JP2004035365A - 多重管バーナおよびこれを用いたガラス体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス体の製造に用いられるガスの噴出口をなす複数のノズルが多重に設けられた多重管バーナにおいて、多重管バーナの最外層ノズルの外周の長手方向中心軸と、多重管バーナを構成する最外層ノズル以外のノズルの先端部とのなす角度が90°±3°以下である多重管バーナ。多重管バーナの最外層ノズルの外周の中心軸と、最外層ノズルよりも内側のノズルの内周または外周の中心軸との距離が0.20mm以下である多重管バーナ。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、多重管バーナおよびこれを用いたガラス体の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ガラス体、特に光ファイバ母材の製造方法としては、バーナからガラス原料ガスを、添加ガス、可燃性ガス、支燃性ガスなどとともに噴出し、ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応させてガラス微粒子(スート)を合成し、出発部材の外周部および下端部にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス体を得て、これを電気炉中で焼結し、透明ガラス化し光ファイバ母材を得るVAD法(Vapor Phase Axial Deposition method)や、OVD法(Outside Vapor Phase Deposition method)がある。
【0003】
ここで用いられるバーナは、ガラス微粒子の合成に用いられる各種ガスの噴出口が同心円状に複数設けられた多重管バーナや、同心円状に設けられた複数の可燃性ガスなどの噴出口の間に、複数の支燃性ガスの噴出口が設けられたマルチノズル型バーナなどである。これらのバーナは、不純物混入を避けるために、一般的に石英ガラスで形成されているものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のバーナを用いて、多数のガラス体を連続的に製造すると、時間の経過に伴って、ガラス微粒子の付着などによるバーナ先端部の汚れや、バーナ先端部の削れなどが生じることがあった。このようなバーナ先端部における不具合が生じると、ガラス微粒子の堆積効率が低下し、安定した品質のガラス体が得られなかった。具体的には、ガラス体の製造数が増えるにしたがって、同一の製造条件によって得られるガラス体の外径が次第に細くなるという問題があった。
ここで、ガラス微粒子の堆積効率とは、使用したガラス原料ガスが、全て化学反応によってガラス微粒子に変化したと仮定したときに、ガラス微粒子の総量に対する出発部材に堆積されたガラス微粒子の総量の割合で定義するものである。
【0005】
ガラス体の外径が次第に細くなると、VAD法によるものでは、目的とする波長分散値や目標延伸径が得られず、OVD法によるものでは、目的とする波長分散値やモードフィールド径などを示さなかった。また、多孔質ガラス体の外径が次第に細くなると、そのかさ密度が変化し、多孔質ガラス体が製造途中で崩壊することがあった。このような現象が生じると、最終的に得られる光ファイバ母材の歩留まりが低下する。
【0006】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、ガラス体の製造において、その外径変化を抑制し、安定した品質のものを連続的に製造することができる多重管バーナおよびこれを用いたガラス体の製造方法を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、ガラス体の製造に用いられるガスの噴出口をなす複数のノズルが多重に設けられた多重管バーナにおいて、前記多重管バーナの最外層ノズルの外周の長手方向中心軸と、前記多重管バーナを構成する前記最外層ノズル以外のノズルの先端部とのなす角度が90°±3°以下である多重管バーナによって解決できる。
前記課題は、ガラス体の製造に用いられるガスの噴出口をなす複数のノズルが多重に設けられた多重管バーナにおいて、前記多重管バーナの最外層ノズルの外周の中心軸と、該最外層ノズルよりも内側のノズルの内周または外周の中心軸との距離が0.20mm以下である多重管バーナによって解決できる。
前記課題は、上記多重管バーナで合成されたガラス微粒子を出発部材の外周部および下端部に堆積させ、堆積直後もしくは多孔質ガラス体製造後に高温処理し、ガラス体を得るガラス体の製造方法によって解決できる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図1は、本発明の多重管バーナの一例を示し、図1(a)は多重管バーナの先端部を示す平面図、図1(b)は図1(a)のA―Aにおける概略断面図である。
この例の多重管バーナ10では、その先端部において、そのほぼ中心に第1のノズル1が設けられ、この第1のノズル1の周囲に第2のノズル2が設けられ、以下、同様に、第3のノズル3、第4のノズル4および第5のノズル5が設けられている。
また、第1のノズル1が第1の噴出口11をなし、第1のノズル1と第2のノズル2の間の部分が第2の噴出口12をなし、第2のノズル2と第3のノズル3の間の部分が第3の噴出口13をなし、第3のノズル3と第4のノズル4の間の部分が第4の噴出口14をなし、第4のノズル4と第5のノズル5の間の部分が第5の噴出口15をなしている。
【0009】
さらに、第1のノズル1には第1のガス供給口21が接続され、第2のノズル2には第2のガス供給口22が接続され、第3のノズル3には第3のガス供給口23が接続され、第4のノズル4には第4のガス供給口24が接続され、第5のノズル5には第5のガス供給口25が接続されている。
【0010】
次に、本発明の多重管バーナの第1の実施形態について説明する。
ここでは、説明を簡略にするために、多重管バーナとして、図2に示すような2つのノズルからなるバーナを例示する。
この例の多重管バーナ30は、内側ノズル31と、最外層ノズル32とから概略構成され、最外層ノズル32の外周32aの長手方向の中心軸B―Bと、内側ノズル31の先端部31cとのなす角度αが90°±3°以下、すなわち、87°〜93°の範囲となっている。角度αが、この範囲内であれば、この多重管バーナを用いたガラス体の製造において、その外径変化を抑制し、多数の安定した品質のガラス体を連続的に製造することができる。
【0011】
次に、本発明の多重管バーナの第2の実施形態について説明する。
ここでも、説明を簡略にするために、多重管バーナとして、図3に示すような2つのノズルからなるバーナを例示する。
この例の多重管バーナ30は、内側ノズル31と、最外層ノズル32とから概略構成され、最外層ノズル32の外周32aの長手方向の中心軸B―Bと、内側ノズル31の外周31aの長手方向の中心軸C―Cとの距離D、および、最外層ノズル32の外周32aの短手方向の中心軸B´―B´と、内側ノズル31の外周31aの短手方向の中心軸C´―C´との距離dが0.20mm以下となっている。
また、中心軸C―Cが内側ノズル31の内周31bの長手方向の中心軸、中心軸C´―C´が内側ノズル31の内周31bの短手方向の中心軸である場合も、中心軸B―Bと中心軸C―Cとの距離Dおよび中心軸B´―B´と中心軸C´―C´との距離dが0.20mm以下となっている。
【0012】
上記距離Dおよび距離dが、この範囲内であれば、この多重管バーナを用いたガラス体の製造において、その外径変化を抑制し、多数の安定した品質のガラス体を連続的に製造することができる。
【0013】
以下、図1を用いて、本発明のガラス体の製造方法を説明する。
本発明のガラス体の製造方法では、まず、その軸周りに回転する出発部材の外周部および下端部に、例えば、多重管バーナ10の第1の噴出口11からガラス原料ガスのSiCl4を供給し、第2の噴出口12から不活性ガスのアルゴンガスを供給し、第3の噴出口13から可燃性ガスの水素ガスを供給し、第4の噴出口14から不活性ガスのアルゴンガスを供給し、第5の噴出口15から支燃性ガスの酸素ガスを供給し、バーナ10の火炎中における加水分解反応により、ガラス微粒子を合成し、このガラス微粒子を出発部材の外周部および下端部に堆積し、多孔質ガラス体を得る。この多孔質ガラス体を堆積直後もしくは多孔質ガラス体製造直後に高温処理し、ガラス体を得る。
【0014】
本発明のガラス体の製造方法によれば、本発明の多重管バーナを用いて、ガラス微粒子を出発部材の外周部および下端部に堆積するから、ガラス体の外径変化を抑制し、同一の製造条件によって、多数の安定した品質のガラス体を連続的に製造することができる。したがって、本発明のガラス体の製造方法で得られたガラス体は、目的とする特性値を示す、安定した品質のものとなる。よって、ガラス体の歩留まりが向上する。さらに、ガラス化前の多孔質ガラス体の製造中に、多孔質ガラス体が崩壊するという不具合も生じなくなる。
【0015】
以下、図1を用いて具体的な実施例を示し、本発明の効果を明らかにする。
なお、以下に示す実施例をもって本発明が限定されるものでもない。
(実施例1)
円柱形の出発部材を鉛直に懸下し、その軸周りに回転させ、図1に示した多重管バーナ10から、出発部材の下端部にSiO2ガラス微粒子を堆積成長させて、多孔質ガラス体を製造し、高温でガラス化し、ガラス体を100本連続製造した。このとき、多孔質ガラス体の製造に用いられる各種ガスを、それぞれのガス供給源(図示略)から、それぞれのガス供給口へ供給した。第1の供給口21にはガラス原料ガスのSiCl4を、流量6.0(SLM)で供給し、第2の供給口22には不活性ガスのアルゴンガスを、流量1.0(SLM)で供給し、第3の供給口23には可燃性ガスの水素ガスを、流量9.0(SLM)で供給し、第4の供給口24には不活性ガスのアルゴンガスを、流量5.0(SLM)で供給し、第5の供給口25には支燃性ガスの酸素ガスを、流量35.0(SLM)で供給した。
また、図1に示した多重管バーナ10において、第1のノズル1の内径を7.0mm、第1のノズル1の外径を9.0mm、第2のノズル2の内径を16.0mm、第2のノズル2の外径を18.0mm、第3のノズル3の内径を22.0mm、第3のノズル3の外径を24.0mm、第4のノズル4の内径を28.0mm、第4のノズル4の外径を30.0mm、第5のノズル5の内径を34.0mm、第5のノズル5の外径を36.0mmとした。
さらに、最外層の第5のノズル5の外周の長手方向中心軸と、第3のノズル3の先端部とのなす角度の最大値を90°±2.8°とした。
【0016】
(実施例2)
図1に示した多重管バーナ10において、最外層の第5のノズル5の外周の長手方向中心軸と、第2のノズル2の外周の長手方向中心軸との距離を0.18mmとした以外は実施例1と同様にして、ガラス体を100本連続製造した。
【0017】
(比較例1)
図1に示した多重管バーナ10において、最外層の第5のノズル5の外周の長手方向中心軸と、第3のノズル3の先端部とのなす角度の最大値を90°±3.3°とした以外は実施例1と同様にして、ガラス体を100本連続製造した。
(比較例2)
図1に示した多重管バーナ10において、最外層の第5のノズル5の外周の長手方向中心軸と、第2のノズル2の外周の長手方向中心軸との距離を0.31mmとした以外は実施例1と同様にして、ガラス体を100本連続製造した。
【0018】
図4は、実施例1の多重管バーナまたは比較例1の多重管バーナを用いて、ガラス体を100本連続製造したときの、ガラス体の外径変化を示すグラフである。
図4の結果から、実施例1の多重管バーナを用いてガラス体を100本製造した場合、100本目のガラス体の外径は、1本目のガラス体の外径の97%以上であることが確認された。一方、比較例1の多重管バーナを用いてガラス体を100本製造した場合、100本目のガラス体の外径は、1本目のガラス体の外径の94%以下であることが確認された。また、比較例1のガラス体製造中に、80本目以降では多孔質ガラス体が壊れることが数回あった。実施例1では壊れることはなかった。
【0019】
図5は、実施例2の多重管バーナまたは比較例2の多重管バーナを用いて、ガラス体を100本連続製造したときの、ガラス体の外径変化を示すグラフである。
図5の結果から、実施例2の多重管バーナを用いてガラス体を100本製造した場合、100本目のガラス体の外径は、1本目のガラス体の外径の97%以上であることが確認された。一方、比較例2の多重管バーナを用いてガラス体を100本製造した場合、100本目のガラス体の外径は、1本目のガラス体の外径の95%以下であることが確認された。また、比較例2のガラス体製造中に、90本目以後では多孔質ガラス体が壊れることが数回あった。実施例2では壊れることはなかった。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の多重管バーナによれば、この多重管バーナを用いたガラス体の製造において、その外径変化を抑制し、多数の安定した品質のガラス体を連続的に製造することができる。したがって、この多重管バーナを用いて製造されたガラス体は、良質なものとなる。よって、ガラス体の歩留まりが向上する。
また、本発明のガラス体の製造方法によれば、ガラス体の外径変化を抑制し、同一の製造条件によって、多数の安定した品質のガラス体を連続的に製造することができる。さらに、ガラス体の製造中に、ガラス体が崩壊するという不具合も生じなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の多重管バーナの一例を示し、図1(a)は多重管バーナの先端部を示す平面図、図1(b)は図1(a)のA―Aにおける概略断面図である。
【図2】本発明の多重管バーナの第1の実施形態を説明する概略断面図である。
【図3】本発明の多重管バーナの第2の実施形態を説明する概略断面図である。
【図4】実施例1の多重管バーナまたは比較例1の多重管バーナを用いて、ガラス体を100本連続製造したときの、ガラス体の外径変化を示すグラフである。
【図5】実施例2の多重管バーナまたは比較例2の多重管バーナを用いて、ガラス体を100本連続製造したときの、ガラス体の外径変化を示すグラフである。
【符号の説明】
10,30・・・多重管バーナ、31・・・内側ノズル、31a,32a・・・外周、31b・・・内周、31c・・・先端部、32・・・最外層ノズル
Claims (3)
- ガラス体の製造に用いられるガスの噴出口をなす複数のノズルが多重に設けられた多重管バーナにおいて、
前記多重管バーナの最外層ノズルの外周の長手方向中心軸と、前記多重管バーナを構成する前記最外層ノズル以外のノズルの先端部とのなす角度が90°±3°以下であることを特徴とする多重管バーナ。 - ガラス体の製造に用いられるガスの噴出口をなす複数のノズルが多重に設けられた多重管バーナにおいて、
前記多重管バーナの最外層ノズルの外周の中心軸と、該最外層ノズルよりも内側のノズルの内周または外周の中心軸との距離が0.20mm以下であることを特徴とする多重管バーナ。 - 請求項1または2記載の多重管バーナで合成されたガラス微粒子を出発部材の外周部および下端部に堆積させ、堆積直後もしくは多孔質ガラス体製造後に高温処理し、ガラス体を得ることを特徴とするガラス体の製造方法。
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