JPS58135147A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS58135147A JPS58135147A JP57017442A JP1744282A JPS58135147A JP S58135147 A JPS58135147 A JP S58135147A JP 57017442 A JP57017442 A JP 57017442A JP 1744282 A JP1744282 A JP 1744282A JP S58135147 A JPS58135147 A JP S58135147A
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- optical fiber
- tip
- burner
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
- C03B37/01493—Deposition substrates, e.g. targets, mandrels, start rods or tubes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光フアイバ母材の製造方法に関するものであシ
、単一モードおrび多モード光ファイバなどすべてのf
、7アイバを作ることができる。
、単一モードおrび多モード光ファイバなどすべてのf
、7アイバを作ることができる。
従来の元ファイバ母材の製造方法を第1図に示す。これ
は火炎加水分解バーナ1でガラス微粒子を含んだ火炎5
を発生させ。これを矢印8方向に回転しながら矢印7方
向へ移動する出発材4に吹付けてpラド状の多孔質ガラ
ス母材2を成長させる。その後加熱源3で焼結して透明
な光フアイバ母材14にする方法である。この方法は、
長尺。
は火炎加水分解バーナ1でガラス微粒子を含んだ火炎5
を発生させ。これを矢印8方向に回転しながら矢印7方
向へ移動する出発材4に吹付けてpラド状の多孔質ガラ
ス母材2を成長させる。その後加熱源3で焼結して透明
な光フアイバ母材14にする方法である。この方法は、
長尺。
大口径、かつ広帯域で低損失の光ファイバが容易に得ら
れるという特徴を有しているが、本発明者はこの装置構
成で出発材の形状を種々変えて実験を行った結果、次の
ような問題点があることがわかった。
れるという特徴を有しているが、本発明者はこの装置構
成で出発材の形状を種々変えて実験を行った結果、次の
ような問題点があることがわかった。
αン 出発材の形状として、第2図(a)〜(dJにつ
いて検討した。(a)はムクのガラス棒を用いた単純な
場合であるが、この場合には第3図に示すように、バー
ナ1かうでた火炎5の流れが出発材の近傍で矢印21に
示すような逆流を生ずる。このような逆流を生ずると第
3図(切に示すように径方向のガラス微粒子の成長速度
が大きくなシ、第′3図(C)のように堆積した多孔質
母材の肩の部分にムに示すようなくびれが生ずる。この
ようなくびれ部分のかさ密度は低いために機械的ショッ
クとかちょっとした温度変化に対して歪が発生して第3
図(旬のように多孔質母材2が落下し易く、多孔質母材
の作成が不安定であった。また、出発材の底面形状が作
成された多孔質母材の底面形状と相違しているために多
孔質母材の底面形状を定常状態に保つのに時間がかかる
のと、その再現性に問題があった。
いて検討した。(a)はムクのガラス棒を用いた単純な
場合であるが、この場合には第3図に示すように、バー
ナ1かうでた火炎5の流れが出発材の近傍で矢印21に
示すような逆流を生ずる。このような逆流を生ずると第
3図(切に示すように径方向のガラス微粒子の成長速度
が大きくなシ、第′3図(C)のように堆積した多孔質
母材の肩の部分にムに示すようなくびれが生ずる。この
ようなくびれ部分のかさ密度は低いために機械的ショッ
クとかちょっとした温度変化に対して歪が発生して第3
図(旬のように多孔質母材2が落下し易く、多孔質母材
の作成が不安定であった。また、出発材の底面形状が作
成された多孔質母材の底面形状と相違しているために多
孔質母材の底面形状を定常状態に保つのに時間がかかる
のと、その再現性に問題があった。
(匂 第2図(b)および(C)は上記(1)の問題点
を解決させるために、あらかじめ出発材の底面形状を大
きくしておいたものであシ、田のような問題点はほぼ解
消できるが、多孔質母材を焼結し終った後、出発材と光
フアイバ母材の接触面でクラックが発生し、光フアイバ
母材中にもクラックが伝わっていくという問題点が生じ
た。このり2ツクの発生は、出発材に石英ガラスを用い
、元ファイバ母材に810.−Gem、−F、0.系0
1j5ス(810*よシも屈折率差が1%以上も高いガ
ラス)を堆積させているために両者のガラスの熱膨張係
数のちがいと両者のガラスの接触面積が大きすぎたため
によるものである。
を解決させるために、あらかじめ出発材の底面形状を大
きくしておいたものであシ、田のような問題点はほぼ解
消できるが、多孔質母材を焼結し終った後、出発材と光
フアイバ母材の接触面でクラックが発生し、光フアイバ
母材中にもクラックが伝わっていくという問題点が生じ
た。このり2ツクの発生は、出発材に石英ガラスを用い
、元ファイバ母材に810.−Gem、−F、0.系0
1j5ス(810*よシも屈折率差が1%以上も高いガ
ラス)を堆積させているために両者のガラスの熱膨張係
数のちがいと両者のガラスの接触面積が大きすぎたため
によるものである。
(3) 第2図(d)は石英ガ′2ス管4′の先端に
石英ガラス棒4′(この表面はサンドペーパーなどによ
シ、粗面に仕上げられ、上記(2)のクラック発生を防
ぐようにしである。)をノックピン22で固定したもの
である。この方法では出発材4′は毎回同じものを使え
、4“のみを交換することによってクラックの少ない光
7アイパ母材を得ることが可能であるが、4′と4“の
中心軸を一致させることが困難なため、光7アイパ母材
の再現性が悪い。
石英ガラス棒4′(この表面はサンドペーパーなどによ
シ、粗面に仕上げられ、上記(2)のクラック発生を防
ぐようにしである。)をノックピン22で固定したもの
である。この方法では出発材4′は毎回同じものを使え
、4“のみを交換することによってクラックの少ない光
7アイパ母材を得ることが可能であるが、4′と4“の
中心軸を一致させることが困難なため、光7アイパ母材
の再現性が悪い。
以上のように、従来の技術では高品質光ファイバ母材を
再現性良く作ることがむずかしく、また、クラックの発
生による多孔質母材の落下、光フアイバ母材の声失など
が生じ、生産性が悪い。
再現性良く作ることがむずかしく、また、クラックの発
生による多孔質母材の落下、光フアイバ母材の声失など
が生じ、生産性が悪い。
本発明の目的は、前記従来の問題点を解決する方法を提
供することにある。すなわち、多孔質母材の落下防止、
光フアイバ母材のクラック発生の防止、高品質光フアイ
バ母材の製造歩留シの向上を実現できる元ファイバ母材
の製造法を提供することにある。
供することにある。すなわち、多孔質母材の落下防止、
光フアイバ母材のクラック発生の防止、高品質光フアイ
バ母材の製造歩留シの向上を実現できる元ファイバ母材
の製造法を提供することにある。
本発明は、出発材の先端底面(多孔質母材を成長させて
いく側。)形状をl oc f ’ ”となるように加
工した石英ガラス棒、あるいは石英ガラス管さらには屈
折率分布をもった石英系のガラス棒あ・るいはガラス管
を用いることによシ従来法の問題点を解決するようにし
たものである。ただし、t:出発材底面から引き上げ方
向への距離、r:出発材の半径方向の位置、α、:底面
形状分布係数。
いく側。)形状をl oc f ’ ”となるように加
工した石英ガラス棒、あるいは石英ガラス管さらには屈
折率分布をもった石英系のガラス棒あ・るいはガラス管
を用いることによシ従来法の問題点を解決するようにし
たものである。ただし、t:出発材底面から引き上げ方
向への距離、r:出発材の半径方向の位置、α、:底面
形状分布係数。
このように出発材の先端をテーパ状の円錐形になるよう
に引き延ばすことによって、次のような効果が期待でき
る。
に引き延ばすことによって、次のような効果が期待でき
る。
(1) 出発材の先端を中心軸上に引き延ばすことに
より、出発材の中心軸が明確になシ、バーナと出発材の
中心軸設定などの初期条件の設定が容易である。
より、出発材の中心軸が明確になシ、バーナと出発材の
中心軸設定などの初期条件の設定が容易である。
(2) (1)のように設定すると、バーナからの火
炎の流れが出発材の外周に沿って一様に流れるようKな
シ、出発材の底面近傍に第3図に示したような逆流が生
じなくなる。その結果、多孔質母材への不均一なストレ
スが生じなくなり、クラックの発正による多孔質母材の
割れも生じない。
炎の流れが出発材の外周に沿って一様に流れるようKな
シ、出発材の底面近傍に第3図に示したような逆流が生
じなくなる。その結果、多孔質母材への不均一なストレ
スが生じなくなり、クラックの発正による多孔質母材の
割れも生じない。
(勇 出発材のα、を、作成する多孔質母材の底面形状
分布係数(これをα、′と定義する。ンの値近傍にあら
かじめ設定しておくと、多孔質母材の作成過程中に余分
な制御(念とえはバーナと出発材底面間の距離、出発材
の引き上げ速度、などの制御)を必要とせず、容易に所
望のα、′をもった多孔質母材を作成できる。
分布係数(これをα、′と定義する。ンの値近傍にあら
かじめ設定しておくと、多孔質母材の作成過程中に余分
な制御(念とえはバーナと出発材底面間の距離、出発材
の引き上げ速度、などの制御)を必要とせず、容易に所
望のα、′をもった多孔質母材を作成できる。
(3) 出発材の先端がテーパ状の円錐形に引き延ば
さnていると、この付近に堆積されたガラス微粒子が焼
結によシ収縮するときの収縮(圧縮ン応力は第4図(a
)に示すように、径方向および軸方向に対してほぼ一様
の応力が働くのに対して、従来の出発材の底面面積が大
きい場合には、第4図Φ〕に示すように、径方向、軸方
向での応力分布の変化が大きく不均一分布を生ずるため
に、出発材と光フアイバ母材の接触部に歪が発生(上記
歪と両ガラスの熱膨張係数のちがいによる歪)して元フ
ァイバ母材にクラックが入る。極端な場合には光フアイ
バ母材の半分以上に・クラックが入シ、光フアイバ母材
として使用不能になる。本発明の場合にはほとんどクラ
ックが発生しない。
さnていると、この付近に堆積されたガラス微粒子が焼
結によシ収縮するときの収縮(圧縮ン応力は第4図(a
)に示すように、径方向および軸方向に対してほぼ一様
の応力が働くのに対して、従来の出発材の底面面積が大
きい場合には、第4図Φ〕に示すように、径方向、軸方
向での応力分布の変化が大きく不均一分布を生ずるため
に、出発材と光フアイバ母材の接触部に歪が発生(上記
歪と両ガラスの熱膨張係数のちがいによる歪)して元フ
ァイバ母材にクラックが入る。極端な場合には光フアイ
バ母材の半分以上に・クラックが入シ、光フアイバ母材
として使用不能になる。本発明の場合にはほとんどクラ
ックが発生しない。
(4)出発材に、光ファイバと同じような屈折率分布を
もたせることにより、出発材のもう一方の先端からレー
ザビームを入射させ、底面の先鋭部から出射させるよう
にしておけば、出発材の中心軸とバーナの中心軸との相
対位置を容易に設定す出発材の中心部を8i0.または
、屈折率を高めるドーパント(Ge、Pなど)を含んだ
sio。
もたせることにより、出発材のもう一方の先端からレー
ザビームを入射させ、底面の先鋭部から出射させるよう
にしておけば、出発材の中心軸とバーナの中心軸との相
対位置を容易に設定す出発材の中心部を8i0.または
、屈折率を高めるドーパント(Ge、Pなど)を含んだ
sio。
とし、外周部を屈折率を低めるドーパン) (B。
Fなどンを含んだS iO,ま念は810m を用い
れば、元ファイバ母材との熱膨張係数を接近させること
ができるので、この熱膨張係数の差による歪の発生を防
ぐことができる。
れば、元ファイバ母材との熱膨張係数を接近させること
ができるので、この熱膨張係数の差による歪の発生を防
ぐことができる。
第5図(Jl)、 (b)は本発明の出発材の断面図、
正面図を示したものでおり、(C)は出発材の軸方向長
さtとそのtにおける径方向位置rとの関係を示したグ
ラフである。出発材の材質は市販の石英ガラ1□ ス棒(外径数−から数101、好ましい値は10数■、
長さ1m)であシ、その先端部をバーナで加熱して引き
延ばし加工した。底面のα、は0.3から&5の範囲が
好ましい。これは、第3図に示したような逆流防止の上
から好ましい。このα・の決足は、出発材の底面部をテ
レビカメラで観測し、所望のa、の画面と比較しながら
行った。なお、先端部の位置0は出発材の中心軸と一致
させるのが好ましく、また位置0に対してr方向には同
心状であることが好ましい。
正面図を示したものでおり、(C)は出発材の軸方向長
さtとそのtにおける径方向位置rとの関係を示したグ
ラフである。出発材の材質は市販の石英ガラ1□ ス棒(外径数−から数101、好ましい値は10数■、
長さ1m)であシ、その先端部をバーナで加熱して引き
延ばし加工した。底面のα、は0.3から&5の範囲が
好ましい。これは、第3図に示したような逆流防止の上
から好ましい。このα・の決足は、出発材の底面部をテ
レビカメラで観測し、所望のa、の画面と比較しながら
行った。なお、先端部の位置0は出発材の中心軸と一致
させるのが好ましく、また位置0に対してr方向には同
心状であることが好ましい。
第6図は出発材にガラス管を用い、その先端部を引き延
ばし九ものである。実施例では石英ガラス管(外径12
m5+、内径約10rm、長さInn)を用いたが、石
英ガラス棒に比し真直度が良好であるので、出発材とし
てはより好都合であった。最先端の0点は完全に密封さ
れていなくてもよく、たとえば1m程度の穴がおいてい
てもさしつかえなかった。また、ガラス管内へ一方から
レーザビームを通して管の中心軸とバーナの中心軸との
相対位置関係を設定するものも容易であつ喪。ガラス管
の直径は数■から数10sa+のものを使用できる。底
面部のα、は前記と同様の値が適用できる。
ばし九ものである。実施例では石英ガラス管(外径12
m5+、内径約10rm、長さInn)を用いたが、石
英ガラス棒に比し真直度が良好であるので、出発材とし
てはより好都合であった。最先端の0点は完全に密封さ
れていなくてもよく、たとえば1m程度の穴がおいてい
てもさしつかえなかった。また、ガラス管内へ一方から
レーザビームを通して管の中心軸とバーナの中心軸との
相対位置関係を設定するものも容易であつ喪。ガラス管
の直径は数■から数10sa+のものを使用できる。底
面部のα、は前記と同様の値が適用できる。
第7図は出発材としてガラス棒を用いた場合の径方向断
面内の屈折率分布を示したもので、(司のように石英ガ
ラス棒の場合の他に、(b)のステップ型屈折率分布%
(’L (”)の集束型屈折率分布のものも使える。
面内の屈折率分布を示したもので、(司のように石英ガ
ラス棒の場合の他に、(b)のステップ型屈折率分布%
(’L (”)の集束型屈折率分布のものも使える。
屈折率差Δnは0.数%から数%の範囲内から選べ、光
フアイバ母材の屈折率分布に応じて選ぶならばより有効
であることは前記説明から明らかである。・(切〜(d
)の屈折率分布を有する出発材を作る方法として、石英
ガラス棒の外周に外付けCVD法(火炎加水分解バーナ
でガラス微粒子を吹付ける方法)でB、03を含むs
i o、ガラスを堆積、焼結して得るか、はう酸水溶液
に石英ガラス棒を浸した後、熱感]BIKよって得るか
、あるいは、有機シラン系のアルコール溶液(たとえば
商品名シリカフィルム。)を石英ガラス棒に塗布。
フアイバ母材の屈折率分布に応じて選ぶならばより有効
であることは前記説明から明らかである。・(切〜(d
)の屈折率分布を有する出発材を作る方法として、石英
ガラス棒の外周に外付けCVD法(火炎加水分解バーナ
でガラス微粒子を吹付ける方法)でB、03を含むs
i o、ガラスを堆積、焼結して得るか、はう酸水溶液
に石英ガラス棒を浸した後、熱感]BIKよって得るか
、あるいは、有機シラン系のアルコール溶液(たとえば
商品名シリカフィルム。)を石英ガラス棒に塗布。
焼結して得る、などの通常よく知られた方法を適用する
ことができる。
ことができる。
第8図は出発材としてガラス管を用いた場合の径方向断
面内の屈折率分布を示したものである。
面内の屈折率分布を示したものである。
(a)は石英ガラス管の場合、(b]〜町はガラス管の
内面に屈折率を高めるドーパントを堆積させた場合、で
ある0石英ガラス管の外側に屈折率を低めるドーパ7)
(B、Fなど)を堆積させ九石英ガラス管を用いても
よい。ガラス管の内面にガラス膜を堆積させる方法はよ
く知られ念内封けCVD法を用いればよい。なお、第7
図のガラス棒と第8図のガラス管を用い、ロッドインチ
ューブ法で種々の屈折率分布をもった出発材も作ること
ができ、この場合も本発明の出発材の一つとして構成さ
れる。
内面に屈折率を高めるドーパントを堆積させた場合、で
ある0石英ガラス管の外側に屈折率を低めるドーパ7)
(B、Fなど)を堆積させ九石英ガラス管を用いても
よい。ガラス管の内面にガラス膜を堆積させる方法はよ
く知られ念内封けCVD法を用いればよい。なお、第7
図のガラス棒と第8図のガラス管を用い、ロッドインチ
ューブ法で種々の屈折率分布をもった出発材も作ること
ができ、この場合も本発明の出発材の一つとして構成さ
れる。
次に、第1図の元ファイバ母材製造装置に本発明の出発
材を用いた場合の光フアイバ母材の特性について述べる
。出発材として、第5図に示すような石英ガラス棒(外
径12■、長さ1m)を用い、先端部のα、をzO〜2
5として光フアイバ母材を28本試作した。ただし、出
発材は同一のものを使用し、光フアイバ母材を焼結後、
出発材と光フアイバ母材の接触部をバーナで焼き切シ、
再度先端部を所望のα、となるように加工して使用する
方法を用いた。まず多孔質母材の作成条件を示す。外径
17.8簡の同心状の4重管バーナ1の中心管101に
5iC4,CO,St/k)、GeC4,(0,18t
/k )、POCl、(0,14/−)をArをキーヤ
リヤガスとして送り込み、その外側の管102KAr
(0,9t/−k)を、その次の管103内KHz
(31/−*)、最外管104内にO,(6t/1m)
をそれぞれ流した。そしてバーナの外周に同心状の3重
管からなる保護管を用い(図中に記載せず)、それぞれ
の保護管内にN!ガスを10t/−流した。反応容器6
内の圧力を一α1sgmAQになるように差圧計15の
出力を制御回路16を通して排気速度調節装置17にフ
ィードバックした。このような条件下で、出発材とバー
ナの中心軸を一致させて多孔質母材(外在的70m、長
さ300m)を作成した。この多孔質母材の焼結は16
50C(ヒータの表面温度を光高温計で測定した値)の
HeとCt、の雰囲気で行つ九。その結果、多孔質母材
のクラック発生による落下は一度もなかった。また元フ
ァイバ母材と出発材との接触面での割れも一度も生じな
かった。多孔質母材のα、′の変動も±10%以下であ
つ九。′tたこの光フアイバ母材を石英ガラス管内に入
れ、ロッドインチューブ化した後、光ファイバ(外径1
50μm、コア径80μm、屈折率差的1%]とした結
果、波長0.85μmで損失は3d137km以下、帯
域600MHz@km以上の高品質特性を有する光ファ
イバを得ることができた。
材を用いた場合の光フアイバ母材の特性について述べる
。出発材として、第5図に示すような石英ガラス棒(外
径12■、長さ1m)を用い、先端部のα、をzO〜2
5として光フアイバ母材を28本試作した。ただし、出
発材は同一のものを使用し、光フアイバ母材を焼結後、
出発材と光フアイバ母材の接触部をバーナで焼き切シ、
再度先端部を所望のα、となるように加工して使用する
方法を用いた。まず多孔質母材の作成条件を示す。外径
17.8簡の同心状の4重管バーナ1の中心管101に
5iC4,CO,St/k)、GeC4,(0,18t
/k )、POCl、(0,14/−)をArをキーヤ
リヤガスとして送り込み、その外側の管102KAr
(0,9t/−k)を、その次の管103内KHz
(31/−*)、最外管104内にO,(6t/1m)
をそれぞれ流した。そしてバーナの外周に同心状の3重
管からなる保護管を用い(図中に記載せず)、それぞれ
の保護管内にN!ガスを10t/−流した。反応容器6
内の圧力を一α1sgmAQになるように差圧計15の
出力を制御回路16を通して排気速度調節装置17にフ
ィードバックした。このような条件下で、出発材とバー
ナの中心軸を一致させて多孔質母材(外在的70m、長
さ300m)を作成した。この多孔質母材の焼結は16
50C(ヒータの表面温度を光高温計で測定した値)の
HeとCt、の雰囲気で行つ九。その結果、多孔質母材
のクラック発生による落下は一度もなかった。また元フ
ァイバ母材と出発材との接触面での割れも一度も生じな
かった。多孔質母材のα、′の変動も±10%以下であ
つ九。′tたこの光フアイバ母材を石英ガラス管内に入
れ、ロッドインチューブ化した後、光ファイバ(外径1
50μm、コア径80μm、屈折率差的1%]とした結
果、波長0.85μmで損失は3d137km以下、帯
域600MHz@km以上の高品質特性を有する光ファ
イバを得ることができた。
本発明は上記実施例に限定されない。出発材の長さは数
10tW1から数mのものでもよ′い。出発材の材質は
810.を主成分とする亀のであればよく、バイコール
ガラス(商品名、コーニングガラス製)でもよい。光フ
アイバ母材の製造法は第1図の方法に限定されず、従来
用いられている出発材を用いた気相軸付法のすべてに適
用できる。
10tW1から数mのものでもよ′い。出発材の材質は
810.を主成分とする亀のであればよく、バイコール
ガラス(商品名、コーニングガラス製)でもよい。光フ
アイバ母材の製造法は第1図の方法に限定されず、従来
用いられている出発材を用いた気相軸付法のすべてに適
用できる。
第1図は従来の光フアイバ母材製造法の概略図、第2図
は従来、本発明者が用いてきた出発材の形状(断面図)
概略図、第3図は従来の出発材を用いた場合の多孔質母
材の成長過程を説明する図、第4図は多孔質母材の焼結
時に発生する収縮応力の定性的説明図で、(a)は本発
明の場合、(b)は従来の場合、第5.6図は本発明の
出発材の概略図、第7.8図は出発材の屈折率分布を示
したものである。 6・・・反応容器、9.10・・・ガス導入管、11゜
12・・・ガスの流れ方向、13・・・引上げ装置、1
8・・・出発材取付はチャック、19・・・バーナ取付
は支持部、20・・・バーナ微動装置。 IA 2 目 (α) (b) (c)(d) 聞 さ くα)(b) (() ((L) (α) 図 (b) 市 5 図 第 6 口 ′!A7 (化) (b) 吊 δ (a) (b) ム乳 Δへ−
γ Q i −T O
?図 (C) (d) Δ7L ム几図 (C)’ (CL)ム?t7!17
t
は従来、本発明者が用いてきた出発材の形状(断面図)
概略図、第3図は従来の出発材を用いた場合の多孔質母
材の成長過程を説明する図、第4図は多孔質母材の焼結
時に発生する収縮応力の定性的説明図で、(a)は本発
明の場合、(b)は従来の場合、第5.6図は本発明の
出発材の概略図、第7.8図は出発材の屈折率分布を示
したものである。 6・・・反応容器、9.10・・・ガス導入管、11゜
12・・・ガスの流れ方向、13・・・引上げ装置、1
8・・・出発材取付はチャック、19・・・バーナ取付
は支持部、20・・・バーナ微動装置。 IA 2 目 (α) (b) (c)(d) 聞 さ くα)(b) (() ((L) (α) 図 (b) 市 5 図 第 6 口 ′!A7 (化) (b) 吊 δ (a) (b) ム乳 Δへ−
γ Q i −T O
?図 (C) (d) Δ7L ム几図 (C)’ (CL)ム?t7!17
t
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、排気装置付反応容器内の下部にバーナをt上部に回
転しつつ移動する出発材を配置し、バーナから発生嘔せ
たガラス微粒子を出発材に吹付けて多孔質母材を軸方向
に成長させ、この母材を出発材と同軸上に置ゆれた加熱
炉に挿入してゆくこ七によシ光ファイバ母材を製造する
方法において、出発材に石英ガラス棒を用い、多孔質母
材を成長させていく方の出発材の先端をテーパ状の円錐
形になるように引き延ばした出発材を用いたことを特徴
とする光フアイバ母材の製造方法。 2、前記出発材に石英ガラス管を用い、多孔質母材を成
長させていく方の出発材の先端をテーパ状の円錐形にな
るように引き延ばした出発材を用いたことを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の光フアイバ母材の製造方法
。 3、前記出発材に、径方向断面内で元ファイバと同様の
屈折率分布をもつ九石英系ガラス棒を用い、多孔質母材
を成長させていく方の出発材の先端をテーパ状の円錐形
になるように引き延ばした出発材を用いたことを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の光フアイバ母材の製造
方法。 4、前記出発材に、径方向断面内で屈折率分布をもった
石英系ガラス管を用い、多孔質母材を成長させていく方
の出発材の先端をテーパ状の円錐形になるように引き延
ばした出発材を用い念ことを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の元7アイパ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57017442A JPS58135147A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57017442A JPS58135147A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58135147A true JPS58135147A (ja) | 1983-08-11 |
JPH0357058B2 JPH0357058B2 (ja) | 1991-08-30 |
Family
ID=11944137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57017442A Granted JPS58135147A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58135147A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1982
- 1982-02-08 JP JP57017442A patent/JPS58135147A/ja active Granted
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CN108358437A (zh) * | 2017-01-27 | 2018-08-03 | 信越石英株式会社 | 多孔石英玻璃母材的制造方法 |
CN108358437B (zh) * | 2017-01-27 | 2021-10-08 | 信越石英株式会社 | 多孔石英玻璃母材的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0357058B2 (ja) | 1991-08-30 |
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