JPS6065742A - Vad法による光フアイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
Vad法による光フアイバ用多孔質ガラス母材の製造方法Info
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- JPS6065742A JPS6065742A JP17100383A JP17100383A JPS6065742A JP S6065742 A JPS6065742 A JP S6065742A JP 17100383 A JP17100383 A JP 17100383A JP 17100383 A JP17100383 A JP 17100383A JP S6065742 A JPS6065742 A JP S6065742A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はVAD法による光ファイバ用多孔質母拐の製造
方法に関する。
方法に関する。
石英系光ファイバ母料の製造方法の1つとして知られて
いるVAD法でハ、ハじめハロゲン化金属の気相反応に
よりガラス合成を行ない、ガラススート棒をつくる。
いるVAD法でハ、ハじめハロゲン化金属の気相反応に
よりガラス合成を行ない、ガラススート棒をつくる。
こうしてつくられたガラススート棒はその後、高温の熱
処理により透明ガラス化される。
処理により透明ガラス化される。
一般的に採用されている上記気相反応手段は火炎加水分
解法であり、この方法では主原料として5iCA4 が
採用されているとともに副原料(ドープ剤用)としては
GeC/i4 、POCl2、BCl2、その他各種の
ものが採用され、これら気相のガラス原料が酸水素炎を
介して火炎加水分解される。
解法であり、この方法では主原料として5iCA4 が
採用されているとともに副原料(ドープ剤用)としては
GeC/i4 、POCl2、BCl2、その他各種の
ものが採用され、これら気相のガラス原料が酸水素炎を
介して火炎加水分解される。
上記におけるドープ剤として注目されている1つに弗素
があり、弗素は酸化硼素と同じく数少ない屈折率低下成
分でろって、酸化硼素のよう4熱履歴による屈折率変化
がないので望ましい0 ところが弗素(F)の場合、上記火炎加水分解反応時の
水素ガス(H2)と化合することによりガラス腐蝕作用
の強い弗酸(HF)を生じ、そのため火炎加水分解法に
よるVAD法では、弗素をドープ剤とすることが回避さ
れている。
があり、弗素は酸化硼素と同じく数少ない屈折率低下成
分でろって、酸化硼素のよう4熱履歴による屈折率変化
がないので望ましい0 ところが弗素(F)の場合、上記火炎加水分解反応時の
水素ガス(H2)と化合することによりガラス腐蝕作用
の強い弗酸(HF)を生じ、そのため火炎加水分解法に
よるVAD法では、弗素をドープ剤とすることが回避さ
れている。
本発明は上記の問題点に鑑み、VAD法による光ファイ
バ用字孔質ガラス母料の製造時、弗酸を生じることなく
弗素がドープできるようにしたものであり、以下その具
体的方法を図示の実施例により説明する。
バ用字孔質ガラス母料の製造時、弗酸を生じることなく
弗素がドープできるようにしたものであり、以下その具
体的方法を図示の実施例により説明する。
第1図において、1は耐熱性の反応容器であり、この反
応容器1は上下2つの反応室2.3を備えているととも
にこれら両反応室2.3は通孔4を備えた板状の境界部
6により互いに分離されている。
応容器1は上下2つの反応室2.3を備えているととも
にこれら両反応室2.3は通孔4を備えた板状の境界部
6により互いに分離されている。
さらに上記における一方の反応室2の下部には多重管構
造のバーナからなる酸化物粉末生成用の吹出器6が挿設
されているとともに該反応室2の上部には排気ロアが設
けられてお9、他方の反応室3の下部には、管状構造で
あってその外側(または内側)に加熱手段8を備えた酸
化物粉末生成用の吹出器9が挿設され・かつ・該反応室
3の上部にも排気口10が設けられている。
造のバーナからなる酸化物粉末生成用の吹出器6が挿設
されているとともに該反応室2の上部には排気ロアが設
けられてお9、他方の反応室3の下部には、管状構造で
あってその外側(または内側)に加熱手段8を備えた酸
化物粉末生成用の吹出器9が挿設され・かつ・該反応室
3の上部にも排気口10が設けられている。
図中、11は反応容器1の上部に設けられた出入口、1
2は棒状の堆積器であり、この堆積器12は上下動かつ
回転自在であって上記反応容器1の出入口11からその
内部へ挿入されている。
2は棒状の堆積器であり、この堆積器12は上下動かつ
回転自在であって上記反応容器1の出入口11からその
内部へ挿入されている。
13.14はそれぞれ吹出器6.8に接続された原料供
給系、16.16はそれぞれ排気ロア、10に接続され
た排気系である。
給系、16.16はそれぞれ排気ロア、10に接続され
た排気系である。
本発明では第1図に示すごとく反応容器1の下位の反応
室2において火炎加水分解反応を先行して行ない、これ
に後続して上位の反応室3では熱酸化反応を行なう。
室2において火炎加水分解反応を先行して行ない、これ
に後続して上位の反応室3では熱酸化反応を行なう。
反応室2内で火炎加水分解反応を行なうときは、原料供
給系13から訳出器6に向けて気相の主原料(SiC6
4)、または該主原料と気相の副原料(ドープ剤となる
G e Ct4、POC4,などの金属ハロゲン化物、
たソしFを含むものは除く)とを供給するとともに酸素
ガス(0□)、水素ガス(H2)も同時に該吹出器6へ
供給し、そして酸水素ガスを燃焼状態とすることにより
上記気相のガラス原料を火炎加水分解反応させ、その反
応生成物すなわちスート状のガラス(酸化物粉末)を吹
出器6から堆積器12へと噴射する。
給系13から訳出器6に向けて気相の主原料(SiC6
4)、または該主原料と気相の副原料(ドープ剤となる
G e Ct4、POC4,などの金属ハロゲン化物、
たソしFを含むものは除く)とを供給するとともに酸素
ガス(0□)、水素ガス(H2)も同時に該吹出器6へ
供給し、そして酸水素ガスを燃焼状態とすることにより
上記気相のガラス原料を火炎加水分解反応させ、その反
応生成物すなわちスート状のガラス(酸化物粉末)を吹
出器6から堆積器12へと噴射する。
回転状態とした棒状の堆積器12は、はじめその下端が
上記吹出器6の粉末噴射領域にちり、当該下端にスート
状ガラスが順次堆積されると、その堆積速度に応じて堆
積器12は上昇し、これにともないガラススート棒Aが
形成され、四棒Aが漸次軸方向に成長する。
上記吹出器6の粉末噴射領域にちり、当該下端にスート
状ガラスが順次堆積されると、その堆積速度に応じて堆
積器12は上昇し、これにともないガラススート棒Aが
形成され、四棒Aが漸次軸方向に成長する。
こうして形成されたガラススート棒AHこれの成長にと
もなう堆積器12の上昇により、境界部6の通孔4を通
ってその上端から反応室3内へ進入する。
もなう堆積器12の上昇により、境界部6の通孔4を通
ってその上端から反応室3内へ進入する。
供給系14から吹出器6に向けて気相の主原料(SiC
64)と弗素を含む気相の副原料(SF6、CCl2F
2など)と酸素ガス(02)とを供給し、また、必要に
応じて他の副原料(POCl2など)も供給し、そして
該吹出器6の外周にある加熱手段8により、酸素ガス混
合状態の上記気相のガラス原料を熱酸化反応させ、その
反応生成物すなわち弗素を含むスート状のガラス(酸化
物粉末)を吹出器9からガラススート棒Aの外周へ噴射
する。
64)と弗素を含む気相の副原料(SF6、CCl2F
2など)と酸素ガス(02)とを供給し、また、必要に
応じて他の副原料(POCl2など)も供給し、そして
該吹出器6の外周にある加熱手段8により、酸素ガス混
合状態の上記気相のガラス原料を熱酸化反応させ、その
反応生成物すなわち弗素を含むスート状のガラス(酸化
物粉末)を吹出器9からガラススート棒Aの外周へ噴射
する。
こうして吹出器9からスート状のガラスを噴射すること
により、ガラススート棒Aの外周にはガラススート層B
が堆積され、四棒Aは増径される。
により、ガラススート棒Aの外周にはガラススート層B
が堆積され、四棒Aは増径される。
以下、ガラススート棒Aのはゾ全長にわた9、ガラスス
ート層Bが形成されることにより光フアイバ用多孔質ガ
ラス母材がつくられ、その後、当該母材は高温の熱処理
を受けて透明なプリフォームロッドとなる。
ート層Bが形成されることにより光フアイバ用多孔質ガ
ラス母材がつくられ、その後、当該母材は高温の熱処理
を受けて透明なプリフォームロッドとなる。
上記のようにして光ファイバ用多孔質ガラス母材をつく
るとき、先行の反応室2内では火炎加水分解法によりガ
ラススート棒j’lっくルカ、後続の反応室3内では熱
酸化法によりガラススート層Bを形成するのであり、し
かも両反応室2.3は境界部を介して分離されているの
で、反応室2側にH2ガスが存在し、反応室3側に弗素
または弗化物が存在していても、HF金生じるようなこ
とがなく、シたがって光フアイバ用多孔質ガラス母材に
問題なく弗素をドープすることができる。
るとき、先行の反応室2内では火炎加水分解法によりガ
ラススート棒j’lっくルカ、後続の反応室3内では熱
酸化法によりガラススート層Bを形成するのであり、し
かも両反応室2.3は境界部を介して分離されているの
で、反応室2側にH2ガスが存在し、反応室3側に弗素
または弗化物が存在していても、HF金生じるようなこ
とがなく、シたがって光フアイバ用多孔質ガラス母材に
問題なく弗素をドープすることができる。
なお、第1図の実施例では境界部6が通孔4を有する板
状構造となっているが、該境界部5に関しては第2図の
ごとき絞り形状の通路24により構成してもよく、さら
に第3図のごとき不活性ガスによる気体膜34で構成し
てもよい。
状構造となっているが、該境界部5に関しては第2図の
ごとき絞り形状の通路24により構成してもよく、さら
に第3図のごとき不活性ガスによる気体膜34で構成し
てもよい。
第3図の場合ではその境界部5の領域に気体吹出口、気
体吸入口などを適当に設けておき、これら両日に送気系
36、吸気系36などを配管により接続する。
体吸入口などを適当に設けておき、これら両日に送気系
36、吸気系36などを配管により接続する。
第2図の通路24にも第3図のような気体膜を形成して
もよい。
もよい。
一方、加熱手段8を備えた吹出器9は自己発熱型、外部
加熱型、内部加熱型など、適当なものが採用されるが、
例えばカーボン抵抗加熱型あるいは誘導加熱型とする場
合は、第4図のごとく外側の石英管9aと内側のカーボ
ン管9bとで吹出器9を構成したり、あるいは第5図の
ごとく外側の石英管9aと中間のカーボン管9bと内側
の石英管9cとで吹出器9を構成する。
加熱型、内部加熱型など、適当なものが採用されるが、
例えばカーボン抵抗加熱型あるいは誘導加熱型とする場
合は、第4図のごとく外側の石英管9aと内側のカーボ
ン管9bとで吹出器9を構成したり、あるいは第5図の
ごとく外側の石英管9aと中間のカーボン管9bと内側
の石英管9cとで吹出器9を構成する。
また、酸水素炎を介して吹出器9を外部から加熱すると
きは、該吹出器9を石英管などの耐熱パイプで構成し\
第6図のごとき中空リング状のバーナとか、第7図のご
とき管状のバーナなどによる加熱手段をその吹出器9の
外周に備える。
きは、該吹出器9を石英管などの耐熱パイプで構成し\
第6図のごとき中空リング状のバーナとか、第7図のご
とき管状のバーナなどによる加熱手段をその吹出器9の
外周に備える。
さらに上述した本発明方法では、光ファイバのコアとな
る多孔質ガラス母材とか、あるいは光フアイバ用コアと
元ファイバ用りラ′ツドとを有する多孔質ガラス母料な
どが製造できる。
る多孔質ガラス母材とか、あるいは光フアイバ用コアと
元ファイバ用りラ′ツドとを有する多孔質ガラス母料な
どが製造できる。
以上説明した通り、本発明方法は先行してガラス原料の
気相反応を行なう反応室と、後続してガラス原料の気相
反応を行なう反応室とを、これら両反応室間に設けた境
界部により互いに分離するとともにガラススート棒がそ
の境界部を通過できるようにしておき、上記先行の反応
室では、弗素を含まない気相のガラス原料を火炎加水分
解反応させ、これにより生成されたスート状のガラスを
棒状に堆積させてガラススート棒をつくり、上記後続の
反応室では、弗素を含む気相のガラス原料を熱酸化反応
させ、これにより生成された生成されたスート状のガラ
スを、前記先行の反応室から境界部を経て当該後続の反
応室内へ導入したガラススート棒の外周に堆積させるこ
とを特徴としているから、Fを含有する光フアイバ用多
孔質ガラス母材がVAD法により問題なく製造できるこ
ととなる。
気相反応を行なう反応室と、後続してガラス原料の気相
反応を行なう反応室とを、これら両反応室間に設けた境
界部により互いに分離するとともにガラススート棒がそ
の境界部を通過できるようにしておき、上記先行の反応
室では、弗素を含まない気相のガラス原料を火炎加水分
解反応させ、これにより生成されたスート状のガラスを
棒状に堆積させてガラススート棒をつくり、上記後続の
反応室では、弗素を含む気相のガラス原料を熱酸化反応
させ、これにより生成された生成されたスート状のガラ
スを、前記先行の反応室から境界部を経て当該後続の反
応室内へ導入したガラススート棒の外周に堆積させるこ
とを特徴としているから、Fを含有する光フアイバ用多
孔質ガラス母材がVAD法により問題なく製造できるこ
ととなる。
第1図は本発明方法の1実施例を略示した説明図、第2
図、第3図は同法における境界部の4+b4111fl
−蕗うTヒ1介う1七シ981蔦≦?l−笛A署iff
1−s−−1mりE7+ノ・、・曹−同法における吹出
器の加熱手段を各種例示した断面図である。 1・・・・・反応容器 2・・・・・先行の反応室 3・・・・・後続の反応室 6・・・・・境界部 6・・・・・火炎加水分解反応用の吹出器9・・・・・
熱酸化反応;用の吹出器 12・・・・・堆積器 A−−−・・ガラススート棒 B・・・畳・ガラススート層 特許出願人 代理人 弁理士 井 藤 誠 第4図 第 6 図 第5図 第7図
図、第3図は同法における境界部の4+b4111fl
−蕗うTヒ1介う1七シ981蔦≦?l−笛A署iff
1−s−−1mりE7+ノ・、・曹−同法における吹出
器の加熱手段を各種例示した断面図である。 1・・・・・反応容器 2・・・・・先行の反応室 3・・・・・後続の反応室 6・・・・・境界部 6・・・・・火炎加水分解反応用の吹出器9・・・・・
熱酸化反応;用の吹出器 12・・・・・堆積器 A−−−・・ガラススート棒 B・・・畳・ガラススート層 特許出願人 代理人 弁理士 井 藤 誠 第4図 第 6 図 第5図 第7図
Claims (1)
- 先行してガラス原料の気相反応を行なう反応室と、後続
してガラス原料の気相反応を行なう反応室とを、これら
両反応室間に設けた境界部により互いに分離するととも
にガラ°ススート棒がその境界部を通過できるようにし
ておき、」1記先行の反応室では、弗素を含まない気相
のガラス原料を火炎加水分解反応させ、これにより生成
されたスート状のガラスを棒状に堆積させてガラススー
ト棒をつくり、上記後続の反応室では、弗素を含む気相
のガラス原料を熱酸化反応させ、これにより生成された
スート状のガラスを、前記先行の反応室から境界部を経
て当該後続の反応室内へ導入したガラススート棒の外周
に堆積させるVAD法による元ファイバ用多孔質ガラス
・母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17100383A JPS6065742A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | Vad法による光フアイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17100383A JPS6065742A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | Vad法による光フアイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6065742A true JPS6065742A (ja) | 1985-04-15 |
Family
ID=15915300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17100383A Pending JPS6065742A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | Vad法による光フアイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6065742A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1044173A4 (en) * | 1997-12-23 | 2005-03-09 | Spectran Corp | LARGE SCALE MANUFACTURING PROCESS OF OPTICAL FIBER PREFORMS WITH IMPROVED CHARACTERISTICS |
CN105271700A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-01-27 | 江苏通鼎光棒有限公司 | 一种vad反应腔体内环境气流的控制装置及其应用 |
CN105347667A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-02-24 | 中天科技精密材料有限公司 | 一种光纤预制棒光学参数稳定性控制方法及其设备 |
CN107986612A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-04 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种vad制备光纤母材的装置 |
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-
1983
- 1983-09-16 JP JP17100383A patent/JPS6065742A/ja active Pending
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