JPH10338537A - 多孔質光ファイバ母材の製造装置 - Google Patents
多孔質光ファイバ母材の製造装置Info
- Publication number
- JPH10338537A JPH10338537A JP9146403A JP14640397A JPH10338537A JP H10338537 A JPH10338537 A JP H10338537A JP 9146403 A JP9146403 A JP 9146403A JP 14640397 A JP14640397 A JP 14640397A JP H10338537 A JPH10338537 A JP H10338537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- fiber preform
- porous optical
- exhaust port
- reaction vessel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高品質の多孔質光ファイバ母材を安定して製
造することができる多孔質光ファイバ母材の製造装置を
提供する。 【解決手段】 ガス供給口１１を有して、該ガス供給口
１１からガス流が内部に供給される反応容器１０と、前
記反応容器１０内に回転自在に支持され、上方に引き上
げながらガラス微粒子を堆積するターゲット部材１３
と、ガラス微粒子を生成して前記ターゲット部材１３に
付着成長させるバーナ１２とを備えた多孔質光ファイバ
母材の製造装置において、前記反応容器１０の前記ガス
供給口１１からのガス流に対向する位置に主となる第１
排気口１４を設け、また、前記反応容器１０に、形成さ
れる多孔質光ファイバ母材１７の近傍、かつ、前記バー
ナ１２に対して前記多孔質光ファイバ母材１７の反対側
に位置する第２排気口１５となる開口部１６ａを有し、
前記バーナ１２の略噴射方向に、前記第１排気口１４よ
りも速い流速でガスを吸引する排気管１６を設ける。
造することができる多孔質光ファイバ母材の製造装置を
提供する。 【解決手段】 ガス供給口１１を有して、該ガス供給口
１１からガス流が内部に供給される反応容器１０と、前
記反応容器１０内に回転自在に支持され、上方に引き上
げながらガラス微粒子を堆積するターゲット部材１３
と、ガラス微粒子を生成して前記ターゲット部材１３に
付着成長させるバーナ１２とを備えた多孔質光ファイバ
母材の製造装置において、前記反応容器１０の前記ガス
供給口１１からのガス流に対向する位置に主となる第１
排気口１４を設け、また、前記反応容器１０に、形成さ
れる多孔質光ファイバ母材１７の近傍、かつ、前記バー
ナ１２に対して前記多孔質光ファイバ母材１７の反対側
に位置する第２排気口１５となる開口部１６ａを有し、
前記バーナ１２の略噴射方向に、前記第１排気口１４よ
りも速い流速でガスを吸引する排気管１６を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多孔質光ファイバ
母材の製造装置に関する。
母材の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】多孔質光ファイバ母材の製造にはＶＡＤ
法が主に用いられている。この方法は、例えば図３に示
すように、縦型の反応容器７の球形状部７ａ内で、多重
管バーナ１によって作られる酸水素火炎２中に四塩化珪
素を投入し、火炎加水分解により二酸化珪素のガラス微
粒子を生成し、種棒４を引き上げながら、その長手方向
にガラス微粒子を堆積させて、多孔質光ファイバ母材５
を得る方法である。この方法では、四塩化珪素とともに
少量の四塩化ゲルマニウムなどの添加物を投入すると、
二酸化ゲルマニウムなどの微粒子が同時に生成し、多孔
質光ファイバ母材５の半径方向に二酸化ゲルマニウムな
どを分布させることができる。この二酸化ゲルマニウム
などの分布は、多孔質光ファイバ母材５を焼結し、ガラ
ス化したときの屈折率分布に対応する。上述の方法で
は、堆積しない余剰のガラス微粒子が発生するが、この
余剰のガラス微粒子３は、形成される多孔質光ファイバ
母材５の先端近傍、多重管バーナ１の反対側に開口部６
ａを有する排気管６から横方向に排気される。また、反
応容器７の筒状部７ｂ上端には給気口８が設けられてい
る。この給気口８からは清浄な空気などのガスが一様な
ガス流として供給され、多孔質光ファイバ母材５を乱流
のない均一なガス流中に保ち、火炎のゆらぎを防止す
る。この空気などのガスも排気管６から排気される。
法が主に用いられている。この方法は、例えば図３に示
すように、縦型の反応容器７の球形状部７ａ内で、多重
管バーナ１によって作られる酸水素火炎２中に四塩化珪
素を投入し、火炎加水分解により二酸化珪素のガラス微
粒子を生成し、種棒４を引き上げながら、その長手方向
にガラス微粒子を堆積させて、多孔質光ファイバ母材５
を得る方法である。この方法では、四塩化珪素とともに
少量の四塩化ゲルマニウムなどの添加物を投入すると、
二酸化ゲルマニウムなどの微粒子が同時に生成し、多孔
質光ファイバ母材５の半径方向に二酸化ゲルマニウムな
どを分布させることができる。この二酸化ゲルマニウム
などの分布は、多孔質光ファイバ母材５を焼結し、ガラ
ス化したときの屈折率分布に対応する。上述の方法で
は、堆積しない余剰のガラス微粒子が発生するが、この
余剰のガラス微粒子３は、形成される多孔質光ファイバ
母材５の先端近傍、多重管バーナ１の反対側に開口部６
ａを有する排気管６から横方向に排気される。また、反
応容器７の筒状部７ｂ上端には給気口８が設けられてい
る。この給気口８からは清浄な空気などのガスが一様な
ガス流として供給され、多孔質光ファイバ母材５を乱流
のない均一なガス流中に保ち、火炎のゆらぎを防止す
る。この空気などのガスも排気管６から排気される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＶＡＤ法においては、
多孔質光ファイバ母材を構成するガラス微粒子は、バー
ナの火炎の中で生成されるが、反応容器内の気流が乱れ
ると、火炎が揺らぎ、ガラス微粒子の生成の状態が変化
する。そうすると、多孔質光ファイバ母材上に堆積する
ガラス微粒子の中の二酸化ゲルマニウムの分布が変化
し、屈折率分布も変化し、安定した品質の多孔質光ファ
イバ母材が得られなくなる。このように、ＶＡＤ法で
は、反応容器内の気流の乱れをできるだけ小さくするこ
とが重要である。
多孔質光ファイバ母材を構成するガラス微粒子は、バー
ナの火炎の中で生成されるが、反応容器内の気流が乱れ
ると、火炎が揺らぎ、ガラス微粒子の生成の状態が変化
する。そうすると、多孔質光ファイバ母材上に堆積する
ガラス微粒子の中の二酸化ゲルマニウムの分布が変化
し、屈折率分布も変化し、安定した品質の多孔質光ファ
イバ母材が得られなくなる。このように、ＶＡＤ法で
は、反応容器内の気流の乱れをできるだけ小さくするこ
とが重要である。
【０００４】しかしながら、上述のＶＡＤ法には次のよ
うな問題があった。即ち、 １）給気口８からは、ガスは縦方向のガス流として供給
され、このガスは排気管６の開口部６ａからは横方向に
排気されるため、反応容器７の球形状部７ａ内には渦な
どの複雑な気流が発生し、しかも安定しない。 ２）球形状部７ａ壁面近傍で渦が発生すると、多孔質光
ファイバ母材５に堆積しなかったガラス微粒子３が渦に
滞留し、壁面に付着する。付着したガラス微粒子３が溜
まると、壁面から剥離して落下し、多孔質光ファイバ母
材５に付着し、欠陥を生ずる原因となる。
うな問題があった。即ち、 １）給気口８からは、ガスは縦方向のガス流として供給
され、このガスは排気管６の開口部６ａからは横方向に
排気されるため、反応容器７の球形状部７ａ内には渦な
どの複雑な気流が発生し、しかも安定しない。 ２）球形状部７ａ壁面近傍で渦が発生すると、多孔質光
ファイバ母材５に堆積しなかったガラス微粒子３が渦に
滞留し、壁面に付着する。付着したガラス微粒子３が溜
まると、壁面から剥離して落下し、多孔質光ファイバ母
材５に付着し、欠陥を生ずる原因となる。
【０００５】本発明は上記問題を解決して、高品質の多
孔質光ファイバ母材を安定して製造する多孔質光ファイ
バ母材の製造装置を提供することを目的とする。
孔質光ファイバ母材を安定して製造する多孔質光ファイ
バ母材の製造装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決すべくなされたもので、ガス供給口を有し、該ガス供
給口からガス流が内部に供給される反応容器と、前記反
応容器内に回転自在に支持され、上方に引き上げられな
がらガラス微粒子を堆積するターゲット部材と、ガラス
微粒子を生成して前記ターゲット部材に付着させ、ガラ
ス微粒子堆積体を成長させるバーナとを備えた多孔質光
ファイバ母材の製造装置において、前記反応容器の前記
ガス供給口からのガス流に対向する位置に主となる第１
排気口を設け、また、前記反応容器に、形成される多孔
質光ファイバ母材の近傍、かつ、前記バーナに対して前
記多孔質光ファイバ母材の反対側に位置する第２排気口
となる開口部を有し、前記バーナの略噴射方向に、前記
第１排気口よりも速い流速で吸引する排気管を設けたこ
とを特徴とするものである。ここで、主となる第１排気
口とは、ガス供給口から供給されたガスの大部分と、バ
ーナから噴射されたガラス微粒子とガスのうち、第２排
気口で排気されない分を排出し、排気量としては第２排
気口よりもはるかに多量のガスを排気する排気口を意味
する。
決すべくなされたもので、ガス供給口を有し、該ガス供
給口からガス流が内部に供給される反応容器と、前記反
応容器内に回転自在に支持され、上方に引き上げられな
がらガラス微粒子を堆積するターゲット部材と、ガラス
微粒子を生成して前記ターゲット部材に付着させ、ガラ
ス微粒子堆積体を成長させるバーナとを備えた多孔質光
ファイバ母材の製造装置において、前記反応容器の前記
ガス供給口からのガス流に対向する位置に主となる第１
排気口を設け、また、前記反応容器に、形成される多孔
質光ファイバ母材の近傍、かつ、前記バーナに対して前
記多孔質光ファイバ母材の反対側に位置する第２排気口
となる開口部を有し、前記バーナの略噴射方向に、前記
第１排気口よりも速い流速で吸引する排気管を設けたこ
とを特徴とするものである。ここで、主となる第１排気
口とは、ガス供給口から供給されたガスの大部分と、バ
ーナから噴射されたガラス微粒子とガスのうち、第２排
気口で排気されない分を排出し、排気量としては第２排
気口よりもはるかに多量のガスを排気する排気口を意味
する。
【０００７】本発明では、第２排気口を多孔質光ファイ
バ母材の近傍、バーナに対して前記多孔質光ファイバ母
材の反対側に位置するように設け、バーナの略噴射方向
に、第１排気口よりも速い流速でガスを吸引する。従っ
て、第２排気口は多孔質光ファイバ母材に堆積しなかっ
たガラス微粒子の大部分を、噴射方向の流れを乱すこと
なく吸引し、排出することができる。また、反応容器の
前記ガス供給口からのガス流に対向する位置に主となる
第１排気口を設けるので、第１排気口はガス供給口から
供給されたガスをその流れを乱すことなく排気すること
ができる。なお、第１排気口は第２排気口よりも遅い流
速でガスを吸引、排気するので、この排気によりバーナ
から噴射されたガラス微粒子の流れが乱れることはな
い。上述のように本発明によれば、反応容器内ではバー
ナから噴射されたガラス微粒子とガス、およびガス供給
口から供給されたガスは流れがほとんど乱されることな
く、第１排気口と第２排気口から排気されるので、反応
容器に浮遊残留するガラス微粒子の量を減らし、また、
壁に付着する微粒子の量も減らすことができる。その結
果、高品質の多孔質光ファイバ母材を安定して製造する
ことができる。
バ母材の近傍、バーナに対して前記多孔質光ファイバ母
材の反対側に位置するように設け、バーナの略噴射方向
に、第１排気口よりも速い流速でガスを吸引する。従っ
て、第２排気口は多孔質光ファイバ母材に堆積しなかっ
たガラス微粒子の大部分を、噴射方向の流れを乱すこと
なく吸引し、排出することができる。また、反応容器の
前記ガス供給口からのガス流に対向する位置に主となる
第１排気口を設けるので、第１排気口はガス供給口から
供給されたガスをその流れを乱すことなく排気すること
ができる。なお、第１排気口は第２排気口よりも遅い流
速でガスを吸引、排気するので、この排気によりバーナ
から噴射されたガラス微粒子の流れが乱れることはな
い。上述のように本発明によれば、反応容器内ではバー
ナから噴射されたガラス微粒子とガス、およびガス供給
口から供給されたガスは流れがほとんど乱されることな
く、第１排気口と第２排気口から排気されるので、反応
容器に浮遊残留するガラス微粒子の量を減らし、また、
壁に付着する微粒子の量も減らすことができる。その結
果、高品質の多孔質光ファイバ母材を安定して製造する
ことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を詳細に説明する。 （実施形態１）図１は、本発明にかかる多孔質光ファイ
バ母材の製造装置の一実施形態の断面説明図である。図
中、１０は縦型の反応容器であり、１１は反応容器１０
の筒状部１０ｂ上端に設けられ、一様な流れのガスを下
方に供給するガス供給口、１２は反応容器１０の球形状
部１０ａ内に設けられ、斜め上方にガラス微粒子を噴射
する多重管バーナ、１３は筒状部１０ｂ上端に回転自在
に支持され、上方に引き上げられながらガラス微粒子を
堆積するターゲット部材、１４は主となる第１排気口、
１５は第２排気口である。第１排気口１４は、反応容器
１０の球形状部１０ａの下部に、筒状部１０ｂの中心軸
上に位置するように設けられ、ガス供給口１１から筒状
部１０ｂを下降する一様なガス流に対向している。第１
排気口１４の大きさは、ガス供給口１１から供給される
ガスを第２排気口１５よりも遅い流速で吸引、排気する
に十分な大きさになっている。従って、この第１排気口
１４は、ガス供給口１１から供給されるガスをその流れ
の方向（筒状部１０ｂに沿って下方）に吸引するため、
このガス流はほとんど乱れることがない。また、第２排
気口１５は、球形状部１０ａに設けられた排気管１６の
開口部１６ａであって、その直径は堆積された多孔質光
ファイバ母材１７の直径よりもやや大きい程度である。
この第２排気口１５は、形成される多孔質光ファイバ母
材１７の先端近傍、かつ、多重管バーナ１２に対して前
記多孔質光ファイバ母材１７の反対側で斜め上方に位置
し、略多重管バーナ１２の噴射方向に噴射されたガラス
微粒子とガスを排気する。この排気速度は第１排気口１
４の排気速度よりも速く設定することにより、噴射され
たガラス微粒子とガスの流れはほとんど乱れることがな
い。この装置を用いて、第１排気口１４入り口での排気
流速を０．４ｍ／ｓ、第２排気口１５の入口での排気流
速を第１排気口１４入り口での流速よりも速い１．０ｍ
／ｓにしたところ、反応容器１０の壁に堆積するガス微
粒子の量は非常に少なく、高品質の多孔質光ファイバ母
材１７を安定して製造することができた。一方、第２排
気口１５の入口での流速を変えずに、第１排気口１４入
り口での排気流速を１．２ｍ／ｓに上げたところ、火炎
の揺らぎが大きくなり、多孔質光ファイバ母材の製造が
困難になった。流速を変えた実験によれば、第２排気口
１５において第１排気口１４よりも速い流速でガスを吸
引、排気すると、高品質の多孔質光ファイバ母材１７を
安定して製造することができた。
施の形態を詳細に説明する。 （実施形態１）図１は、本発明にかかる多孔質光ファイ
バ母材の製造装置の一実施形態の断面説明図である。図
中、１０は縦型の反応容器であり、１１は反応容器１０
の筒状部１０ｂ上端に設けられ、一様な流れのガスを下
方に供給するガス供給口、１２は反応容器１０の球形状
部１０ａ内に設けられ、斜め上方にガラス微粒子を噴射
する多重管バーナ、１３は筒状部１０ｂ上端に回転自在
に支持され、上方に引き上げられながらガラス微粒子を
堆積するターゲット部材、１４は主となる第１排気口、
１５は第２排気口である。第１排気口１４は、反応容器
１０の球形状部１０ａの下部に、筒状部１０ｂの中心軸
上に位置するように設けられ、ガス供給口１１から筒状
部１０ｂを下降する一様なガス流に対向している。第１
排気口１４の大きさは、ガス供給口１１から供給される
ガスを第２排気口１５よりも遅い流速で吸引、排気する
に十分な大きさになっている。従って、この第１排気口
１４は、ガス供給口１１から供給されるガスをその流れ
の方向（筒状部１０ｂに沿って下方）に吸引するため、
このガス流はほとんど乱れることがない。また、第２排
気口１５は、球形状部１０ａに設けられた排気管１６の
開口部１６ａであって、その直径は堆積された多孔質光
ファイバ母材１７の直径よりもやや大きい程度である。
この第２排気口１５は、形成される多孔質光ファイバ母
材１７の先端近傍、かつ、多重管バーナ１２に対して前
記多孔質光ファイバ母材１７の反対側で斜め上方に位置
し、略多重管バーナ１２の噴射方向に噴射されたガラス
微粒子とガスを排気する。この排気速度は第１排気口１
４の排気速度よりも速く設定することにより、噴射され
たガラス微粒子とガスの流れはほとんど乱れることがな
い。この装置を用いて、第１排気口１４入り口での排気
流速を０．４ｍ／ｓ、第２排気口１５の入口での排気流
速を第１排気口１４入り口での流速よりも速い１．０ｍ
／ｓにしたところ、反応容器１０の壁に堆積するガス微
粒子の量は非常に少なく、高品質の多孔質光ファイバ母
材１７を安定して製造することができた。一方、第２排
気口１５の入口での流速を変えずに、第１排気口１４入
り口での排気流速を１．２ｍ／ｓに上げたところ、火炎
の揺らぎが大きくなり、多孔質光ファイバ母材の製造が
困難になった。流速を変えた実験によれば、第２排気口
１５において第１排気口１４よりも速い流速でガスを吸
引、排気すると、高品質の多孔質光ファイバ母材１７を
安定して製造することができた。
【０００９】（実施形態２）図２は、他の実施形態の説
明図である。本実施形態では、反応容器２０は横型の筒
状部２０ａと縦型の筒状部２０ｂとからなる。筒状部２
０ａは大口径のもので、右端の主となるガス供給口２１
からフィルター２２を介して一様な流れのガスが供給さ
れる。また、筒状部２０ｂは多孔質光ファイバ母材１７
の直径よりもやや大きい程度のものである。筒状部２０
ｂ上端には、一様な流れのガスを下方に供給するガス供
給口２３が設けられている。筒状部２０ａの左端には、
主となる第１排気口２４が設けられている。また、筒状
部２０ａの筒状部２０ｂよりも左側には排気管２５が設
けられている。排気管２５の先端の開口部２５ａは、多
孔質光ファイバ母材１７の直径よりもやや大きい程度で
あって、多孔質光ファイバ母材１７の先端近傍、かつ、
多重管バーナ１２に対して前記多孔質光ファイバ母材１
７の反対側に位置して、第２排気口２６となっている。
この排気管２５は斜め左上方に向いており、略多重管バ
ーナ１２の噴射方向に排気する。本実施形態では、一様
な流れのガスは水平方向に主となるガス供給口２１ａか
ら供給されるとともに、ガス供給口２１ｂからも多孔質
光ファイバ母材１７にそって縦方向に供給される。この
装置を用いて、第１排気口２４入り口での排気流速を
０．２ｍ／ｓ、第２排気口２６の入口での流速を第１排
気口２４入り口での排気流速よりも速い０．８ｍ／ｓに
したところ、反応容器２０の壁に堆積するガス微粒子の
量は非常に少なく、高品質の多孔質光ファイバ母材１７
を安定して製造することができた。一方、第２排気口２
６の入口での流速を変えずに、第１排気口２４入り口で
の排気流速を１．２ｍ／ｓに上げたところ、火炎の揺ら
ぎが大きくなり、多孔質光ファイバー母材の製造が困難
になった。本実施形態においても、流速を変えた実験に
よれば、第２排気口２６において第１排気口２４よりも
速い流速でガスを吸引、排気すると、高品質の多孔質光
ファイバ母材１７を安定して製造することができた。
明図である。本実施形態では、反応容器２０は横型の筒
状部２０ａと縦型の筒状部２０ｂとからなる。筒状部２
０ａは大口径のもので、右端の主となるガス供給口２１
からフィルター２２を介して一様な流れのガスが供給さ
れる。また、筒状部２０ｂは多孔質光ファイバ母材１７
の直径よりもやや大きい程度のものである。筒状部２０
ｂ上端には、一様な流れのガスを下方に供給するガス供
給口２３が設けられている。筒状部２０ａの左端には、
主となる第１排気口２４が設けられている。また、筒状
部２０ａの筒状部２０ｂよりも左側には排気管２５が設
けられている。排気管２５の先端の開口部２５ａは、多
孔質光ファイバ母材１７の直径よりもやや大きい程度で
あって、多孔質光ファイバ母材１７の先端近傍、かつ、
多重管バーナ１２に対して前記多孔質光ファイバ母材１
７の反対側に位置して、第２排気口２６となっている。
この排気管２５は斜め左上方に向いており、略多重管バ
ーナ１２の噴射方向に排気する。本実施形態では、一様
な流れのガスは水平方向に主となるガス供給口２１ａか
ら供給されるとともに、ガス供給口２１ｂからも多孔質
光ファイバ母材１７にそって縦方向に供給される。この
装置を用いて、第１排気口２４入り口での排気流速を
０．２ｍ／ｓ、第２排気口２６の入口での流速を第１排
気口２４入り口での排気流速よりも速い０．８ｍ／ｓに
したところ、反応容器２０の壁に堆積するガス微粒子の
量は非常に少なく、高品質の多孔質光ファイバ母材１７
を安定して製造することができた。一方、第２排気口２
６の入口での流速を変えずに、第１排気口２４入り口で
の排気流速を１．２ｍ／ｓに上げたところ、火炎の揺ら
ぎが大きくなり、多孔質光ファイバー母材の製造が困難
になった。本実施形態においても、流速を変えた実験に
よれば、第２排気口２６において第１排気口２４よりも
速い流速でガスを吸引、排気すると、高品質の多孔質光
ファイバ母材１７を安定して製造することができた。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、高品質の多孔質光ファ
イバ母材を安定して製造することができるという優れた
効果がある。
イバ母材を安定して製造することができるという優れた
効果がある。
【図１】本発明に係る多孔質光ファイバ母材の製造装置
の一実施形態の説明図である。
の一実施形態の説明図である。
【図２】他の実施形態の説明図である。
【図３】従来の多孔質光ファイバ母材の製造装置の説明
図である。
図である。
【符号の説明】 １０、２０ 反応容器 １０ａ 球形状部 １０ｂ 筒状部 １１、２１、２３ ガス供給口 １２ バーナ １３ ターゲット部材 １４、２４ 第１排気口 １５、２６ 第２排気口 １６、２５ 排気管 １６ａ、２５ａ 開口部 １７ 多孔質光ファイバ母材 ２０ａ、２０ｂ 筒状部 ２２ フィルター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 香村 幸夫 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 ガス供給口を有し、該ガス供給口からガ
ス流が内部に供給される反応容器と、前記反応容器内に
回転自在に支持され、上方に引き上げられながらガラス
微粒子を堆積するターゲット部材と、ガラス微粒子を生
成して前記ターゲット部材に付着させ、ガラス微粒子堆
積体を成長させるバーナとを備えた多孔質光ファイバ母
材の製造装置において、前記反応容器の前記ガス供給口
からのガス流に対向する位置に主となる第１排気口を設
け、また、前記反応容器に、形成される多孔質光ファイ
バ母材の近傍、かつ、前記バーナに対して前記多孔質光
ファイバ母材の反対側に位置する第２排気口となる開口
部を有し、前記バーナの略噴射方向に、前記第１排気口
よりも速い流速で吸引する排気管を設けたことを特徴と
する多孔質光ファイバ母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14640397A JP3619637B2 (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14640397A JP3619637B2 (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10338537A true JPH10338537A (ja) | 1998-12-22 |
| JP3619637B2 JP3619637B2 (ja) | 2005-02-09 |
Family
ID=15406923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14640397A Expired - Lifetime JP3619637B2 (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3619637B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113480161A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-10-08 | 武汉智纤科技有限公司 | 一种提高vad制备光纤预制棒稳定性的装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0340932A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-21 | Fujikura Ltd | ガラス微粒子堆積装置 |
| JPH04243930A (ja) * | 1991-01-29 | 1992-09-01 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用母材の製造装置 |
-
1997
- 1997-06-04 JP JP14640397A patent/JP3619637B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0340932A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-21 | Fujikura Ltd | ガラス微粒子堆積装置 |
| JPH04243930A (ja) * | 1991-01-29 | 1992-09-01 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113480161A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-10-08 | 武汉智纤科技有限公司 | 一种提高vad制备光纤预制棒稳定性的装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3619637B2 (ja) | 2005-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6505188B1 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置 | |
| US6012305A (en) | Apparatus for producing an optical fiber porous glass preform | |
| EP0231022B1 (en) | Apparatus for the production of porous preform of optical fiber | |
| JP3998450B2 (ja) | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 | |
| US6619074B1 (en) | Apparatus and method for production of a porous optical fiber preform | |
| JP4438226B2 (ja) | 多孔質ガラス母材製造装置及び製造方法 | |
| CN219217830U (zh) | 一种高纯低羟基石英玻璃给料装置 | |
| CN1938234B (zh) | 多孔质玻璃母材的制造装置 | |
| JPH10338537A (ja) | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 | |
| JP5150365B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置及び製造方法 | |
| US20070256456A1 (en) | Manufacturing Apparatus Of Porous Glass Base Material And Glass Base Material For Optical Fiber | |
| JP5655418B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置 | |
| JP2006306652A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法及びこれに用いる堆積用バーナ | |
| JPH05306136A (ja) | 光ファイバ母材の製造装置 | |
| JPS6041539A (ja) | 堆積物自動除去装置 | |
| JP2000109329A (ja) | 多孔質母材の製造方法 | |
| JP4993337B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造装置 | |
| JP4422928B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法及びその装置 | |
| JP2005179077A (ja) | 多孔質母材の製造方法とその製造装置、およびこの多孔質母材の製造方法を用いて製造された合成石英ガラス | |
| JPH09132422A (ja) | 光ファイバ用母材の製造装置 | |
| JPS6227344A (ja) | 光フアイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| JPH0225848B2 (ja) | ||
| JP2559489B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP2003054957A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH09241031A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法および製造装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040809 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041029 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041115 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071119 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081119 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081119 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091119 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101119 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111119 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121119 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 9 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |