JP2002160926A - ガラス微粒子合成用バーナ及び多孔質ガラス体の製造方法 - Google Patents
ガラス微粒子合成用バーナ及び多孔質ガラス体の製造方法Info
- Publication number
- JP2002160926A JP2002160926A JP2001236248A JP2001236248A JP2002160926A JP 2002160926 A JP2002160926 A JP 2002160926A JP 2001236248 A JP2001236248 A JP 2001236248A JP 2001236248 A JP2001236248 A JP 2001236248A JP 2002160926 A JP2002160926 A JP 2002160926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- ejection port
- oxygen gas
- gas
- burner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/10—Forming beads
- C03B19/1005—Forming solid beads
- C03B19/106—Forming solid beads by chemical vapour deposition; by liquid phase reaction
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1415—Reactant delivery systems
- C03B19/1423—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/08—Recessed or protruding ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/40—Mechanical flame shields
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作製の容易な同心円多重管バーナで、ガスの
混合効率が高く、高い原料収率の得られるガラス微粒子
合成用バーナ及びそれを用いた多孔質ガラス体の製造方
法を提供すること。 【解決手段】 原料ガス、可燃性ガス及び酸素ガスの噴
出ポートの組合せである中心ポート群を有する同心円状
多重管バーナにおいて、中心ポート群の酸素ガス噴出ポ
ートの外側壁が内側壁よりもバーナ先端側に突出してい
ることを特徴とするガラス微粒子合成用バーナ、及びそ
れを用いて中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速を適切範囲に制御することを特徴
とする気相合成法による多孔質ガラス体の製造方法。
混合効率が高く、高い原料収率の得られるガラス微粒子
合成用バーナ及びそれを用いた多孔質ガラス体の製造方
法を提供すること。 【解決手段】 原料ガス、可燃性ガス及び酸素ガスの噴
出ポートの組合せである中心ポート群を有する同心円状
多重管バーナにおいて、中心ポート群の酸素ガス噴出ポ
ートの外側壁が内側壁よりもバーナ先端側に突出してい
ることを特徴とするガラス微粒子合成用バーナ、及びそ
れを用いて中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速を適切範囲に制御することを特徴
とする気相合成法による多孔質ガラス体の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気相合成法により
ガラス物品を製造するためのガラス微粒子合成用バーナ
及び多孔質ガラス体の製造方法に関する。
ガラス物品を製造するためのガラス微粒子合成用バーナ
及び多孔質ガラス体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ、フォトマスク材、石英ガラ
スなどの各種ガラス物品を製造するための前駆体である
多孔質ガラス体を得る手法としては、複数の異なるポー
トから原料ガス（ＳｉＣｌ4 など）／可燃性ガス（水
素、メタン、プロパンなど）／支燃ガス（酸素など）を
噴出させて混合し、形成される火炎内でガラス原料を酸
化反応又は加水分解反応させて微粒子ガラス流を形成
し、出発部材の先端又は周囲にガラス微粒子を順次堆積
させていくＶＡＤ（ Vapour Phase Axial Deposition）
法、ＯＶＤ（ Outside Vapour Deposition）法などの気
相合成法が一般的に用いられている。
スなどの各種ガラス物品を製造するための前駆体である
多孔質ガラス体を得る手法としては、複数の異なるポー
トから原料ガス（ＳｉＣｌ4 など）／可燃性ガス（水
素、メタン、プロパンなど）／支燃ガス（酸素など）を
噴出させて混合し、形成される火炎内でガラス原料を酸
化反応又は加水分解反応させて微粒子ガラス流を形成
し、出発部材の先端又は周囲にガラス微粒子を順次堆積
させていくＶＡＤ（ Vapour Phase Axial Deposition）
法、ＯＶＤ（ Outside Vapour Deposition）法などの気
相合成法が一般的に用いられている。
【０００３】上記気相合成反応は、各々のポート出口よ
りある程度離れた場所で、各ガスの混合が生じる領域で
進行する。図３にバーナ内での原料のガラス化反応状態
の１例を模式的に示す。この例では４層のガス噴出ポー
トを同心円状に設けたバーナ１６の中心ポートにガラス
原料・可燃性ガス９を供給し、その外側に可燃性ガス１
０、シールガス１１及び酸素ガス１２を供給して火炎を
形成し反応させるものであるが、図の反応領域１３にお
いて次式によりガラス化反応が進行する。すなわち、上
記の気相合成法では原料等の混合を効率的に行うことが
微粒子ガラス生成効率の向上、ひいては多孔質ガラス体
堆積効率の向上及び原料収率向上における必要条件とな
っている。なお、図中の１４は原料ガス・可燃性ガス展
開領域、１５は酸素ガス展開領域である。 ＳｉＣｌ4 ＋２Ｈ2 ＋Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋４ＨＣｌ
りある程度離れた場所で、各ガスの混合が生じる領域で
進行する。図３にバーナ内での原料のガラス化反応状態
の１例を模式的に示す。この例では４層のガス噴出ポー
トを同心円状に設けたバーナ１６の中心ポートにガラス
原料・可燃性ガス９を供給し、その外側に可燃性ガス１
０、シールガス１１及び酸素ガス１２を供給して火炎を
形成し反応させるものであるが、図の反応領域１３にお
いて次式によりガラス化反応が進行する。すなわち、上
記の気相合成法では原料等の混合を効率的に行うことが
微粒子ガラス生成効率の向上、ひいては多孔質ガラス体
堆積効率の向上及び原料収率向上における必要条件とな
っている。なお、図中の１４は原料ガス・可燃性ガス展
開領域、１５は酸素ガス展開領域である。 ＳｉＣｌ4 ＋２Ｈ2 ＋Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋４ＨＣｌ
【０００４】このような気相合成法においてガラス微粒
子を合成するためのバーナとしては複数のノズルが同心
円状に配置された同心円多重管バーナ（特開昭６１−１
８３１４０号公報、特開昭６３−５５１３５号公報な
ど）、支燃ガス又は可燃性ガスのどちらかを複数の個別
のノズルから供給するマルチノズルバーナ（特開昭６２
−１８７１３５号公報、特開平６−２４７７２２号公報
など）などが知られている。このうち同心円多重管バー
ナは同心円状に配置したノズルから原料ガス、支燃ガ
ス、可燃性ガスを混合噴出させ、酸水素火炎中で原料の
加水分解反応又は酸化反応を行うもので、作製が容易で
ある等のメリットがあるが、その開口部からの原料ガ
ス、可燃性ガス（燃焼ガス）、酸化ガス（支燃ガス）の
噴出方向がほぼ平行であり、従ってこれらのガスの混合
効率が必ずしも良好とはいえない。そのため、原料から
ガラス微粒子への加水分解反応又は酸化反応の効率が十
分高いとはいえず、原料収率（原料投入量に対して多孔
質ガラス体形成に寄与する比率）も比較的低いという問
題がある。
子を合成するためのバーナとしては複数のノズルが同心
円状に配置された同心円多重管バーナ（特開昭６１−１
８３１４０号公報、特開昭６３−５５１３５号公報な
ど）、支燃ガス又は可燃性ガスのどちらかを複数の個別
のノズルから供給するマルチノズルバーナ（特開昭６２
−１８７１３５号公報、特開平６−２４７７２２号公報
など）などが知られている。このうち同心円多重管バー
ナは同心円状に配置したノズルから原料ガス、支燃ガ
ス、可燃性ガスを混合噴出させ、酸水素火炎中で原料の
加水分解反応又は酸化反応を行うもので、作製が容易で
ある等のメリットがあるが、その開口部からの原料ガ
ス、可燃性ガス（燃焼ガス）、酸化ガス（支燃ガス）の
噴出方向がほぼ平行であり、従ってこれらのガスの混合
効率が必ずしも良好とはいえない。そのため、原料から
ガラス微粒子への加水分解反応又は酸化反応の効率が十
分高いとはいえず、原料収率（原料投入量に対して多孔
質ガラス体形成に寄与する比率）も比較的低いという問
題がある。
【０００５】一方、マルチノズルバーナは、支燃ガス又
は可燃性ガスを個別の細口径ノズルから噴出させて原料
ガス、支燃ガス、可燃性ガスを混合させて酸水素火炎中
で原料の加水分解反応又は酸化反応を行うもので、ガス
の混合効率がよく、従って気相合成反応効率も上がり、
原料収率が向上する。また、細口径ノズルから噴出され
るガスの流速は、その周囲のガスよりも速いが、指向性
がよい、流量そのもは少ない、などの理由により火炎は
安定している。しかしながら、マルチノズルバーナで
は、バーナの限定された領域に多数の細口径ノズルを配
置する必要があり、同心円多重管バーナに比べて作製に
非常に手間がかかる。また、ノズル位置や方向が極めて
敏感に反応を左右するため、微妙なバーナ構造（ノズル
配置等）のズレにより原料収率が大きく異なってくるの
で、安定したバーナ性能、ひいては多孔質ガラス体製造
能力を得るのが難しいという問題がある。
は可燃性ガスを個別の細口径ノズルから噴出させて原料
ガス、支燃ガス、可燃性ガスを混合させて酸水素火炎中
で原料の加水分解反応又は酸化反応を行うもので、ガス
の混合効率がよく、従って気相合成反応効率も上がり、
原料収率が向上する。また、細口径ノズルから噴出され
るガスの流速は、その周囲のガスよりも速いが、指向性
がよい、流量そのもは少ない、などの理由により火炎は
安定している。しかしながら、マルチノズルバーナで
は、バーナの限定された領域に多数の細口径ノズルを配
置する必要があり、同心円多重管バーナに比べて作製に
非常に手間がかかる。また、ノズル位置や方向が極めて
敏感に反応を左右するため、微妙なバーナ構造（ノズル
配置等）のズレにより原料収率が大きく異なってくるの
で、安定したバーナ性能、ひいては多孔質ガラス体製造
能力を得るのが難しいという問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のとおり、マルチ
ノズルバーナでは、酸素等を方向性のある細口径ノズル
から中心方向（原料方向）に噴出させることができるの
で、原料ガスと支燃ガス及び可燃性ガスとの混合効率が
よく、高収率で多孔質ガラスの堆積を行うことが可能で
ある。反面、ノズルの形態が大きく多孔質ガラスの堆積
効率を左右する（バーナ固体差が大きい）という問題が
あり、ノズルを多数作製するのに手間がかかるのが実情
である。これに対し同心円多重管バーナは、その作製
（作製制御）がマルチノズルバーナに比べてはるかに容
易である。しかし、原料ガスと支燃ガス及び可燃性ガス
との混合効率がマルチノズルバーナほどよくないという
問題点を内在している。この原因を調査したところ、原
料中心部に拡散してくる酸素量が必ずしも十分でないた
め（酸素拡散量律速）であることがわかった。しかし、
供給酸素量を増やすと、火炎温度が低下して原料の反応
効率も落ちることがわかり、単純な酸素増量では対処で
きないことがわかった。
ノズルバーナでは、酸素等を方向性のある細口径ノズル
から中心方向（原料方向）に噴出させることができるの
で、原料ガスと支燃ガス及び可燃性ガスとの混合効率が
よく、高収率で多孔質ガラスの堆積を行うことが可能で
ある。反面、ノズルの形態が大きく多孔質ガラスの堆積
効率を左右する（バーナ固体差が大きい）という問題が
あり、ノズルを多数作製するのに手間がかかるのが実情
である。これに対し同心円多重管バーナは、その作製
（作製制御）がマルチノズルバーナに比べてはるかに容
易である。しかし、原料ガスと支燃ガス及び可燃性ガス
との混合効率がマルチノズルバーナほどよくないという
問題点を内在している。この原因を調査したところ、原
料中心部に拡散してくる酸素量が必ずしも十分でないた
め（酸素拡散量律速）であることがわかった。しかし、
供給酸素量を増やすと、火炎温度が低下して原料の反応
効率も落ちることがわかり、単純な酸素増量では対処で
きないことがわかった。
【０００７】本発明は上記従来技術の問題点に鑑み、作
製の容易な同心円多重管バーナで、原料と支燃ガス及び
可燃性ガスとの混合効率が高く、高い原料収率の得られ
るガラス微粒子合成用バーナ及びそれを用いた多孔質ガ
ラス体の製造方法を提供しようとするものである。
製の容易な同心円多重管バーナで、原料と支燃ガス及び
可燃性ガスとの混合効率が高く、高い原料収率の得られ
るガラス微粒子合成用バーナ及びそれを用いた多孔質ガ
ラス体の製造方法を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
する手段として次の（１）〜（１０）の態様を含むもの
である。 （１）中心側から順に原料ガス噴出ポート、可燃性ガス
噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、原料ガス
と可燃性ガスの噴出ポート、可燃性ガス噴出ポート及び
酸素ガス噴出ポートの組合せ、又は原料ガスと可燃性ガ
スの噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せとなる
ように構成した中心ポート群を有する同心円状多重管バ
ーナ（各ポート間には不活性ガスを噴出させるシールガ
スポートを有してもよい）において、該中心ポート群の
酸素ガス噴出ポートの外側壁が内側壁よりもバーナ先端
側に突出しており、その突出長さが該酸素ガス噴出ポー
トの間隙の３０倍以上であることを特徴とするガラス微
粒子合成用バーナ。 （２）前記中心ポート群の外側に可燃性ガス噴出ポート
及び酸素ガス噴出ポートを有する外側ポート群を設けた
ことを特徴とする前記（１）のガラス微粒子合成用バー
ナ。 （３）前記可燃性ガスが水素ガスであることを特徴とす
る前記（１）又は（２）のガラス微粒子合成用バーナ。 （４）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートの外側壁
の突出長さが、該外側壁の内径の９倍以下であることを
特徴とする前記（１）〜（３）のいずれか１つのガラス
微粒子合成用バーナ。 （５）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートの外側壁
の突出長さが、該外側壁の内径の８倍以下であることを
特徴とする前記（４）のガラス微粒子合成用バーナ。
する手段として次の（１）〜（１０）の態様を含むもの
である。 （１）中心側から順に原料ガス噴出ポート、可燃性ガス
噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、原料ガス
と可燃性ガスの噴出ポート、可燃性ガス噴出ポート及び
酸素ガス噴出ポートの組合せ、又は原料ガスと可燃性ガ
スの噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せとなる
ように構成した中心ポート群を有する同心円状多重管バ
ーナ（各ポート間には不活性ガスを噴出させるシールガ
スポートを有してもよい）において、該中心ポート群の
酸素ガス噴出ポートの外側壁が内側壁よりもバーナ先端
側に突出しており、その突出長さが該酸素ガス噴出ポー
トの間隙の３０倍以上であることを特徴とするガラス微
粒子合成用バーナ。 （２）前記中心ポート群の外側に可燃性ガス噴出ポート
及び酸素ガス噴出ポートを有する外側ポート群を設けた
ことを特徴とする前記（１）のガラス微粒子合成用バー
ナ。 （３）前記可燃性ガスが水素ガスであることを特徴とす
る前記（１）又は（２）のガラス微粒子合成用バーナ。 （４）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートの外側壁
の突出長さが、該外側壁の内径の９倍以下であることを
特徴とする前記（１）〜（３）のいずれか１つのガラス
微粒子合成用バーナ。 （５）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートの外側壁
の突出長さが、該外側壁の内径の８倍以下であることを
特徴とする前記（４）のガラス微粒子合成用バーナ。
【０００９】（６）ガラス原料ガスを火炎中で加水分解
反応又は酸化反応させる気相合成法により多孔質ガラス
体を製造する方法において、前記（１）〜（５）のいず
れか１つのガラス微粒子合成用バーナを使用し、中心ポ
ート群の酸素ガス噴出ポートから噴出させる酸素ガスの
流速が、該酸素ガス噴出ポートより内側のポートから噴
出させるガスの平均流速（内側ガスの全流量／噴出口断
面積）の１．２倍以上であることを特徴とする多孔質ガ
ラス体の製造方法。 （７）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速が、該酸素ガス噴出ポートより内
側のポートから噴出させるガスの平均流速（内側ガスの
全流量／噴出口断面積）の１．３５倍以上であることを
特徴とする前記（６）の多孔質ガラス体の製造方法。 （８）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速が３．０ｍ／ｓ以上であることを
特徴とする前記（６）又は（７）の多孔質ガラス体の製
造方法。 （９）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速が５０ｍ／ｓ以下であることを特
徴とする前記（６）〜（８）のいずれか１つの多孔質ガ
ラス体の製造方法。 （１０）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートの外側
壁の突出長さが、該外側壁の内径の８倍以下であり、か
つ、該外側壁の内側の全ガスが該外側壁の内側を通過す
る時間が５０ｍｓ（ミリ秒）以下であることを特徴とす
る前記（６）〜（９）のいずれか１つの多孔質ガラス体
の製造方法。
反応又は酸化反応させる気相合成法により多孔質ガラス
体を製造する方法において、前記（１）〜（５）のいず
れか１つのガラス微粒子合成用バーナを使用し、中心ポ
ート群の酸素ガス噴出ポートから噴出させる酸素ガスの
流速が、該酸素ガス噴出ポートより内側のポートから噴
出させるガスの平均流速（内側ガスの全流量／噴出口断
面積）の１．２倍以上であることを特徴とする多孔質ガ
ラス体の製造方法。 （７）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速が、該酸素ガス噴出ポートより内
側のポートから噴出させるガスの平均流速（内側ガスの
全流量／噴出口断面積）の１．３５倍以上であることを
特徴とする前記（６）の多孔質ガラス体の製造方法。 （８）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速が３．０ｍ／ｓ以上であることを
特徴とする前記（６）又は（７）の多孔質ガラス体の製
造方法。 （９）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートから噴出
させる酸素ガスの流速が５０ｍ／ｓ以下であることを特
徴とする前記（６）〜（８）のいずれか１つの多孔質ガ
ラス体の製造方法。 （１０）前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポートの外側
壁の突出長さが、該外側壁の内径の８倍以下であり、か
つ、該外側壁の内側の全ガスが該外側壁の内側を通過す
る時間が５０ｍｓ（ミリ秒）以下であることを特徴とす
る前記（６）〜（９）のいずれか１つの多孔質ガラス体
の製造方法。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に係るガラス微粒子合成用
バーナは、中心側から順に原料ガス噴出ポート、可燃性
ガス噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、原料
ガスと可燃性ガスの噴出ポート、可燃性ガス噴出ポート
及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、又は原料ガスと可燃
性ガスの噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せと
なるように構成した中心ポート群を有する同心円状多重
管バーナである。また、その外側に可燃性ガス噴出ポー
ト及び酸素ガス噴出ポートを有する外側ポート群を設け
た同心円状多重管バーナであってもよい。外側ポート群
の構造は特に限定されるものではなく、前記中心ポート
群の外側に、可燃性ガス噴出ポートと酸素ガス噴出ポー
トを１組以上同心円状に設けたもの、あるいは可燃性ガ
ス噴出ポート又は酸素ガス噴出ポートの一方を同心円状
に設け、その中に他方のガス噴出ポートを複数個設けた
マルチノズルバーナ形式としたもの、もしくはこれらの
組合せであってもよい。また、これらの外側ポート群に
は、必要により原料ガスを供給するポートを設けてもよ
い。これらの同心円状多重管バーナは、各ポート群にお
いて酸素ガスが内側に向かって供給されていく形態のも
のである。なお、各ポート間にはＡｒ、Ｈｅ、Ｎ2など
の不活性ガスを噴出させるシールガスポートを有しても
よい。
バーナは、中心側から順に原料ガス噴出ポート、可燃性
ガス噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、原料
ガスと可燃性ガスの噴出ポート、可燃性ガス噴出ポート
及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、又は原料ガスと可燃
性ガスの噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せと
なるように構成した中心ポート群を有する同心円状多重
管バーナである。また、その外側に可燃性ガス噴出ポー
ト及び酸素ガス噴出ポートを有する外側ポート群を設け
た同心円状多重管バーナであってもよい。外側ポート群
の構造は特に限定されるものではなく、前記中心ポート
群の外側に、可燃性ガス噴出ポートと酸素ガス噴出ポー
トを１組以上同心円状に設けたもの、あるいは可燃性ガ
ス噴出ポート又は酸素ガス噴出ポートの一方を同心円状
に設け、その中に他方のガス噴出ポートを複数個設けた
マルチノズルバーナ形式としたもの、もしくはこれらの
組合せであってもよい。また、これらの外側ポート群に
は、必要により原料ガスを供給するポートを設けてもよ
い。これらの同心円状多重管バーナは、各ポート群にお
いて酸素ガスが内側に向かって供給されていく形態のも
のである。なお、各ポート間にはＡｒ、Ｈｅ、Ｎ2など
の不活性ガスを噴出させるシールガスポートを有しても
よい。
【００１１】本発明に係るガラス微粒子合成用バーナ
は、その中心ポート群の構造に特徴を有するもので、該
ポート群において最外層となる酸素ガス噴出ポート（以
下、第１酸素ガス噴出ポートとする）の外側壁が内側壁
よりもバーナ先端側に突出した構造となっている。これ
により酸素ガスは壁面噴流となり、壁面に沿って流れな
がら内側へ拡散していく。酸素噴出方向の片面が壁面と
なっていることで、その拡散が壁面の内側方向へ効果的
に展開され、中心部の原料ガス、可燃性ガスと効率よく
拡散混合される。壁面が短いと中心側への拡散展開の効
果が十分に発揮されないので、外側壁の突出長さは第１
酸素ガス噴出ポートの間隙（外側壁内面と内側壁外面と
の間隔）の３０倍以上とする。
は、その中心ポート群の構造に特徴を有するもので、該
ポート群において最外層となる酸素ガス噴出ポート（以
下、第１酸素ガス噴出ポートとする）の外側壁が内側壁
よりもバーナ先端側に突出した構造となっている。これ
により酸素ガスは壁面噴流となり、壁面に沿って流れな
がら内側へ拡散していく。酸素噴出方向の片面が壁面と
なっていることで、その拡散が壁面の内側方向へ効果的
に展開され、中心部の原料ガス、可燃性ガスと効率よく
拡散混合される。壁面が短いと中心側への拡散展開の効
果が十分に発揮されないので、外側壁の突出長さは第１
酸素ガス噴出ポートの間隙（外側壁内面と内側壁外面と
の間隔）の３０倍以上とする。
【００１２】酸素ガスの壁面噴流による中心方向乱流拡
散の促進からは外側壁の突出長さは長い方がよいが、長
くなりすぎると壁面付近にも中心方向から原料ガス及び
ガラス微粒子が拡散し、壁面に堆積し始める。これを回
避するためには、各ポートのガスの流量にもよるが、お
およそ外側壁の突出長さは外側壁の内径の９倍以下とす
るのが望ましい。なお、このような構造とした中心ポー
ト群の外側に形成される外側ポート群は、噴出端が第１
酸素ガス噴出ポートの突出した外壁のレベルにあるもの
でよい。外側ポート群は、可燃性ガス噴出ポートと酸素
ガス噴出ポート（及び必要により不活性ガス噴出ポー
ト）からなり、ガラス微粒子堆積面を広く加熱する火炎
を形成する機能を有するものが一般的である。
散の促進からは外側壁の突出長さは長い方がよいが、長
くなりすぎると壁面付近にも中心方向から原料ガス及び
ガラス微粒子が拡散し、壁面に堆積し始める。これを回
避するためには、各ポートのガスの流量にもよるが、お
およそ外側壁の突出長さは外側壁の内径の９倍以下とす
るのが望ましい。なお、このような構造とした中心ポー
ト群の外側に形成される外側ポート群は、噴出端が第１
酸素ガス噴出ポートの突出した外壁のレベルにあるもの
でよい。外側ポート群は、可燃性ガス噴出ポートと酸素
ガス噴出ポート（及び必要により不活性ガス噴出ポー
ト）からなり、ガラス微粒子堆積面を広く加熱する火炎
を形成する機能を有するものが一般的である。
【００１３】このような構成のガラス微粒子合成用バー
ナを使用し、第１酸素ガス噴出ポートから噴出させる酸
素ガスの流速が、第１酸素ガス噴出ポートより内側のポ
ートから噴出させるガスの平均流速（内側ガスの全流量
／噴出口断面積）の１．２倍以上、好ましくは１．３５
倍以上となるように制御することにより、酸素ガスの絶
対量を増やすことなく（すなわち、温度低下を誘起して
反応効率を低下させることなく）、中心部に拡散供給さ
れる酸素量を増やすことができるようになり、高い原料
収率で多孔質ガラス体を製造することができる。第１酸
素ガス噴出ポートの酸素ガスの流速が内側のガスの平均
流速の１．２倍未満では酸素ガスが内側へ効率よく乱流
拡散する効果が得られない。原料ガスと同一ポートある
いは直近のポートから噴出させる可燃性ガスが水素ガス
であると、相対的に酸素ガスの乱流拡散係数が大きくな
るので、中心部への酸素ガスの拡散が促進され、原料の
ガラスへの反応効率増大に効果的である。
ナを使用し、第１酸素ガス噴出ポートから噴出させる酸
素ガスの流速が、第１酸素ガス噴出ポートより内側のポ
ートから噴出させるガスの平均流速（内側ガスの全流量
／噴出口断面積）の１．２倍以上、好ましくは１．３５
倍以上となるように制御することにより、酸素ガスの絶
対量を増やすことなく（すなわち、温度低下を誘起して
反応効率を低下させることなく）、中心部に拡散供給さ
れる酸素量を増やすことができるようになり、高い原料
収率で多孔質ガラス体を製造することができる。第１酸
素ガス噴出ポートの酸素ガスの流速が内側のガスの平均
流速の１．２倍未満では酸素ガスが内側へ効率よく乱流
拡散する効果が得られない。原料ガスと同一ポートある
いは直近のポートから噴出させる可燃性ガスが水素ガス
であると、相対的に酸素ガスの乱流拡散係数が大きくな
るので、中心部への酸素ガスの拡散が促進され、原料の
ガラスへの反応効率増大に効果的である。
【００１４】また、第１酸素ガス噴出ポートから噴出さ
せる酸素ガスの流速は、効率的な乱流拡散を行わせるた
めには、３．０ｍ／ｓ（ｍ／秒）以上とするのが好まし
い。しかしながら、第１酸素ガス噴出ポートのポート幅
（間隙）が狭くなり、かつ流速が速くなりすぎると酸素
ガスの中心方向への拡散がしにくくなり、また、壁面を
流れる酸素ガスが中心から拡散する原料ガスや生成した
ガラス微粒子が壁面方向へ拡散、付着するのを阻止する
力が弱くなるので、おおよその酸素ガスの流速の上限は
２０ｍ／ｓ程度とするのが好ましく、最大でも５０ｍ／
ｓとするのが好ましい。
せる酸素ガスの流速は、効率的な乱流拡散を行わせるた
めには、３．０ｍ／ｓ（ｍ／秒）以上とするのが好まし
い。しかしながら、第１酸素ガス噴出ポートのポート幅
（間隙）が狭くなり、かつ流速が速くなりすぎると酸素
ガスの中心方向への拡散がしにくくなり、また、壁面を
流れる酸素ガスが中心から拡散する原料ガスや生成した
ガラス微粒子が壁面方向へ拡散、付着するのを阻止する
力が弱くなるので、おおよその酸素ガスの流速の上限は
２０ｍ／ｓ程度とするのが好ましく、最大でも５０ｍ／
ｓとするのが好ましい。
【００１５】本発明に係るガラス微粒子合成用バーナで
は、第１酸素ガス噴出ポートの外側壁を突出させている
ため、その内側部分でのガスの滞留時間が長くなると原
料ガスが径方向に広がるので、突出部の内面にガラス微
粒子が付着し、最終的にはバーナが詰まるおそれがあ
る。そのため、外側壁の突出長さを外側壁の内径の８倍
以下とし、かつ、該外側壁の内側の全ガスが該外側壁の
内側を通過する時間を５０ｍｓ（ミリ秒）以下とするの
が好ましい。ここで外側壁の内側を通過する時間とは、
外側壁の内側（退行部内）のガスの平均流速（内部の全
ガス流量／開口部断面積）から算出される退行部内のガ
スの平均通過時間（突出長さ／平均流速）を意味する。
は、第１酸素ガス噴出ポートの外側壁を突出させている
ため、その内側部分でのガスの滞留時間が長くなると原
料ガスが径方向に広がるので、突出部の内面にガラス微
粒子が付着し、最終的にはバーナが詰まるおそれがあ
る。そのため、外側壁の突出長さを外側壁の内径の８倍
以下とし、かつ、該外側壁の内側の全ガスが該外側壁の
内側を通過する時間を５０ｍｓ（ミリ秒）以下とするの
が好ましい。ここで外側壁の内側を通過する時間とは、
外側壁の内側（退行部内）のガスの平均流速（内部の全
ガス流量／開口部断面積）から算出される退行部内のガ
スの平均通過時間（突出長さ／平均流速）を意味する。
【００１６】ガラス微粒子が効率よく生成されるために
は、原料が中心に位置し、それと同一箇所又は直近に可
燃性ガスが存在し（反応域の温度を上げる）、その反応
箇所に酸素が周囲から供給されるガス配置が好ましい。
特にこの配置形態において、酸素ガスが比較的狭い領域
より噴出されるが、その噴出口の構造が外側壁面が内側
壁面より間隙幅の３０倍以上突出した構造であること、
その酸素ガスの流速がその内側のガスの平均流速よりも
１．２倍以上速い、という２条件が満たされると、酸素
ガスが中心部に効率よく拡散供給されるようになり、中
心部での原料の酸化反応、加水分解反応が促進されて、
原料のガラスへの反応効率が格段に高まるという効果が
ある。本発明はこのような条件を満たすバーナの構造、
反応条件を主体とするものである。
は、原料が中心に位置し、それと同一箇所又は直近に可
燃性ガスが存在し（反応域の温度を上げる）、その反応
箇所に酸素が周囲から供給されるガス配置が好ましい。
特にこの配置形態において、酸素ガスが比較的狭い領域
より噴出されるが、その噴出口の構造が外側壁面が内側
壁面より間隙幅の３０倍以上突出した構造であること、
その酸素ガスの流速がその内側のガスの平均流速よりも
１．２倍以上速い、という２条件が満たされると、酸素
ガスが中心部に効率よく拡散供給されるようになり、中
心部での原料の酸化反応、加水分解反応が促進されて、
原料のガラスへの反応効率が格段に高まるという効果が
ある。本発明はこのような条件を満たすバーナの構造、
反応条件を主体とするものである。
【００１７】光ファイバ伝送領域の屈折率制御方法の一
つに、光ファイバの主成分であるＳｉＯ2 に対して適量
のＧｅＯ2 を添加する方法がある。このＧｅＯ2 の添加
は、光ファイバの前駆体である多孔質ガラス体の作製時
に、その該当部分にガラス微粒子の堆積を行うバーナに
ＳｉＯ2 の原料であるＳｉＣｌ4 に加えてＧｅＯ2 の原
料であるＧｅＣｌ4 を添加する、すなわち原料ガスとし
てＳｉＣｌ4 とＧｅＣｌ4 を同時に供給する方法が一般
的である。本発明のガラス微粒子合成用バーナ及びそれ
を用いた多孔質ガラス体の製造方法は、原料ガスとして
このような混合ガスを使用する場合に、一層効果的であ
る。
つに、光ファイバの主成分であるＳｉＯ2 に対して適量
のＧｅＯ2 を添加する方法がある。このＧｅＯ2 の添加
は、光ファイバの前駆体である多孔質ガラス体の作製時
に、その該当部分にガラス微粒子の堆積を行うバーナに
ＳｉＯ2 の原料であるＳｉＣｌ4 に加えてＧｅＯ2 の原
料であるＧｅＣｌ4 を添加する、すなわち原料ガスとし
てＳｉＣｌ4 とＧｅＣｌ4 を同時に供給する方法が一般
的である。本発明のガラス微粒子合成用バーナ及びそれ
を用いた多孔質ガラス体の製造方法は、原料ガスとして
このような混合ガスを使用する場合に、一層効果的であ
る。
【００１８】原料ポートにＳｉＣｌ4 とＧｅＣｌ4 の混
合原料が供給される場合、ＧｅＣｌ 4 の加水分解反応の
平衡定数はＳｉＣｌ4 のそれよりも大幅に小さいことか
ら、原料流近傍に拡散展開してきた酸素は主としてＳｉ
Ｃｌ4 の加水分解反応によって消費されるため、ＧｅＣ
ｌ4 の加水分解反応に対しＳｉＣｌ4 の加水分解反応が
優勢に進行することになる。このためにＧｅＣｌ4 の反
応効率は低くなり、従って所望のＧｅＯ2 濃度を得るた
めには過剰のＧｅＣｌ4 を投入する必要があった。
合原料が供給される場合、ＧｅＣｌ 4 の加水分解反応の
平衡定数はＳｉＣｌ4 のそれよりも大幅に小さいことか
ら、原料流近傍に拡散展開してきた酸素は主としてＳｉ
Ｃｌ4 の加水分解反応によって消費されるため、ＧｅＣ
ｌ4 の加水分解反応に対しＳｉＣｌ4 の加水分解反応が
優勢に進行することになる。このためにＧｅＣｌ4 の反
応効率は低くなり、従って所望のＧｅＯ2 濃度を得るた
めには過剰のＧｅＣｌ4 を投入する必要があった。
【００１９】この状態に対して、本発明のガラス微粒子
合成用バーナ及びそれを用いた多孔質ガラス体の製造方
法によれば、原料流直近の酸素ガスの中心方向への拡散
が効果的になり、従って中心部の原料展開領域により多
くの酸素ガスが供給されるようになるため、ＳｉＣｌ4
の加水分解反応はもとより、ＧｅＣｌ4 の加水分解反応
も格段に促進されるようになる。その結果、ＳｉＣｌ4
とＧｅＣｌ4 の反応効率、特にＧｅＣｌ4 の反応効率が
飛躍的に上昇するとともに、ガラス微粒子の堆積速度も
向上する効果がある。
合成用バーナ及びそれを用いた多孔質ガラス体の製造方
法によれば、原料流直近の酸素ガスの中心方向への拡散
が効果的になり、従って中心部の原料展開領域により多
くの酸素ガスが供給されるようになるため、ＳｉＣｌ4
の加水分解反応はもとより、ＧｅＣｌ4 の加水分解反応
も格段に促進されるようになる。その結果、ＳｉＣｌ4
とＧｅＣｌ4 の反応効率、特にＧｅＣｌ4 の反応効率が
飛躍的に上昇するとともに、ガラス微粒子の堆積速度も
向上する効果がある。
【００２０】
【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明の効果
を実証するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。（実施例１〜６、比較例１〜４）図１に示
すように、本発明の構造のガラス微粒子合成用のバーナ
８を使用してガラス微粒子を合成し、出発ロッド６の周
囲にガラス微粒子７を堆積させるＶＡＤ法により多孔質
ガラス体を作製した。
を実証するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。（実施例１〜６、比較例１〜４）図１に示
すように、本発明の構造のガラス微粒子合成用のバーナ
８を使用してガラス微粒子を合成し、出発ロッド６の周
囲にガラス微粒子７を堆積させるＶＡＤ法により多孔質
ガラス体を作製した。
【００２１】使用したバーナ８は同心円状１６重管バー
ナであり、その中心ポート群５は、その側面図を図２に
示すように原料ガス（ＳｉＣｌ4 ）と水素ガスを噴出さ
せる第１ポート１、水素ガスを噴出させる第２ポート
２、シールガスであるＡｒガス噴出させる第３ポート
３、及び酸素ガスを噴出させる第４ポート４（本発明に
おける第１酸素ガス噴出ポートに相当する）で構成され
ており、この中心ポート群５の外側には、さらに（Ａｒ
／Ｈ2 ／Ａｒ／Ｏ2 ）の組合せの火炎を形成する外側ポ
ート群が３層設けられている。
ナであり、その中心ポート群５は、その側面図を図２に
示すように原料ガス（ＳｉＣｌ4 ）と水素ガスを噴出さ
せる第１ポート１、水素ガスを噴出させる第２ポート
２、シールガスであるＡｒガス噴出させる第３ポート
３、及び酸素ガスを噴出させる第４ポート４（本発明に
おける第１酸素ガス噴出ポートに相当する）で構成され
ており、この中心ポート群５の外側には、さらに（Ａｒ
／Ｈ2 ／Ａｒ／Ｏ2 ）の組合せの火炎を形成する外側ポ
ート群が３層設けられている。
【００２２】バーナ８において第１酸素ガス噴出ポート
である第４ポート４は内径２０ｍｍ、外径２５ｍｍを標
準とし、表１及び２に示すように第４ポートの間隙（図
２のｂ0 ）、第４ポート外壁の内径（第４ポートの外
径）、突出長さ（図２のａ）を変えたものを使用した。
出発ロッド６として直径３０ｍｍのものを使用し、表１
及び２に示す条件でガラス微粒子を堆積させ、直径２０
０ｍｍのガラス多孔質体とした。第４ポートの形状、酸
素ガス流量等の条件を変化させた際には、ガラス微粒子
堆積面の温度、ガラス多孔質体の直径等が目標の一定値
を保つように外側火炎（主に水素流量）を調整した。製
造条件及び製造結果（原料収率）を表１（実施例）及び
表２（比較例）に示す。ここで原料収率は、堆積したガ
ラス微粒子の重量をＣ、供給したガラス原料が全てガラ
ス微粒子となった場合のガラス微粒子の重量（理論生成
量）をＢとした場合に、（Ｃ／Ｂ）×１００（％）で表
される値である。なお、ガラス原料であるＳｉＣｌ4 の
供給量がＡである場合、ガラス微粒子の理論生成量Ｂ
は、Ｂ≒（Ａ／１７０）×６０となる。
である第４ポート４は内径２０ｍｍ、外径２５ｍｍを標
準とし、表１及び２に示すように第４ポートの間隙（図
２のｂ0 ）、第４ポート外壁の内径（第４ポートの外
径）、突出長さ（図２のａ）を変えたものを使用した。
出発ロッド６として直径３０ｍｍのものを使用し、表１
及び２に示す条件でガラス微粒子を堆積させ、直径２０
０ｍｍのガラス多孔質体とした。第４ポートの形状、酸
素ガス流量等の条件を変化させた際には、ガラス微粒子
堆積面の温度、ガラス多孔質体の直径等が目標の一定値
を保つように外側火炎（主に水素流量）を調整した。製
造条件及び製造結果（原料収率）を表１（実施例）及び
表２（比較例）に示す。ここで原料収率は、堆積したガ
ラス微粒子の重量をＣ、供給したガラス原料が全てガラ
ス微粒子となった場合のガラス微粒子の重量（理論生成
量）をＢとした場合に、（Ｃ／Ｂ）×１００（％）で表
される値である。なお、ガラス原料であるＳｉＣｌ4 の
供給量がＡである場合、ガラス微粒子の理論生成量Ｂ
は、Ｂ≒（Ａ／１７０）×６０となる。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】表１及び２から明らかなように、本発明の
ガラス微粒子合成用バーナを使用し、本発明の製造方法
によって作製した実施例１〜６の多孔質ガラス体では、
原料収率が５３〜５９％と良好であった。これに対し、
第４ポート流速／第１〜３ポート平均流速が１．１６で
ある比較例１では、原料収率が３８％であった。これは
第１〜３ポートの流速に対して第４ポートの流速が十分
に速くなっていないので、中心方向への酸素の乱流拡散
が効率的に起こらなかったためと考えられる。また、第
４ポートの流速が第１〜３ポートの流速より遅い比較例
４では、原料収率は４９％であったが、中心部の流速の
方が速いため、酸素の中心方向への拡散よりも原料の周
辺方向への拡散が支配的となり、ガラス微粒子の堆積中
に第４ポートの突出部の内壁にガラス微粒子が付着し始
め、最終的にはバーナが閉塞するトラブルが発生した。
ガラス微粒子合成用バーナを使用し、本発明の製造方法
によって作製した実施例１〜６の多孔質ガラス体では、
原料収率が５３〜５９％と良好であった。これに対し、
第４ポート流速／第１〜３ポート平均流速が１．１６で
ある比較例１では、原料収率が３８％であった。これは
第１〜３ポートの流速に対して第４ポートの流速が十分
に速くなっていないので、中心方向への酸素の乱流拡散
が効率的に起こらなかったためと考えられる。また、第
４ポートの流速が第１〜３ポートの流速より遅い比較例
４では、原料収率は４９％であったが、中心部の流速の
方が速いため、酸素の中心方向への拡散よりも原料の周
辺方向への拡散が支配的となり、ガラス微粒子の堆積中
に第４ポートの突出部の内壁にガラス微粒子が付着し始
め、最終的にはバーナが閉塞するトラブルが発生した。
【００２６】さらに、第４ポート外壁の突出長さが第４
ポートの間隙に対して十分に大きくない比較例２では、
酸素の中心方向への乱流拡散が進まないうちに、流束が
開放されてしまうため、原料収率は４２％と低かった。
また、逆に第４ポート外壁の突出長さが第４ポートの間
隙に対して大きすぎる比較例３では、ガラス微粒子の堆
積中に第４ポートの突出部の内壁にガラス微粒子が付着
し始め、最終的にはバーナが閉塞するトラブルが生じて
しまい、原料収率も４８％であった。
ポートの間隙に対して十分に大きくない比較例２では、
酸素の中心方向への乱流拡散が進まないうちに、流束が
開放されてしまうため、原料収率は４２％と低かった。
また、逆に第４ポート外壁の突出長さが第４ポートの間
隙に対して大きすぎる比較例３では、ガラス微粒子の堆
積中に第４ポートの突出部の内壁にガラス微粒子が付着
し始め、最終的にはバーナが閉塞するトラブルが生じて
しまい、原料収率も４８％であった。
【００２７】（実施例７、比較例５〜６）本発明の構造
のガラス微粒子合成用バーナを使用してガラス微粒子を
合成し、出発ロッド一端から順次ガラス微粒子を堆積さ
せるＶＡＤ法により多孔質ガラス体を作製した。焼結体
における屈折率分布は、中心部から外周部にかけて径に
対して２乗で減少するＧＩ型となるようにした。
のガラス微粒子合成用バーナを使用してガラス微粒子を
合成し、出発ロッド一端から順次ガラス微粒子を堆積さ
せるＶＡＤ法により多孔質ガラス体を作製した。焼結体
における屈折率分布は、中心部から外周部にかけて径に
対して２乗で減少するＧＩ型となるようにした。
【００２８】使用したバーナは同心円状８重管バーナで
あり、その中心ポート群は、その側面図を図２に示すよ
うに原料ガス（ＳｉＣｌ4 及びＧｅＣｌ4 ）と水素ガス
を噴出させる第１ポート１、水素ガスを噴出させる第２
ポート２、シールガスであるＡｒガスを噴出させる第３
ポート３、及び酸素ガスを噴出させる第４ポート４（本
発明における第１酸素ガス噴出ポートに相当する）で構
成されており、この中心ポート群５の外側には、さらに
（Ａｒ／Ｈ2 ／Ａｒ／Ｏ2 ）の組合せの火炎を形成する
外側ポート群が１組設けられている。
あり、その中心ポート群は、その側面図を図２に示すよ
うに原料ガス（ＳｉＣｌ4 及びＧｅＣｌ4 ）と水素ガス
を噴出させる第１ポート１、水素ガスを噴出させる第２
ポート２、シールガスであるＡｒガスを噴出させる第３
ポート３、及び酸素ガスを噴出させる第４ポート４（本
発明における第１酸素ガス噴出ポートに相当する）で構
成されており、この中心ポート群５の外側には、さらに
（Ａｒ／Ｈ2 ／Ａｒ／Ｏ2 ）の組合せの火炎を形成する
外側ポート群が１組設けられている。
【００２９】図４に示すように出発ロッド６として直径
２０ｍｍのものを使用し、その端部から表３に示す条件
でバーナ８で合成されるガラス微粒子７を堆積させ、直
径１３０ｍｍのガラス多孔質体を作製した。用いたバー
ナの主要部の構成と製造条件及び製造結果（原料収率）
を表３に示す。第４ポートの突出長さ（図２のａ）、第
４ポートの間隙（図２のｂ0 ）、酸素ガス流量等の条件
を変化させた際には、ガラス微粒子堆積面の温度、ガラ
ス多孔質体の直径等が目標の一定値を保つように外側ポ
ート群による火炎（主に水素流量）を調整した。
２０ｍｍのものを使用し、その端部から表３に示す条件
でバーナ８で合成されるガラス微粒子７を堆積させ、直
径１３０ｍｍのガラス多孔質体を作製した。用いたバー
ナの主要部の構成と製造条件及び製造結果（原料収率）
を表３に示す。第４ポートの突出長さ（図２のａ）、第
４ポートの間隙（図２のｂ0 ）、酸素ガス流量等の条件
を変化させた際には、ガラス微粒子堆積面の温度、ガラ
ス多孔質体の直径等が目標の一定値を保つように外側ポ
ート群による火炎（主に水素流量）を調整した。
【００３０】
【表３】
【００３１】表３から明らかなように、実施例７では原
料収率がＳｉＣｌ4 で７３％、ＧｅＣｌ4 で４９％と良
好な結果が得られたが、比較例５ではＳｉＣｌ4 で５０
％、ＧｅＣｌ4 で３４％、比較例６ではＳｉＣｌ4 で５
２％、ＧｅＣｌ4 で４０％と低下した。これは実施例７
では第４ポートの突出長さ及び間隙、原料流量条件等が
最適化されているのに対し、比較例５では第４ポートの
間隙が広すぎて酸素ガスの流速が遅くなり、酸素ガスの
中心方向への拡散十分に生じない条件となっていたため
と考えられ、また、比較例６では第４ポートの突出長さ
が短いので、酸素ガスの中心方向への乱流拡散が進まな
いうちに流束が解放されてしまうため原料収率が低下し
たものと考えられる。
料収率がＳｉＣｌ4 で７３％、ＧｅＣｌ4 で４９％と良
好な結果が得られたが、比較例５ではＳｉＣｌ4 で５０
％、ＧｅＣｌ4 で３４％、比較例６ではＳｉＣｌ4 で５
２％、ＧｅＣｌ4 で４０％と低下した。これは実施例７
では第４ポートの突出長さ及び間隙、原料流量条件等が
最適化されているのに対し、比較例５では第４ポートの
間隙が広すぎて酸素ガスの流速が遅くなり、酸素ガスの
中心方向への拡散十分に生じない条件となっていたため
と考えられ、また、比較例６では第４ポートの突出長さ
が短いので、酸素ガスの中心方向への乱流拡散が進まな
いうちに流束が解放されてしまうため原料収率が低下し
たものと考えられる。
【００３２】
【発明の効果】本発明のガラス微粒子合成用バーナを使
用し、第１酸素ガス噴出ポートの外側壁面を内側壁面よ
り延ばして酸素ガスを中心方向に向かう壁面噴流とし、
第１酸素ガス噴出ポートから噴出させる酸素ガスの流速
と、第１酸素ガス噴出ポートより内側のポートから噴出
させるガスの平均流速の比率を適切な範囲内に制御する
ことにより、原料と酸水素ガスの混合効率を高めること
ができ、作製の容易な同心円状多重管バーナにより、酸
素ガスの絶対量を増やすことなく（すなわち、温度低下
を誘起して反応効率を低下させることなく）、中心部に
拡散供給される酸素量を増やすことができるようにな
り、高い原料収率で多孔質ガラス体を製造することがで
きる。本発明は、ＳｉＣｌ4 にＧｅＣｌ4 を添加した混
合原料を使用する場合に、特に効果的である。
用し、第１酸素ガス噴出ポートの外側壁面を内側壁面よ
り延ばして酸素ガスを中心方向に向かう壁面噴流とし、
第１酸素ガス噴出ポートから噴出させる酸素ガスの流速
と、第１酸素ガス噴出ポートより内側のポートから噴出
させるガスの平均流速の比率を適切な範囲内に制御する
ことにより、原料と酸水素ガスの混合効率を高めること
ができ、作製の容易な同心円状多重管バーナにより、酸
素ガスの絶対量を増やすことなく（すなわち、温度低下
を誘起して反応効率を低下させることなく）、中心部に
拡散供給される酸素量を増やすことができるようにな
り、高い原料収率で多孔質ガラス体を製造することがで
きる。本発明は、ＳｉＣｌ4 にＧｅＣｌ4 を添加した混
合原料を使用する場合に、特に効果的である。
【図１】実施例における多孔質ガラス体の作製状況を示
す模式図。
す模式図。
【図２】実施例で使用したバーナの中心ポート群の構造
を示す概略断面図。
を示す概略断面図。
【図３】バーナ内での原料のガラス化反応の状況を模式
的に示す示す説明図。
的に示す示す説明図。
【図４】実施例７におけるガラス微粒子堆積状況を示す
模式図。
模式図。
１〜４ 第１〜第４ポート ５ 中心ポート群 ６
出発ロッド ７ ガラス微粒子 ８ バーナ ９ 原料・可燃性
ガス １０ 可燃性ガス １１ シールガス １２ 酸素
ガス １３ 反応領域 １４ 原料ガス・可燃性ガス展開領
域 １５ 酸素ガス展開領域 １６ バーナ
出発ロッド ７ ガラス微粒子 ８ バーナ ９ 原料・可燃性
ガス １０ 可燃性ガス １１ シールガス １２ 酸素
ガス １３ 反応領域 １４ 原料ガス・可燃性ガス展開領
域 １５ 酸素ガス展開領域 １６ バーナ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤池 暢哉 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 相川 晴彦 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 松尾 尚 大阪府大阪市此花区島屋１丁目１番３号 住友電気工業株式会社大阪製作所内 (72)発明者 中村 元宣 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 Ｆターム(参考） 4G014 AH16 4G021 EA03 EB15
Claims (10)
- 【請求項１】 中心側から順に原料ガス噴出ポート、可
燃性ガス噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、
原料ガスと可燃性ガスの噴出ポート、可燃性ガス噴出ポ
ート及び酸素ガス噴出ポートの組合せ、又は原料ガスと
可燃性ガスの噴出ポート及び酸素ガス噴出ポートの組合
せとなるように構成した中心ポート群を有する同心円状
多重管バーナ（各ポート間には不活性ガスを噴出させる
シールガスポートを有してもよい）において、該中心ポ
ート群の酸素ガス噴出ポートの外側壁が内側壁よりもバ
ーナ先端側に突出しており、その突出長さが該酸素ガス
噴出ポートの間隙の３０倍以上であることを特徴とする
ガラス微粒子合成用バーナ。 - 【請求項２】 前記中心ポート群の外側に可燃性ガス噴
出ポート及び酸素ガス噴出ポートを有する外側ポート群
を設けたことを特徴とする請求項１に記載のガラス微粒
子合成用バーナ。 - 【請求項３】 前記可燃性ガスが水素ガスであることを
特徴とする請求項１又は２に記載のガラス微粒子合成用
バーナ。 - 【請求項４】 前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポート
の外側壁の突出長さが、該外側壁の内径の９倍以下であ
ることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載
のガラス微粒子合成用バーナ。 - 【請求項５】 前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポート
の外側壁の突出長さが、該外側壁の内径の８倍以下であ
ることを特徴とする請求項４に記載のガラス微粒子合成
用バーナ。 - 【請求項６】 ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応
又は酸化反応させる気相合成法により多孔質ガラス体を
製造する方法において、請求項１〜５のいずれか１項に
記載のガラス微粒子合成用バーナを使用し、中心ポート
群の酸素ガス噴出ポートから噴出させる酸素ガスの流速
が、該酸素ガス噴出ポートより内側のポートから噴出さ
せるガスの平均流速（内側ガスの全流量／噴出口断面
積）の１．２倍以上であることを特徴とする多孔質ガラ
ス体の製造方法。 - 【請求項７】 前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポート
から噴出させる酸素ガスの流速が、該酸素ガス噴出ポー
トより内側のポートから噴出させるガスの平均流速（内
側ガスの全流量／噴出口断面積）の１．３５倍以上であ
ることを特徴とする請求項６に記載の多孔質ガラス体の
製造方法。 - 【請求項８】 前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポート
から噴出させる酸素ガスの流速が３．０ｍ／ｓ以上であ
ることを特徴とする請求項６又は７に記載の多孔質ガラ
ス体の製造方法。 - 【請求項９】 前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポート
から噴出させる酸素ガスの流速が５０ｍ／ｓ以下である
ことを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の
多孔質ガラス体の製造方法。 - 【請求項１０】 前記中心ポート群の酸素ガス噴出ポー
トの外側壁の突出長さが、該外側壁の内径の８倍以下で
あり、かつ、該外側壁の内側の全ガスが該外側壁の内側
を通過する時間が５０ｍｓ（ミリ秒）以下であることを
特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載の多孔質
ガラス体の製造方法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001236248A JP3705169B2 (ja) | 2000-09-14 | 2001-08-03 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
| AU72054/01A AU776420B2 (en) | 2000-09-14 | 2001-09-13 | Burner for synthesizing glass particles and method for producing porous glass body |
| GB0122277A GB2368387B (en) | 2000-09-14 | 2001-09-14 | Burner for synthesizing glass particles and method for producing porous glass body |
| DE10145474A DE10145474B4 (de) | 2000-09-14 | 2001-09-14 | Brenner zur Synthese von Glasteilchen sowie Verfahren zur Herstellung poröser Glaskörper |
| KR1020010056812A KR100567155B1 (ko) | 2000-09-14 | 2001-09-14 | 유리 입자 합성용 버너 및 다공질 유리체의 제조방법 |
| US09/952,502 US6725690B2 (en) | 2000-09-14 | 2001-09-14 | Burner for synthesizing glass particles and method for producing porous glass body |
| CNB011330279A CN100473618C (zh) | 2000-09-14 | 2001-09-14 | 合成玻璃颗粒的燃烧器以及制造多孔玻璃体的方法 |
| US10/791,826 US7143608B2 (en) | 2000-09-14 | 2004-03-04 | Burner for synthesizing glass particles and method for producing porous glass body |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000279550 | 2000-09-14 | ||
| JP2000-279550 | 2000-09-14 | ||
| JP2001236248A JP3705169B2 (ja) | 2000-09-14 | 2001-08-03 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002160926A true JP2002160926A (ja) | 2002-06-04 |
| JP3705169B2 JP3705169B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=26599973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001236248A Expired - Lifetime JP3705169B2 (ja) | 2000-09-14 | 2001-08-03 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6725690B2 (ja) |
| JP (1) | JP3705169B2 (ja) |
| KR (1) | KR100567155B1 (ja) |
| CN (1) | CN100473618C (ja) |
| AU (1) | AU776420B2 (ja) |
| DE (1) | DE10145474B4 (ja) |
| GB (1) | GB2368387B (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005005331A1 (ja) * | 2003-07-10 | 2005-01-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP2012066998A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-04-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス微粒子合成用バーナ及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| WO2013047834A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
| JP2013082601A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-05-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
| JP2013147371A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法 |
| JP2013166686A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-08-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
| JP2013166685A (ja) * | 2012-01-05 | 2013-08-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7299659B2 (en) * | 2000-12-19 | 2007-11-27 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Method for manufacturing optical fiber preforms |
| JP2003226543A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-12 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材の製造方法およびこれを用いた光ファイバ母材製造用バーナ装置 |
| JP2004035365A (ja) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | Fujikura Ltd | 多重管バーナおよびこれを用いたガラス体の製造方法 |
| CN1273399C (zh) * | 2002-10-23 | 2006-09-06 | 株式会社神户制钢所 | 设置气流挡板的光纤母材制造装置 |
| JP5229957B2 (ja) * | 2008-02-27 | 2013-07-03 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材製造用バーナ |
| KR101035437B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 유리 모재 제조용 버너 |
| JP4809401B2 (ja) * | 2008-07-18 | 2011-11-09 | 信越化学工業株式会社 | 石英ガラスの製造方法及び装置 |
| US8567214B2 (en) * | 2010-06-28 | 2013-10-29 | Asahi Glass Company, Limited | Method for producing glass body and method for producing optical member for EUV lithography |
| JP2015093816A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス母材の製造方法 |
| CN104086080B (zh) * | 2014-07-17 | 2017-02-15 | 江苏亨通光导新材料有限公司 | 沉积装置、提高光纤预制棒疏松体密度的方法 |
| JP6874761B2 (ja) * | 2016-04-26 | 2021-05-19 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子の合成方法 |
| JPWO2019044805A1 (ja) * | 2017-08-29 | 2020-10-01 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法、ガラス母材の製造方法及びガラス母材 |
| US20220098084A1 (en) * | 2020-05-20 | 2022-03-31 | Corning Incorporated | Methods for increasing deposition in a flame hydrolysis deposition process |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61183140A (ja) | 1985-02-12 | 1986-08-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光フアイバ母材の製造方法 |
| CA1284921C (en) * | 1984-02-27 | 1991-06-18 | Hiroyuki Suda | Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform |
| JPH0667764B2 (ja) * | 1985-05-27 | 1994-08-31 | 古河電気工業株式会社 | ガラス微粒子生成用バ−ナ |
| JPS62187135A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-15 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス微粒子合成用ト−チ |
| JPH0712954B2 (ja) | 1986-08-27 | 1995-02-15 | 住友電気工業株式会社 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
| JP3176949B2 (ja) | 1991-04-10 | 2001-06-18 | 東ソー株式会社 | シリカ多孔質母材の製造方法 |
| JPH06247722A (ja) | 1993-02-24 | 1994-09-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
| GB2346683A (en) * | 1999-02-05 | 2000-08-16 | Univ Glasgow | Flame hydrolysis deposition burner |
-
2001
- 2001-08-03 JP JP2001236248A patent/JP3705169B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-13 AU AU72054/01A patent/AU776420B2/en not_active Ceased
- 2001-09-14 CN CNB011330279A patent/CN100473618C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-14 US US09/952,502 patent/US6725690B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-14 KR KR1020010056812A patent/KR100567155B1/ko active IP Right Grant
- 2001-09-14 DE DE10145474A patent/DE10145474B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-14 GB GB0122277A patent/GB2368387B/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-03-04 US US10/791,826 patent/US7143608B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005005331A1 (ja) * | 2003-07-10 | 2005-01-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材の製造方法 |
| CN100412015C (zh) * | 2003-07-10 | 2008-08-20 | 信越化学工业株式会社 | 光纤母材的制造方法 |
| JP2012066998A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-04-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス微粒子合成用バーナ及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| WO2013047834A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
| JP2013082601A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-05-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
| JP2013166686A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-08-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
| US9630872B2 (en) | 2011-09-29 | 2017-04-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for manufacturing glass-fine-particle-deposited body and method for manufacturing glass base material |
| US10604439B2 (en) | 2011-09-29 | 2020-03-31 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for manufacturing glass-fine-particle-deposited body and method for manufacturing glass base material |
| JP2013166685A (ja) * | 2012-01-05 | 2013-08-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体及びガラス母材の製造方法 |
| JP2013147371A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10145474A1 (de) | 2002-03-28 |
| GB0122277D0 (en) | 2001-11-07 |
| GB2368387B (en) | 2005-03-02 |
| GB2368387A (en) | 2002-05-01 |
| DE10145474B4 (de) | 2006-05-04 |
| CN1343638A (zh) | 2002-04-10 |
| US20020062659A1 (en) | 2002-05-30 |
| US7143608B2 (en) | 2006-12-05 |
| CN100473618C (zh) | 2009-04-01 |
| US20040168472A1 (en) | 2004-09-02 |
| AU7205401A (en) | 2002-03-21 |
| JP3705169B2 (ja) | 2005-10-12 |
| KR20020021364A (ko) | 2002-03-20 |
| US6725690B2 (en) | 2004-04-27 |
| AU776420B2 (en) | 2004-09-09 |
| KR100567155B1 (ko) | 2006-04-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002160926A (ja) | ガラス微粒子合成用バーナ及び多孔質ガラス体の製造方法 | |
| JP3997361B2 (ja) | 石英ガラスブランクの製造方法のために適した装置 | |
| US9032761B2 (en) | Porous glass matrix producing burner and porous glass matrix producing method | |
| JP2003226544A (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| US8567218B2 (en) | Burner for chemical vapour deposition of glass | |
| JP4241173B2 (ja) | 多孔質ガラス微粒子堆積体の製造法及び前記製造法に用いられるガラス合成用バーナ | |
| JP2003226543A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法およびこれを用いた光ファイバ母材製造用バーナ装置 | |
| JP2007076957A (ja) | ガラス合成用バーナ及び該バーナを用いたガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JPH09100133A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH1179774A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP2004269334A (ja) | ガラス微粒子合成用バーナ及び光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| JP4097982B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| JPS6172645A (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| JPH0627624Y2 (ja) | 光フアイバ母材製造用バ−ナ | |
| JP2002160934A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および該製造方法に用いるバーナー | |
| JPH09188522A (ja) | ガラス微粒子合成用トーチ | |
| JP2003212560A (ja) | ガラス微粒子堆積体製造方法 | |
| JPH06199534A (ja) | 分散シフトファイバ用母材の製造方法 | |
| JP4185304B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| JPH06219764A (ja) | 分散シフトファイバ用母材の製造方法 | |
| JPH09227148A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバ母材製造用バーナ | |
| JPH04243929A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JPS63159234A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS6131325A (ja) | 光学ガラス微粒子生成用多重管バ−ナにおけるガス供給方法 | |
| JP2005179077A (ja) | 多孔質母材の製造方法とその製造装置、およびこの多孔質母材の製造方法を用いて製造された合成石英ガラス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040827 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041221 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050221 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050705 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050718 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3705169 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080805 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090805 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090805 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110805 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120805 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130805 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |