JPH04231336A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPH04231336A JPH04231336A JP41522690A JP41522690A JPH04231336A JP H04231336 A JPH04231336 A JP H04231336A JP 41522690 A JP41522690 A JP 41522690A JP 41522690 A JP41522690 A JP 41522690A JP H04231336 A JPH04231336 A JP H04231336A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、SI型光ファイバ用母
材の製造方法に係り、特に開口数の大きな光ファイバ用
の母材の製造方法に関するものである。
材の製造方法に係り、特に開口数の大きな光ファイバ用
の母材の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザ光を導く大口径光ファイバや、暗
いものを観察するイメージファイバでは、入射において
光をできるだけ多く集めるために開口数(NA)の大き
いものがよく用いられる。
いものを観察するイメージファイバでは、入射において
光をできるだけ多く集めるために開口数(NA)の大き
いものがよく用いられる。
【0003】一般に光ファイバの屈折率分布から周知の
如く大別してGI型とSI型とがあるが、コアの屈折率
(GI型の場合はコアの中心部における最大屈折率)と
クラッドの屈折率との屈折率差が同じ場合、SI型のN
Aの方を大きくすることができる。そこで、SI型光フ
ァイバの方が用いられる。
如く大別してGI型とSI型とがあるが、コアの屈折率
(GI型の場合はコアの中心部における最大屈折率)と
クラッドの屈折率との屈折率差が同じ場合、SI型のN
Aの方を大きくすることができる。そこで、SI型光フ
ァイバの方が用いられる。
【0004】通常、SI型光ファイバ用の母材は、周知
の内付CVD法と呼ばれる方法にて製造される。その概
要は次のとおりである。
の内付CVD法と呼ばれる方法にて製造される。その概
要は次のとおりである。
【0005】回転する石英管中に気相反応させる気化さ
せた原料(SiCl4 、GeCl4 等) をO2
と一緒に流し、石英管の外側から酸水素炎等で加熱する
。石英管の内側で酸化反応により、GeO2 、SiO
2 等のガラス微粒子が作られ、石英管の内壁面にGe
ドープされたSiO2 ガラスが生成され沈積する。こ
のパイプを加熱してつぶし中実化し(コラプスと呼ばれ
る)円形充実断面の母材ができる。
せた原料(SiCl4 、GeCl4 等) をO2
と一緒に流し、石英管の外側から酸水素炎等で加熱する
。石英管の内側で酸化反応により、GeO2 、SiO
2 等のガラス微粒子が作られ、石英管の内壁面にGe
ドープされたSiO2 ガラスが生成され沈積する。こ
のパイプを加熱してつぶし中実化し(コラプスと呼ばれ
る)円形充実断面の母材ができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前記の如き内付CVD
法にて母材を製造する場合、コアとクラッドとの屈折率
差を大きくするために前記のGeドープの量を多くする
と焼結されにくく、またコラプスに際して泡ができやす
いという問題がある。
法にて母材を製造する場合、コアとクラッドとの屈折率
差を大きくするために前記のGeドープの量を多くする
と焼結されにくく、またコラプスに際して泡ができやす
いという問題がある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の如き課
題を解決するためになされたもので、出発部材としての
石英ガラス棒の周囲にプラズマ炎や酸水素炎を用いて、
この炎の中に原料ガスとしてSiCl4 、GeCl4
を気相状態で導いて、ガラス微粒子を堆積させ、直ち
に加熱焼結して透明なガラス化させる。
題を解決するためになされたもので、出発部材としての
石英ガラス棒の周囲にプラズマ炎や酸水素炎を用いて、
この炎の中に原料ガスとしてSiCl4 、GeCl4
を気相状態で導いて、ガラス微粒子を堆積させ、直ち
に加熱焼結して透明なガラス化させる。
【0008】このような外付工程を複数回繰り返して中
間コア母材を作る工程と、該中間コア母材を延伸する工
程とを複数回繰り返してコアとし、該コアの周囲に外付
法、ロッドインチューブ法などによりクラッド層を形成
し、全体として透明な光ファイバ用母材を製造する方法
を提供する。
間コア母材を作る工程と、該中間コア母材を延伸する工
程とを複数回繰り返してコアとし、該コアの周囲に外付
法、ロッドインチューブ法などによりクラッド層を形成
し、全体として透明な光ファイバ用母材を製造する方法
を提供する。
【0009】
【作用】本発明の光ファイバ用母材の製造方法によれば
、ガラス微粒子の堆積層が薄いときに加熱焼結するので
焼結が十分なされ、複数回延伸されるので屈折率の小さ
い出発部材である石英ガラス棒が非常に細くなってしま
うので光学的に無視できるようになり、また、このよう
に出発部材が細くなり、これを引き抜いてコラプスをす
る必要がないので泡の発生を抑制することができる。
、ガラス微粒子の堆積層が薄いときに加熱焼結するので
焼結が十分なされ、複数回延伸されるので屈折率の小さ
い出発部材である石英ガラス棒が非常に細くなってしま
うので光学的に無視できるようになり、また、このよう
に出発部材が細くなり、これを引き抜いてコラプスをす
る必要がないので泡の発生を抑制することができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の光ファイバ用母材の製造方法
の実施例を説明する。
の実施例を説明する。
【0011】図1において、外径10mm、長さ500
mmの純粋石英ガラス棒1を用意し、これを回転させな
がら出発部材とし、その表面に酸水素炎をバーナ2から
噴射させるとともに、そのサイドからガラス原料である
SiCl4 を50g/分、GeCl4 を30g/分
、ガス状態にして酸素100cc/分と共に噴射ノズル
3から炎の中に送り、ガラス微粒子4を合成して堆積さ
せ、その後を追いかけるようにバーナ2をトラバースさ
せることでガラス微粒子4を焼結して透明ガラス層5を
形成し、これを何回も繰り返し複数回行って外径30m
mの中間コア母材とし、この中間コア母材を外径10m
mに延伸した。
mmの純粋石英ガラス棒1を用意し、これを回転させな
がら出発部材とし、その表面に酸水素炎をバーナ2から
噴射させるとともに、そのサイドからガラス原料である
SiCl4 を50g/分、GeCl4 を30g/分
、ガス状態にして酸素100cc/分と共に噴射ノズル
3から炎の中に送り、ガラス微粒子4を合成して堆積さ
せ、その後を追いかけるようにバーナ2をトラバースさ
せることでガラス微粒子4を焼結して透明ガラス層5を
形成し、これを何回も繰り返し複数回行って外径30m
mの中間コア母材とし、この中間コア母材を外径10m
mに延伸した。
【0012】上記の延伸された中間コア母材を上記と同
様の複数回の堆積・焼結工程と延伸工程とを交互に繰り
返し外径20mmのコアを製造した。
様の複数回の堆積・焼結工程と延伸工程とを交互に繰り
返し外径20mmのコアを製造した。
【0013】上記の如くして得られたコアの外周にプラ
ズマ炎にてSiO2のみを外付けしてクラッド層を形成
し最終的に外径30mmの光ファイバ用母材を得た。
ズマ炎にてSiO2のみを外付けしてクラッド層を形成
し最終的に外径30mmの光ファイバ用母材を得た。
【0014】上記の如くして得られた光ファイバ用母材
のコアとクラッドとの比屈折率差は2%であり、その屈
折率分布を模式的に示せば、半径方向rに対してコアの
屈折率n1 、クラッドの屈折率n2 の分布は図2の
如くなりほぼSI型と同様である。ただし、中心部には
出発部材の石英ガラス棒の部分が残留し屈折率はクラッ
ド層と同様に小さいが、前記の製造工程で理解されるよ
うに多数回延伸されるので極めて細くなってしまうので
光学的に無視できるものである。
のコアとクラッドとの比屈折率差は2%であり、その屈
折率分布を模式的に示せば、半径方向rに対してコアの
屈折率n1 、クラッドの屈折率n2 の分布は図2の
如くなりほぼSI型と同様である。ただし、中心部には
出発部材の石英ガラス棒の部分が残留し屈折率はクラッ
ド層と同様に小さいが、前記の製造工程で理解されるよ
うに多数回延伸されるので極めて細くなってしまうので
光学的に無視できるものである。
【0015】
【発明の効果】本発明の光ファイバ用母材の製造方法に
よれば、ガラス微粒子の堆積層が薄いうちに加熱焼結さ
れるので焼結が十分となり、複数回延伸されるので、出
発部材である石英ガラス棒が極めて細くなり、その存在
が光学的に無視することができる。従って、通常の外付
法における如く出発部材を取り除いてパイプ状となしコ
ラプスする必要がないので、泡の発生を抑えることがで
き、SI型で屈折率の大きな、従ってNAの大きな優れ
た光ファイバ用母材を製造することができる。
よれば、ガラス微粒子の堆積層が薄いうちに加熱焼結さ
れるので焼結が十分となり、複数回延伸されるので、出
発部材である石英ガラス棒が極めて細くなり、その存在
が光学的に無視することができる。従って、通常の外付
法における如く出発部材を取り除いてパイプ状となしコ
ラプスする必要がないので、泡の発生を抑えることがで
き、SI型で屈折率の大きな、従ってNAの大きな優れ
た光ファイバ用母材を製造することができる。
【図1】本発明の製造方法を示す概要図である。
【図2】本発明の製造方法により得られた光ファイバ用
母材の模式的な屈折率分布図である。
母材の模式的な屈折率分布図である。
1 石英ガラス棒
4 ガラス微粒子
5 透明ガラス層
Claims (1)
- 【請求項1】 石英ガラス棒の周囲に原料ガスを火炎
加水分解反応させてガラス微粒子を堆積させて直ちに加
熱焼結させて透明ガラス層を形成させる操作を複数回繰
り返して中間コア母材を作る工程と、該中間コア母材を
延伸する工程とを交互に複数回繰り返してコアとなし、
該コアの周囲にクラッド層を形成して全体として透明な
ガラス母材とすることを特徴とする光ファイバ母材の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP41522690A JPH04231336A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP41522690A JPH04231336A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04231336A true JPH04231336A (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=18523611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP41522690A Pending JPH04231336A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04231336A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999052832A1 (en) | 1998-04-10 | 1999-10-21 | Fibercore, Inc. | Method of making an optical fiber preform |
WO2001096253A1 (en) * | 2000-06-06 | 2001-12-20 | Fibercore, Inc. | Method of making an optical fiber preform |
US6793775B2 (en) * | 2001-03-13 | 2004-09-21 | Mikhail I. Gouskov | Multiple torch—multiple target method and apparatus for plasma outside chemical vapor deposition |
US6848276B2 (en) * | 1998-11-05 | 2005-02-01 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
US7089766B2 (en) * | 2000-04-28 | 2006-08-15 | Corning Inc | Method of forming optical fiber preforms |
JP2010532819A (ja) * | 2007-07-06 | 2010-10-14 | ピルキントン グループ リミテッド | 蒸着法 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP41522690A patent/JPH04231336A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999052832A1 (en) | 1998-04-10 | 1999-10-21 | Fibercore, Inc. | Method of making an optical fiber preform |
EP1086053A1 (en) * | 1998-04-10 | 2001-03-28 | Fibercore, Inc. | Method of making an optical fiber preform |
AU750390B2 (en) * | 1998-04-10 | 2002-07-18 | Fibercore, Inc. | Method of making an optical fiber preform |
US6536240B1 (en) * | 1998-04-10 | 2003-03-25 | Mikhail Ivanovich Gouskov | Method of making an optical fiber preform via multiple plasma depositing and sintering steps |
CN1295169C (zh) * | 1998-04-10 | 2007-01-17 | 纤维管有限公司 | 制造光纤预型件的方法 |
EP1086053A4 (en) * | 1998-04-10 | 2008-03-05 | Fibercore Inc | METHOD FOR MANUFACTURING AN OPTICAL FIBER PREFORM |
US6848276B2 (en) * | 1998-11-05 | 2005-02-01 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
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WO2001096253A1 (en) * | 2000-06-06 | 2001-12-20 | Fibercore, Inc. | Method of making an optical fiber preform |
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JP2010532819A (ja) * | 2007-07-06 | 2010-10-14 | ピルキントン グループ リミテッド | 蒸着法 |
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