JP2945148B2 - 光ファイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造方法Info
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- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＶＡＤ法やＯＶＤ法等
で光ファイバ用母材を製造する方法の改良に関するもの
である。
で光ファイバ用母材を製造する方法の改良に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバ用母材をＶＡＤ法で製
造する場合には、図３に示すようにチャンバー１内で回
転しつつ引き上げられる出発材ロッド２ａの先端にコア
用バーナ３で多孔質のガラス微粒子層からなるコア部４
を作り、その外周にクラッド用バーナ５で多孔質のガラ
ス微粒子層からなるクラッド部６を作り、光ファイバ用
母材７を得ている。この場合、クラッド用バーナ５は複
数本用いる場合が多い。ここで用いられるバーナ３，５
は、同心状の四，五重管バーナ若しくは二重火炎バーナ
である。
造する場合には、図３に示すようにチャンバー１内で回
転しつつ引き上げられる出発材ロッド２ａの先端にコア
用バーナ３で多孔質のガラス微粒子層からなるコア部４
を作り、その外周にクラッド用バーナ５で多孔質のガラ
ス微粒子層からなるクラッド部６を作り、光ファイバ用
母材７を得ている。この場合、クラッド用バーナ５は複
数本用いる場合が多い。ここで用いられるバーナ３，５
は、同心状の四，五重管バーナ若しくは二重火炎バーナ
である。
【０００３】一方、光ファイバ用母材をＯＶＤ法で製造
する場合には、図４に示すように、ＶＡＤ法等で形成さ
れてガラス化されたコア用出発材ロッド２ｂをチャンバ
１内で水平向きで回転させつつ左右にトラバースさせ
て、その表面に外付けバーナ８でガラス微粒子からなる
クラッド部６を形成し、光ファイバ用母材を得ている。
このとき用いる外付けバーナ８は、ＶＡＤ法の時のクラ
ッド用バーナと同様同心状バーナである。
する場合には、図４に示すように、ＶＡＤ法等で形成さ
れてガラス化されたコア用出発材ロッド２ｂをチャンバ
１内で水平向きで回転させつつ左右にトラバースさせ
て、その表面に外付けバーナ８でガラス微粒子からなる
クラッド部６を形成し、光ファイバ用母材を得ている。
このとき用いる外付けバーナ８は、ＶＡＤ法の時のクラ
ッド用バーナと同様同心状バーナである。
【０００４】これらの同心状バーナは、図５に示すよう
に、その中心の第１層９1 に原料ガスを流し、第２層９
2 にＨ2 ガス若しくはＯ2 ガスを流し、第３層９3 に不
活性ガスを流し、第４層９4 にＯ2 ガス若しくはＨ2 ガ
スを流している。
に、その中心の第１層９1 に原料ガスを流し、第２層９
2 にＨ2 ガス若しくはＯ2 ガスを流し、第３層９3 に不
活性ガスを流し、第４層９4 にＯ2 ガス若しくはＨ2 ガ
スを流している。
【０００５】二重火炎バーナは、図６に示すように、中
心の第１層９1 〜第４層９4 までは同心状バーナと同様
にガスを流して第１の火炎を形成し、第５層９5 には不
活性ガスを流し、第６層９6 にはＨ2 ガス若しくはＯ2
ガスを流し、第７層９7 には不活性ガスを流し、第８層
９8 にはＯ2 ガス若しくはＨ2 ガスを流して第２の火炎
を形成している。
心の第１層９1 〜第４層９4 までは同心状バーナと同様
にガスを流して第１の火炎を形成し、第５層９5 には不
活性ガスを流し、第６層９6 にはＨ2 ガス若しくはＯ2
ガスを流し、第７層９7 には不活性ガスを流し、第８層
９8 にはＯ2 ガス若しくはＨ2 ガスを流して第２の火炎
を形成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＶＡＤ法による同心状バーナでは、ガラス微粒子の堆積
速度が遅く、多数本のバーナを用いなければならない問
題点があった。また、多数本のバーナを用いると、隣接
するバーナの火炎の干渉により、多孔質の光ファイバ用
母材の層間に密度変化が発生し、密度が高い程脱水が困
難になる問題点があった。
ＶＡＤ法による同心状バーナでは、ガラス微粒子の堆積
速度が遅く、多数本のバーナを用いなければならない問
題点があった。また、多数本のバーナを用いると、隣接
するバーナの火炎の干渉により、多孔質の光ファイバ用
母材の層間に密度変化が発生し、密度が高い程脱水が困
難になる問題点があった。
【０００７】また、従来のＯＶＤ法による外付けバーナ
の場合には、多量に原料ガスを供給しようとすると、燃
焼して発生した水分の拡散が原料層中心まで十分にゆか
なくなり、原料ガスが十分に加水分解反応しなくなって
しまう問題点があった。
の場合には、多量に原料ガスを供給しようとすると、燃
焼して発生した水分の拡散が原料層中心まで十分にゆか
なくなり、原料ガスが十分に加水分解反応しなくなって
しまう問題点があった。
【０００８】一方、二重火炎バーナの場合には、四，五
重管バーナよりもガラス微粒子の堆積速度は速いが、燃
焼ガスの使用量が増える問題点があった。また、多量に
原料ガスを供給しようとすると、四，五重管バーナと同
様のことが起こり、原料ガスが十分に反応しなくなる問
題点があった。
重管バーナよりもガラス微粒子の堆積速度は速いが、燃
焼ガスの使用量が増える問題点があった。また、多量に
原料ガスを供給しようとすると、四，五重管バーナと同
様のことが起こり、原料ガスが十分に反応しなくなる問
題点があった。
【０００９】本発明の目的は、ガラス微粒子の堆積速度
を上げることができ、しかも原料ガスを多量に供給して
も十分に反応させることができる光ファイバ用母材の製
造方法を提供することにある。
を上げることができ、しかも原料ガスを多量に供給して
も十分に反応させることができる光ファイバ用母材の製
造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の手段を説明すると、本発明に係る光ファイ
バ用母材の製造方法は、原料ガス流層を、燃焼ガス流層
と酸化ガス流層とで挟み込んだ状態で対象物側に吹き出
して、火炎内でガラス微粒子を合成し、該対象物の表面
に多孔質のガラス微粒子層を形成することを特徴とす
る。
めの本発明の手段を説明すると、本発明に係る光ファイ
バ用母材の製造方法は、原料ガス流層を、燃焼ガス流層
と酸化ガス流層とで挟み込んだ状態で対象物側に吹き出
して、火炎内でガラス微粒子を合成し、該対象物の表面
に多孔質のガラス微粒子層を形成することを特徴とす
る。
【００１１】
【作用】このように原料ガス流層を、燃料ガス流層と酸
化ガス流層とで挟み込むと、原料ガス流の中に燃焼ガス
と酸化ガスが拡散して反応し、Ｈ2 Ｏを作る。かくして
形成されたＨ2 Ｏはすぐに原料ガスと反応する。
化ガス流層とで挟み込むと、原料ガス流の中に燃焼ガス
と酸化ガスが拡散して反応し、Ｈ2 Ｏを作る。かくして
形成されたＨ2 Ｏはすぐに原料ガスと反応する。
【００１２】従って、原料ガスを増やしても、これに対
応して燃焼ガス及び酸化ガスの量をそれぞれ増やすこと
により、ガラス微粒子の合成は十分に起きる。
応して燃焼ガス及び酸化ガスの量をそれぞれ増やすこと
により、ガラス微粒子の合成は十分に起きる。
【００１３】また、燃焼反応の起きているところで、ガ
ラス微粒子の合成反応が起こるので、ガスの温度が高く
なる。このため、ガラス微粒子の粒子径が大きくなり、
堆積速度が向上する。
ラス微粒子の合成反応が起こるので、ガスの温度が高く
なる。このため、ガラス微粒子の粒子径が大きくなり、
堆積速度が向上する。
【００１４】更に、この方法では、燃焼ガス流層と酸化
ガス流層との間に不活性ガス流層を流していないので、
原料濃度をその分高くでき、ガラス微粒子層の粒子密度
を高くでき、堆積速度を向上できる。
ガス流層との間に不活性ガス流層を流していないので、
原料濃度をその分高くでき、ガラス微粒子層の粒子密度
を高くでき、堆積速度を向上できる。
【００１５】一方、二重火炎バーナでも、例えば内側の
火炎に上記内容のガスの流し方をし、外側の火炎は従来
通りのガスの流し方をすると、ガラス微粒子の堆積速度
が上がる。もちろん、原料ガスの供給量を多くしてもガ
ラス微粒子合成の反応は十分に起こる。
火炎に上記内容のガスの流し方をし、外側の火炎は従来
通りのガスの流し方をすると、ガラス微粒子の堆積速度
が上がる。もちろん、原料ガスの供給量を多くしてもガ
ラス微粒子合成の反応は十分に起こる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
【００１７】図１は、本発明で用いる同心状バーナ３，
５，８の例を示したものである。このバーナ３，５，８
では、第１層９1 にＨ2 ガス又はメタンガスの如き燃焼
ガスを流し、第２層９2 にＳｉＣｌ4 ガスの如き原料ガ
スを流し、第３層９3 にＯ2 ガスの如き酸化ガスを流
し、第４層９4 にＡｒガスの如き不活性ガスを流す。
５，８の例を示したものである。このバーナ３，５，８
では、第１層９1 にＨ2 ガス又はメタンガスの如き燃焼
ガスを流し、第２層９2 にＳｉＣｌ4 ガスの如き原料ガ
スを流し、第３層９3 にＯ2 ガスの如き酸化ガスを流
し、第４層９4 にＡｒガスの如き不活性ガスを流す。
【００１８】即ち、本実施例の光ファイバ用母材の製造
方法では、同心状バーナ３，５，８から原料ガス流層を
燃焼ガス流層と酸化ガス流層とで挟み込んだ状態で対象
物である出発材ロッド２ａ又は２ｂ側に吹き出して、火
炎内でガラス微粒子を合成し、出発材ロッド２ａ又は２
ｂの表面に多孔質ガラス微粒子層４又は６を形成する。
方法では、同心状バーナ３，５，８から原料ガス流層を
燃焼ガス流層と酸化ガス流層とで挟み込んだ状態で対象
物である出発材ロッド２ａ又は２ｂ側に吹き出して、火
炎内でガラス微粒子を合成し、出発材ロッド２ａ又は２
ｂの表面に多孔質ガラス微粒子層４又は６を形成する。
【００１９】このように、原料ガス流層を燃焼ガス流層
とで酸化ガス流層とで挟み込むと、原料ガス流層内にＯ
2 の如き酸化ガスとＨ2 の如き燃焼ガスとが拡散して反
応し、Ｈ2 Ｏを作る。かくして形成されたＨ2 Ｏは、す
ぐに原料ガスと反応する。従って、原料ガスの量を増や
しても、これに相当する酸化ガス，燃焼ガスの各量を増
やすことにより、ガラス微粒子の合成は十分に起こる。
とで酸化ガス流層とで挟み込むと、原料ガス流層内にＯ
2 の如き酸化ガスとＨ2 の如き燃焼ガスとが拡散して反
応し、Ｈ2 Ｏを作る。かくして形成されたＨ2 Ｏは、す
ぐに原料ガスと反応する。従って、原料ガスの量を増や
しても、これに相当する酸化ガス，燃焼ガスの各量を増
やすことにより、ガラス微粒子の合成は十分に起こる。
【００２０】燃焼反応の起きている所で、合成反応が起
こるので、ガスの温度が高い。このため、ガラス微粒子
の粒径が大きくなり、出発材ロッド２ａ又は２ｂに対す
るガラス微粒子の堆積速度を向上できる。更に、酸化ガ
ス流層と燃焼ガス流層との間に不活性ガスを流していな
いので、原料ガス濃度がその分高くなり、粒子密度を高
くでき、ガラス微粒子の堆積速度を向上できる。
こるので、ガスの温度が高い。このため、ガラス微粒子
の粒径が大きくなり、出発材ロッド２ａ又は２ｂに対す
るガラス微粒子の堆積速度を向上できる。更に、酸化ガ
ス流層と燃焼ガス流層との間に不活性ガスを流していな
いので、原料ガス濃度がその分高くなり、粒子密度を高
くでき、ガラス微粒子の堆積速度を向上できる。
【００２１】また、二重火炎バーナでも、内側の火炎に
上記と同様に原料ガス流層を燃焼ガス流層と酸化ガス流
層とで挟み込んで供給し、外側の火炎に従来通りのガス
流を供給しても、ガラス微粒子の堆積速度を向上でき
る。
上記と同様に原料ガス流層を燃焼ガス流層と酸化ガス流
層とで挟み込んで供給し、外側の火炎に従来通りのガス
流を供給しても、ガラス微粒子の堆積速度を向上でき
る。
【００２２】上記実施例とは逆に、第１層９1 にはＯ2
ガスの如き酸化ガスを流し、第３層９にはＨ2 ガスの如
き燃焼ガスを流してもよい。勿論、原料ガスの供給量を
多くしてもガラス微粒子合成反応は十分に起こる。
ガスの如き酸化ガスを流し、第３層９にはＨ2 ガスの如
き燃焼ガスを流してもよい。勿論、原料ガスの供給量を
多くしてもガラス微粒子合成反応は十分に起こる。
【００２３】次に、ＶＡＤ法の場合における具体例を示
すと、下記の通りである。
すと、下記の通りである。
【００２４】コア用バーナ（四重管バーナ） 第１層 Ｈ2 ガス ３ ｌ／分 第２層 ＳｉＣｌ4 １ ｌ／分、ＧｅＣｌ4 0.
5 ｌ／分 第３層 Ｏ2 ガス ４ ｌ／分 第４層 Ａｒガス １ ｌ／分 クラッド用バーナ（七重管バーナ）２本 第１層 Ｈ2 ガス １０ ｌ／分 第２層 ＳｉＣｌ4 ３ ｌ／分 第３層 Ｏ2 ガス １８ ｌ／分 第４層 Ａｒガス ２ ｌ／分 第５層 Ｈ2 ガス ６ ｌ／分 第６層 Ａｒガス 2.5 ｌ／分 第７層 Ｏ2 ガス １６ ｌ／分 母材の引き上げ速度 0.8mm／分 従来は、クラッド用バーナは３本必要としたが、本発明
によればクラッド用バーナは２本で必要量のガラス微粒
子の合成ができるようになった。
5 ｌ／分 第３層 Ｏ2 ガス ４ ｌ／分 第４層 Ａｒガス １ ｌ／分 クラッド用バーナ（七重管バーナ）２本 第１層 Ｈ2 ガス １０ ｌ／分 第２層 ＳｉＣｌ4 ３ ｌ／分 第３層 Ｏ2 ガス １８ ｌ／分 第４層 Ａｒガス ２ ｌ／分 第５層 Ｈ2 ガス ６ ｌ／分 第６層 Ａｒガス 2.5 ｌ／分 第７層 Ｏ2 ガス １６ ｌ／分 母材の引き上げ速度 0.8mm／分 従来は、クラッド用バーナは３本必要としたが、本発明
によればクラッド用バーナは２本で必要量のガラス微粒
子の合成ができるようになった。
【００２５】図２は、本発明で用いる角形バーナの例を
示したものである。この角形バーナは、上部を第１層９
1 とすると、第２層９2 、第３層９3 、第４層９4 、第
５層９5 までの五重構造で、更に第２層９2 と第３層９
3 との幅方向の両側にサイド層Ｓ1 ，Ｓ2 が１個ずつ設
けられた構造になっている。この場合、第１層９1 には
Ｏ2 ガスを流し、第２層９2 にはＳｉＣｌ4 ガスを流
し、第３層９3 にはＨ2 ガスを流し、第４層９4 にはＡ
ｒガスを流し、第５層９5 にはＯ2 ガスを流し、両サイ
ド層Ｓ1 ，Ｓ2 にはＡｒガスを流す。左右のサイド層Ｓ
1 ，Ｓ2と第４層９4 に流すＡｒガスは、独立して制御
できる。
示したものである。この角形バーナは、上部を第１層９
1 とすると、第２層９2 、第３層９3 、第４層９4 、第
５層９5 までの五重構造で、更に第２層９2 と第３層９
3 との幅方向の両側にサイド層Ｓ1 ，Ｓ2 が１個ずつ設
けられた構造になっている。この場合、第１層９1 には
Ｏ2 ガスを流し、第２層９2 にはＳｉＣｌ4 ガスを流
し、第３層９3 にはＨ2 ガスを流し、第４層９4 にはＡ
ｒガスを流し、第５層９5 にはＯ2 ガスを流し、両サイ
ド層Ｓ1 ，Ｓ2 にはＡｒガスを流す。左右のサイド層Ｓ
1 ，Ｓ2と第４層９4 に流すＡｒガスは、独立して制御
できる。
【００２６】このように原料ガスＳｉＣｌ4 を酸化ガス
Ｏ2 と燃焼ガスＨ2 とで挟んで送り出すと、原料ガスの
反応を素早く起こさせることができ、原料ガスの大量投
入が可能となる。
Ｏ2 と燃焼ガスＨ2 とで挟んで送り出すと、原料ガスの
反応を素早く起こさせることができ、原料ガスの大量投
入が可能となる。
【００２７】また、原料ガス流層の幅方向と出発材ロッ
ドの長手方向とを合わせると、ガラス微粒子の堆積速度
を同心状バーナより向上させることができる。
ドの長手方向とを合わせると、ガラス微粒子の堆積速度
を同心状バーナより向上させることができる。
【００２８】更に、図２において上下を反対にしても同
様の効果が得られることは勿論である。
様の効果が得られることは勿論である。
【００２９】このような角形バーナでＯＶＤ法を行う場
合の具体例を示すと、下記の通りである。
合の具体例を示すと、下記の通りである。
【００３０】第１層 Ｏ2 ガス ２５ ｌ／分 第２層 ＳｉＣｌ4 ２０ ｇ／分、ＧｅＣｌ4
0.5 ｌ／分 第３層 Ｈ2 ガス １５ ｌ／分 第４層 Ａｒガス ２ ｌ／分 第５層 Ｏ2 ガス １５ ｌ／分 サイド層 Ａｒガス ４ ｌ／分（左右合計量） 出発材ロッド 外径 ２０mm 回転速度 ２０rpm トラバース速度 0.3m／分 この場合、ガラス微粒子の堆積速度は、従来の３〜５ｇ
／分から７〜10ｇ／分に改善された。
0.5 ｌ／分 第３層 Ｈ2 ガス １５ ｌ／分 第４層 Ａｒガス ２ ｌ／分 第５層 Ｏ2 ガス １５ ｌ／分 サイド層 Ａｒガス ４ ｌ／分（左右合計量） 出発材ロッド 外径 ２０mm 回転速度 ２０rpm トラバース速度 0.3m／分 この場合、ガラス微粒子の堆積速度は、従来の３〜５ｇ
／分から７〜10ｇ／分に改善された。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る光ファ
イバ用母材の製造方法によれば、下記のような効果を得
ることができる。
イバ用母材の製造方法によれば、下記のような効果を得
ることができる。
【００３２】（イ）原料ガス流層を燃焼ガス流層と酸化
ガス流層で挟み込んで流すので、原料ガス流層の厚みを
薄くでき、このため燃焼ガスと酸化ガスとの原料ガスに
対する拡散混合が良くなる。従って、原料濃度が高い所
で、Ｈ2 とＯ2 が反応したＨ2 Ｏが多く反応するため、
原料の反応が速く、ガラス微粒子の空間的な分布が小さ
くなり、ガラス微粒子の密度の高い火炎ができる。
ガス流層で挟み込んで流すので、原料ガス流層の厚みを
薄くでき、このため燃焼ガスと酸化ガスとの原料ガスに
対する拡散混合が良くなる。従って、原料濃度が高い所
で、Ｈ2 とＯ2 が反応したＨ2 Ｏが多く反応するため、
原料の反応が速く、ガラス微粒子の空間的な分布が小さ
くなり、ガラス微粒子の密度の高い火炎ができる。
【００３３】（ロ）Ｈ2 とＯ2 の反応の激しい所に原料
ガスが存在するので、周囲のガス温度が高くなり、ガラ
ス微粒子の外径が大きくなり、該ガラス微粒子の堆積速
度が向上する。
ガスが存在するので、周囲のガス温度が高くなり、ガラ
ス微粒子の外径が大きくなり、該ガラス微粒子の堆積速
度が向上する。
【００３４】（ハ）Ｈ2 とＯ2 用のシールガスを用いて
いないので、原料ガスの濃度が高く、ガラス微粒子密度
の高い火炎ができる。
いないので、原料ガスの濃度が高く、ガラス微粒子密度
の高い火炎ができる。
【００３５】以上の理由により、ガラス微粒子を火炎内
であまり拡がらないようにして対象物に吹き付けること
ができ、堆積速度を向上させることができる。また、燃
焼ガスと酸化ガスとを拡散し易くしているので、原料ガ
スの投入量が増えても十分に燃焼ガス及び酸化ガスと反
応させることができる。
であまり拡がらないようにして対象物に吹き付けること
ができ、堆積速度を向上させることができる。また、燃
焼ガスと酸化ガスとを拡散し易くしているので、原料ガ
スの投入量が増えても十分に燃焼ガス及び酸化ガスと反
応させることができる。
【図１】本発明で用いる同心状バーナの一例を示す横断
面図である。
面図である。
【図２】本発明で用いる角形バーナの一例を示す横断面
図である。
図である。
【図３】従来のＶＡＤ装置の縦断面図である。
【図４】従来のＯＶＤ装置の縦断面図である。
【図５】従来の同心状バーナの横断面図である。
【図６】従来の二重火炎バーナの縦断面図である。
１ チャンバー ２ａ，２ｂ 出発材ロッド ３ コア用バーナ ４ コア部 ５ クラッド用バーナ ６ クラッド部 ７ 光ファイバ用母材 ８ 外付けバーナ ９1 〜９8 第１層（中心層）〜第８層 Ｓ1 ，Ｓ2 サイド層
Claims (1)
- 【請求項１】 原料ガス流層を、燃焼ガス流層と酸化ガ
ス流層とで挟み込んだ状態で対象物側に吹き出して、火
炎内でガラス微粒子を合成し、該対象物の表面に多孔質
のガラス微粒子層を形成することを特徴とする光ファイ
バ用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP838091A JP2945148B2 (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP838091A JP2945148B2 (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04243929A JPH04243929A (ja) | 1992-09-01 |
| JP2945148B2 true JP2945148B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=11691620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP838091A Expired - Lifetime JP2945148B2 (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2945148B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101035432B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유 모재의 제조 방법 |
| US9260339B2 (en) | 2008-02-27 | 2016-02-16 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of fabricating an optical fiber preform and a burner therefor |
-
1991
- 1991-01-28 JP JP838091A patent/JP2945148B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101035432B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유 모재의 제조 방법 |
| US9260339B2 (en) | 2008-02-27 | 2016-02-16 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of fabricating an optical fiber preform and a burner therefor |
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| JPH04243929A (ja) | 1992-09-01 |
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