JPH0667764B2 - ガラス微粒子生成用バ−ナ - Google Patents

ガラス微粒子生成用バ−ナ

Info

Publication number
JPH0667764B2
JPH0667764B2 JP60113583A JP11358385A JPH0667764B2 JP H0667764 B2 JPH0667764 B2 JP H0667764B2 JP 60113583 A JP60113583 A JP 60113583A JP 11358385 A JP11358385 A JP 11358385A JP H0667764 B2 JPH0667764 B2 JP H0667764B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burner
flame
flow passage
flow path
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP60113583A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61270226A (ja
Inventor
英世 川添
誠 古口
勝巳 折茂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Original Assignee
THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD. filed Critical THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Priority to JP60113583A priority Critical patent/JPH0667764B2/ja
Priority to EP86303839A priority patent/EP0204461B1/en
Priority to DE8686303839T priority patent/DE3666219D1/de
Priority to CN86103566A priority patent/CN86103566B/zh
Priority to CA000509982A priority patent/CA1268339A/en
Publication of JPS61270226A publication Critical patent/JPS61270226A/ja
Priority to US07/186,658 priority patent/US4826520A/en
Publication of JPH0667764B2 publication Critical patent/JPH0667764B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/10—Internal structure or shape details
    • C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
    • C03B2203/26—Parabolic or graded index [GRIN] core profile
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/06—Concentric circular ports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/08—Recessed or protruding ports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • C03B2207/24—Multiple flame type, e.g. double-concentric flame
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • C03B2207/26—Multiple ports for glass precursor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • C03B2207/26—Multiple ports for glass precursor
    • C03B2207/28—Multiple ports for glass precursor for different glass precursors, reactants or modifiers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
    • C03B2207/62—Distance

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Gas Burners (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 『産業上の利用分野』 本発明は通信用、光学用などの多孔質ガラス母材を製造
する際に用いられるガラス微粒子生成用バーナに関す
る。
『従来の技術』 通信、光学等の分野で用いられる光ファイバ、ライトガ
イド、イメージファイバ、ロッドレンズなどは、ＭＣＶ
Ｄ法、ＶＡＤ法、ＯＶＤ法等の手段で所定の母材をつく
り、これにより得られた光ファイバ母材を紡糸したり、
ロッドレンズ母材を減径加工することにより作製され
る。
上述した各法のうち、ＶＡＤ法により光ファイバ用など
の多孔質ガラス母材を高速合成する方法として、二重火
炎バーナ方式がすでに発表されている（昭和58年度電気
通信学会半導体材料部門全国大会予稿集-367、昭和59年
度電気通信学会総合全国大会-1138など）。
かかる二重火炎方式の概要は第６図に示す通りであり、
以下これについて略述する。
第６図において、多重管構造からなるバーナ1は、内側
火炎発生部2と、シールガス流路3を介在してその内側火
炎発生部2の外周に設けられた外側火炎発生部4とからな
り、両火炎発生部の相対関係では、外側火炎発生部4の
先端内方に内側火炎発生部2の先端が位置している。
上述した両火炎発生部において、内側火炎発生部2は四
重の流路からなり、外側火炎発生部4は五重の流路から
なり、これら各流路が同心状に配列されている。
上記バーナ1によるＶＡＤ法の一例として、内側火炎発
生部2には0.41/minのSiCl4と1.54/minのGeCl4と10.
5/minのH2と5/minのArと15/minのO2が供給され、
シールガス流路3には5/minのArが供給され、外側火炎
発生部4には5/minのArと0.41/minのSiCl4と24/mi
nのH2と5/minのArと25/minのO2が供給され、該バー
ナ1を介した各ガスの火炎加水分解反応生成物、すなわ
ちスート状のガラス微粒子が所望形状に堆積されて多孔
質ガラス母材5が形成される。
こうして多孔質ガラス母材5を形成するとき、第６図の
ごとく内側火炎発生部2の先端からは長さｌ１の内側火
炎が生じ、外側火炎発生部4の先端からは長さｌ２の外
側火炎が生じ、これらの火炎が長手方向に連続するた
め、バーナ1の総合火炎長ＬはＬ＝ｌ１＋ｌ２となる。
この総合火炎は、単一火炎に比べてかなり長いものであ
り、したがって、第６図の斜線で示す原料系統の気流は
その火炎内に長く滞在することとなる。
その結果、火炎内でのガラス微粒子の成長が促進されて
その粒子径が大きくなり、かつ、この際の慣性効果によ
り堆積効率が高められて多孔質ガラス母材5が高速合成
される。
『発明が解決しようとする問題点』 上述した二重火炎バーナ方式の場合、多孔質ガラス母材
5の高速合成に適するとされているが、屈折率分布形成
用のドープ原料を内側火炎発生部2に供給してこれを火
炎と反応させた際、火炎内での滞在時間が長いことによ
り、その火炎中においてドーパントが必要以上に拡散
し、濃度分布がブロード（平坦）化してしまう。
そのため、多孔質ガラス母材5の屈折率分布が第７図の
ごとくSI型になってしまい、GI型の屈折率分布、三角形
の屈折率分布をもつ光ファイバ用の多孔質ガラス母材が
得られない。
他にも、ドープ原料例えばGeCl4が火炎内に長く滞在す
ることにより、その火炎内で結晶性GeO2が生成され、こ
れが多孔質ガラス母材5に付着することにより、透明ガ
ラス化時の母材中に気泡等が生じる。
本発明は上記の問題点に鑑み、GI型、三角形等の屈折率
分布をもつ多孔質ガラス母材が再現性よく安定して製造
でき、しかも気泡原因の発生も抑制できるガラス微粒子
生成用バーナを提供しようとするものである。
『問題点を解決するための手段』 本発明は中心流路部とその中心流路部の周囲を取り囲む
外側流路部との間に、中間流路部が設けらているガラス
微粒子生成用バーナにおいて、中間流路部の先端が外側
流路部の先端よりも内方に位置しており、中心流路部の
先端が中間流路部先端と外側流路部先端との間に位置し
ていることを特徴としている。
『作用』 本発明バーナにおいて、例えば中心流路部が単一流路、
中間流路部が三重流路、外側流路部が四重流路からな
り、中間流路部と外側流路部との間にシールガス流路部
が介在されている場合、中心流路部にはGeCl4を、中間
流路部にはH2とSiCl4とArとO2を、外側流路部にはArとS
iCl4とH2とArとO2を、シールガス流路部にはArをそれぞ
れ供給し、かかるガス供給状態において当該バーナを燃
焼状態に保持してガラス微粒子を反応生成する。
こうしてガラス微粒子を生成するとき、中間流路部の先
端から噴射される火炎と外側流路部の先端から噴出され
る火炎とが長手方向に連続する。
したがってバーナの総合火炎長が長くなり、この長大な
火炎によりガラス微粒子の成長が促進され、該微粒子の
堆積速度が高められて多孔質ガラス母材の合成速度が高
速化する。
一方、GeCl4等のドープ原料を吹出する中心流路部の場
合、これの先端が中間流路部先端と外側流路部先端との
間に位置しているから、ドープ原料は上記総合火炎の長
手方向中間より吹出され、そのドープ原料が総合火炎の
全長にわたって曝らされることはない。
したがって火炎内におけるドープ原料の滞在時間が長く
ならず、その火炎中におけるドーパントの過剰な拡散が
抑制されるから、かかる情況にて生成されたガラス微粒
子を堆積させたとき、中心部のドーパント濃度が高く、
その外周へ向かうにしたがいドーパント濃度が低くなる
屈折率分布、すなわちGI型の屈折率分布をもつ多孔質ガ
ラス母材が得られる。
本発明バーナにおいて、例えば中心流路部が二重流路、
中間流路部が三重流路、外側流路部が四重流路からな
り、中間流路部と外側流路部との間にシールガス流路部
が介在されている場合、中心流路部にはGeCl4とSiCl
4を、中間流路部にはH2とSiCl4とArとO2を、シールガス
流路部にはArを、外側流路部にはArとSiCl4とH2とArとO
2を供給し、かかるガス供給状態において当該バーナを
燃焼状態に保持してガラス微粒子を反応生成する。
この場合も、前述したと同様の理由によりGI型の屈折率
分布、三角形の屈折率分布をもつ多孔質ガラス母材が得
られる。
もちろん、上記いずれの態様でも、火炎内におけるドー
プ原料の滞在時間が長くならないので、気泡原因となる
結晶性ドーパントが生成されず、したがって特性のよい
母材が得られる。
『実施例』 以下本発明に係るバーナの実施例につき、図面を参照し
て説明する。
本発明の一実施例を示した第１図において、多重管（九
重管）構造のバーナ25は中心流路部21と中間流路部22と
シールガス流路部23と外側流路部24とからなる。
中心流路部21は流路11aにより構成され、中間流路部22
は流路12〜14により構成され、シールガス流路部23は流
路15により構成され、外側流路部24は流路16〜19により
構成されている。
上述したバーナ25において、中間流路部22の先端は外側
流路部24の先端よりも内方に位置しているとともに中心
流路部21の先端は中間流路部22先端と外側流路部24先端
との間に位置している。
本発明の他実施例を示した第２図では、バーナ25の中心
流路部21が二重の流路11b、11cにより構成されており、
その他については第１図の実施例と同様になっている。
なお、第２図での流路11b、11cは、これらの先端が互い
に一致している。
上述したバーナ25を用いてＶＡＤ法を実施するとき、当
該バーナ25に既述の各ガスを供給して火炎加水分解反応
を起こさせ、これにより生成したガラス微粒子を回転し
ているターゲットに向けて連続的に噴射し、堆積成長さ
せて多孔質ガラス母材を作製する。
以下この際の具体例につき、下表を参照して説明する。
なお、第１図のバーナを使用する具体例では、内径12mm
φの流路12内に内径5mmφの流路11aを設け、流路12に対
する流路11aの突出長（第１図のＳ）は20mmとした。
一方、第２図のバーナを使用する具体例では、流路11b
の内径を5mmφとし、流路11cの内径を12mmφとし、流路
12に対する両流路11b、11cの突出長（第２図のＳ）を20
mmとした。
上記表に示した具体例１により第３図のごとき屈折率分
布（GI型）をもつ母材が得られ、具体例２により第４図
のごとき屈折率分布（GI型）をもつ母材が得られ、さら
に具体例３により第５図の屈折率分布（三角型）をもつ
母材が得られた。
なお、第５図の三角型屈折率分布を形成する場合、流路
11bから噴射されるGeCl4の流速よりも流路11cから噴射
されるSiCl4の流速を速め、Ge流をSi流で閉じこめるよ
うにするのがよい。
つまり、火炎内中央におけるGe濃度を、GI型屈折率分布
形成時よりも高くするのがよい。
上述した実施例では二重火炎バーナ方式を主体に説明し
たが、流路数を増加することにより三重火炎以上の多重
火炎バーナ方式も実施できる。
また、図示した二重火炎バーナにおいても、支障のない
かぎり、流路数が増減できる。
『発明の効果』 以上説明した通り、本発明に係るバーナは、中心流路部
の先端が中間流路部先端と外側流路部先端との間に位置
しているから、GI型、三角形等の屈折率分布をもつ、し
かも気泡発生原因がほとんどみられない高品質の多孔質
ガラス母材が再現性よく安定して製造できる。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は本発明バーナの各種実施例を示した断
面図、第３図〜第５図は本発明バーナを介して作製され
た多孔質ガラス母材の屈折率分布図、第６図は従来バー
ナの略示説明図、第７図は従来バーナにより作製された
多孔質ガラス母材の屈折率分布図である。 11a〜19…流路 21…中心流路部 22…中間流路部 24…外側流路部 25…バーナ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】中心流路部とその中心流路部の周囲を取り
    囲む外側流路部との間に、中間流路部が設けらているガ
    ラス微粒子生成用バーナにおいて、中間流路部の先端が
    外側流路部の先端よりも内方に位置しており、中心流路
    部の先端が中間流路部先端と外側流路部先端との間に位
    置していることを特徴とするガラス微粒子生成用バー
    ナ。
  2. 【請求項２】中心流路部が単一の流路からなる特許請求
    の範囲第１項記載のガラス微粒子生成用バーナ。
  3. 【請求項３】中心流路部が二重の流路からなる特許請求
    の範囲第１項記載のガラス微粒子生成用バーナ。
JP60113583A 1985-05-27 1985-05-27 ガラス微粒子生成用バ−ナ Expired - Fee Related JPH0667764B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60113583A JPH0667764B2 (ja) 1985-05-27 1985-05-27 ガラス微粒子生成用バ−ナ
EP86303839A EP0204461B1 (en) 1985-05-27 1986-05-21 Burner for producing glass fine particles
DE8686303839T DE3666219D1 (en) 1985-05-27 1986-05-21 Burner for producing glass fine particles
CN86103566A CN86103566B (zh) 1985-05-27 1986-05-23 产生玻璃微粒子用燃烧器
CA000509982A CA1268339A (en) 1985-05-27 1986-05-26 Burner for producing glass fine particles
US07/186,658 US4826520A (en) 1985-05-27 1988-04-20 Burner for producing glass fine particles and method of making glass

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60113583A JPH0667764B2 (ja) 1985-05-27 1985-05-27 ガラス微粒子生成用バ−ナ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61270226A JPS61270226A (ja) 1986-11-29
JPH0667764B2 true JPH0667764B2 (ja) 1994-08-31

Family

ID=14615900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60113583A Expired - Fee Related JPH0667764B2 (ja) 1985-05-27 1985-05-27 ガラス微粒子生成用バ−ナ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4826520A (ja)
EP (1) EP0204461B1 (ja)
JP (1) JPH0667764B2 (ja)
CN (1) CN86103566B (ja)
CA (1) CA1268339A (ja)
DE (1) DE3666219D1 (ja)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63206328A (ja) * 1987-02-24 1988-08-25 Shin Etsu Chem Co Ltd 光フアイバ母材の製造方法
JP3118822B2 (ja) * 1990-09-07 2000-12-18 住友電気工業株式会社 ガラス物品の製造方法
US5268337A (en) * 1991-11-18 1993-12-07 The Johns Hopkins University Ceramic oxide powders and the formation thereof
JP2938688B2 (ja) * 1992-10-21 1999-08-23 信越化学工業株式会社 光ファイバ用プリフォームの製造方法
EP0978487A3 (en) * 1998-08-07 2001-02-21 Corning Incorporated Sealed, nozzle-mix burners for silica deposition
US6751987B1 (en) * 1998-09-22 2004-06-22 Corning Incorporated Burners for producing boules of fused silica glass
KR100346220B1 (ko) * 2000-09-05 2002-08-01 삼성전자 주식회사 광도파로 제조용 동축류 확산 화염 버너 장치
JP3705169B2 (ja) 2000-09-14 2005-10-12 住友電気工業株式会社 多孔質ガラス体の製造方法
US7441416B2 (en) 2000-12-19 2008-10-28 Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. Method for manufacturing optical fibre preforms
ATE274476T1 (de) * 2000-12-19 2004-09-15 Pirelli & C Spa Abscheidungsbrenner mit mehreren flammen und verfahren zur herstellung von vorformen für optische fasern
US7299659B2 (en) * 2000-12-19 2007-11-27 Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. Method for manufacturing optical fiber preforms
KR100414668B1 (ko) * 2001-07-21 2004-01-07 삼성전자주식회사 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치
US6735981B2 (en) * 2001-09-27 2004-05-18 Corning Incorporated High heat capacity burners for producing fused silica boules
JP2005029448A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP2012031052A (ja) * 2010-06-28 2012-02-16 Asahi Glass Co Ltd ガラス体を製造する方法及びｅｕｖリソグラフィ用の光学部材を製造する方法
JP5757801B2 (ja) * 2011-06-29 2015-08-05 根泰 許 バーナー
JP6006186B2 (ja) * 2012-09-28 2016-10-12 信越化学工業株式会社 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法
RU2663886C2 (ru) * 2017-01-24 2018-08-13 Андрей Анатольевич Тарасов Способ получения полых микросфер оксидов металлов
US10745804B2 (en) * 2017-01-31 2020-08-18 Ofs Fitel, Llc Parallel slit torch for making optical fiber preform
RU2713011C1 (ru) * 2017-08-23 2020-02-03 Чэнду Футун Оптикал Коммьюникейшн Текнолоджис Ко., Лтд. Оптическое волокно и способ его изготовления
JPWO2019044805A1 (ja) * 2017-08-29 2020-10-01 住友電気工業株式会社 ガラス微粒子堆積体の製造方法、ガラス母材の製造方法及びガラス母材

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57100928A (en) * 1980-12-12 1982-06-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Burner for preparing base material for optical fiber
FR2498736B1 (fr) * 1981-01-27 1985-06-21 Cherny Anatoly Bruleur a gaz
US4474593A (en) * 1982-04-26 1984-10-02 At&T Technologies Inc. Method of fabricating a lightguide fiber
CA1284921C (en) * 1984-02-27 1991-06-18 Hiroyuki Suda Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform

Also Published As

Publication number Publication date
DE3666219D1 (en) 1989-11-16
EP0204461B1 (en) 1989-10-11
CN86103566B (zh) 1988-09-07
CA1268339A (en) 1990-05-01
CN86103566A (zh) 1986-11-26
JPS61270226A (ja) 1986-11-29
US4826520A (en) 1989-05-02
EP0204461A3 (en) 1987-09-09
EP0204461A2 (en) 1986-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0667764B2 (ja) ガラス微粒子生成用バ−ナ
US4388098A (en) Apparatus for producing multi-component glass fiber preform
US5110335A (en) Method of glass soot deposition using ultrasonic nozzle
KR100567155B1 (ko) 유리 입자 합성용 버너 및 다공질 유리체의 제조방법
US4915717A (en) Method of fabricating optical fiber preforms
US4915716A (en) Fabrication of lightguide soot preforms
JPH05323130A (ja) 多焦点型バーナおよびそのバーナを用いたガラス微粒子堆積体の製造方法
JPS6046939A (ja) 光フアイバ用ガラスプリフオ−ムの製造方法
JPS6287428A (ja) 光学系多孔質母材の製造方法
JPH0324417B2 (ja)
JP2945148B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
KR910010208A (ko) 금속 산화물로 처리된 예형(preform)의 제조 방법
JPS61183140A (ja) 光フアイバ母材の製造方法
JP2898705B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP2545408B2 (ja) 光導波路ス―トプリフォ―ムの製造方法
JP2996111B2 (ja) 光ファイバ母材製造方法
JPS6259063B2 (ja)
JP2722735B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JPS62162637A (ja) 光フアイバ母材の製造方法
JPS59124303A (ja) 光フアイバ母材の製造方法
JP4185304B2 (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JPS636171Y2 (ja)
JPS63285129A (ja) 光ファイバ母材製造方法
JPH0535691B2 (ja)
JPS62288131A (ja) 光学系多孔質母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees