナInfo
- Publication number
- JPH04160026A JPH04160026A JP28478790A JP28478790A JPH04160026A JP H04160026 A JPH04160026 A JP H04160026A JP 28478790 A JP28478790 A JP 28478790A JP 28478790 A JP28478790 A JP 28478790A JP H04160026 A JPH04160026 A JP H04160026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- gas
- glass
- control gas
- gas outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 64
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 19
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 claims description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 16
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002902 bimodal effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/10—Split ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、ガラス微粒子を生成するためのバーナに関
し、とくに光フアイバ用ガラス母材を作製するのに好適
なガラス微粒子生成用バーナに間する。
し、とくに光フアイバ用ガラス母材を作製するのに好適
なガラス微粒子生成用バーナに間する。
従来より、光フアイバ用ガラス母材を製造する方法とし
てＶＡＤ法が知られている。これは、バーナより酸水素
火炎を発生し、その中にガラス原料ガスを導入して、酸
水素火炎による加水分解反応と熱酸化反応によりガラス
微粒子を生成し、これを軸方向に堆積していくというも
のである。 このＶＡＤ法において、ガラス原料ガスに種々の材料を
ドープして光ファイバの直径方向に屈折率のプロファイ
ルを形成するようにしているが、屈折率はドープ材の濃
度によって決定されるため、プロファイルは堆積面にお
けるその濃度分布に依存する。 従来ではガラス微粒子生成用バーナとして、通常、多重
管バーナを用いており、その中央部からガラス原料ガス
を吹き出すとともに外周部から燃料ガスを吹き出して、
ガラス原料ガスを酸水素火炎が取り囲むようにしている
。 そして、このバーナ自体を移動させることにより、ガラ
ス微粒子流が堆積面に当たる位置を変えて屈折率プロフ
ァイルを形成するのが一般的である。
てＶＡＤ法が知られている。これは、バーナより酸水素
火炎を発生し、その中にガラス原料ガスを導入して、酸
水素火炎による加水分解反応と熱酸化反応によりガラス
微粒子を生成し、これを軸方向に堆積していくというも
のである。 このＶＡＤ法において、ガラス原料ガスに種々の材料を
ドープして光ファイバの直径方向に屈折率のプロファイ
ルを形成するようにしているが、屈折率はドープ材の濃
度によって決定されるため、プロファイルは堆積面にお
けるその濃度分布に依存する。 従来ではガラス微粒子生成用バーナとして、通常、多重
管バーナを用いており、その中央部からガラス原料ガス
を吹き出すとともに外周部から燃料ガスを吹き出して、
ガラス原料ガスを酸水素火炎が取り囲むようにしている
。 そして、このバーナ自体を移動させることにより、ガラ
ス微粒子流が堆積面に当たる位置を変えて屈折率プロフ
ァイルを形成するのが一般的である。
しかしながら、従来のようにバーナの位置自体を変える
のでは、ガラス原料ガス流の位置変化の自由度に制約が
あり、堆積面での原料濃度分布の細かい制御ができず、
屈折率プロファイルの再現性のよい制御が困難であると
いう問題があった。 この発明は上記に鑑み、ガラス原料ガス流をバーナ自体
の位置を移動させることなく自在に変化させることを可
能とし、ガラス原料ガス流の細かい制御により、ガラス
微粒子堆積面での原料濃度の任意な制御を再現性高く行
い、所望の屈折率プロファイルを持□つ光フアイバ用ガ
ラス母材を作製することができる、ガラス微粒子生成用
バーナを提供することを目的とする。
のでは、ガラス原料ガス流の位置変化の自由度に制約が
あり、堆積面での原料濃度分布の細かい制御ができず、
屈折率プロファイルの再現性のよい制御が困難であると
いう問題があった。 この発明は上記に鑑み、ガラス原料ガス流をバーナ自体
の位置を移動させることなく自在に変化させることを可
能とし、ガラス原料ガス流の細かい制御により、ガラス
微粒子堆積面での原料濃度の任意な制御を再現性高く行
い、所望の屈折率プロファイルを持□つ光フアイバ用ガ
ラス母材を作製することができる、ガラス微粒子生成用
バーナを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、この発明のガラス微粒子生
成用バーナにおいては、同心円状に多層に配置される複
数の円筒管の各管壁で囲まれる空間により構成された、
中心のガラス原料用吹き出し口と、それを取り巻くコン
トロールガス用吹き出し口と、さらにその外周に位置す
る燃料ガス用吹き出し口とを有し、上記コントロールガ
ス用吹き出し口は、円筒管の管壁で囲まれるリング状空
間を周方向に分離する隔壁によって、複数に分離独立さ
せられていることが特徴となっている。
成用バーナにおいては、同心円状に多層に配置される複
数の円筒管の各管壁で囲まれる空間により構成された、
中心のガラス原料用吹き出し口と、それを取り巻くコン
トロールガス用吹き出し口と、さらにその外周に位置す
る燃料ガス用吹き出し口とを有し、上記コントロールガ
ス用吹き出し口は、円筒管の管壁で囲まれるリング状空
間を周方向に分離する隔壁によって、複数に分離独立さ
せられていることが特徴となっている。
燃料ガス用吹き出し口から吹き出される燃料ガスにより
火炎が形成される。 ガラス原料ガス用吹き出し口は、中央に位置しているた
め、上記の火炎の中にガラス原料が吹き出されることに
なって、上記火炎中で反応しガラス微粒子を生じる。 このガラス原料ガス用吹き出し口の周囲には。 コントロールガス用吹き出し口が位置しており、このコ
ントロールガス用吹き出し口は全体としてはリング状空
間となっているが、その周方向に分離されて各々独立の
複数の吹き出し口とされている。そのため、この複数の
コントロールガス用吹き出し口から吹き出すコントロー
ルガスの流量をそれぞれの間で変化させることにより、
ガラス原料ガスの流れの方向を自在にコントロールする
ことができる。
火炎が形成される。 ガラス原料ガス用吹き出し口は、中央に位置しているた
め、上記の火炎の中にガラス原料が吹き出されることに
なって、上記火炎中で反応しガラス微粒子を生じる。 このガラス原料ガス用吹き出し口の周囲には。 コントロールガス用吹き出し口が位置しており、このコ
ントロールガス用吹き出し口は全体としてはリング状空
間となっているが、その周方向に分離されて各々独立の
複数の吹き出し口とされている。そのため、この複数の
コントロールガス用吹き出し口から吹き出すコントロー
ルガスの流量をそれぞれの間で変化させることにより、
ガラス原料ガスの流れの方向を自在にコントロールする
ことができる。
以下、この発明の一実施例について図面を参照しながら
詳細に説明する。第１図はこの発明の一実施例にかかる
ガラス微粒子生成用バーナ１の横断面図であり、石英ガ
ラスなどで作られた５個の円筒管を同心円状に多層に配
置してなる。すなわち、図では管壁２．３．４．５．６
が表されており、その中央部の管壁２により囲まれる空
間がガラス原料ガス用吹き出しロアとなっている。その
周囲の管壁２．３で囲まれるリング型の空間はコントロ
ールガス用の吹き出し口であり、この実施例では、隔壁
３１．３２により周方向に２つに分割され、その各々が
独立のコントロールガス用吹き出し口８１．８２とされ
ている。さらにその周囲の管壁３．４で囲まれるリング
型開口は水素用の吹き出し口９であり、その周囲の管壁
４．５で囲まれるリング型開口はアルゴン用の吹き出し
口１０となっており、管壁５．６で囲まれる最外周のリ
ング型開口は酸素用の吹き出し口１１となっている。 第２図は他の実施例にかかるガラス微粒子生成用バーナ
１を示すもので、この図に示されるガラス微粒子生成用
バーナ１は、第１図のガラス微粒子生成用バーナ１とほ
とんど同じ構造となっており、５個の円筒管を同心円状
に多層に配置してなり、その各管壁２．３．４．５．６
で囲まれる開口がガラス原料ガス用吹き出しロア、コン
トロールガス用吹き出し口８１〜８４、水素用吹き出し
口９、アルゴン用吹き出し口１ｏ、酸素用吹き出し口１
１となっているが、管壁２．３で囲まれるリング型開口
が４つの隔壁３１〜３４により周方向に４分割され、４
つのコントロールガス用吹き出し口８１〜８４となって
いる点が異なる。 これらの実施例のガラス微粒子生成用バーナ１では、ガ
ラス原料ガス用吹き出しロアの周囲に位置する複数（こ
こでは２または４個）の独立のコントロールガス用吹き
出し口８１．８２ （８３、８４）の各々から吹き出す
コントロールガスの流量を変化させることによって、ガ
ラス微粒子生成用バーナ１自体の位置は動かさずにガラ
ス原料ガス流（ガラス微粒子流）の方向を変えて、ター
ゲット（ガラス微粒子堆積体）へ当たる位置を動かすこ
とができる。 コントロールガスとしては、アルゴンを用いることがで
きるが、たとえば水素やヘリウムのような燃料ガスを用
いることもできる。燃料ガスを用いる場合は、単にガラ
ス原料ガス流の制御だけでなく、酸水素火炎及びガラス
微粒子堆積体表面の温度分布をコントロールすることも
可能である。 つぎに、第１図のガラス微粒子生成用バーナ１を用いて
ガラス原料ガス流のコントロールを行う場合について詳
しく説明する。第３図及び第４図のようにガラス微粒子
生成用バーナ１をターゲ・ソト（ガラス微粒子堆積体）
１２に対して配置する。 コントロールガス用吹き出し口８１．８２が上下の方向
に並ぶように配置される。水素用吹き出し口９から吹き
出される水素と酸素用吹き出し口１１から吹き出される
酸素とにより酸水素火炎を形成し、その中に、ガラス原
料ガス用吹き出しロアから吹き出されるガラス原料ガス
を送り込む、このガラス原料は酸水素火炎中で反応して
ガラス微粒子を生成し、それがターゲット１２に吹き付
けられてターゲット１２の表面上に堆積する。 ここではコントロールガスとしてアルゴンを用い、これ
を、まず、上側に位置する吹き出し口８１から５０ＣＣ
／分、下側に位置する吹き出し口８２から１Ｑｃｃ／分
の流量で吹き出す、すると、第３図に示すように、この
２つのコントロールガス流に挟まれたガラス原料ガス流
１３は下側に曲げられて流れ、ターゲット１２の下端部
に当り、その位置でガラス微粒子の堆積が行われる。 これに対して、アルゴンを上側に位置する吹き出し口８
１からｌ０ＣＣ／分、下側に位置する吹き出し口８２か
ら５Ｑｃｃ／分の流量で吹き出すと、第４図に示すよう
に、この２つのコントロールガス流に挟まれたガラス原
料ガス流１３は上側に曲げられて流れることになる。そ
のため、ガラス原料ガス流１３はターゲット１２の下端
部からやや上側の部分に当り、その位置でガラス微粒子
の堆積が行われる。 その結果、ガラス原料ガスに屈折率を高めるドープ材を
入れたとき、前者（第３図）の場合は第５図に示すよう
な屈折率プロファイルが、後者（第４図）の場合は第６
図で示すような屈折率プロファイルがそれぞれ得られる
。すなわち、これら第５図、第６図はターゲット１２の
直径方向での屈折率分布を示すものであり、第５図の場
合は中心でピークを持つ単峰性のプロファイルとなって
おり、第６図の場合は中心近辺の２箇所でピークとなる
双峰性のプロファイルとなっている。 このようにガラス微粒子生成用バーナ１自体の位置は動
かさずにガラス原料ガス流１３の方向を、コントロール
ガスの流量で自在にかつ細かに制御・管理することがで
き、ガラス微粒子堆積体の表面上での原料濃度分布を任
意に再現性高くコントロールすることができて、所望の
屈折率プロファイルを有する光フアイバ用ガラス母材を
容易に作成できる。 なお、第２図のようなコントロールガス用の吹き出し口
として中心のガラス原料ガス用吹き出しロアの周囲の４
方向くあるいはさらに多くの方向）に４つくあるいはさ
らに多数）の吹き出し口８１〜８４を備えるガラス微粒
子生成用バーナ１では、それらの吹き出し口８１〜８４
からの吹き出し量を調整することにより、１方向（たと
えば上記のような上下方向）のみならずガラス原料ガス
用吹き出しロアの周全方向にガラス原料ガス流の方向制
御を行うことができる。
詳細に説明する。第１図はこの発明の一実施例にかかる
ガラス微粒子生成用バーナ１の横断面図であり、石英ガ
ラスなどで作られた５個の円筒管を同心円状に多層に配
置してなる。すなわち、図では管壁２．３．４．５．６
が表されており、その中央部の管壁２により囲まれる空
間がガラス原料ガス用吹き出しロアとなっている。その
周囲の管壁２．３で囲まれるリング型の空間はコントロ
ールガス用の吹き出し口であり、この実施例では、隔壁
３１．３２により周方向に２つに分割され、その各々が
独立のコントロールガス用吹き出し口８１．８２とされ
ている。さらにその周囲の管壁３．４で囲まれるリング
型開口は水素用の吹き出し口９であり、その周囲の管壁
４．５で囲まれるリング型開口はアルゴン用の吹き出し
口１０となっており、管壁５．６で囲まれる最外周のリ
ング型開口は酸素用の吹き出し口１１となっている。 第２図は他の実施例にかかるガラス微粒子生成用バーナ
１を示すもので、この図に示されるガラス微粒子生成用
バーナ１は、第１図のガラス微粒子生成用バーナ１とほ
とんど同じ構造となっており、５個の円筒管を同心円状
に多層に配置してなり、その各管壁２．３．４．５．６
で囲まれる開口がガラス原料ガス用吹き出しロア、コン
トロールガス用吹き出し口８１〜８４、水素用吹き出し
口９、アルゴン用吹き出し口１ｏ、酸素用吹き出し口１
１となっているが、管壁２．３で囲まれるリング型開口
が４つの隔壁３１〜３４により周方向に４分割され、４
つのコントロールガス用吹き出し口８１〜８４となって
いる点が異なる。 これらの実施例のガラス微粒子生成用バーナ１では、ガ
ラス原料ガス用吹き出しロアの周囲に位置する複数（こ
こでは２または４個）の独立のコントロールガス用吹き
出し口８１．８２ （８３、８４）の各々から吹き出す
コントロールガスの流量を変化させることによって、ガ
ラス微粒子生成用バーナ１自体の位置は動かさずにガラ
ス原料ガス流（ガラス微粒子流）の方向を変えて、ター
ゲット（ガラス微粒子堆積体）へ当たる位置を動かすこ
とができる。 コントロールガスとしては、アルゴンを用いることがで
きるが、たとえば水素やヘリウムのような燃料ガスを用
いることもできる。燃料ガスを用いる場合は、単にガラ
ス原料ガス流の制御だけでなく、酸水素火炎及びガラス
微粒子堆積体表面の温度分布をコントロールすることも
可能である。 つぎに、第１図のガラス微粒子生成用バーナ１を用いて
ガラス原料ガス流のコントロールを行う場合について詳
しく説明する。第３図及び第４図のようにガラス微粒子
生成用バーナ１をターゲ・ソト（ガラス微粒子堆積体）
１２に対して配置する。 コントロールガス用吹き出し口８１．８２が上下の方向
に並ぶように配置される。水素用吹き出し口９から吹き
出される水素と酸素用吹き出し口１１から吹き出される
酸素とにより酸水素火炎を形成し、その中に、ガラス原
料ガス用吹き出しロアから吹き出されるガラス原料ガス
を送り込む、このガラス原料は酸水素火炎中で反応して
ガラス微粒子を生成し、それがターゲット１２に吹き付
けられてターゲット１２の表面上に堆積する。 ここではコントロールガスとしてアルゴンを用い、これ
を、まず、上側に位置する吹き出し口８１から５０ＣＣ
／分、下側に位置する吹き出し口８２から１Ｑｃｃ／分
の流量で吹き出す、すると、第３図に示すように、この
２つのコントロールガス流に挟まれたガラス原料ガス流
１３は下側に曲げられて流れ、ターゲット１２の下端部
に当り、その位置でガラス微粒子の堆積が行われる。 これに対して、アルゴンを上側に位置する吹き出し口８
１からｌ０ＣＣ／分、下側に位置する吹き出し口８２か
ら５Ｑｃｃ／分の流量で吹き出すと、第４図に示すよう
に、この２つのコントロールガス流に挟まれたガラス原
料ガス流１３は上側に曲げられて流れることになる。そ
のため、ガラス原料ガス流１３はターゲット１２の下端
部からやや上側の部分に当り、その位置でガラス微粒子
の堆積が行われる。 その結果、ガラス原料ガスに屈折率を高めるドープ材を
入れたとき、前者（第３図）の場合は第５図に示すよう
な屈折率プロファイルが、後者（第４図）の場合は第６
図で示すような屈折率プロファイルがそれぞれ得られる
。すなわち、これら第５図、第６図はターゲット１２の
直径方向での屈折率分布を示すものであり、第５図の場
合は中心でピークを持つ単峰性のプロファイルとなって
おり、第６図の場合は中心近辺の２箇所でピークとなる
双峰性のプロファイルとなっている。 このようにガラス微粒子生成用バーナ１自体の位置は動
かさずにガラス原料ガス流１３の方向を、コントロール
ガスの流量で自在にかつ細かに制御・管理することがで
き、ガラス微粒子堆積体の表面上での原料濃度分布を任
意に再現性高くコントロールすることができて、所望の
屈折率プロファイルを有する光フアイバ用ガラス母材を
容易に作成できる。 なお、第２図のようなコントロールガス用の吹き出し口
として中心のガラス原料ガス用吹き出しロアの周囲の４
方向くあるいはさらに多くの方向）に４つくあるいはさ
らに多数）の吹き出し口８１〜８４を備えるガラス微粒
子生成用バーナ１では、それらの吹き出し口８１〜８４
からの吹き出し量を調整することにより、１方向（たと
えば上記のような上下方向）のみならずガラス原料ガス
用吹き出しロアの周全方向にガラス原料ガス流の方向制
御を行うことができる。
この発明のガラス微粒子生成用バーナによれば、バーナ
位置の変更なしにガラス原料ガス流を変化させることが
できて、ガラス原料ガス流の位置を細かく且つ自由に定
めることが゛できる。このようにガラス原料ガス流の自
由度を高めることができるので、ガラス微粒子堆積面上
での原料濃度分布を再現性高く制御することができ、所
望の屈折率プロファイルを持つ光フアイバ用ガラス母材
を容易に製造できる。
位置の変更なしにガラス原料ガス流を変化させることが
できて、ガラス原料ガス流の位置を細かく且つ自由に定
めることが゛できる。このようにガラス原料ガス流の自
由度を高めることができるので、ガラス微粒子堆積面上
での原料濃度分布を再現性高く制御することができ、所
望の屈折率プロファイルを持つ光フアイバ用ガラス母材
を容易に製造できる。
第１図はこの発明の一実施例の模式的な横断面図、第２
図は他の実施例の模式的な横断面図、第３図及び第４図
はガラス原料ガスの流れをそれぞれ示す模式的な斜視図
、第５図及び第６図は屈折率プロファイルをそれぞれ示
すグラフである。 １・・・ガラス微粒子生成用バーナ、２〜６・・・管壁
。 ７・・・ガラス原料ガス用吹き出し口、８１〜８４・・
・コントロールガス用吹き出し口、９・・・水素用吹き
出し口、１０・・・アルゴン用吹き出し口、１１・・・
酸素用吹き出し口、３１〜３４・・・隔壁、１２・・・
ターゲット、１３・・・ガラス原料ガス流。
図は他の実施例の模式的な横断面図、第３図及び第４図
はガラス原料ガスの流れをそれぞれ示す模式的な斜視図
、第５図及び第６図は屈折率プロファイルをそれぞれ示
すグラフである。 １・・・ガラス微粒子生成用バーナ、２〜６・・・管壁
。 ７・・・ガラス原料ガス用吹き出し口、８１〜８４・・
・コントロールガス用吹き出し口、９・・・水素用吹き
出し口、１０・・・アルゴン用吹き出し口、１１・・・
酸素用吹き出し口、３１〜３４・・・隔壁、１２・・・
ターゲット、１３・・・ガラス原料ガス流。
Claims (1)
- （１）同心円状に多層に配置される複数の円筒管の各管
壁で囲まれる空間により構成された、中心のガラス原料
用吹き出し口と、それを取り巻くコントロールガス用吹
き出し口と、さらにその外周に位置する燃料ガス用吹き
出し口とを有し、上記コントロールガス用吹き出し口は
、円筒管の管壁で囲まれるリング状空間を周方向に分離
する隔壁によって、複数に分離独立させられていること
を特徴とするガラス微粒子生成用バーナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28478790A JPH04160026A (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 | ガラス微粒子生成用バーナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28478790A JPH04160026A (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 | ガラス微粒子生成用バーナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04160026A true JPH04160026A (ja) | 1992-06-03 |
Family
ID=17683017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28478790A Pending JPH04160026A (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 | ガラス微粒子生成用バーナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04160026A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004056714A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-07-08 | Pirelli & C. S.P.A. | Burner for chemical vapour deposition of glass |
| JP2011132065A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Asahi Glass Co Ltd | 多孔質石英ガラス体の製造方法 |
-
1990
- 1990-10-23 JP JP28478790A patent/JPH04160026A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004056714A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-07-08 | Pirelli & C. S.P.A. | Burner for chemical vapour deposition of glass |
| JP2011132065A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Asahi Glass Co Ltd | 多孔質石英ガラス体の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100567155B1 (ko) | 유리 입자 합성용 버너 및 다공질 유리체의 제조방법 | |
| GB2059944A (en) | Fabrication method of optical fiber preforms | |
| CN108017271A (zh) | Ovd带状喷灯装置和ovd制棒系统及其使用方法 | |
| US4915717A (en) | Method of fabricating optical fiber preforms | |
| US7082791B2 (en) | Apparatus for fabricating soot preform for optical fiber | |
| RU2284968C2 (ru) | Способ изготовления оптического стекла | |
| JPH04160026A (ja) | ガラス微粒子生成用バーナ | |
| JP6887930B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 | |
| JP7393985B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP3567574B2 (ja) | 多孔質ガラス母材合成用バーナ | |
| JP3133392B2 (ja) | 光ファイバ用スート母材の製造方法 | |
| US20040172977A1 (en) | Method of producing glass particle-deposited body | |
| JPH03112820A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JP7128172B2 (ja) | シリカガラス合成用バーナ及びこのバーナを用いた合成シリカガラス製造装置 | |
| JP2866436B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法 | |
| JPH02283632A (ja) | ガラス微粒子堆積装置 | |
| JP3027360B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法及び製造装置 | |
| JPH0986948A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH04275924A (ja) | ガラス微粒子生成用バーナ | |
| JP3131093B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 | |
| JPS6259063B2 (ja) | ||
| JPH02208233A (ja) | 光ファイバ母材製造用バーナおよびそれを用いた光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPS59195547A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPH07277745A (ja) | ガラス生成用バーナー | |
| JP2018172229A (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |